專利名稱：一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，屬于高功率激光器應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
近年來(lái)由于半導(dǎo)體激光的迅速發(fā)展，使半導(dǎo)體激光泵浦的全固態(tài)激光器加工設(shè)備所占的市場(chǎng)份額越來(lái)越大，據(jù)預(yù)測(cè)，全球需求量以每年20%以上的速度增長(zhǎng)，全固態(tài)激光器體積小、效率高、壽命長(zhǎng)、光束質(zhì)量好、可實(shí)現(xiàn)柔性加工，其優(yōu)勢(shì)明顯，已成為激光加工領(lǐng)域的主流發(fā)展方向，其典型代表有光纖激光器、碟片激光器與棒狀激光器。濕氣、粉塵等對(duì)激光器光學(xué)元器件的污染會(huì)嚴(yán)重影響激光器的穩(wěn)定性和可靠性， 因此全固態(tài)激光器對(duì)應(yīng)用環(huán)境的低濕度、低粉塵、低油污等的高度要求，嚴(yán)重制約了其在エ 業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用，為保證激光器穩(wěn)定、安全地運(yùn)行，目前激光器普遍采用的除濕干燥方法是 I、激光器應(yīng)用于超凈間實(shí)驗(yàn)室，未成為エ業(yè)車間應(yīng)用產(chǎn)品；2、在應(yīng)用車間搭建滿足激光器運(yùn)行要求的潔凈間；3、對(duì)激光器機(jī)殼進(jìn)行密封隔離，然后在激光器中存放干燥劑，適時(shí)更換干燥劑；4、往激光器諧振腔充入N2?，F(xiàn)有激光器除濕干燥及粉塵隔離措施的主要缺點(diǎn)在干超凈實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的實(shí)驗(yàn)產(chǎn)品無(wú)法走出實(shí)驗(yàn)室，在エ業(yè)環(huán)境應(yīng)用；I、在エ業(yè)車間建立潔凈室，加大了應(yīng)用成本和激光器運(yùn)行的不便利性；2、在激光器中存放干燥劑治標(biāo)不治本，不停地更換干燥劑亦帶來(lái)不便和成本増加；同時(shí)，在濕度常年高達(dá)80%的應(yīng)用環(huán)境亦達(dá)不到干燥要求；3、雖然充N2的方法在一定的程度上保證了除濕效果，但是由于激光器機(jī)柜無(wú)法做到嚴(yán)格氣密，故造成N2用量極大，成本增加。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)以上不足，本發(fā)明的目的在于提供一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室和第二密封室，形成雙層氣密封保護(hù)，做到激光器光路、光學(xué)元件與外部環(huán)境的隔離；充隊(duì)快速除濕，N2經(jīng)進(jìn)氣孔進(jìn)入第一密封室，向第二密封室排出，形成單向氣流，達(dá)到更快更好的除濕效果。本發(fā)明的技術(shù)方案是通過以下方式實(shí)現(xiàn)的一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室和第二密封室，第一密封室包括放置激光模塊和部分光學(xué)元器件的密封盒I、II、III、IV，各密封盒之間通過管路串聯(lián)N2導(dǎo)氣管密封軟連接，第二密封室包含第一密封室、光學(xué)鏡片和鏡架，兩側(cè)面安裝恒溫除濕主機(jī)，其中ー側(cè)面開ー進(jìn)氣孔，N2進(jìn)氣分兩路，一路與第一密封室的進(jìn)氣孔相連，經(jīng)電磁閥I控制向密封盒I充氣，另一路直接通過電磁閥II向第二密封室充氣，其特征在于所述的第一密封室和第二密封室內(nèi)均設(shè)有溫濕度檢測(cè)傳感器，由激光器的控制系統(tǒng)自動(dòng)控制N2的開啟和關(guān)閉。所述的第一個(gè)密封盒I中開有進(jìn)氣孔，最后ー個(gè)密封盒IV開設(shè)有出氣孔，出氣孔前安裝有自動(dòng)泄壓閥。
所述的第二密封室與其進(jìn)氣孔相對(duì)應(yīng)開一帯有自動(dòng)泄壓閥的出氣孔，形成單向氣流方向。本發(fā)明，第一、第二密封室形成雙層氣密封保護(hù)，做到激光器光路、光學(xué)元件與外部環(huán)境的隔離；嚴(yán)格的氣密封設(shè)計(jì)，IP67等級(jí)密封，使激光器內(nèi)部與外部隔離，無(wú)需建立超凈車間或無(wú)塵、低濕環(huán)境，提高了激光器對(duì)エ業(yè)環(huán)境的適應(yīng)性，保證了激光器穩(wěn)定、可靠、安全地運(yùn)行；不用干燥劑等需要更換的除濕措施，更節(jié)約成本；恒溫除濕主機(jī)結(jié)合N2的干燥方案和自動(dòng)控制N2開啟/關(guān)閉的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)快速除濕、長(zhǎng)期干燥的效果，同時(shí)節(jié)約N2用量， 降低應(yīng)用成本；在激光器運(yùn)行期間，激光器內(nèi)部濕度能快速(約10分鐘)達(dá)到D%以內(nèi)，D% 為可設(shè)定值，最佳可達(dá)到10 %以內(nèi)，激光器內(nèi)部溫度能保持20 ± 2°C的狀態(tài)。


圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖I所示，一種高功率激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室6和第二密封室
I。第一密封室6包括放置激光模塊和部分光學(xué)元器件的密封盒17、118、1119、IOIV ;第二密封室I包括第一密封室6、光學(xué)鏡片和鏡架16、恒溫除濕主機(jī)14。第二密封室I側(cè)面開一進(jìn)氣孔2，N2進(jìn)入第二密封室I經(jīng)氣壓調(diào)節(jié)及壓カ檢測(cè)器3，分成兩路，一路經(jīng)電磁閥115控制直接進(jìn)入第二密封室，另一路經(jīng)電磁閥14、控制進(jìn)入密封盒17，從密封盒7的另一端出來(lái)進(jìn)入密封盒118，依次串聯(lián)至密封盒1119，密封盒IVlO開ー帶有自動(dòng)泄壓閥11的出氣孔， 向第二密封室I排氣，第二密封室I與其進(jìn)氣孔2相對(duì)應(yīng)開一帯有自動(dòng)泄壓閥11的出氣孔， 從而形成單向氣流方向，如圖I中所示箭頭指向。第二密封室兩側(cè)安裝恒溫除濕主機(jī)14，恒溫除濕主機(jī)利用激光器自身的水冷系統(tǒng)，根據(jù)冷凝除濕的原理，從第二密封室I吸收空氣，冷凝除濕后，向第二密封室I排出恒溫干燥的氣體，達(dá)到長(zhǎng)期恒溫除濕的效果。溫濕度傳感器12分別安裝在最后ー個(gè)密封盒IVlO內(nèi)和第二密封室I內(nèi)，實(shí)時(shí)監(jiān)控溫濕度，N2的控制系統(tǒng)由電磁閥14、115和控制程序組成，與恒溫除濕主機(jī)控制系統(tǒng)一同集成于激光器的控制系統(tǒng)內(nèi)，當(dāng)?shù)诙芊馐襂內(nèi)溫度在20°C時(shí)，如果濕度H大于C%時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警，并禁止激光器出光等操作，當(dāng)濕度小于A%但大于吋，控制系統(tǒng)自動(dòng)開啟電磁閥，往密封室注入N2,當(dāng)濕度由A%下降到B%以下時(shí)，電磁閥關(guān)閉N2,當(dāng)濕度在A%與 B%之間時(shí)，電磁閥保持前一種狀態(tài)(開啟或關(guān)閉)，其中C%> A%> B%，A、B、C值的根據(jù)溫度濕度凝露對(duì)照表和激光器自身對(duì)濕度的要求來(lái)確定。本發(fā)明方法A、B、C可達(dá)到的最佳狀態(tài)值分別為10、15、20。激光器各連接處的密封要求達(dá)到IP67的密封等級(jí)。由于以上的氣密措施和控制措施，使得激光器內(nèi)部與外部環(huán)境有一個(gè)相對(duì)隔離的效果，只需N2瓶和供電，激光器即可進(jìn)行快速除濕，并長(zhǎng)期保持機(jī)內(nèi)干燥程度。這樣，激光器本身就形成了ー個(gè)自身潔凈環(huán)境，不需為激光器特設(shè)機(jī)房，節(jié)約了應(yīng)用成本，也增強(qiáng)了激光器對(duì)車間環(huán)境的適應(yīng)性和使用靈活性，大大提高全固態(tài)激光器的ェ業(yè)應(yīng)用程度。
權(quán)利要求
1.一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室(6)和第二密封室(I)，第一密封室(6)包括放置激光模塊和部分光學(xué)元器件的密封盒I (7)、II (8)、III (9)、 IV(IO)，各密封盒之間通過管路串聯(lián)N2導(dǎo)氣管密封軟連接，第二密封室(I)包含第一密封室(6)、光學(xué)鏡片和鏡架(16)，兩側(cè)面安裝恒溫除濕主機(jī)(14)，其中一側(cè)面開一進(jìn)氣孔(2)， N2進(jìn)氣分兩路，一路與第一密封室￠)的進(jìn)氣孔(2)相連，經(jīng)電磁閥1(4)控制向密封盒 1(7)充氣，另一路直接通過電磁閥11(5)向第二密封室(I)充氣，其特征在于所述的第一密封室(6)和第二密封室(I)內(nèi)均設(shè)有溫濕度檢測(cè)傳感器(12)，由激光器的控制系統(tǒng)自動(dòng)控制N2的開啟和關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，所述的第一個(gè)密封盒I (7)中開有進(jìn)氣孔，最后ー個(gè)密封盒IV(IO)開設(shè)有出氣孔，出氣孔前安裝有自動(dòng)泄壓閥(11)。
3.一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，所述的第二密封室(I)與其進(jìn)氣孔(2) 相對(duì)應(yīng)開ー帶有自動(dòng)泄壓閥(11)的出氣孔，形成單向氣流方向。
全文摘要
一種高功率全固態(tài)激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室(6)和第二密封室(1)，第一密封室(6)包括放置激光模塊和部分光學(xué)元器件的密封盒I(7)、II(8)、III(9)、IV(10)，各密封盒之間通過管路串聯(lián)N2導(dǎo)氣管密封軟連接，第二密封室(1)包含第一密封室(6)、光學(xué)鏡片和鏡架(16)，兩側(cè)面安裝恒溫除濕主機(jī)(14)，其特征在于所述的第一密封室(6)和第二密封室(1)內(nèi)均設(shè)有溫濕度檢測(cè)傳感器(12)，由激光器的控制系統(tǒng)自動(dòng)控制N2的開啟和關(guān)閉。本發(fā)明，第一、第二密封室形成雙層氣密封保護(hù)，IP67等級(jí)密封，恒溫除濕主機(jī)結(jié)合N2的干燥方案和自動(dòng)控制N2開啟/關(guān)閉的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)快速除濕、長(zhǎng)期干燥的效果，同時(shí)節(jié)約N2用量，降低應(yīng)用成本。
文檔編號(hào)H01S3/02GK102610984SQ20121007490
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者侯瑋, 農(nóng)光壹, 林培晨, 林學(xué)春, 趙鵬飛 申請(qǐng)人:江蘇中科四象激光科技有限公司