專利名稱：一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多頻圓極化器，特別涉及一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器。
背景技術(shù)：
圓極化波具有旋向正交性，可以抑制雨霧干擾，抗多徑效應(yīng)等優(yōu)點，因此在衛(wèi)星通信，雷達等方面有廣泛的應(yīng)用。圓極化器 是用來激發(fā)圓極化波的常用裝置。傳統(tǒng)的圓極化器有波導(dǎo)圓極化器、柵條圓極化器以及曲折線圓極化器等。波導(dǎo)圓極化器是在波導(dǎo)中利用極化分離器使入射線極化波分解為兩個正交且等幅的線極化模式，然后分別調(diào)節(jié)這兩個模式，使它們之間產(chǎn)生90°的相位差，從而實現(xiàn)線極化波到圓極化波的轉(zhuǎn)換。波導(dǎo)圓極化器體積較大，且一般只作為天線系統(tǒng)的激勵源。由于對電磁波的特殊調(diào)控作用，人工結(jié)構(gòu)材料已經(jīng)被廣泛用于調(diào)控電磁波的極化特性。M. Mutlu等利用兩層金屬周期結(jié)構(gòu)的人工結(jié)構(gòu)材料來實現(xiàn)將入射的線極化波轉(zhuǎn)化為圓極化福射波(M. Mutlu, et al. Asymmetricchiral metamaterial circular polarizer based on four U-shaped split ringresonators [J], Optics Letters 32,1653-1655 (2011) ),每層金屬結(jié)構(gòu)的單兀包含四個依次旋轉(zhuǎn)90°的U型開口諧振環(huán)。該人工結(jié)構(gòu)材料分別在兩個頻點處將線極化波轉(zhuǎn)化為具有不同旋向的圓極化波，但是該人工結(jié)構(gòu)材料的結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜而且?guī)挶容^窄。為了解決傳統(tǒng)平面人工結(jié)構(gòu)材料的帶寬窄的問題，J. K. Gansel等利用周期性金屬螺旋線結(jié)構(gòu)設(shè)計了工作在遠紅外頻段的寬帶圓極化器(J. K. Gansel, et al. Gold Helix PhotonicMetamaterial as Broadband Circular Polarizer[J], Science 325,1513-1515 (2009) )。該圓極化器在一個較寬的頻帶內(nèi)將入射的線極化波轉(zhuǎn)化為右旋圓極化波，然而為了實現(xiàn)寬帶極化轉(zhuǎn)換，該圓極化器的剖面高度接近一倍波長；并且該圓極化器只能將入射的線極化波轉(zhuǎn)換為一種旋向的圓極化波，這也限制了這種圓極化器的使用范圍。綜上所述，現(xiàn)有的圓極化器具有結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作頻段少、體積較大等缺點。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有圓極化器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作頻段少、體積較大等不足；提出一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，該圓極化器可以在k(k = t)個頻點處實現(xiàn)將入射的線極化波轉(zhuǎn)化為不同旋向的圓極化波，且結(jié)構(gòu)簡單，易于制作。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，包括一種n-1層矩形介質(zhì)基板1，以及在n-1層矩形介質(zhì)基板I上制作的橫向上和縱向上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2的t(t = n)條圓弧形金屬線分別排布在n-1層矩形介質(zhì)基板I的第1、2、…、n面，從垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向看，t條圓弧形金屬線組成一個同心圓的t個等分部分，t條圓弧形金屬線的寬度和對應(yīng)的圓心角都相同，且每兩條圓弧形金屬線之間的間隙對應(yīng)的圓心角也相同。矩形介質(zhì)基板為商用介質(zhì)基板,可以有效降低該圓極化器的成本,如Taconic TLX或者F4B等型號的介質(zhì)基板，介質(zhì)基板的介電常數(shù)為
所述n-1層矩形介質(zhì)基板I中每層矩形介質(zhì)基板的厚度為h，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2的周期為p，p的取值范圍是2*Xml/5 4*Xml/5，其中Xml為所述多頻圓極化器工
作的k(k = t)個頻點中的最小頻率處對應(yīng)的等效波長，丸!=袁’ Atll為最小工作頻率處
對應(yīng)的真空中的波長，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2中每條圓弧形金屬線的外徑為R，R的取值范圍為Xml/4 X ml/2,周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2每條圓弧形金屬線寬度w取值范圍為0. Imm Xml/4，該多頻圓極化器單元尺寸為亞波長結(jié)構(gòu)，在相應(yīng)的工作頻點處可以視為均勻的材料。所述周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2 每條圓弧形金屬線所對應(yīng)的圓心角0的取值范圍為 O。< 0 < 360。/t0本發(fā)明具有的有益效果在于(I)本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2為t(t = n)條依次旋轉(zhuǎn)固定角度的圓弧形金屬線，且為平面結(jié)構(gòu)，易于制作，利用PCB板加工工藝就可以制作，而這種加工工藝現(xiàn)在已經(jīng)非常成熟。(2)本發(fā)明在電場方向平行于圓極化器縱向邊長的線極化波沿著垂直于矩形介質(zhì)基板所在的平面入射的情況下，在諧振頻率處，電場在每個周期的每條圓弧形金屬線上都會產(chǎn)生感應(yīng)電流，這種感應(yīng)電流沿著圓弧形金屬線分布，從而激發(fā)出沿著圓弧形金屬線端點的電場，從而產(chǎn)生出k(k = t)種電場稱合模式,進而在k(k = t)個對應(yīng)的工作頻點處將線極化波轉(zhuǎn)化為不同旋向的圓極化波，與現(xiàn)有的技術(shù)相比具有更多的工作頻點，而且具有更多的透射波極化模式。


圖I為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(含制作在n-1層矩形介質(zhì)基板I上的t條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)俯視圖；圖2為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(包含制作在n-1層矩形介質(zhì)基板I上的t條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)側(cè)視圖；圖3為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(包含制作在2層矩形介質(zhì)基板上I的3條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)俯視圖；圖4為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(在2層矩形介質(zhì)基板I上的3條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)俯視圖，其中H表示磁場方向，E表示電場方向，K表不入射波波矢方向；圖5為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(包含制作在2層矩形介質(zhì)基板I上的3條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)將線極化入射波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線；圖6為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(包含制作在3層矩形介質(zhì)基板I上的4條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)俯視圖；圖7為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(包含制作在3層矩形介質(zhì)基板I上的4條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)俯視圖；圖8為本發(fā)明基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器(包含制作在3層矩形介質(zhì)基板I上的4條周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2)將線極化入射波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖及具體實施方式
對本發(fā)明進行詳細說明，但本發(fā)明的保護范圍并不僅限于下面實施例，應(yīng)包括權(quán)利要求書中的全部內(nèi)容。而且本領(lǐng)域技術(shù)人員從以下的一個實施例即可實現(xiàn)權(quán)利要求中的全部內(nèi)容。圖I中I代表矩形介質(zhì)基板，2代表制作在矩形介質(zhì)基板I上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，pl、…、Pm代表矩形介質(zhì)基板I上的橫向和縱向的第I、…、m個周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，11、…、It代表周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2中的第I、…、t條圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)。圖2中dl、…、dn_l代表n_l層矩形介質(zhì)基板中的第I、…、n_l層，ml、...、mt
代表周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2中的第I、…、t條圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)。如圖3所示，本發(fā)明實施例1，多頻圓極化器由2層矩形介質(zhì)基板(即n = 3)和每個周期3條圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(即t = 3)組成，該發(fā)明實例中金屬線結(jié)構(gòu)采用覆銅線結(jié)構(gòu)，具體實現(xiàn)過程如下(I)選擇矩形介質(zhì)基板I型號為F4B，相對介電常數(shù)e r為2. 55，每一張矩形介質(zhì)基板的高度h為I. 524mm。(2)確定圓極化器響應(yīng)的線極化波的入射方向垂直于矩形介質(zhì)基板所在的平面，極化電場方向平行于該圓極化器的縱向邊界方向，如圖4所示，圖中E、H和K分別表示入射電磁波的電場、磁場和波矢方向。(3)該多頻圓極化器包括一種2層矩形介質(zhì)基板，以及在2層矩形介質(zhì)基板I上制作的橫向上和縱向上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2，每個周期的3條圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)3分別排布在矩形介質(zhì)基板I的上、中、下三個面，從垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向看，這3條圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2組成一個同心圓的三個等分部分，3條圓弧形金屬線的寬度和對應(yīng)的圓心角都相同，且每兩條圓弧形金屬線之間的間隙對應(yīng)的圓心角也相同；具體制作過程如下首先利用傳統(tǒng)光刻工藝，在一張介電常數(shù)2. 55，厚度為I. 524mm的雙面覆銅的微波PCB板(型號F4B)正面金屬層上旋涂光刻膠、烘干固化、曝光、顯影、烘干堅膜、濕法腐蝕金屬層等步驟，在微波PCB板上制作出周期個數(shù)為6X6的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期單元包含I條圓弧形金屬線，單元結(jié)構(gòu)參數(shù)如圖4所示，形狀為圖4中的圓弧形金屬線5所示的形狀，將雙面覆銅PCB板的另一面的銅皮剝掉，使該PCB板僅有一面有銅；在另外一張相同的雙面覆銅PCB板上，通過旋涂光刻膠、烘干固化、曝光、顯影、烘干堅膜、濕法腐蝕金屬層等步驟，在微波PCB板的兩面同時制作出周期個數(shù)為6X6的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期單元包含2條圓弧形金屬線，結(jié)構(gòu)參數(shù)如圖4所示，形狀為圖4中的圓弧形金屬線3和圓弧形金屬線4所示的形狀，最后將制成的兩張具有周期性圓弧形金屬線的PCB板用半固化片粘合。本實例采取的參數(shù)尺寸為周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2的周期p為
11.5mm,圓弧形金屬線的外徑R為4. 75mm,圓弧形金屬線的寬度w為0. 85mm,每條圓弧形金屬線對應(yīng)的圓心角Q為80。,相鄰的兩條圓弧形金屬線之間間隙的圓心角02為40° ,圓弧形金屬線5對應(yīng)的圓弧形金屬線的上邊沿所在的半徑與該圓極化器橫向邊界的夾角OI為22. 5°，至此基于人工結(jié)構(gòu)的圓極化器制作完成，其結(jié)構(gòu)俯視圖如圖4所示。利用本發(fā)明的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，通過時域有限差分法(FDTD)仿真結(jié)果如圖5所示，該圖中的縱坐標表示入射的線極化波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，橫坐標為頻率，圖中實線表示的是右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線，而虛線表示的是左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線，從圖中可以看出在3個諧振點處入射的線極化波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)有明顯的差異，這3個諧振點的頻率分別為13. 33GHz、15. 56GHz和16. 75GHZ。且在13. 33GHz處右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)明顯大于左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，在16. 75GHz處情況相同，而在15. 56GHz處左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)明顯大于右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，表明在線極化波正入射情況下，在13. 33GHz處出射波轉(zhuǎn)化為右旋圓極化波，在15. 56GHz處出射波為左旋圓極化波，在16. 75GHz處出射波為右旋圓極化波。通過這個種僅由每個周期包含3條圓弧形金屬線的周期性結(jié)構(gòu)就實現(xiàn)了將入射的線極化波轉(zhuǎn)換為具有不同旋向的圓極化波。如圖6所示，本發(fā)明實施例2，多頻圓極化器由3層矩形介質(zhì)基板(即η = 4)和每個周期4條圓弧形金屬線(即t = 4)，該發(fā)明實例中金屬線結(jié)構(gòu)采用覆銅線結(jié)構(gòu)，具體實現(xiàn)過程如下(I)選擇矩形介質(zhì)基板I型號為F4B，相對介電常數(shù)ε r為2. 55，每一張矩形介質(zhì)基板的高度h為I. 524mm。(2)確定圓極化器響應(yīng)的線極化波的入射方向垂直于矩形介質(zhì)基板所在的平面，極化電場方向平行于該圓極化器的縱向邊界方向，如圖7所示，圖中E、H和K分別表示入射電磁波的電場、磁場和波矢方向。(3)該多頻圓極化器包括一種3層矩形介質(zhì)基板，以及在3層矩形介質(zhì)基板上制作的橫向上和縱向上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)2，每個周期的4條圓弧形金屬線分別排布在3層矩形介質(zhì)基板的4個層面，從垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向看，這4條圓弧形金屬線組成一個同心圓的4個等分部分，4條圓弧形金屬線的寬度和對應(yīng)的圓心角都相同，且每兩條圓弧形金屬線之間的間隙對應(yīng)的圓心角也相同；具體制作過程如下首先利用傳統(tǒng)光刻工藝，在一張介電常數(shù)2. 55，厚度為I. 524mm的雙面覆銅的微波PCB板(型號F4B)正面金屬層上旋涂光刻膠、烘干固化、曝光、顯影、烘干堅膜、濕法腐蝕金屬層等步驟，在微波PCB板上制作出周期個數(shù)為6X6的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期單元包含I條圓弧形金屬線，結(jié)構(gòu)參數(shù)如圖7所示，形狀為圖7中的圓弧形金屬線3所示的形狀，將雙面覆銅PCB板的另一面的銅皮剝掉，使該PCB板僅有一面有銅；在一張介電常數(shù)2. 55，厚度為I. 524mm的雙面覆銅的微波PCB板(型號F4B)正面金屬層上旋涂光刻膠、烘干固化、曝光、顯影、烘干堅膜、濕法腐蝕金屬層等步驟，在微波PCB板上制作出周期個數(shù)為6 X 6的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期單元包含I條圓弧形金屬線，結(jié)構(gòu)參數(shù)如圖7所示，形狀為圖7中的圓弧形金屬線4所示的形狀，將雙面覆銅PCB板的另一面的銅皮剝掉，使該PCB板僅有一面有銅；在第三張相同的雙面覆銅PCB板上，通過旋涂光刻膠、烘干固化、曝光、顯影、烘干堅膜、濕法腐蝕金屬層等步驟，在微波PCB板的兩面同時制作出周期個數(shù)為6X6的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期單元包含2條圓弧形金屬線，結(jié)構(gòu)參數(shù)如圖7所示，形狀為圖7中的圓弧形金屬線5和圓弧形金屬線6所示的形狀，最后將制成的三張具有周期性 圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)的PCB板用半固化片粘合。本實例采取的參數(shù)尺寸為周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)的周期P為11. 5mm,圓弧形金屬線的外徑R為4. 75mm,圓弧形金屬線的寬度w為
O.85mm,每個圓弧形金屬線對應(yīng)的圓心角Θ為60。,相鄰的兩個圓弧形金屬線之間間隙的圓心角Φ2為30°，圓弧形金屬線3對應(yīng)的圓弧形金屬線的上邊沿所在的半徑與該圓極化器橫向邊界的夾角Φ1為35°。至此基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器制作完成，其結(jié)構(gòu)俯視圖如圖7所示。利用本發(fā)明的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，通過時域有限差分法(FDTD)仿真結(jié)果如圖8所示，圖8中的縱坐標表示入射的線極化波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，橫坐標為頻率，圖8中實線表示的是右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線，而虛線表示的是左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)曲線，從圖中可以看出在四個諧振點處入射的線極化波轉(zhuǎn)換為圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)有明顯的差異，這四個諧振點的頻率分別為15. 59GHz,16. 94GHz、18. 37GHz和18. 53GHz。且在15. 59GHz處右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)明顯大于左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，在18. 53GHz處情況相同，而在16. 94GHz和18. 37GHz處左旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)明顯大于右旋圓極化波的轉(zhuǎn)換系數(shù)，表明在線極化波正入射情況下，在15. 59GHz處出射波轉(zhuǎn)化為右旋圓極化波，在16. 94GHz和18. 37GHz處出射波為左旋圓極化波，在18. 53GHz處出射波為右旋圓極化波。這個由每個周期單元包含4條圓弧形金屬線的周期性結(jié)構(gòu)就實現(xiàn)了將入射的線極化波轉(zhuǎn)換為具有不同旋向的圓極化波。本發(fā)明未詳細闡述部分屬于本領(lǐng)域公知技術(shù)。顯然，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，參照上文所述的實施例還可能做出其它的實施方式。上文中的實施例都只是示例性的、而不是局限性的。所有的在本發(fā)明的權(quán)利要求技術(shù)方案的本質(zhì)之內(nèi)的修改都屬于其所要求保護的范圍。權(quán)利要求
1.一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，其特征在于包括一種n-1層矩形介質(zhì)基板(1)，以及在n-1層矩形介質(zhì)基板上制作的橫向上和縱向上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(2)，n彡3，n為整數(shù)；每個周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(2)包括t條圓弧形金屬線，t= n，t條圓弧形金屬線分別排布在n-1層矩形介質(zhì)基板的第1、2、…、n面，從垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向看，t條圓弧形金屬線組成一個同心圓的t個等分部分，t條圓弧形金屬線的寬度和對應(yīng)的圓心角9都相同，且每兩條圓弧形金屬線之間的間隙對應(yīng)的圓心角也相同；當(dāng)電場偏振方向平行與該圓極化器縱向邊界的線極化波沿著垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向入射時，該圓極化器可以在k個不同的頻點出將入射的線極化波轉(zhuǎn)化為具有不同旋向的圓極化透射波，k = to
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，其特征在于所述n-1層矩形介質(zhì)基板(I)為商用介質(zhì)基板，n-1層矩形介質(zhì)基板(I)的介電常數(shù)為er。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，其特征在于所述商用介質(zhì)基板包括型號為Taconic TLX或者F4B的介質(zhì)基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，其特征在于所述n-1層矩形介質(zhì)基板(I)中每層矩形介質(zhì)基板的厚度為h，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(2)的周期為P，P的取值范圍是2* A ml/5 4* X ml/5，其中\(zhòng) ml為所述多頻圓極化器工作的k個頻點中的最小頻率處對應(yīng)的等效波長，Aml =求，入w為最小工作頻率處對應(yīng)的真空中的波長，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(2)中每條圓弧形金屬線的外徑為R，R的取值范圍為Xml/4 Xml/2，周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)(2)每條圓弧形金屬線寬度w取值范圍為0. Imm Xml/4。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，其特征在于所述周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)⑵每條圓弧形金屬線所對應(yīng)的圓心角0的取值范圍為0° 彡 0 彡 360。/to
全文摘要
一種基于人工結(jié)構(gòu)的多頻圓極化器，包括一種n-1(n≥3，為整數(shù))層矩形介質(zhì)基板，以及在n-1層矩形介質(zhì)基板上制作的橫向上和縱向上的周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)，每個周期性圓弧形金屬線結(jié)構(gòu)包括t(t＝n)條圓弧形金屬線，t條圓弧形金屬線分別排布在n-1層矩形介質(zhì)基板的第1、2、…、n面，從垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向看，t條圓弧形金屬線組成一個同心圓的t個等分部分，t條圓弧形金屬線的寬度和對應(yīng)的圓心角θ都相同，且每兩條圓弧形金屬線之間的間隙對應(yīng)的圓心角也相同。當(dāng)電場偏振方向平行與該圓極化器縱向邊界的線極化波沿著垂直于矩形介質(zhì)基板所在平面的方向入射時，該圓極化器可以在k(k＝t)個不同的頻點出將入射的線極化波轉(zhuǎn)化為具有不同旋向的圓極化透射波。
文檔編號H01P1/17GK102629702SQ20121010578
公開日2012年8月8日 申請日期2012年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月12日
發(fā)明者馮沁, 羅先剛, 蒲明博, 馬曉亮, 黃成 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所