專利名稱：太陽能電池模塊及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及太陽能電池模塊及其制造方法。
背景技術：
太陽能電池模塊一般從受光面?zhèn)纫来尉哂型腹庑圆考?、受光面?zhèn)让芊饧?、太陽能電池組列、非受光面?zhèn)让芊饧?、非受光面?zhèn)缺Ｗo件。尤其太陽能電池組列為用內部引線連接直線狀排列的多個太陽能電池元件的母線電極彼此的部件。太陽能電池模塊根據用途有各種結構。例如如日本特開2003-97000號公報所示那樣，公開了配置于屋面瓦上的太陽能電池模塊及與屋面瓦調換配置的太陽能電池模塊
坐·寸ο這樣的太陽能電池模塊由于設置于與住宅的瓦材調換的有限的空間，所以受光面的設計的自由度低。因此，除了具有能夠承擔積雪負荷及風壓負荷的高強度以外，需要進一步提高有限的受光面的太陽能電池元件的填充率。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種在提高太陽能電池元件所占太陽能電池模塊的面積比例的同時具有高強度的太陽能電池模塊及其制造方法。本發(fā)明的一實施方式涉及的太陽能電池模塊具有太陽能電池組列，其具有多個太陽能電池元件及配線件，所述太陽能電池元件具有長方形狀的第一主面和在該第一主面上沿著長邊方向延伸的第一母線電極，所述配線件沿著所述第一主面的長邊方向連接相鄰的所述太陽能電池元件；長方形狀的透光性部件，其以覆蓋所述太陽能電池組列的方式與所述第一主面大致平行配置；密封件，其配置于所述太陽能電池組列和所述透光性部件之間。所述多個太陽能電池元件分別具有硅基板，所述硅基板具有所述第一主面、位于該第一主面的背面的第二主面、連接所述第一主面和所述第二主面的第一側面、及位于該第一側面的背面且連接所述第一主面和所述第二主面的第二側面。所述第一側面及所述第二側面沿所述第一主面的長邊方向配置，在所述第一側面硅露出，并且所述第二側面用絕緣層覆
至JHL ο根據上述的太陽能電池模塊，能夠提高太陽能電池模塊中的太陽能電池元件的填充率而增大發(fā)電量，并且能夠得到對抗外力的高強度。


圖I是表示使用于本發(fā)明的第一實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的一實施方式的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從非受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(C)是圖1(a)的A-A’剖視圖，(d)是圖1(a)的B-B，剖視圖。圖2是表示分割成圖I所示的太陽能電池元件之前的太陽能電池元件的母基板(太陽能電池元件集合體)的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從非受光面?zhèn)扔^察的俯視圖。圖3是說明形成圖I所示的太陽能電池元件的方法的圖面，(a)及(b)分別是圖2(a)的C-C’剖視圖。圖4是本發(fā)明的第一實施方式涉及的太陽能電池模塊的圖面，(a)表示從受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是圖4(a)的D-D’剖視圖，(C)是圖4(b)的局部放大圖。圖5是表示在圖4所示的太陽能電池模塊設置框體的狀態(tài)的圖，(a)是上表面圖，(b)是俯視圖，(C)是右側視圖，(d)是左側視圖，(e)是下表面圖，(d)是背面圖。圖6(a)是使用于本發(fā)明的第二實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的剖視圖，(b)是使用于本發(fā)明的第四實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的剖視圖。圖7是表示使用于本發(fā)明的第三實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察的太陽能電池元件的母基板(太陽能電池元件集合體)·的俯視圖，(b)是從受光面?zhèn)扔^察從圖7(a)的母基板(太陽能電池元件集合體)得到的太陽能電池元件的俯視圖。圖8是表示使用于本發(fā)明的第五實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察太陽能電池元件的俯視圖，(b)是從非受光面?zhèn)扔^察太陽能電池元件的俯視圖，(C)是圖8(a)的E-E’剖視圖。圖9是表示使用于本發(fā)明的第五實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件的變形例的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察第一變形例涉及的太陽能電池元件的俯視圖，(b)是從非受光面?zhèn)扔^察第一變形例涉及的太陽能電池元件的俯視圖，(C)是圖9(a)的F-F’剖視圖。(d)是從非受光面?zhèn)扔^察第二變形例涉及的太陽能電池元件的俯視圖。圖10是本發(fā)明的第五實施方式涉及的太陽能電池模塊的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是圖10(a)的G-G’剖視圖。圖11是表示本發(fā)明的第六實施方式涉及的太陽能電池模塊的層疊結構的分解立體圖。圖12是表示本發(fā)明的第六實施方式涉及的太陽能電池模塊的圖面，(a)是從受光面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是圖12(a)的H-H’剖視圖。圖13是使用于本發(fā)明的第六實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池組列的局部放大俯視圖，(b)是表示使用于本發(fā)明的第六實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池組列的變形例的局部放大俯視圖。圖14是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的太陽能電池元件集合體的圖，(a)是從第一主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從第二主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(C)是圖14(a)的J-J’剖視圖。圖15是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的太陽能電池元件集合體的另一例的圖，(a)是從第一主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從第二主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(C)是圖15(a)的K-K’剖視圖。圖16是表示用本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法制造的太陽能電池模塊的圖，(a)是截面示意圖，(b)是從第一主面?zhèn)扔^察的俯視圖。圖17是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的多個太陽能電池組列的集合體的一部分的圖，(a)是從第一主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從第二主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(C)是圖17(a)的L-L’剖視圖。圖18是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的激光裝置的一例的示意圖。圖19是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的太陽能電池組列的一部分的圖，(a)是從第一主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(b)是從第二主面?zhèn)扔^察的俯視圖，(C)是圖19(a)的M-M’剖視圖。圖20是表示使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的太陽能電池元件集合體的截面示意圖。圖21是從第二主面?zhèn)扔^察使用于本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法的太陽能電池組列的一部分的俯視圖。圖22是使用了本發(fā)明的第一實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池陣列·的立體圖。
具體實施例方式〈太陽能電池模塊〉(第一實施方式)以下，參照圖I 圖5對本發(fā)明的第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101進行詳細說明。第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101如圖4所示那樣，具有透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、多個太陽能電池組列16、非受光面?zhèn)让芊饧?4b及非受光面?zhèn)缺Ｗo件
15。在太陽能電池模塊101中，透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、太陽能電池組列16、非受光面?zhèn)让芊饧?4b及非受光面?zhèn)缺Ｗo件15依次層疊。此時，太陽能電池組列16具有串聯(lián)連接的多個太陽能電池元件201。在本實施方式中，如圖4所示那樣，太陽能電池模塊101的外形為長方形。這樣形狀的太陽能電池模塊101例如在作為建筑一體型太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)使用的情況下，能夠與3塊 6塊左右的瓦調換使用。該太陽能電池模塊101例如如圖5所示那樣，被設置成在該太陽能電池模塊101的周圍安裝框體26。需要說明的是，例如在將太陽能電池模塊101使用于建筑一體型太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)的情況下，框體26可具有能夠與屋檐側、屋脊側及左右鄰接的太陽能電池模塊101的框體26 —同防水的結構。首先，對太陽能電池模塊101的各部件進行說明。透光性部件13為長方形，以覆蓋太陽能電池組列16的方式配置于受光面?zhèn)?。并且，透光性部?3具有從外部保護太陽能電池元件201的功能。需要說明的是，透光性部件13只要為能夠使光向太陽能電池元件201入射的部件即可，材料并不特別限定。作為透光性部件13的材料，例如能夠使用超白玻璃、鋼化玻璃及熱反射玻璃等玻璃或聚碳酸酯樹脂等光透射率高的材料。受光面?zhèn)让芊饧?4a配置于透光性部件13和太陽能電池組列16之間。非受光面?zhèn)让芊饧?4b配置于太陽能電池組列16和非受光面?zhèn)缺Ｗo件15之間。受光面?zhèn)让芊饧?4a及非受光面?zhèn)让芊饧?4b具有密封太陽能電池元件201的功能。作為這些受光面?zhèn)让芊饧?4a及非受光面?zhèn)让芊饧?4b，例如能夠使用以乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)或聚乙烯醇縮丁醛(PVB)為主成分并用擠出機形成厚度O. 4 Imm左右的板狀的成形體。另外，受光面?zhèn)让芊饧?4a及非受光面?zhèn)让芊饧?4b可以含有交聯(lián)劑。在該情況下，通過在期望的位置配置成為密封件的板狀的成形體后進行熱處理，能夠使受光面?zhèn)让芊饧?4a及非受光面?zhèn)让芊饧?4b固化。非受光面?zhèn)缺Ｗo件15具有保護非受光面?zhèn)让芊饧?4b的功能。作為非受光面?zhèn)缺Ｗo件15的材料，例如能夠使用聚氟乙烯(PVF)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或層疊了它們的兩種以上的樹脂。太陽能電池元件201具有將入射的太陽光轉換成電的功能。如圖I所示那樣，在太 陽能電池元件201的受光面4和非受光面5分別設置受光面?zhèn)饶妇€電極(第一母線電極)9及非受光面?zhèn)饶妇€電極(第二母線電極)10。在此，在本實施方式中，受光面4為第一主面，非受光面5成為第二主面。另外，太陽能電池元件201的外形為具有長邊和短邊的長方形，長邊與受光面?zhèn)饶妇€電極9大致平行。關于太陽能電池元件201的大小，例如若為多晶硅，則能夠設為長邊約120 200mm左右，短邊60 IOOmm左右。需要說明的是，本說明書中的“大致平行”的記載為表示實質上平行的狀態(tài)的記載。同樣，“大致垂直”的記載為表示實質上垂直的狀態(tài)的記載。以下，參照圖面，對使用于太陽能電池模塊101的太陽能電池元件201進行更加詳細說明。太陽能電池元件201如圖I所示那樣為具有長邊和短邊的大致長方形。太陽能電池元件201具有硅基板3、反向導電型層6及絕緣層7。硅基板3具有作為光入射側的主面的受光面4及位于該受光面4的背面的非受光面5。反向導電型層6作為硅基板3的受光面4側的表層設置。絕緣層7設置于硅基板3的受光面4側，在本實施方式中，設置于反向導電型層6上。并且,娃基板3除了受光面4和非受光面5之外,還具有第一側面8a、第二側面8b、第三側面8c及第四側面8d。第一側面8a為連接受光面4和非受光面5且沿受光面4的長邊的側面，第二側面8b為位于第一側面8a的相反側(背側)且連接受光面4和非受光面5并且沿受光面4的長邊的側面。并且，第三側面Sc及第四側面8d為硅基板3的側面中的第一側面8a和第二側面8b以外的側面，與第一側面8a及第二側面8b大致正交。需要說明的是，在本實施方式中，第一側面8a可以為如后述那樣通過分割母基板(太陽能電池元件集合體)而新形成的面。太陽能電池元件201具有設置于硅基板3的受光面4側的受光面?zhèn)饶妇€電極(第一母線電極)9及第一集電電極(第一指狀電極)12、設置于娃基板3的非受光面5側的非受光面?zhèn)饶妇€電極(第二母線電極)10及第二集電電極11。接著，對上述的太陽能電池元件201的各結構進行說明。作為硅基板3，能夠使用具有規(guī)定的摻雜元素(導電型控制用的雜質)而呈現一導電型(例如P型)的單晶娃基板或多晶娃基板等晶體娃基板。娃基板3的厚度例如能夠設為250 μ m以下，進而能夠設為150 μ m以下。硅基板3的形狀并不特別限定，如本實施方式那樣，可以為四邊形狀。在該情況下，能夠實現制法的簡略化。在本實施方式中，作為硅基板3，能夠使用呈現P型導電型的晶體硅基板。在使由晶體硅基板構成的硅基板3呈現P型的情況下，作為摻雜元素，例如能夠使用硼或鎵。反向導電型層6為呈現與硅基板3相反的導電型的層，作為硅基板3的受光面4側的表層形成。在硅基板3為呈現P型導電型的晶體硅基板的情況下，反向導電型層6呈現η型導電型。另一方面，在硅基板3為呈現η型導電型的晶體硅基板的情況下，反向導電型層6呈現P型導電型。并且，在P型導電型的區(qū)域和η型導電型的區(qū)域之間形成ρη結區(qū)域。若硅基板3為呈現P型導電型的硅基板，則這樣的反向導電型層6例如能夠通過向晶體硅基板的受光面擴散磷等雜質而形成。絕緣層7為設置于受光面4側的絕緣性的薄膜。就絕緣層7而言，可以使其具有使期望的波長區(qū)域的光的反射率降低而使光生成載流子量增大，從而使太陽能電池元件201的光電流密度Isc提高的功能。作為絕緣層7，例如能夠使用SiN膜、TiO2膜、SiO2膜等。這樣的絕緣膜 7 例如能夠使用 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition :等離子體化學氣相生長法)法、蒸鍍法、濺射法等而形成。例如，若為用PECVD法形成由SiN膜構成的絕緣膜7的情況，則通過將反應室內設為500°C左右且用輝光放電分解使用氮(N2)稀釋的硅烷(Si3H4)和氨(NH3)的混合氣體等離子體化并且積沉而形成絕緣層7。絕緣層7·的厚度能夠根據材料適宜選擇，可設為對適當的入射光能夠實現無反射條件的厚度。例如，能夠將絕緣層7的折射率設為I. 8 2. 3左右，將厚度設為5()() 1200/\左右。并且，在本實施方式中，第二側面8b用絕緣層7覆蓋。另一方面，在第一側面8a硅露出。需要說明的是，也可以在第三側面8c及第四側面8d形成絕緣層7。作為向各側面形成絕緣層7的方法，能夠在對硅基板3的第二側面8b、第三側面8c及第四側面8d什么也不覆蓋的狀態(tài)下如上述那樣用PECVD法形成。需要說明的是，在此所說的“硅露出”是指未形成其他的絕緣層等而實質上硅露出的狀態(tài)，也包括形成了自然氧化膜的狀態(tài)的表面。另外，太陽能電池元件201如圖I所示那樣，在硅基板3的非受光面5側的表層部形成了呈現P+的BSF區(qū)域21。該BSF區(qū)域21具有在硅基板3的非受光面5附近使由于載流子的復合而引起的效率降低減少的功能，為在硅基板3的非受光面5側形成內部電場的區(qū)域。接著，對設置于太陽能電池元件201的電極進行說明。配置于太陽能電池元件201的受光面4側的電極如圖I所示那樣，具有受光面?zhèn)饶妇€電極9(第一母線電極)和多個線狀的第一指狀電極12。受光面?zhèn)饶妇€電極9的至少一部分與第一指狀電極12交叉。該受光面?zhèn)饶妇€電極9例如具有I. 3mm 2. 5_左右的寬度。另一方面，第一指狀電極12例如可以具有50 200 μ m左右的寬度。如此，第一指狀電極12的寬度比受光面?zhèn)饶妇€電極9的寬度小。另外，第一指狀電極12相互隔開I. 5mm 3_左右的間隔設置多個。這樣的受光面?zhèn)饶妇€電極9及第一指狀電極12的厚度能夠設為10 40μπι左右。受光面?zhèn)饶妇€電極9及第一指狀電極12例如能夠通過在用網板印刷等將銀那樣的導電性金屬涂敷成期望的形狀后燒成而形成。配置于太陽能電池元件201的非受光面4側的電極如圖I所示那樣，具有非受光面?zhèn)饶妇€電極10 (第二母線電極)和第二集電電極11。能夠將非受光面?zhèn)饶妇€電極10的厚度設為ΙΟμπι 30 μ m左右，寬度設為I. 3mm 7mm左右。非受光面?zhèn)饶妇€電極10能夠用與上述的受光面?zhèn)饶妇€電極9同等的材質及制法形成。另外，第二集電電極11的厚度為15μ m 50 μ m左右，第二集電電極11形成于除去形成了非受光面?zhèn)饶妇€電極10的區(qū)域等一部分的硅基板3的非受光面5側的大致整個面。該第二集電電極11例如能夠通過在將鋁膏劑涂敷成期望的形狀后燒成而形成。太陽能電池組列16具有上述的多個太陽能電池元件201和連接相鄰的太陽能電池元件201彼此的內部引線17 (配線件)。內部引線17例如能夠使用通過焊料將厚度O. Imm O. 2mm左右、寬度Imm 2mm左右的銅箔的整個面被覆的引線。內部引線17焊接于太陽能電池元件201的受光面?zhèn)饶妇€電極9和非受光面?zhèn)饶妇€電極10上。在圖4中，一條內部引線17的一端連接于一個太陽能電池元件201的受光面4的受光面?zhèn)饶妇€電極9，另一端連接于鄰接的另一個太陽能電 池元件201的非受光面5的非受光面?zhèn)饶妇€電極10。由此，內部引線17電連接鄰接的兩個太陽能電池元件201之間。此時，如圖4(c)所示那樣，內部引線17的一端側區(qū)域沿一個太陽能電池元件201的受光面?zhèn)饶妇€電極9的長度方向配置，其另一端側區(qū)域沿另一個太陽能電池元件201的非受光面?zhèn)饶妇€電極10的長度方向配置。由此，如圖4(a)所示那樣，太陽能電池組列16的長度方向和太陽能電池元件201的長度方向與內部引線17的長度方向大致平行。如此，本實施方式的太陽能電池模塊101具有形成上述的電極的連接配置的太陽能電池組列16。由此，如圖4(c)所示那樣，在從受光面4側俯視太陽能電池組列16時，內部引線17以與太陽能電池元件201的第三側面Sc及第四側面8d正交且與第一側面8a大致平行的方式配置。并且，如圖4(a)所示那樣，在太陽能電池模塊101中，在與太陽能電池組列16的長度方向正交的方向排列多個太陽能電池組列16。并且，在與太陽能電池組列16的長度方向正交的方向，用連接部件24電連接鄰接的太陽能電池組列16彼此。在本實施方式的太陽能電池模塊101中，如圖4(a)所示那樣，太陽能電池模塊101與太陽能電池組列16的長度方向一致。由此，能夠在太陽能電池模塊101的短邊側Ia配置連接部件24，因此配置連接部件24所需要的面積小，從而能夠提高在受光面積中所占有的有效受光面積。另外，由于配置太陽能電池元件201的自由度提高也能夠實現太陽能電池兀件201的填充率的提聞，因此能夠提聞在太陽能電池|旲塊101的受:光面積中所占有的有效受光面積。圖22表示將具有被架臺支承的本實施方式的太陽能電池模塊101的太陽能電池陣列301設置于屋頂(被設置面81)的狀態(tài)的圖。如此，在使用本實施方式涉及的太陽能電池模塊101的情況下，模塊101的長邊、太陽能電池元件201的長邊及第一母線電極9的長度方向均與檐脊方向垂直。其結果是，成為與瓦的行列協(xié)調的太陽能電池陣列301，從而美觀性提高。進而，尤其在如此與如圖22所示那樣的瓦調換而使用的瓦用太陽能電池模塊中，太陽能電池模塊的外圍尺寸被限制于固定的范圍。在圖4(a)所示的本實施方式涉及的太陽能電池模塊101中，太陽能電池模塊101的寬度方向和太陽能電池元件201的寬度方向一致。由此，如上述那樣配置太陽能電池元件201的自由度提高，從而能夠提高在太陽能電池模塊101的受光面積中所占有的有效受光面積的比例而增加發(fā)電量。因此，太陽能電池模塊101尤其能夠作為如上述那樣在外形尺寸等有限制的瓦用太陽能電池模塊而適宜使用。
進而，在太陽能電池模塊101中，沿太陽能電池元件201的長度方向配置內部引線17，用焊接固定。由此，太陽能電池元件201沿長度方向被增強，因此能夠提高對抗太陽能電池元件201向長度方向彎曲的強度。由此，減少產生于太陽能電池元件201的裂紋，容易產生彎曲的長方形的太陽能電池元件201的長度方向的強度得以提高。其結果是，能夠提高太陽能電池模塊101的強度和可靠性。并且，如圖1(c)所示那樣，在太陽能電池元件201的第一側面8a，硅基板3露出，并且第二側面8b用絕緣層7覆蓋。并且，在具有如此的太陽能電池元件201的本實施方式中，如圖4(a)及圖4(c)所示那樣，在從受光面?zhèn)雀┮曁柲茈姵亟M列16時，內部引線17以與太陽能電池元件201的第三側面Sc及第四側面8d正交交叉且與第一側面8a大致平行的方式配置。此時，第三側面8c及第四側面8d用絕緣層7覆蓋。由此，即使在將太陽能電池元件201之間的間隔形成得較窄而內部引線17與太陽能電池元件201的側面接觸的情況下，也能夠減少內部引線17與太陽能電池元件201的正極和負極連接而短路的情況。由此，能夠較密地配置太陽能電池元件201，提高太陽能電池元件201的向受光面的填充率，從而提高太陽能電池模塊101的發(fā)電量。
·
另外，在太陽能電池模塊101中，連接太陽能電池元件201的配線路徑的往返次數少，即，用連接部件24連接的部位少。因此，能夠減少由于焊料接合的剝離等而引起的故障率，從而提高可靠性。如以上那樣，在本實施方式中，通過各部件的長度方向大致平行地配置且太陽能電池元件201具有硅露出的第一側面8a及用絕緣層7覆蓋的第二側面Sb，能夠提高太陽能電池模塊101中的太陽能電池元件201的填充率，從而得到對抗外力的高強度。另外，在本實施方式中，如圖4(a)所示那樣，太陽能電池組列16的多個太陽能電池元件201的第二側面8b朝向相同方向排列。并且此時多個太陽能電池元件201的第二側面8b被配置成位于同一平面內。通過如此配置，能夠在形成太陽能電池組列16時以第二側面8b作為基準面排列太陽能電池元件201。由此，如后述那樣在分割大型的太陽能電池元件而形成太陽能電池元件201的情況下，能夠減少太陽能電池元件201的分割部分的形狀不均對排列工序的影響，從而在一直線上精度良好地排列受光面?zhèn)饶妇€電極9和非受光面?zhèn)饶妇€電極10。其結果是，如本實施方式那樣在兩個面具有電極的方式中，能夠減少由于在內部引線17從規(guī)定的位置偏離的狀態(tài)下焊接而使太陽能電池元件201的發(fā)電區(qū)域減少所引起的太陽能電池模塊101的發(fā)電量降低的情況。進而，在本實施方式中，第一指狀電極12的兩端中的位于第一側面8a側的第一端部達到第一側面8a，位于第二側面Sb側的第二端部離開第二側面Sb。進而，太陽能電池模塊101具有多個太陽能電池組列16。具體而言，在本實施方式中，如圖4(a)所示那樣，太陽能電池模塊101具有三個太陽能電池組列16。在此，在圖4(a)中，將位于上方的太陽能電池組列16設為第一太陽能電池組列16A，將與該第一太陽能電池組列16A鄰接的太陽能電池組列16設為第二太陽能電池組列16B。此時，第一太陽能電池組列16A的多個太陽能電池元件201的第一側面8a被配置成位于第一面內，第二太陽能電池組列16B的多個太陽能電池元件201的第二側面8b被配置成位于第二面內。并且，該第二面被配置成為與第一面平行且與第一面對置。換言之，在這樣的配置中，第一太陽能電池組列16A的太陽能電池元件201的第一側面8a與第二太陽能電池組列16B的太陽能電池元件201的第二側面8b對置配置。由此，在鄰接的太陽能電池組列16中，硅露出的第一側面8a與用絕緣層7覆蓋的第二側面Sb對置配置。因此，能夠將第一太陽能電池組列16A和第二太陽能電池組列16B的間隔形成得較窄，從而能夠提高太陽能電池元件201的向受光面的填充率，進一步提高太陽能電池模塊101的發(fā)電量。使用于上述太陽能電池模塊101的太陽能電池元件201能夠用各種方法形成。作為該形成方法的一例，以下，參照圖面對分割大型的太陽能電池元件(以下，稱為太陽能電池元件的母基板50或太陽能電池元件集合體50)而形成太陽能電池元件201的方法進行詳細說明。太陽能電池元件的母基板50如圖2所示那樣為分割成太陽能電池元件201之前的基板，具有包括多個太陽能電池元件201的結構。例如，如圖2所示那樣，太陽能電池元件的母基板50具有絕緣層7、受光面?zhèn)饶妇€電極9、第一指狀電極12、非受光面?zhèn)饶妇€電極 10及第二集電電極11。該母基板50也能夠作為太陽能電池元件使用。以下說明分割太陽能電池元件的母基板50而形成太陽能電池元件201的方法。首先，在太陽能電池元件的母基板50的受光面4上沿期望的分割線照射激光，如圖3(a)所示那樣，在受光面4形成分割槽23。作為使用的激光，例如能夠使用YAG激光。作為激光條件，可以設為波長1.06 μ m、輸出IOW 30W、束發(fā)散角I 5mrad、掃描速度50 300mm/s。分割槽23的深度例如能夠設為硅基板3的厚度的25%以上。由此，能夠沿分割槽23容易地分割太陽能電池元件的母基板50。并且，如圖3 (b)所示那樣，通過對形成了分割槽23的太陽能電池元件的母基板50施加外力，能夠沿分割槽23分割太陽能電池元件的母基板50。由此，能夠形成太陽能電池元件201。能夠將由這樣的分割而形成的太陽能電池元件201的側面設為上述的第一側面8a。此時,太陽能電池元件201的其他側面為第二側面8b、第三側面8c、第四側面8d。如此，通過分割太陽能電池元件的母基板50而形成太陽能電池元件201，如圖I (c)所示那樣，在第一側面8a中，硅基板3及反向導電型層6、BSF區(qū)域21、第二集電電極11等的截面露出，在其他的側面中，配置絕緣層7。即，用這樣的形成方法能夠形成具有上述的硅露出的第一側面8a及用絕緣層7覆蓋的第二側面Sb的太陽能電池元件201。(第二實施方式)其次，參照圖6(a)對本發(fā)明的第二實施方式涉及的太陽能電池模塊102進行說明。需要說明的是，在圖6(a)中，對與上述圖1(c)相同的結構部分標注相同的符號而省略說明。對后述的其他的實施方式的說明也同樣。本實施方式涉及的太陽能電池模塊102在太陽能電池元件202的受光面?zhèn)饶妇€電極(第一母線電極)10的配置位置方面與第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101不同。更加具體而言，在本實施方式中，如圖6(a)所示那樣，在受光面4設置多根受光面?zhèn)饶妇€電極9，在非受光面5設置多根非受光面?zhèn)饶妇€電極10。并且，該多根受光面?zhèn)饶妇€電極9包括作為最接近第一側面8a的受光面?zhèn)饶妇€電極9的第一側面?zhèn)入姌O9a和作為最接近第二側面8b的受光面?zhèn)饶妇€電極9的第二側面?zhèn)入姌O9a。此時，第一側面?zhèn)入姌O9a與第一側面8a的距離Dl比第二側面?zhèn)入姌O9b與第二側面8b的距離D2大。在如上述那樣通過分割太陽能電池元件的母基板50而形成的情況下，相對于第一側面8a不被絕緣層7覆蓋而硅露出的情況，第二側面8b用絕緣層7覆蓋。因此，存在第一側面8a附近和第二側面Sb附近的每單位面積的發(fā)電量變得不均衡的傾向。因此如上述那樣，通過將第一側面?zhèn)入姌O9a與第一側面8a的距離Dl形成為比第二側面?zhèn)入姌O9b與第二側面8b的距離D2大，能夠形成與第二側面8b側的受光量相比第一側面8a側的受光量變多的電極配置。由此，能夠使在第一側面?zhèn)入姌O9a和第二側面?zhèn)入姌O9b集中的電流均等。由此，由于通過第一側面?zhèn)入姌O9a、第二側面?zhèn)入姌O9b及內部引線17的電流變得相同，所以沒必要與電流匹配而改變受光面?zhèn)饶妇€電極9或內部引線17的截面積。其結果是，能夠使與第一側面?zhèn)入姌O9a和第二側面?zhèn)入姌O9b連接的內部引線17成為一種，從而提高通用性。并且，能夠使太陽能電池模塊102內的電流的分布均勻，從而提高太陽能電池模塊102的發(fā)電效率。如以上那樣，在本實施方式中，太陽能電池模塊102內的電流分布接近均勻而使發(fā)電效率提高，并且通用性優(yōu)異。 需要說明的是，在此所說的距離Dl例如如圖6 (a)所示那樣，能夠設為俯視太陽能電池兀件202時與受光面4的長度方向垂直方向上的第一側面?zhèn)入姌O9a和第一側面8a的最短距離。距離D2也能夠同樣規(guī)定。(第三實施方式)其次，參照圖7對本發(fā)明的第三實施方式涉及的太陽能電池模塊103進行說明。本實施方式涉及的太陽能電池模塊103在太陽能電池元件203的受光面?zhèn)仍O置的電極結構方面與第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101不同。具體而言，如圖7(b)所示那樣，使用于第三實施方式涉及的太陽能電池模塊103的太陽能電池元件203作為在上述的第一實施方式涉及的太陽能電池元件201中說明的設置于受光面?zhèn)鹊碾姌O，還具有輔助電極25。即，太陽能電池元件203作為設置于受光面?zhèn)鹊碾姌O，具有受光面?zhèn)饶妇€電極9、第一指狀電極12及輔助電極25。受光面?zhèn)饶妇€電極9沿著受光面4的長度方向延伸。第一指狀電極12向與受光面?zhèn)饶妇€電極9大致垂直的方向延伸，并且與受光面?zhèn)饶妇€電極9電連接。另外，輔助電極25沿太陽能電池元件203的受光面4的外周配置在與多個第一指狀電極12正交的方向上。換言之，輔助電極25在受光面4上以向與受光面?zhèn)饶妇€電極9大致垂直的方向延伸的方式配置。具體而言，在本實施方式中，如圖7(b)所示那樣，輔助電極25設置有沿第一側面8a的電極和沿第二側面Sb的電極這兩個電極。該輔助電極25經由第一指狀電極12與受光面?zhèn)饶妇€電極9電連接。通過設置這樣的輔助電極25，能夠提高在太陽能電池元件203發(fā)電的電流的集中效率。另外，如上述那樣，在本實施方式中，輔助電極25沿第一側面8a設置。通過如此，即使第一指狀電極12從由于太陽能電池元件的母基板50的分割而形成的第一側面8a剝離，輔助電極25也作為使該剝離不向輔助電極25內側發(fā)展的阻擋器而發(fā)揮作用。由此，即使是通過分割太陽能電池元件的母基板50而形成太陽能電池元件203的情況，也能夠減少第一指狀電極12的破損，從而能夠減少隨著該破損而引起的發(fā)電效率的劣化，因此能夠進一步提高太陽能電池模塊103的可靠性。(第四實施方式)其次，參照圖6(b)對本發(fā)明的第四實施方式涉及的太陽能電池模塊104進行說明。本實施方式涉及的太陽能電池模塊104在太陽能電池元件204的結構方面與第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101不同。具體而言，如圖6(b)所示那樣，使用于第四實施方式涉及的太陽能電池模塊104的太陽能電池元件204還具有設置于第一側面8a和受光面4的交叉部的第一隆起部19。這樣的第一隆起部19例如能夠通過在用激光從受光面4側或非受光面5側切割太陽能電池元件204時調整激光的輸出而形成。如上述那樣，太陽能電池元件204也可以在用激光形成槽后通過折斷分割而形成。在該情況下，通過設置這樣的第一隆起部19，能夠增強第一側面8a，從而能夠降低從第一側面8a產生的微小裂紋的發(fā)展。需要說明的是，在本實施方式中，對設置于第一側面8a和受光面4的交叉部的第一隆起部19進行了說明，但還可以在第一側面8a和非受光面5的交叉部設置第二隆起部。即使在這樣的方式中，也能夠減少由于分割而引起的第一側面8a的微小裂紋的產生。需要說明的是，即使為不設置第一隆起部19而僅設置第二隆起部的方式，也能夠呈現與通過具·有上述的第一隆起部19而得到的效果相同的效果。因此，能夠與太陽能電池元件204的結構等各種要素相對應地適當設置第一隆起部19及第二隆起部的至少一個。進而，在本實施方式中，太陽能電池元件204還具有設置于第一隆起部19上的第一氧化膜20。這樣的第一氧化膜20能夠在用激光切割形成太陽能電池元件204時在激光的照射部代替氬氣使含有氧氣的氣體接觸而形成。通過在第一隆起部19的表面形成這樣的第一氧化膜20，當在與上述的第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101同樣的連接配置下用內部引線17連接多個太陽能電池元件204時，第一氧化膜20作為絕緣膜發(fā)揮作用。由此，能夠減少內部電極17連接太陽能電池元件204的正極和負極而短路的情況。進而，在本實施方式中，如圖6 (b)所示那樣，第一氧化膜20僅形成于第一隆起部19的表面，但這樣的第一氧化膜20也可以與第一隆起部19相比延伸形成至內側。由此，基于第一氧化膜20的鈍化效果得以提高。需要說明的是，在本實施方式中，例示了具有設置于受光面4側的第一隆起部19而未具有設置于非受光面5側的第二隆起部的太陽能電池元件204，但如上述那樣，作為另一實施方式可以為具有第二隆起部的方式。在該方式中，也可以在第二隆起部的表面設置第二氧化膜。在這樣的方式，也能夠呈現與具有上述的第一氧化膜20而得到的效果同樣的效果。需要說明的是，該第二氧化膜也能夠用與上述的第一氧化膜20相同的方法形成。(第五實施方式)其次，參照圖8 圖10對本發(fā)明的第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105進行說明。圖8(a) 圖8(c)及圖10是表示使用于第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105的太陽能電池兀件205的圖，圖9(a) 圖9(c)是表不太陽能電池兀件205的第一變形例2051的圖，圖9(d)是表示太陽能電池元件205的第二變形例2052的圖。本實施方式涉及的太陽能電池模塊105在太陽能電池元件205的結構方面與第一實施方式涉及的太陽能電池模塊101不同。具體而言，使用于第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105的太陽能電池元件205具有背接觸結構。S卩，如圖8(a) 圖8(c)所示那樣，太陽能電池元件205在非受光面5具有極性相互不同的第一輸出取出電極27a和第二輸出取出電極27b。換言之,與上述的第一 第四實施方式的第一母線電極及第二母線電極對應的電極均設置于非受光面5上。更加具體而言，在本實施方式中，第一輸出取出電極27a與第一母線電極相當，第二輸出取出電極27b與第二母線電極相當。因此，在本實施方式中，設置第一母線電極的非受光面5成為第一主面。另外，太陽能電池元件205的外形為具有長邊和短邊的長方形，長邊與第一輸出取出電極27a以及第二輸出取出電極27b大致平行。就太陽能電池元件205的大小而言，例如若為多晶硅,則長邊約為120 200mm左右，短邊為60 IOOmm左右。并且，在本實施
方式中，與第一實施方式同樣，在第一側面8a娃露出。本實施方式的太陽能電池元件205如圖8(a) 圖8(c)所示那樣，具有結晶系的 金屬電極繞通結構。在本實施方式中，與上述的實施方式同樣，太陽能電池組列16具有多個太陽能電池元件205。該多個太陽能電池元件205在太陽能電池組列16中如圖10(a)及圖10(b)所示那樣用內部引線17相互連接。另外，太陽能電池模塊105除了多個太陽能電池組列16以外，具有透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、非受光面?zhèn)让芊饧?4b及非受光面?zhèn)缺Ｗo件15。如圖10(b)所示那樣，在太陽能電池模塊105中，依次層疊透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、太陽能電池組列16、非受光面?zhèn)让芊饧?4b及非受光面?zhèn)缺Ｗo件15。并且，具有背接觸結構的本實施方式與第一 第四實施方式在內部引線17的配置上不同。即，在第一 第四實施方式中，內部引線17的一端位于相鄰的太陽能電池元件205的一個太陽能電池元件205的受光面4側，另一端位于相鄰的太陽能電池元件205的另一個太陽能電池元件205的非受光面5側。另一方面，在本實施方式中，內部引線17的一端及另一端均配置于對應的相鄰太陽能電池元件205的非受光面5偵U。在這樣的太陽能電池模塊105中，如圖10(a)所示那樣，多個太陽能電池組列16排列于與其長度方向正交的方向。并且，在該正交的方向上鄰接的太陽能電池組列16用連接部件24電連接。在這樣的太陽能電池模塊105中，與前述的實施方式同樣，能夠提高太陽能電池元件205的填充率，從而提高在受光面積中所占有的有效受光面積。并且，由于沿著太陽能電池元件205的長度方向焊接內部引線17，所以太陽能電池元件205在其長度方向被加固。因此，能夠提高對抗太陽能電池元件205向長度方向彎曲的強度。通過以上那樣，在本實施方式中，能夠使太陽能電池元件205的填充率提高而實現發(fā)電效率的提聞，并且實現對抗外力的強度的提聞。需要說明的是，在本實施方式中，作為具有背接觸結構的方式，對具備具有圖8所示的金屬電極繞通結構的太陽能電池元件的方式進行了說明，但作為使用于本發(fā)明的實施方式涉及的太陽能電池模塊的太陽能電池元件，能夠使用具有其他的背接觸結構的太陽能電池元件。圖9(a) (C)是表示具有背接觸結構的第五實施方式涉及的太陽能電池元件205的第一變形例2051的圖。該第一變形例2051具有IBC(Integrated Back Contact 一體型背面接觸)結構。在第一變形例2051中，如圖9(a)所示那樣，在受光面4未形成電極。另一方面，如圖9(b)所示那樣，在非受光面5線狀地形成與第一母線電極相當的第一輸出取出電極27a和與第二母線電極相當的第二輸出取出電極27b。
在使用該變形例的太陽能電池元件205的情況下，“在第一主面上沿長邊方向延伸的第一母線電極”是指如圖9(b)所示那樣，在作為第一主面的非受光面5上以沿非受光面6的長邊方向延伸的方式設置作為第一母線電極的第一輸出取出電極27a。即使為這樣的方式，也能夠呈現與使用太陽能電池元件205的第五實施方式相同的效果。另外，圖9(d)是具有背接觸結構的第五實施方式涉及的太陽能電池元件205的第二變形例2052的非受光面5側的俯視圖。該第二變形例2052與第一變形例2051同樣具有IBC結構。該第二變形例2052如圖9(d)所示那樣，非受光面5側的電極形狀與第一變形例2051不同。更加具體而言，第二變形例2052與第一變形例2051同樣，也在非受光面5形成與第一母線電極相當的第一輸出取出電極27a和與第二母線電極相當的第二輸出取出電極27b。相對于第一變形例2051中第一輸出取出電極27a及第二輸出取出電極27b為線狀，在本第二變形例2052中，第一輸出取出電極27a及第二輸出取出電極27b為圓形狀。在使用該變形例的太陽能電池元件205的情況下，“在第一主面上沿長邊方向延伸的第一母線電極”是指多個圓形狀的第一輸出取出電極27a在非受光面5上沿非受光面5·的長邊方向排列配置即可。即使在這樣的情況下，與第一變形例2051同樣，能夠呈現與使用太陽能電池元件205的第五實施方式相同的效果。以上，作為背接觸結構，例示了金屬電極繞通結構及IBC結構，但也可以使用其他的背接觸結構。作為其他的背接觸結構，例如能夠舉出發(fā)射極電極繞通結構、卷包式繞通(T 7 ^ > K 7結構等。需要說明的是，對于任一個背接觸結構，作為太陽能電池元件的材質，能夠如上述那樣使用多晶硅或單晶硅等結晶系。(第六實施方式)其次，參照圖11 圖13對本發(fā)明的第六實施方式涉及的太陽能電池模塊106進行說明。本實施方式涉及的太陽能電池模塊106在連接多個太陽能電池元件彼此的結構方面與第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105不同。即，本實施方式涉及的太陽能電池模塊106在太陽能電池組列16上與第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105不同。具體而言，在本實施方式涉及的太陽能電池模塊106中，太陽能電池組列16具有多個太陽能電池元件2、連接板28、粘接層32及接合件33。在此，本實施方式涉及的太陽能電池模塊106代替第五實施方式涉及的太陽能電池模塊105的內部引線17而具有連接板28、粘接層32及接合件33。如圖11所示那樣，在本實施方式涉及的太陽能電池組列16中，用連接板28連接多個太陽能電池元件2的非受光面5彼此。因此，在本實施方式中，太陽能電池元件2具有與使用于第五實施方式涉及的太陽能電池組列16的太陽能電池元件2相同的結構，具體而言，具有圖8所示的背接觸結構。并且，在本實施方式中，如圖11及圖12(b)所示那樣，在太陽能電池元件2和連接板28之間配置粘接層32及接合件33。另外，在太陽能電池模塊106中，與第五實施方式同樣,從受光面4側依次層疊透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、太陽能電池組列16、非受光面?zhèn)让芊饧?4b、非受光面?zhèn)缺Ｗo件15。并且，在本實施方式中，如上述那樣，連接板28具有電連接鄰接配置的太陽能電池元件2彼此的功能。
具體而言，如圖11所示那樣，連接板28具有基體板29和作為配線件發(fā)揮作用的電路層30。并且如圖12(b)所示那樣，連接板28具有凸部31。該凸部31在連接板28的一主面上的與太陽能電池元件2進行電連接的部位即與輸出取出電極27對應的部位以朝向太陽能電池元件2突出的方式設置。這樣的凸部31例如能夠通過壓制成形(7° P 7成形)連接板28而形成。電路層30如圖11所示那樣，在基體板29的一主面上以電連接鄰接配置的第一太陽能電池兀件2b的第一輸出取出電極27a和第二太陽能電池兀件2c的第二輸出取出電極27b的方式配置。電路層30配置于基體板29的一主面中的與太陽能電池元件2的第一輸出取出電極27a和第二輸出取出電極27b相對的位置，且為梳子狀。并且如圖13(a)所示那樣，在太陽能電池元件2的排列方向的鄰接的兩個太陽能電池元件2之間配置電路層30的梳子的根部分。
并且，電路層30中的電連接連接板28和太陽能電池元件2的部位配置于上述的連接板28的凸部31的頂面。需要說明的是，在以下，如圖12(b)所示那樣，將該電路層30中的配置于凸部31的部分的頂面稱為接觸部30a。另外，電路層30例如能夠通過在基體板29上濺射導電性的金屬或貼上蝕刻金屬膜而形成。作為使用于電路層30的金屬材料，只要為導電性金屬即可，例如能夠使用銅、鋁、金、銀或者含有它們的合金等。粘接層32如圖12(b)所示那樣，配置于基體板29的一主面中的配置了電路層30以外的部分。作為粘接層32的材質，例如能夠舉出乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)或聚乙烯醇縮丁醛(PVB)、環(huán)氧樹脂等。粘接層32例如能夠通過將薄膜狀的EVA或PVB、環(huán)氧樹脂層疊于基體板29上的期望的位置而形成。在具有這樣的粘接層32的情況下，能夠減少從接觸部30a以外的部位生成的、從太陽能電池元件2向電路層30的漏電流，從而提高可靠性及輸出?；w板29具有保持連接板28中的電路層30的功能，在本實施方式中，在俯視下為長方形狀。作為該基體板29的材質，例如能夠使用聚對苯二甲酸乙二酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚氟乙烯樹脂(PVF)。另外，當在后述的接合件33使用焊料的情況等的制造工序中將基體板29加熱至200°C以上時，作為基體板29的材質，使用聚酰亞胺(PI)或聚酰胺酰亞胺(PAI)、聚醚醚酮(PEEK)、四氟乙烯(PTFE)、聚醚砜(PES)等耐熱性優(yōu)異的樹脂即可。作為基體板29，除了使用由以上舉出的材質構成的薄膜單層板以外，還可以使用將多個由上述樹脂等材質構成的薄膜組合而成的多層板。這樣，在基體板29為多層板的情況下，能夠提高耐濕性或耐熱性、電絕緣性及機械特性。另外，基體板29還可以具有防濕層(未圖示)。該防濕層配置于由上述PET或PEN等的樹脂等材質構成的薄膜之間。作為防濕層，能夠使用鋁箔、鋅鐵箔、不銹鋼箔及二氧化硅或氧化鋁的蒸鍍層等。在該情況下，能夠提高長期的耐濕性。進而，連接板28可以具有以被覆接觸部30a的方式配置的低電阻金屬或焊劑。即，與太陽能電池元件2的輸出取出電極27 (第一輸出取出電極27a及第二輸出取出電極27b)連接的接觸部30a為了可靠地進行與太陽能電池元件2的電連接，可以用金被覆或預先涂敷焊接用的焊劑。
接合件33具有電、機械接合太陽能電池元件2的輸出取出電極27 (第一輸出取出電極27a及第二輸出取出電極27b)和電路層30的接觸部30a的功能。作為這樣的接合件33，例如能夠使用含鉛焊料或無鉛焊料、導電性粘接劑等。首先，對將含鉛焊料或無鉛焊料使用于接合件33的情況進行說明。作為含鉛焊料，例如能夠使用Pb-Sn共晶焊料。另外，作為用于降低環(huán)境負荷的無鉛焊料，從減少由于接合時的熱引起太陽能電池元件2或連接板28的劣化的觀點出發(fā)，可以使用熔點低的無鉛焊料。另外，適宜選擇相對于輸出取出電極27潤濕性高且接合強度和疲勞強度高的無鉛焊料為佳。作為這樣的無鉛焊料的材質，例如能夠舉出中低溫系的Sn-Zn、Sn-Zn-Bi、中溫系的Sn-In-Ag-Bi、Sn-Ag-Bi-Cu、或者中高溫系的Sn-Ag-Cu或Sn-Ag等。在如上述將焊料使用于接合件33的情況下，為了使制造工序簡單，可以通過將前述的電路層30的接觸部30a預先用焊料覆蓋而設置接合件33。 接著，對將導電性粘接劑使用于接合件33的情況進行說明。導電性粘接劑包括承擔導電性的金屬填料和承擔接合特性的粘合劑樹脂。具體而言，導電性粘接劑為混煉這樣的金屬填料和粘合劑樹脂的材料。作為金屬填料的材質，例如能夠使用金、銀、銅、鎳、鋁、碳、石墨等。另外，作為金屬填料的形狀，例如能夠適宜選擇薄片狀、粒狀、或楔狀等形狀。尤其，作為金屬填料，可以使用導通性高的薄片狀、或導通性和粘接性高的楔狀的金屬填料。另外，作為粘合劑樹脂，由于接合件33在連接板28和太陽能電池元件2之間的密封的層間固化，所以能夠使用脫氣少的粘合劑樹脂。進而，從能夠減小太陽能電池元件2或連接板28的熱歷史的觀點出發(fā)，粘合劑樹脂能夠使用在低溫交聯(lián)固化的粘合劑樹脂。另外，粘合劑樹脂能夠使用具有下述特性的粘合劑樹脂，即層壓時在非受光面?zhèn)忍畛浼?4b開始軟化后逐漸開始交聯(lián)至完成層壓為止完成交聯(lián)固化的特性。在該情況下，能夠精度良好地電連接輸出取出電極27和接觸部30a。關于粘合劑樹脂的交聯(lián)溫度，例如在使用乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)于非受光面?zhèn)忍畛浼?4b的情況下，能夠設為比EVA交聯(lián)前的熔點即大致70°C高的溫度。作為這樣的粘合劑樹脂，例如能夠舉出單組分或雙組分的環(huán)氧系粘接劑。另外，除去環(huán)氧系粘接劑以外，還可以選擇聚氨酯系粘接劑或有機硅系粘接劑、丙烯酸系粘接劑或者聚酰亞胺系粘接劑來作為粘合劑樹脂。需要說明的是，也可以代替上述的焊料或導電性粘接劑使用具有導電性的雙面膠粘帶于接合件33。這樣的膠粘帶即使不加熱也能夠進行機械、電連接，因此能夠在用膠粘帶將各部件重疊時相互壓接。其結果是，能夠減少由于層壓前或層壓時的位置偏離而引起的在接觸部30a和輸出取出電極27之間產生的導電不良。其次，參照圖13(b)對本實施方式涉及的太陽能電池模塊106的變形例1061進行說明。需要說明的是，變形例1061在連接板28的結構上與第六實施方式涉及的太陽能電池模塊106不同。S卩，在本變形例1061中，連接板28具有應力緩和部。更加具體而言，如圖13 (b)所示那樣，在本變形例1061中，連接板28的電路層30具有作為應力緩和部的應力緩和孔34。該應力緩和孔34被設置在位于基體板29中的與太陽能電池元件2之間對應的部分的電路層30。并且，在俯視下，該應力緩和孔34為相對于太陽能電池組列16的長度方向彎曲的形狀。在該情況下，當太陽能電池模塊106向長度方向彎曲時，由上述的電路層30對向長度方向的伸縮進行加固且由應力緩和孔34在太陽能電池組列16的太陽能電池元件2之間的部分緩和應力。其結果是，能夠減少連接板28的斷線。另外，這樣的應力緩和孔34如圖13(b)所示那樣，以相對于與太陽能電池組列16的長度方向平行的中心軸成為線對稱的方式設置。在該情況下，能夠適當減少施加于太陽能電池組列16的應力的偏離。另外，連接板28在相對于與其厚度方向的一主面平行的中心軸為非對稱的層疊體的情況下，可以在接近層壓機的預熱溫度的溫度、例如40°C 70°C粘合基體板29和電路層30而形成。由此，能夠減少在太陽能電池模塊106的構成部件在層壓機被充分加熱加壓而形成一體化之前由層壓機上的預熱引起的在連接板28產生翹曲而產生接觸部30a和輸出取出電極27的位置偏離。即，當層壓機的預熱施加于連接板28時，能夠以大致水平狀態(tài)維持連接板28。需要說明的是，連接板28可以為相對于其厚度方向的中心軸大致對稱配置的層疊體。 以上，例示了本發(fā)明涉及的太陽能電池模塊的實施方式，但本發(fā)明不限定于上述的實施方式，只要不脫離本發(fā)明的目的，可以為任意的實施方式。例如，在上述第一實施方式中，作為太陽能電池元件201的形成方法，說明了從受光面?zhèn)日丈浼す舛M行分割的方法，但除此以外還可以為從非受光面?zhèn)日丈浼す舛M行分割的方法?！刺柲茈姵啬K的制造方法〉(第七實施方式)以下，參照圖14及圖16 圖19對本發(fā)明的第七實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法進行詳細說明。用本實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法能夠制造上述的太陽能電池模塊101。具體而言，本實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法7S包括第一工序，其將多個具有多個太陽能電池元件2的太陽能電池元件集合體排列于一方向且用多個配線件將對應的太陽能電池元件在一方向連接而形成多個太陽能電池組列的集合體，其中，太陽能電池元件2包括具有第一主面及與該第一主面相反側的第二主面的硅基板；第二工序，其在相鄰的太陽能電池元件的邊界沿一方向從第二主面?zhèn)葘象w照射激光，利用熱應力按每個所述太陽能電池元件進行分割而形成具有多個太陽能電池元件的多個太陽能電池組列，其中，多個太陽能電池元件用配線件在一方向上連接。接著，參照圖面對在本制造方法使用的各部件進行詳細說明。第一，對在本實施方式涉及的制造方法中使用的太陽能電池元件集合體50進行說明。如圖14所示那樣，在本實施方式涉及的太陽能電池元件的制造方法中使用的太陽能電池兀件集合體50具有光入射的受光面(為圖14(c)的上表面，以下稱為第一主面)50a和作為該第一主面50a的相反側的面(背面)的非受光面(為圖14(c)的下表面，以下稱為第二主面)50b。另外，太陽能電池元件集合體50具有板狀的硅基板51、設置于第一主面50a側的第一電極56及設置于第二主面50b側的第二電極57。娃基板51如圖14(c)所不那樣，例如具有作為一導電型的半導體層的第一半導體層52和設置于該第一半導體層52的第一主面50a側的作為反向導電型的半導體層的第二半導體層53。以下，參照圖14對太陽能電池元件集合體50的結構進行更加具體的說明。
作為含有具有一導電型(例如P型)的第一半導體層52的硅基板51，能夠使用與上述的第一實施方式涉及的太陽能電池兀件201的娃基板3同樣的娃基板。以下，對作為硅基板51使用了呈現P型導電型的晶體硅基板的例子進行說明。與第一半導體層52形成ρη結的第二半導體層(反向導電型層)53為呈現與第一半導體層52 (硅基板51)相反的導電型的層，設置于第一半導體層52的第一主面50a側。防反射層(絕緣層)55形成于硅基板51的第一主面50a側，作為防反射層55，例如能夠使用氮化硅膜、氧化鈦膜、氧化硅膜等。防反射層55的厚度根據材料適當選擇，能夠設為對適當的入射光能夠實現無反射條件的厚度。在防反射層55為由氧化硅膜構成的情況下，也能夠具有鈍化效果。第三半導體層54呈現與第一半導體層52相同的導電型。并且，第三半導體層54含有的摻雜劑的濃度比第一半導體層52含有的摻雜劑的濃度高。即，在第三半導體層54 中存在比在第一半導體層52中為了呈現一導電型而摻雜的摻雜劑元素的濃度高的摻雜劑元素。第三半導體層54具有減少由于硅基板51的第二主面50b附近的載流子的復合而引起的效率降低的功能。由第三半導體層54在硅基板51的第二主面50b側形成內部電場。在硅基板51呈現P型的情況下，第三半導體層54例如能夠通過使硼或鋁等摻雜劑元素向第二主面?zhèn)?0b擴散而形成。此時，第三半導體層54含有的摻雜劑元素的濃度能夠設為I X IO18 5 X 1021atoms/cm3 左右。第一電極56如圖14(a)所不那樣，具有第一輸出取出電極(第一母線電極)56a和多個線狀的第一指狀電極56b。第一輸出取出電極56a的至少一部分與第一指狀電極56b交叉。第一電極56的厚度例如為10 40 μ m左右。另外，在形成太陽能電池模塊101的情況下，第一輸出取出電極56a在與太陽能電池元件201的排列方向平行的方向(第一方向)設置多列(在圖14(a)中為四列)。第一輸出取出電極56a的寬度在寬度方向例如為I. 3 2. 5mm左右。另一方面，第一指狀電極56b為線狀。第一指狀電極56b的寬度在寬度方向例如為50 200 μ m左右，比第一輸出取出電極56a的寬度小。并且，第一指狀電極56b相互隔開I. 5 5mm左右的間隔，在與太陽能電池元件201的排列方向交叉的方向(第二方向)例如沿與排列方向垂直的方向(第二方向)設置多個，均一端與第一輸出取出電極56a連接。上述那樣的第一電極56例如能夠通過用網板印刷法等將以銀為主成分的導電性膏劑涂敷成期望的形狀后燒成而形成。另外，第一電極56可以具有與太陽能電池元件201的排列方向平行延伸的第一輔助電極56c。第一輔助電極56c分別與第二方向的第一指狀電極56b的端部交叉。由此，即使第一指狀電極56b的一部分產生間斷現象即斷線，也能夠使在產生斷線的第一指狀電極56b匯集的載流子經由第一輔助電極56c且通過其他的第一指狀電極56b移動至第一輸出取出電極56a。需要說明的是,第一輔助電極56c的寬度方向的寬度能夠設為與第一指狀電極56b的寬度方向的寬度相等。第二電極57具有第二輸出取出電極(第二母線電極)57a和第二集電電極57b。就第二輸出取出電極57a而言，例如厚度為10 30 μ m左右，寬度方向的寬度為I. 3 7mm左右。
另外，在形成太陽能電池模塊101的情況下，第二輸出取出電極57a在與太陽能電池元件201的排列方向平行的方向(第一方向)設置多列(在圖14(c)中為四列)。該第二輸出取出電極57a例如能夠通過用網板印刷法等將以銀為主成分的導電性膏劑涂敷成期望的形狀后燒成而形成。另一方面，第二集電電極57b形成于娃基板51的第二主面50b中的除去第二輸出取出電極57a的一部分、后述的邊界(假想分割線)62及其周邊的大致整個面。第二集電電極57b的厚度例如為15 50 μ m左右。該第二集電電極57b例如能夠通過用網板印刷等將鋁膏劑涂敷成期望的形狀后燒成而形成。需要說明的是，在本實施方式涉及的制造方法中使用的太陽能電池元件集合體50的結構不限于上述的結構。例如，也可以使用具有圖15所示的另一結構的太陽能電池元件集合體50。參照圖15對該太陽能電池元件集合體50的另一結構進行說明。需要說明的是，對與圖14同樣的結構省略說明。
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在本結構中，第二電極57的形狀例如能夠設為與第一電極56相同的形狀。SP，第二電極57如圖15(b)所示那樣，具有第二輸出取出電極57a、多個線狀的第二指狀電極57b、與第二指狀電極57b的長度方向的端部交叉的線狀的第二輔助電極57c。需要說明的是，能夠將第二輸出取出電極57a、第二指狀電極57b及第二輔助電極57c的寬度方向的寬度分別形成得比第一輸出取出電極56a、第二指狀電極56b及第二輔助電極56c的寬度方向的寬度大。上述那樣的第二電極57例如能夠通過用網板印刷等將以銀為主成分的導電性膏劑涂敷成期望的形狀后燒成而形成。另外，在本結構中，太陽能電池元件集合體50還具有鈍化層58。該鈍化層58形成于硅基板51的第二主面50b側。鈍化層58具有減少硅基板51的第二主面50b附近的載流子的復合的作用。作為鈍化層58，例如能夠使用氮化硅、非晶硅氮化膜等硅系氮化膜、氧化硅、氧化鋁、氧化鈦等。鈍化層58的厚度能夠設為100 2000人左右。需要說明的是，這樣的鈍化層58如圖14所示的方式那樣，在本實施方式中不是必須的結構，只要根據需要形成即可。第二，對用本實施方式涉及的制造方法制造的太陽能電池模塊101進行說明。用本實施方式涉及的制造方法制造的太陽能電池模塊101如圖16所示那樣，具有串聯(lián)及并聯(lián)連接的多個太陽能電池元件201。通過將該太陽能電池模塊101組合多個，能夠取出實用的電力輸出。太陽能電池模塊101具有相互鄰接排列的多個太陽能電池元件201和電連接相鄰的太陽能電池元件201之間的內部引線17。太陽能電池模塊101如圖16(a)所示那樣，具有透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、非受光面?zhèn)让芊饧?4b、非受光面?zhèn)缺Ｗo件15。透光性部件13、受光面?zhèn)让芊饧?4a、非受光面?zhèn)让芊饧?4b及非受光面?zhèn)缺Ｗo件15分別具有在第一實施方式中詳述的功能，使用各種材料形成。就多個太陽能電池元件201而言，如圖16(a)所示那樣，用長尺狀的(直線狀的)內部引線17連接相鄰的一個太陽能電池元件201的第一輸出取出電極56a和另一個太陽能電池元件201的第二輸出取出部57a。作為內部引線17，與上述的第一實施方式同樣使用銅等金屬部件，例如能夠使用將整面被焊接材料被覆的帶狀銅箔沿其長度方向截斷成規(guī)定長度而成的部件。內部引線17例如能夠設為厚度為O. I 0.4_左右，寬度為2mm左右。另外，用輸出取出配線60將串聯(lián)的多個太陽能電池元件201中的最初的太陽能電池元件201和最后的太陽能電池元件201的輸出取出電極的一端連接于作為輸出取出部的端子箱59。另外，雖然在圖16(a)中省略了圖示，但如圖16(b)所示那樣，太陽能電池模塊101能夠具有由鋁等構成的框體26。<太陽能電池元件集合體50的制造方法>其次對具有上述結構的太陽能電池元件集合體50的制造方法進行說明。首先，對具有第一半導體層52的硅基板51的制法進行說明。在硅基板51為單晶娃基板的情況下，例如用提拉法等形成，在娃基板51為多晶娃基板的情況下，例如用鑄造 法等形成。需要說明的是，在以下中，對使用了 P型多晶硅的例子進行說明。最初，例如用鑄造法制作多晶硅的鑄錠。接著，將該鑄錠例如切片成250 μ m以下的厚度。之后，為了清潔硅基板51的截斷面的機械損壞層及污染層，用Na0H、K0H、氫氟酸或硝酸等將硅基板51的表面進行極微量的蝕刻。需要說明的是，該蝕刻工序后用濕式蝕刻方法或干式蝕刻方法在硅基板51的表面形成微小的凹凸結構51a。接著,在娃基板51的第一主面50a的表層內形成η型的第二半導體層53。這樣的第二半導體層53用將膏劑狀態(tài)的P2O5涂敷于硅基板51的表面且使其熱擴散的涂敷熱擴散法、將氣體狀態(tài)的POCl3(三氯氧磷)作為擴散源的氣相熱擴散法、以及使磷離子直接擴散的離子注入法等形成。該第二半導體層53以厚度成為O. 2 2 μ m左右、表面電阻成為40 200 Ω / □左右的方式形成。接著，在上述工序中，當不僅在第一主面50a側，還在第二主面50b側也形成第二半導體層53時，僅將第二主面50b側的第二半導體層53蝕刻除去。由此，在第二主面50b側使P型的導電型區(qū)域露出。第二主面50b側的第二半導體層53的除去例如能夠通過僅將硅基板51的第二主面50b側浸潰于氫氟酸溶液而實現。另外，也能夠通過如下方法形成具有同樣結構的硅基板51，即預先在第二主面50b側形成擴散掩模，然后用氣相熱擴散法形成第二半導體53，之后除去擴散掩模的方法。根據上述，能夠準備具有第一半導體層52和第二半導體層53的硅基板51，其中，第一半導體層52具有P型半導體層，第二半導體層53具有η型半導體層53。需要說明的是，第二半導體層53的形成方法不限于上述方法，例如也可以用薄膜技術將氫化非晶硅膜、或包括微晶硅膜的結晶質硅膜等作為第二半導體層53形成。進而，也可以在硅基板51中的第一半導體層52 (娃基板51)和第二半導體層53之間形成i型娃區(qū)域。接著，在如上述那樣準備的硅基板51的第一主面50a側形成防反射層(絕緣層)55。防反射層 55 例如用 PECVD(plasma enhanced chemicalvapor deposition :等離子體化學氣相生長)法、蒸鍍法、濺射法等形成。例如，若為用PECVD法形成由氮化硅膜構成的防反射層55的情況，則將反應室內設為500°C左右，并將用氮(N2)稀釋的硅烷(SiH4)和氨(NH3)的混合氣體用輝光放電分解使其等離子化而堆積，從而形成防反射層55。接著,在娃基板51的第二主面50b側形成一導電型的半導體雜質高濃度擴散的第三半導體層54。作為第三半導體層54的形成方法，例如能夠使用以下的兩個方法。第一方法為使用將BBr3(三溴化硼)作為擴散源的熱擴散法在溫度800 1100°C左右形成的方法。第二方法為在用印刷法涂敷由鋁粉末及有機載體等構成的鋁膏劑后在溫度600 850°C左右進行熱處理(燒成)而使鋁向半導體基板I擴散的方法。另外，若使用第二方法，則不僅能夠僅在印刷面形成期望的擴散區(qū)域，并且不需要在與第二半導體層53的形成構成相同的工序中除去在第二主面50b側形成的η型第二半導體層53。因此，在該方法中，為了減少由于第二半導體層53和第三半導體層54的接觸而引起的漏泄不良，只要用激光等僅在第一主面50a側或第二主面50b側的外周部進行ρη分離即可。接著，根據需要形成鈍化膜層58。作為鈍化膜層58的形成方法，能夠使用PECVD法、蒸鍍法、濺射法等。另外，在形成鈍化膜層58的情況下，可以在第二主面50b中的鈍化膜層58的預定形成部位以外的區(qū)域上設置掩模，或在第二主面50b的整個面設置后除去預定形成部位以外的區(qū)域。接著，如以下那樣形成第一電極56(第一輸出取出電極56a、第一指狀電極56b)和第二電極57 (第二輸出取出電極57a、第二集電電極57b)。
最初，對第一電極56進行說明。例如使用含有由銀(Ag)等構成的金屬粉末、有機載體及玻璃粉末的導電性膏劑來制作第一電極56。將該導電性膏劑涂敷于硅基板51的第一主面50a,之后,通過在最高溫度600 850°C燒成數十秒 數十分鐘左右而形成第一電極56。作為涂敷法，能夠使用網板印刷法等，在涂敷后，可以在規(guī)定的溫度使溶劑蒸騰而干燥。接著，對第二電極57進行說明。在具有圖14所示的結構的太陽能電池元件集合體50中，首先，使用含有鋁粉末和有機載體的鋁膏劑制作第二集電電極57b。將該膏劑涂敷于第二主面50b中的除形成第二輸出取出電極57a的部位的一部分及分割區(qū)域之外的硅基板51的第二主面50b的大致整個面。作為涂敷法，能夠使用網板印刷法等。在如此涂敷膏劑后，可以以規(guī)定的溫度使溶劑蒸騰而使其干燥。在該情況下，操作時膏劑不易附著預定形成部位以外的部分。需要說明的是，在此所說的分割區(qū)域為包括后述的邊界(假想分割線)62的區(qū)域。更加具體而言，例如，如圖14(c)所示那樣，分割區(qū)域為第二主面50b中的與后述的第一間隔D7對應的區(qū)域。接著，例如使用含有由銀粉末等構成的金屬粉末、有機載體及玻璃粉末的導電性膏劑來制作第二輸出取出電極57a。將該導電性膏劑涂敷成預先決定的形狀。需要說明的是，通過將導電性膏劑涂敷于與鋁膏劑的一部分相接的位置，第二輸出取出電極57a與第二集電電極57b的一部分重疊。作為涂敷法，能夠使用網板印刷法等，在涂敷后優(yōu)選在規(guī)定的溫度使溶劑蒸騰而使其干燥。需要說明的是，在具有圖15所示的結構的太陽能電池元件集合體50中，例如使用含有由銀(Ag)粉末等構成的金屬粉末、有機載體及玻璃粉末的導電性膏劑來制作第二電極57。將該導電性膏劑涂敷于硅基板51的第二主面50b，之后，通過在最高溫度600 850°C燒成數十秒 數十分鐘左右而形成第二電極57。作為涂敷法，能夠使用網板印刷法等，優(yōu)選涂敷后在規(guī)定的溫度使溶劑蒸騰而使其干燥。接著,通過將娃基板51在燒成爐內以最高溫度600 850°C燒成數十秒 數十分鐘左右而將第二電極57形成于娃基板51的第二主面50上。需要說明的是，雖然在上述使用基于印刷/燒成法的電極形成，但也能夠使用蒸鍍法或濺射法等薄膜形成或鍍覆形成而形成。
如以上那樣，能夠制作具有多個太陽能電池元件(在圖14及圖15中為兩個太陽能電池元件)201的大型的太陽能電池元件集合體50。〈太陽能電池模塊的制造方法〉其次，對使用了如上述那樣得到的太陽能電池元件集合體50的本實施方式涉及的太陽能電池模塊的制造方法進行說明。如上述那樣，本實施方式涉及的制造方法具有所述第一工序和所述第二工序。以下，對各工序進行詳細說明。如圖17所示那樣，在第一工序中，用內部引線17連接多個太陽能電池元件集合體50彼此而形成多個組列的集合體61。一條內部引線17的一端與太陽能電池元件集合體50 (50A)的第一輸出取出電極56a連接，另一端與鄰接設置的太陽能電池元件集合體 50 (50B)的第二輸出取出電極57a連接。由此，內部引線17連接鄰接的兩個太陽能電池元件集合體50之間。需要說明的是，內部引線17的一端側部分沿第一輸出取出電極56a的排列方向連接，內部引線17的另一端側部分沿第二輸出取出電極57a的排列方向連接。在圖17所示的方式中，使用圖14所示的太陽能電池元件集合體50。因此，太陽能電池元件集合體50具有兩個太陽能電池元件201A、201B。并且，太陽能電池元件集合體50在第一主面50a側具有四個第一輸出取出電極56a，在第二主面50b側具有四個第二輸出取出電極57a。由于太陽能電池元件集合體50 (50A)具有這樣的結構，因此鄰接的太陽能電池元件集合體50 (50B)與各輸出取出電極對應地用四條內部引線17連接。內部引線17如上述那樣，能夠使用用焊接材料被覆的引線或由金屬箔構成的引線。作為內部引線17的連接方法，在用焊接材料被覆的內部引線17的情況下，可以使用熱空氣或焊鐵等或者使用回流爐等焊接于太陽能電池元件集合體50的第一輸出取出電極56a和第二輸出取出電極57a而連接內部引線17。另外，在內部引線17為金屬箔構成的情況下，可以使用低溫固化型的導電型粘接劑連接內部引線17。例如，通過經由該導電型粘接劑使內部引線17接觸第一輸出取出電極56a和第二輸出取出電極57a上后在150 250°C左右進行熱處理，能夠使內部引線17與第一輸出取出電極56a及第二輸出取出電極57a連接。需要說明的是，作為導電性粘接劑，例如能夠使用含有環(huán)氧樹脂、硅樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚氨酯樹脂等作為粘合劑的銀、鎳、碳等導電性填料。接著，在第二工序中，如圖18所示那樣，在激光裝置70的工作臺72載置按上述得到的多個組列的集合體61，以激光照射部71位于邊界(假想分割線)62的方式進行調節(jié)。接著，以太陽能電池元件集合體50不蒸騰的程度而產生局部加熱的條件向邊界62照射激光。接著，用激光照射而產生的熱應力將多個組列的集合體61按每個太陽能電池元件201進行分割。即，第二工序包括激光照射工序和分割工序。這樣，若使用多個組列的集合體61，并沿與排列方向平行的邊界(假想分割線)62向太陽能電池元件集合體50照射激光，則能夠利用由以照射位置為中心作用的壓縮應力和作用于其周邊的拉伸應力產生的熱應力而產生微小裂縫。接著，通過用由激光產生的熱應力將該裂縫向沿邊界(假想分割線)62方向誘導而截斷太陽能電池元件集合體50。由此，如圖19所示那樣，形成具有相互連接的多個太陽能電池元件201的太陽能電池組列16。此時，通過在將多條內部引線17連接于多個太陽能電池元件集合體50的第一主面50a及第二主面50b的狀態(tài)下照射激光，激光照射的對象物的向與排列方向平行的方向的翹曲減少。因此，激光的焦點偏離減少，從而能夠減少太陽能電池元件集合體50的分割工序(第_■公序)的良品率的劣化。另外，根據本實施方式涉及的制造方法，與具有用激光照射使太陽能電池元件集合體50的一部分蒸騰而形成分割槽的工序和在該工序之后賦予外力進行分割的工序這兩次工序的制造方法相比，能夠以用激光照射而進行分割的一次工序分割太陽能電池元件集合體50。因此，在本實施方式中，能夠使生產率提高。如此分割而得到的太陽能電池元件201適宜使用于小型的太陽能電池模塊等。這樣的小型太陽能電池模塊例如搭載使用于電子機器類的充電器或移動電話等較小的裝置。如此根據本實施方式涉及的制造方法，通過制作大型的太陽能電池元件(太陽能電池元件集合體)，將其分割成需要的大小，能夠效率良好地制作期望大小的太陽能電池元件。因此，與各太陽能電池元件的基板的大小匹配的機械設備變得不需要，故大小不同的各種太陽能電池兀件的制造效率提聞。
進而，在日本特開2005-236017號公報中，公開了通過從太陽能電池元件的非受光面(第二主面)側照射激光形成分割槽且向分割槽賦予外力而分割太陽能電池元件的方法。在這樣的分割方法中，在未形成具有能夠分割的深度的分割槽的情況下，即使對分割槽賦予外力也不會沿分割槽斷開，有產生分割不良而不能夠利用分割的太陽能電池元件的情況，存在良品率劣化的可能性。然而，根據本實施方式涉及的制造方法，由于在激光照射之后用熱應力分割太陽能電池元件，因此能夠減少分割太陽能電池元件的工序中的良品率的劣化。需要說明的是，在本實施方式涉及的制造方法中，在掃描激光的情況下，可以使激光照射部71向規(guī)定方向移動，也可以使工作臺72向規(guī)定方向移動。或者也可以使激光照射部71及工作臺72雙方向規(guī)定方向移動。另外，根據本實施方式涉及的制造方法，在第一工序之前，在第一主面50形成ρη結區(qū)域。由此，根據本制造方法，能夠向太陽能電池元件集合體50的與形成接合區(qū)域(ρη結)的面相反的面照射激光。即，在接合區(qū)域形成于第一主面50a的太陽能電池元件集合體50中，能夠向第二主面50b側照射激光。由此，由于沒有在激光照射的面的邊界(假想分割線)62形成接合區(qū)域(ρη結)，所以能夠減少由于激光照射而引起的對接和區(qū)域的損傷。另外，如圖15所示那樣，在太陽能電池元件集合體50中，可以在鄰接的太陽能電池元件201Α、201Β的邊界(假想分割線)62形成線狀的第一指狀電極56b或第二指狀電極57b，但也可以如圖14所示那樣，在太陽能電池元件集合體50中，以隔開規(guī)定間隔分別具有多個區(qū)域的方式形成第一電極56或第二電極57。S卩，如圖14(b)及圖14(c)所示那樣，本實施方式涉及的制造方法在第二工序之前還具有在第二主面50b形成第二電極57的工序，在該形成工序中，第二電極57以具有第一區(qū)域57d和在與排列方向垂直的方向上隔開第一間隔D7配置的第二區(qū)域57e的方式形成。該第一間隔D7與邊界(假想分割線)62對應。并且，在分割工序(第二工序)中，在第一間隔D7內將太陽能電池元件集合體50按每個太陽能電池元件201進行分割。由此，激光不經由第二電極57而直接照射硅基板51，從而能夠容易產生裂縫。另外，如圖14(b)所示那樣，在邊界(假想分割線)62及其周邊不存在第二集電電極57b，即，在第二集電電極57b與邊界(假想分割線)62設置規(guī)定間隔而形成的情況下，可以用鋁形成第二集電電極57b。在該情況下，由激光照射而熔化的第二集電電極57b冷卻凝固，從而能夠減少阻礙太陽能電池元件集合體50分割這樣的問題。對第一電極56也同樣。S卩，如圖14(a)及圖14(c)所示那樣，本實施方式涉及的制造方法在第二工序之前還具有在第一主面50a形成第一電極56的工序，在該形成工序中，第一電極56以具有第五區(qū)域56d和第六區(qū)域56e的方式形成。此時,第五區(qū)域56d和第六區(qū)域56e隔開第二間隔D6配置，該第二間隔D6與邊界(假想分割線)62對應。并且，在分害I]工序(第二工序)中，在第二間隔D6內將太陽能電池元件集合體50按每個太陽能電池元件201進行分割。由此，在從第二主面50b側照射激光的情況下，能夠減少第一電極56 —部分斷線等分割不良的問題，能夠擴大激光的照射條件的范圍，從而使生產率進一步提高。
另外，通過使第二間隔D6與第一間隔D7同等或比其大，即使太陽能電池元件集合體50相對于期望的邊界(假想分割線)62被稍微傾斜地分割，也能夠減少第一電極56與分割位置重疊的情況。另外，能夠較多地確保受光量。另外，如圖14(c)所示那樣，第三半導體層54不存在于邊界(假想分割線)62及其周邊。即，本實施方式涉及的制造方法在第二工序之前還具有形成第三半導體層54的工序，在該形成工序中，也可以將第三半導體層54形成為與邊界(假想分割線)62設置規(guī)定的間隔。即，第三半導體層54可以以具有分別與第二電極57的第一區(qū)域57d及第二區(qū)域57e對應配置的第三區(qū)域54a及第四區(qū)域54b的方式形成。在該情況下，第三區(qū)域54a及第四區(qū)域54b隔開第三間隔D4配置，在分割工序(第二工序)中，向該第三間隔D4內照射激光而進行分割。由此，激光不經由第三半導體層54向硅基板51照射。由于這樣，能夠減少由于激光的照射而引起的第三半導體層54的雜質從第二主面50b向第一主面50a擴散漏泄的問題。另外，通過將第三間隔D4形成為與第一間隔D7同等或比其窄，能夠充分得到BSF效果。需要說明的是，第一間隔D7、第二間隔D6及第三間隔D4例如可以為Imm以上3mm以下。進而，本實施方式涉及的制造方法在第二工序前還具有在第一主面50a形成一對第一輔助電極56c的工序，在該形成工序中，可以如圖14(a)所示那樣，在邊界(假想分割線)62的兩端設置一對與排列方向平行延伸的第一輔助電極56c。并且，在分割工序(第二工序)中，在這一對第一輔助電極56c之間照射激光，分割太陽能電池元件集合體50。由此，能夠減少分割時與排列方向垂直延伸的裂紋的產生，并且能夠減少由于分割后得到的太陽能電池元件201的第一指狀電極56b的斷線而引起的特性降低。作為在第二工序中使用的激光，能夠利用在太陽能電池元件集合體50的表面產生光吸收的激光，例如能夠使用YAG激光及CO2激光等。另外，也可以使用連續(xù)振蕩的激光，在該情況下，較大地形成熱應力，在硅基板51內容易產生裂縫。另外，激光光斑的形狀例如為用球面透鏡集光的圓形狀、用圓柱透鏡集光的線狀。在激光光斑為線狀的情況下，可以以掃描方向與其長度方向一致的方式掃描激光。并且，激光的照射以在太陽能電池元件集合體50產生熱應力的方式，與太陽能電池元件集合體50的厚度、使用的激光的種類及波長相匹配地適當調節(jié)掃描速度、激光輸出及激光直徑等。另外，在第二工序中，可以向太陽能電池元件集合體50的激光照射的位置噴氣體。在該情況下，能夠快速冷卻太陽能電池元件集合體50的表面，從而容易在硅基板51內
產生裂縫。另外，可以以第二主面50b中的第二電極57的形成區(qū)域的比例比第一主面50a中的第一電極56的形成區(qū)域的比例大的方式形成第一電極56及第二電極57。并且，通過向具備具有上述關系的第一電極56及第二電極57的太陽能電池元件集合體50照射激光，能夠容易地截斷太陽能電池元件集合體50。并且，在第一電極56的形成區(qū)域及第二電極57的形成區(qū)域具有上述關系的情況下，如圖20所示那樣，由于熱膨脹系數的關系，太陽能電池元件集合體50容易以第一主面50a側成為凸狀的方式變成彎曲的形狀。在此，在向這樣彎曲的太陽能電池元件集合體50 照射激光時，可以在向太陽能電池元件集合體50成為平坦的方向施加應力的狀態(tài)下照射激光。即，本實施方式涉及的制造方法在第二工序之前還具有將太陽能電池元件集合體50形成向第一主面50a側凸出的彎曲形狀的工序。并且，在第二工序中，在向太陽能電池元件集合體50成為平坦的方向施加應力的狀態(tài)下對太陽能電池元件集合體50照射激光。由此，拉伸應力作用于第二主面50b側的表面，因此在硅基板51內產生裂縫變得容易。作為朝向成為平坦的方向的應力的施加方法，例如有通過按壓太陽能電池元件集合體50的排列方向的兩端而向太陽能電池元件集合體50施加應力的方法。另外，作為其他的方法，可以使用在向平坦的工作臺按壓太陽能電池元件集合體50之后通過真空吸附將太陽能電池元件集合體50形成平坦的方法。進而，可以在與太陽能電池元件集合體50的排列方向垂直的方向的截面中以太陽能電池元件集合體50的第二主面50b側成為凸起的方式向太陽能電池元件集合體50施加應力且照射激光。由此，能夠容易地截斷太陽能電池元件集合體50。作為以太陽能電池元件集合體50的第二主面50b側成為凸起的方式向太陽能電池元件集合體50施加應力的方法，例如有如下方法，即在設置太陽能電池元件集合體50的工作臺72上的邊界(假想分割線)62的位置配置隔離物，且通過在該隔離物上按壓以第一主面50a與工作臺73對置的方式配置的太陽能電池元件集合體50而向太陽能電池元件集合體50施加應力。另外，作為其他的方法，可以在中央為凸形狀的工作臺73上按壓以第一主面50a與工作臺73對置的方式配置的太陽能電池元件集合體50后，通過真空吸附將太陽能電池元件集合體50的第二主面50b側形成凸狀。需要說明的是，如圖18所示那樣，在照射激光時載置多個組列的集合體61的工作臺72中，可以在內部引線17所在位置的部分形成收納內部引線17的槽。由此，能夠減少由于內部引線17的連接而引起的多個組列的集合體61的厚度方向上的高度不均，從而減少激光的瞄準位置偏離。另外，在激光照射工序(第二工序)中，可以在含有氧氣的氣氛中照射激光而截斷太陽能電池元件集合體50。由此，能夠減少分割時的特性降低。這被認為是因為用激光的照射在分割區(qū)域形成氧化膜而具有鈍化膜效果。另外，本實施方式涉及的制造方法可以在搬送分割多個太陽能電池組列的集合體61而得到的太陽能電池組列16之前設置確認是否適當分割了多個太陽能電池組列的集合體61的太陽能電池元件集合體50的工序。由此，能夠減少太陽能電池組列的搬送故障。例如，可以與多個太陽能電池組列的集合體61的太陽能電池元件集合體50的分割位置(邊界)相匹配地在工作臺72的內部設置光源，在工作臺72的上部設置由攝像機等構成的光識別裝置。并且，可以在激光照射后從工作臺72側從光源照射光，使用光識別裝置確認從分割位置漏泄的光。由此，能夠確認太陽能電池元件集合體50的分割狀態(tài)。在太陽能電池元件集合體50未分割的情況下，例如可以再次照射激光而分割未分割的太陽能電池元件集合體50，或者可以在將包括未分割的太陽能電池元件集合體50的多個太陽能電池組列的集合體61搬送于其他工序之后，另外分割未分割的太陽能電池元件集合體50。另外，本實施方式涉及的制造方法還具有搬送多個太陽能電池組列16中的第一太陽能電池組列16A的第三工序。并且，在該第三工序中，在將除了第一太陽能電池組列16A以外的另一個太陽能電池組列16B固定于工作臺72的狀態(tài)下，將第一太陽能電池組列16A從工作臺72舉起搬送。更加具體而言，本實施方式涉及的制造方法如圖21所示那樣，在分割后，可以在用真空吸附等將未搬送的第二太陽能電池組列16B固定于工作臺72上的狀態(tài)下用搬送機構將要被搬送的第一太陽能電池組列16A從工作臺72舉起搬送。在該情況下，假設即使存在未截斷的太陽能電池元件集合體50，也能夠用上述方法使裂縫進展，從·而能夠將分割的太陽能電池組列16搬送于下一個工序。接著，在形成分割的太陽能電池組列16后，例如在透光性部件13上依次層疊受光面?zhèn)让芊饧?4a、具有用內部引線17連接的多個太陽能電池元件201的太陽能電池組列
16、進而在其上依次層疊非受光面?zhèn)让芊饧?4b、非受光面?zhèn)缺Ｗo件15。這樣，通過層疊各部件且進行層壓處理，能夠形成各部件一體化的太陽能電池模塊101。作為在此的層壓處理，有通過將上述的部件的層疊體設置于層壓機且在50 150Pa的減壓下一邊加壓一邊在100°C 200°C的溫度加熱15 60分鐘左右而將受光面?zhèn)让芊饧?4a和非受光面?zhèn)让芊饧?4b熔化交聯(lián)的方法。需要說明的是，可以在這樣的層壓處理之后如上述那樣根據需要將鋁等框體26嵌入得到的太陽能電池模塊102的周圍。以上，對本發(fā)明涉及的太陽能電池模塊的制造方法的實施方式進行了例示。但本發(fā)明涉及的太陽能電池模塊的制造方法并不限于上述實施方式，能夠在本發(fā)明的范圍內施加較多的修正及變更。例如在本實施方式中，對使用用于形成在兩主面具有電極結構的太陽能電池元件201的太陽能電池元件集合體50的方式進行了說明，但如第五實施方式涉及的太陽能電池元件205那樣，也可以使用用于形成金屬電極繞通結構的太陽能電池元件或僅在作為非受光面的第二主面IOb側具有電極結構的太陽能電池元件的太陽能電池元件集合體50。另外，邊界(假想分割線)62可以不為一根而設置多根。即，一個太陽能電池元件集合體50具有兩個以上的太陽能電池元件2，可以被截斷成多個。進而，在本實施方式中的激光照射工序中，例示了使用單獨存在的激光裝置的方式，但該激光裝置可以組裝入連接內部引線17的裝置。即，激光裝置與內部引線17的連接裝置一體化。在該情況下，能夠直接使用定位配置太陽能電池元件集合體50的工作臺來照射激光。其結果是，能夠使生產率提高且將使用的設備小型化。作為使用激光裝置和連接裝置一體化的裝置的具體的方法，例如有以下的方法。首先，使太陽能電池元件集合體50的第一主面50a朝上，在多個太陽能電池元件201的第一輸出取出電極56a上分別配置內部引線17，用規(guī)定的方法連接。接著，使多個太陽能電池元件集合體50的第二主面50b朝上，將連接于一個太陽能電池元件集合體50 (50A)的內部引線17配置于另一個太陽能電池元件集合體50 (50B)的第二輸出取出電極57a上，用規(guī)定的方法連接，從而形成多個組列的集合體61。于是，能夠在該配置下向多個組列的集合體61進行激光照射。例如，連接內部引線17的連接裝置具有工作臺等載置太陽能電池元件集合體50的載置機構、加熱內部引線17的加熱機構、將內部引線17向第一輸出取出電極56a或第二輸出取出電極57a按壓保持的保持機構、向太陽能電池元件集合體50照射激光的激光照射機構。載置機構(工作臺)可以兼?zhèn)浒崴吞柲茈姵卦象w50的搬送機構。另外，例如也可以在通過向多個組列的集合體61噴氣體等而冷卻太陽能電池元件集合體50后照射激光。由此，誘導分割的在硅基板51內的裂縫的產生變得容易。尤其，在連接內部引線17后馬上照射激光的情況下，雖然連接內部引線17時太陽能電池元件集合體50的溫度上升，但如上述那樣通過用氣體冷卻，能夠在降低太陽能電池元件集合體50的溫度后照射激光。
另外，激光裝置70也可以具有圖像識別裝置。能夠在用圖像識別裝置圖像識別太 陽能電池元件集合體50的電極形狀或基板外形而確認了激光的照射位置后照射激光。因此，即使在多個組列的集合體61內多個太陽能電池元件集合體50偏離連接，也能夠在期望的邊界(假想分割線)62內照射激光。由此能夠提高良品率。以上，本發(fā)明不限于上述實施方式，在本發(fā)明的范圍內能夠施加較多的修正及變更。另外，本發(fā)明可以包括上述實施方式的各種組合。符號說明101、102、103、104、105、106-太陽能電池模塊Ia-短邊側Ib-長邊側201、202、203、204、205、206_ 太陽能電池元件3-硅基板4-受光面5-非受光面6-反向導電型層7-絕緣層8a-第一側面8b_ 第二側面8c-第三側面8d-第四側面9-受光面?zhèn)饶妇€電極(第一母線電極) 9a-第一側面?zhèn)入姌O9b-第二側面?zhèn)入姌O10-非受光面?zhèn)饶妇€電極(第二母線電極)11-第二集電電極12-第一集電電極(第一指狀電極)
13-透光性部件14a-受光面?zhèn)让芊饧?4b-非受光面?zhèn)让芊饧?5-非受光面?zhèn)缺Ｗo件16-太陽能電池組列17-內部引線19-隆起部 19a-第一隆起部19b_第二隆起部20-氧化膜20a-第一氧化膜20b_第二氧化膜21-BSF 區(qū)域23-分割槽24-連接部件25-輔助電極26-框體27-輸出取出電極27a_第一輸出取出電極27b_第二輸出取出電極28-連接板29-基體板30-電路層30a-接觸部31-凸部32-粘接層33-接合件34-應力緩和孔50-母基板(太陽能電池元件集合體)50a-第一主面50b_ 第二主面51-硅基板52-第一半導體層53-第二半導體層54-第三半導體層54d-第五區(qū)域54e-第六區(qū)域55-防反射層56-第一電極
56a_第一輸出取出電極56b-第一集電電極56c-第一輔助電極56d-第三區(qū)域56e_第四區(qū)域57-第二電極57a-第二輸出取出電極
57b_第二集電電極57c-第二輔助電極57d-第一區(qū)域57e_ 第二區(qū)域58-鈍化層59-端子箱60-輸出取出配線61-多個組列的集合體62-邊界81-被設置面301-太陽能電池陣列
權利要求
1.一種太陽能電池模塊，具有 太陽能電池組列，其具有多個太陽能電池元件及配線件，其中所述太陽能電池元件具有長方形狀的第一主面和在該第一主面上沿著長邊方向延伸的第一母線電極，所述配線件沿著所述第一主面的長邊方向連接相鄰的所述太陽能電池元件； 長方形狀的透光性部件，其以覆蓋所述太陽能電池組列的方式與所述第一主面大致平行配置； 密封件，其配置于所述太陽能電池組列和所述透光性部件之間， 所述多個太陽能電池元件分別具有硅基板，其中所述硅基板具有所述第一主面、位于該第一主面的背面的第二主面、連接所述第一主面和所述第二主面的第一側面、及位于該第一側面的背面且連接所述第一主面和所述第二主面的第二側面， 所述第一側面及所述第二側面沿所述第一主面的長邊方向配置，在所述第一側面硅露出，并且所述第二側面用絕緣層覆蓋。
2.根據權利要求I所述的太陽能電池模塊,其中， 所述太陽能電池組列中的所述多個太陽能電池元件的所述第二側面以位于同一平面內的方式配置。
3.根據權利要求I所述的太陽能電池模塊,其中， 所述第一主面為受光面， 所述第一母線電極在所述第一主面上設置多個，該多個所述第一母線電極具有最接近所述第一側面的第一側面?zhèn)入姌O和最接近所述第二側面的第二側面?zhèn)入姌O， 從所述第一主面?zhèn)扔^察時，所述第一側面?zhèn)入姌O和所述第一側面的距離比所述第二側面?zhèn)入姌O和所述第二側面的距離大。
4.根據權利要求I所述的太陽能電池模塊,其中， 所述太陽能電池元件還具有設置于所述第一側面和所述第一主面的交叉部的第一隆起部及設置于所述第一側面和所述第二主面的交叉部的第二隆起部的至少一方。
5.根據權利要求4所述的太陽能電池模塊，其中， 所述太陽能電池元件還具有設置于所述第一隆起部上的第一氧化膜及設置于所述第二隆起部上的第二氧化膜的至少一方。
6.根據權利要求5所述的太陽能電池模塊，其中， 所述第一氧化膜及所述第二氧化膜的至少一方在對應的所述第一主面及所述第二主面的至少一方設置成與對應的所述第一隆起部或所述第二隆起部相比延伸至內側。
7.根據權利要求I所述的太陽能電池模塊,其中， 所述第一主面為受光面， 多個所述太陽能電池元件分別還具有在所述第一主面上向與所述第一母線電極大致垂直的方向延伸且與所述第一電極電連接的多個第一指狀電極， 該第一指狀電極的兩端中的位于所述第一側面?zhèn)鹊牡谝欢瞬窟_到所述第一側面， 所述第一指狀電極的兩端中的位于所述第二側面?zhèn)鹊牡诙瞬侩x開所述第二側面。
8.根據權利要求7所述的太陽能電池模塊，其中， 多個所述太陽能電池元件還具有在所述第一主面的外周沿所述第一側面且經由所述第一指狀電極與所述第一母線電極電連接的第一輔助電極。
9.根據權利要求I所述的太陽能電池模塊,其中， 具有多個所述太陽能電池組列， 多個所述太陽能電池組列包括第一太陽能電池組列及與該第一太陽能電池組列相鄰的第二太陽能電池組列， 所述第一太陽能電池組列中的多個所述太陽能電池元件的所述第一側面以位于第一面內的方式進行配置， 所述第二太陽能電池組列中的多個所述太陽能電池元件的所述第二側面以位于第二面內的方式進行配置， 所述第二面與所述第一面平行且與所述第一面對置配置。
10.一種太陽能電池模塊的制造方法，所述太陽能電池模塊是權利要求I所述的太陽能電池模塊，所述太陽能電池模塊的制造方法包括 第一工序，其將多個具有多個所述太陽能電池元件的太陽能電池元件集合體排列于一方向且用多個配線件將對應的所述太陽能電池元件在所述一方向連接而形成多個太陽能電池組列的集合體，其中所述太陽能電池元件包括具有所述第一主面及與該第一主面相反側的所述第二主面的所述硅基板； 第二工序，其在相鄰的所述太陽能電池元件的邊界沿所述一方向從所述第二主面?zhèn)葘λ黾象w照射激光，利用該激光的照射所產生的熱應力按每個所述太陽能電池元件進行分割而形成具有多個所述太陽能電池元件的多個太陽能電池組列，其中，多個所述太陽能電池元件用所述配線件在所述一方向上連接。
11.根據權利要求10所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第一工序之前還包括在所述硅基板的所述第一主面形成Pn結區(qū)域的工序。
12.根據權利要求10所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序之前還包括對于所述太陽能電池元件集合體在所述第二主面形成第二電極的工序，所述第二電極具有第一區(qū)域和相對于該第一區(qū)域在與所述一方向垂直的方向上隔開第一間隔配置的第二區(qū)域， 在所述第二工序，向所述第一間隔內照射激光而在所述第一間隔內按每個所述太陽能電池元件進行分割。
13.根據權利要求12所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序之前還包括對于所述太陽能電池元件集合體在所述第二電極的所述第二主面?zhèn)刃纬砂雽w層的工序，所述半導體層具有分別與所述第一區(qū)域及所述第二區(qū)域對應配置的第三區(qū)域及第四區(qū)域。
14.根據權利要求12所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序之前還包括對于所述太陽能電池元件集合體在所述第一主面形成第一電極的工序，所述第一電極具有第五區(qū)域和在與所述一方向垂直的方向上與該第五區(qū)域隔開第二間隔配置的第六區(qū)域， 在所述第二工序中，在所述第二間隔內按每個所述太陽能電池元件進行分割。
15.根據權利要求14所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 對于所述太陽能電池元件集合體，以所述第二主面中的所述第二電極的形成區(qū)域的比例大于所述第一主面中的所述第一電極的形成區(qū)域的比例的方式形成所述第一電極及所述第二電極。
16.根據權利要求15所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序之前還包括將所述太陽能電池元件集合體形成向所述第一主面?zhèn)韧蛊鸬膹澢螤畹墓ば颍? 在所述第二工序中，對所述太陽能電池元件集合體以在所述太陽能電池元件集合體成為平坦的方向上施加應力的狀態(tài)照射所述激光。
17.根據權利要求10所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序之前還包括對于所述太陽能電池元件集合體在所述第一主面形成與所述太陽能電池元件的排列方向平行延伸的一對輔助電極的工序， 在所述第二工序中，在所述一對輔助電極之間按每個所述太陽能電池元件進行分割。
18.根據權利要求10所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 在所述第二工序中，在氧氣氛中照射所述激光。
19.根據權利要求10所述的太陽能電池模塊的制造方法，其中， 還包括搬送多個所述太陽能電池組列中的第一太陽能電池組列的第三工序， 在該第三工序中，將所述第一太陽能電池組列以外的其他太陽能電池組列固定于載置了多個所述太陽能電池組列的工作臺上，并在該狀態(tài)下將所述第一太陽能電池組列從所述工作臺舉起搬送。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在提高在太陽能電池模塊的面積中所占的太陽能電池元件的面積的比例的同時提高了強度的太陽能電池模塊。太陽能電池模塊具有太陽能電池組列，其具有多個太陽能電池元件及配線件，其中所述太陽能電池元件具有長方形狀的第一主面和在該第一主面上沿著長邊方向延伸的第一母線電極，所述配線件沿著所述第一主面的長邊方向連接相鄰的所述太陽能電池元件；長方形狀的透光性部件，其以覆蓋所述太陽能電池組列的方式與所述第一主面大致平行配置；密封件，其配置于所述太陽能電池組列和所述透光性部件之間。所述多個太陽能電池元件分別具有硅基板，其中所述硅基板具有所述第一主面、位于該第一主面的背面的第二主面、連接所述第一主面和所述第二主面的第一側面、及位于該第一側面的背面且連接所述第一主面和所述第二主面的第二側面。所述第一側面及所述第二側面沿所述第一主面的長邊方向配置，在所述第一側面硅露出，并且所述第二側面用絕緣層覆蓋。
文檔編號H01L31/042GK102971865SQ201180033440
公開日2013年3月13日 申請日期2011年9月29日 優(yōu)先權日2010年9月29日
發(fā)明者平田浩顯, 上田洋士, 茨木恭一, 隅田健一郎, 河北典保, 京田豪, 手島良太 申請人:京瓷株式會社