專利名稱：顯示面板及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及有源矩陣驅動型的顯示面板及其制造方法。
背景技術：
在這種顯示面板中，按呈矩陣狀配置的各像素電極而配置有驅動單元。各驅動單元構成為包括薄膜晶體管元件。理想的是各驅動單元的所有薄膜晶體管元件正常工作，但實際上由于柵極絕緣膜的耐壓不良、布線的斷線等，有時會存在幾個有缺陷的薄膜晶體管元件。當通過包括有缺陷的薄膜晶體管元件的驅動單元向像素電極供電時，有可能會導致使顯示面板產(chǎn)生暗點和/或亮點。特別是存在亮點的顯示面板，從商品標準的觀點來看是不能容許的。因此，例如在專利文獻I中，通過以激光切斷有缺陷的薄膜晶體管元件的布線的一部分，將有缺陷的驅動單元和與該驅動單元對應的像素電極保持為非電連接。根據(jù)該
結構，在顯示面板中與有缺陷的驅動單元對應的部分成為暗點，因此能夠防止在顯示面板產(chǎn)生亮點。在先技術文獻專利文獻I :日本特開昭63-276032號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，在通過激光切斷布線時，存在布線構件向周邊飛散而導致微粒(particle)增加的問題。由于微粒的增加，有可能會導致薄膜晶體管元件的源極和漏極短路。而且，一般而言，以激光切斷布線的一部分時，為了易于切斷而需要預先在布線設置較細的部分。另外，也需要進行布局以使得在該部分的下層不配置電極等。即，在以激光切斷布線的一部分時，增加了布局上的制約。其結果，有時不得不縮小薄膜晶體管元件的尺寸。這樣一來，由于薄膜晶體管元件的能力降低，因此作為驅動單元產(chǎn)生以下等不足1)無法使所期望的像素電流流動、2)對保持電容的寫入時間延遲、3)無法配置補償電路用的晶體管，其結果會導致顯示面板的性能劣化。例如，作為性能劣化的一種，顯示面板的輝度(brightness)可能會降低。本發(fā)明的目的在于提供一種在抑制微粒的增加的同時又避免了薄膜晶體管元件的布局上的制約的顯示面板。用于解決問題的手段為了解決上述問題，本發(fā)明的一種方式的顯示面板的特征在于，包括晶體管陣列基板，其呈矩陣狀配置有多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元；層間絕緣膜，其形成在所述晶體管陣列基板上，在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及多個像素電極，其與所述多個驅動單元對應地呈矩陣狀配置在所述層間絕緣膜上，所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元，在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下，所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔，所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，從而所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。發(fā)明的效果在本發(fā)明的一種方式的顯示面板中，在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。由于不是切斷布線來實現(xiàn)非電連接，因此微粒不會增加，也不會造成布局上的制約。


圖I的(a)是表示本發(fā)明實施方式I的顯示裝置100的電結構的框圖。圖I的 (b)是表示顯示面板105具有的一個像素電路的電路結構及其與周邊電路的連接的圖。圖2是表示顯示面板105中的柵極線200、數(shù)據(jù)線201、電源線202以及驅動單元209的布局的不意俯視圖。圖3是表示顯示面板105中的像素電極205的布局的示意俯視圖。圖4的(a)是示意表示顯示面板105的結構的部分剖視圖(圖2的A_A’剖面)。圖4的(b)是示意表示顯示面板105的結構的局部剖視圖(圖2的B-B’剖面)。圖5是表示顯示面板105的制作工序的圖。圖6是表示層間絕緣膜形成工序、層間絕緣膜孔填埋工序以及像素電極形成工序的一例的工序圖。圖7是示意表示顯示面板105的主要部分的局部剖視圖。圖8是示意表示變形例I的顯示面板結構的局部剖視圖。圖9是表示變形例2的顯示面板中的柵極線200a、電源線202a、驅動單元501以及像素電極601的布局的示意俯視圖。圖10的(a)是示意表示變形例2的顯示面板結構的局部剖視圖(圖9的C_C’剖面)。圖10的(b)是示意表示變形例2的顯示面板結構的局部剖視圖(圖9的D-D’剖面)。圖11是表示顯示裝置100的外觀的圖。標號說明100顯示裝置101控制電路102存儲器103掃描線驅動電路104數(shù)據(jù)線驅動電路105顯示面板200柵極線201數(shù)據(jù)線
202電源線203開關晶體管204驅動晶體管205、205a、205b 像素電極206保持電容207共用電極208像素電路209、209a、209b 驅動單元 211a、211b 供電襯墊(pad)212a、212b 接觸孔401 基板403柵極絕緣膜407層間絕緣膜408鈍化膜409平坦化膜410絕緣構件
具體實施例方式<實施方式>本發(fā)明的一種方式的顯示面板的特征在于，包括晶體管陣列基板，其呈矩陣狀配置有多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元；層間絕緣膜，其形成在所述晶體管陣列基板上，在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及多個像素電極，其與所述多個驅動單元對應地呈矩陣狀配置在所述層間絕緣膜上，所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元，在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下，所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔，所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，從而所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。在本發(fā)明的一種方式的顯示面板中，在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。由于不是通過切斷布線來實現(xiàn)非電連接的，因此微粒不會增加，也不會造成布局上的制約。在此，作為本發(fā)明的其他方式，所述絕緣構件可以設置于與所述第一像素電極各自對應的接觸孔的至少包括底部的部分。在此，作為本發(fā)明的其他方式，所述絕緣構件可以由丙烯類樹脂形成。在此，作為本發(fā)明的其他方式，所述層間絕緣膜可以包括形成在所述晶體管陣列基板上的鈍化膜、和形成在所述鈍化膜上的平坦化膜。
在此，作為本發(fā)明的其他方式，所述顯示面板可以是電致發(fā)光顯示面板。在此，作為本發(fā)明的其他方式，所述顯示面板可以是有機電致發(fā)光顯示面板。在此，作為本發(fā)明的一種方式的顯示面板的制造方法可以為特征在于，包括準備工序，準備基板；晶體管陣列基板形成工序，通過在所述基板上呈矩陣狀配置多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元，形成晶體管陣列基板；層間絕緣膜形成工序，在所述晶體管陣列基板上形成層間絕緣膜，所述層間絕緣膜在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及像素電極形成工序，在所述層間絕緣膜上與所述多個驅動單元對應而呈矩陣狀配置多個像素電極，所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元，在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下，將所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔，所述制造方法在所述層間絕緣膜形成工序和所述像素電極形成工序之間還包括絕緣構件形成工序，所述絕緣構件形成工序中在 用于使所述第一像素電極與所述有缺陷的驅動單元接觸的各接觸孔形成絕緣構件，通過使 所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，使所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，通過使所述絕緣構件介于所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間，使所述第一像素電極各自與對應的驅動單元非電連接。在本方案的顯示面板的制造方法中，通過在用于使所述第一像素電極與所述有缺陷的驅動單元接觸的各接觸孔形成絕緣構件，所述第一像素電極各自成為與對應的驅動單元非電連接，因此微粒不會增加，也不會造成布局上的制約。在此，作為本發(fā)明的其他方式，在所述絕緣構件形成工序中，可以在所述各接觸孔的至少包括底部的部分形成所述絕緣構件。在本方式的顯示面板的制造方法中，由于不是在所述各接觸孔的全部部位形成所述絕緣構件，因此能夠降低絕緣材料從所述各接觸孔溢出到周邊的可能性。在此，作為本發(fā)明的其他方式，在所述絕緣構件形成工序中，可以使用丙烯類樹脂形成絕緣構件。在此，作為本發(fā)明的其他方式，在所述層間絕緣膜形成工序中，可以包括在所述晶體管陣列基板上形成鈍化膜的工序、和在所述鈍化膜上形成平坦化膜的工序。在此，作為本發(fā)明的一種方式的顯示面板的制造方法可以為特征在于，包括準備工序，準備基板；晶體管陣列基板形成工序，通過在所述基板上呈矩陣狀配置多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元，形成晶體管陣列基板；檢查工序，檢查所述晶體管陣列基板中的各薄膜晶體管元件有無缺陷；位置信息取得工序，基于所述檢查的結果，取得所述晶體管陣列基板中的有缺陷的驅動單元的位置信息；層間絕緣膜形成工序，在所述晶體管陣列基板上形成層間絕緣膜，所述層間絕緣膜在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及像素電極形成工序，在所述層間絕緣膜上與所述多個驅動單元對應而呈矩陣狀配置多個像素電極，所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元，在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下，將所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔，所述制造方法在所述層間絕緣膜形成工序與所述像素電極形成工序之間還包括在與所述位置信息對應的接觸孔形成絕緣構件的工序，通過使所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，使所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，通過使所述絕緣構件介于所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間，使所述第一像素電極各自與對應的驅動單元非電連接。<實施方式1>一顯示裝置100的概略框圖一圖I的(a)是表示本發(fā)明實施方式I的包括顯示面板105的顯示裝置100的電結構的框圖。如圖I的(a)所示，顯示裝置100具有控制電路101、存儲器102、掃描線驅動電路103、數(shù)據(jù)線驅動電路104以及呈行列狀配置有像素電路的顯示面板105。顯示面板105例如是電致發(fā)光(以下記為“EL”)顯示面板，也可以是有機EL顯示面板。另外，顯示面板105也可以是液晶顯不面板?！DI的(b)是表示顯示面板105具有的一個像素電路的電路結構及其與周邊電路的連接的圖。如圖I的(b)所示，像素電路208構成為包括柵極線200、數(shù)據(jù)線201、電源線202、開關晶體管203、驅動晶體管204、像素電極205、保持電容206以及共用電極207。開關晶體管203和驅動晶體管204是薄膜晶體管元件。在像素電極205和共用電極207之間形成有層疊多個功能層而構成的發(fā)光層或液晶。周邊電路包括掃描線驅動電路103和數(shù)據(jù)線驅動電路104。另外，由開關晶體203、驅動晶體管204以及保持電容206構成驅動單元209。在顯示面板105為EL顯示面板的情況下，從數(shù)據(jù)線驅動電路104提供的信號電壓經(jīng)由開關晶體管203而被施加到驅動晶體管204的柵極端子。驅動晶體管204使與該數(shù)據(jù)電壓對應的電流在源極-漏極端子之間流動。通過該電流流向像素電極205，從而得到與該電流對應的發(fā)光輝度。在顯示面板105為液晶顯示面板的情況下，通過施加于柵極線200的電壓，使電流在開關晶體管203的源極-漏極端子之間流動，此時施加于數(shù)據(jù)線201的電壓被提供給像素電極205。一布局一接著，說明顯示面板105中的柵極線200、數(shù)據(jù)線201、電源線202以及驅動單元209的布局。圖2是表示顯示面板105中的柵極線200、數(shù)據(jù)線201、電源線202以及驅動單兀209的布局的不意俯視圖。如圖2所示，多個驅動單元209呈矩陣狀配置。多個驅動單元209的一部分是有缺陷的驅動單元，其余部分是沒有缺陷(即正常工作)的驅動單元。有缺陷的驅動單元指的是包括始終處于導通狀態(tài)的薄膜晶體管、或者始終處于截止狀態(tài)的薄膜晶體管的驅動單元。在以后的說明中，著眼于在列(Y軸)方向上相鄰的兩個驅動單元(驅動單元209a和驅動單元209b)來進行說明。在圖2中，驅動單元209a表示沒有缺陷的驅動單元,驅動單元209b表示有缺陷的驅動單元。另外，在由沿著行方向配置的多個驅動單元構成的驅動單元行的一側(單側)，形成有柵極線200。另一方面，由沿著列方向配置的多個驅動單元構成的驅動單元列的一側(單側)形成有數(shù)據(jù)線201，在另一側形成有電源線202。
圖3是表示顯示面板105中的像素電極205的布局的示意俯視圖。如圖3所示，多個像素電極205呈矩陣狀配置。多個像素電極205以與圖2所示的多個驅動單元209一一對應的方式設置。因此，在多個像素電極205中存在與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極(第二像素電極)、以及與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極(第一像素電極)。在圖3中，像素電極205a表示與驅動單元209a對應的像素電極，像素電極205b表示與驅動單元209b對應的像素電極。一剖視圖一圖4的(a)是示意表示顯 示面板105的結構的局部剖視圖(圖2的A_A’剖面)。如圖4的(a)所示，在基板401上形成有柵極絕緣膜403，在柵極絕緣膜403上形成有供電襯墊(pad) 211a。進一步，形成有層間絕緣膜407以覆蓋供電襯墊211a。層間絕緣膜407例如是2層構造，包括鈍化膜408和平坦化膜409。在層間絕緣膜407中位于供電襯墊211b的一部分形成有接觸孔212a。沿著該接觸孔212a形成有像素電極205a，與供電襯墊211a接觸。這樣，像素電極205a的一部分進入接觸孔212a，從而像素電極205a與供電襯墊211a直接接觸。由此，驅動單元209a與像素電極205a電連接，因此得以從驅動單元209a向像素電極205a供電。圖4的(b)是示意表示顯示面板105的結構的局部剖視圖(圖2的B-B’剖面)。如圖4的(b)所示，在基板401上形成有柵極絕緣膜403，在柵極絕緣膜403上形成有供電襯墊211b。進一步，形成層間絕緣膜407以覆蓋供電襯墊211b。層間絕緣膜407例如為2層構造，包括鈍化膜408和平坦化膜409。在層間絕緣膜407中位于供電襯墊211b的一部分形成有接觸孔212b。至此，與圖4的(a)的結構是同樣的。但是，在圖4的(b)中，在該接觸孔212b內(nèi)形成有絕緣構件410。并且，在層間絕緣膜407和絕緣構件410上沿著接觸孔212b形成有像素電極205b。絕緣構件410的材料例如是聚酰亞胺類樹脂或者丙烯類樹脂，形成絕緣構件410的區(qū)域可以為接觸孔212b的至少包括底部214b的部分。其中，其厚度需要是足夠使供電襯墊211b與像素電極205b絕緣的厚度。這樣，在像素電極205b的與接觸孔212b相當?shù)牟糠?在此是像素電極205b中進入接觸孔212b的部分)與供電襯墊211b之間夾有絕緣構件410。因此，像素電極205b和驅動單元209b保持非電連接的狀態(tài)。由于像素電極205b和驅動單元209b沒有電連接，因此不會從驅動單元209b向像素電極205b供電。因此，在顯示面板105中與像素電極205b對應的部分成為暗點，即使在顯示面板105存在有缺陷的薄膜晶體管元件，也能夠防止在顯示面板105產(chǎn)生亮點。而且，像素電極205b與驅動單元209b成為非電連接的狀態(tài)，不是通過切斷驅動單元209b的薄膜晶體管元件的布線來實現(xiàn)，而是通過在接觸孔212b形成絕緣構件410來實現(xiàn)的。由于不切斷布線，當然就不會增加切斷布線帶來的微粒，也不會造成薄膜晶體管元件的布局上的制約。在此，作為沒有缺陷的驅動單元和與該驅動單元對應的像素電極，以驅動單元209a和像素電極205a為例，對它們的結構進行了說明，但對于其他沒有缺陷的驅動單元和與該驅動單元對應的像素電極也為同樣的結構。同樣地，作為有缺陷的驅動單元和與該驅動單元對應的像素電極，以驅動單元209b和像素電極205b為例，對它們的結構進行了說明，但對于其他有缺陷的驅動單元和與該驅動單元對應的像素電極也為同樣的結構。也即是，構成為在與其他有缺陷的驅動單元對應的像素電極和該其他有缺陷的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件。一制作工序一說明顯示面板105的制作工序。在此，特別說明從形成晶體管陣列的工序到形成像素電極的工序。圖5是表示顯示面板105的制作工序的圖。首先，在步驟SlOl的晶體管陣列形成工序中，在基板上呈矩陣狀形成多個驅動單元，從而形成晶體管陣列基板。在步驟S102的晶體管陣列檢查工序中，檢查呈矩陣狀形成的多個驅動單元中哪 個薄膜晶體管元件有缺陷。具體而言，首先，缺陷檢查裝置設定呈矩陣狀形成的多個驅動單元中各薄膜晶體管元件的地址(address)。接著，對柵極線、數(shù)據(jù)線以及電源線施加電位，使用非接觸的電位計來測量各地址的電位。當測量出的電位是正常值時，則判斷為與該地址對應的薄膜晶體管元件沒有缺陷。另一方面，當不是正常值時，則判斷為與該地址對應的薄膜晶體管元件有缺陷。在此，缺陷有2種薄膜晶體管元件始終導通的狀態(tài)即短路狀態(tài)；以及薄膜晶體管元件始終截止的狀態(tài)即斷開狀態(tài)。缺陷檢查裝置通過調(diào)整各信號線的電位來判斷有缺陷的薄膜晶體管處于哪種狀態(tài)。即，缺陷檢查裝置判斷各薄膜晶體管元件處于正常、短路狀態(tài)、斷開狀態(tài)的哪一種。在步驟S103的層間絕緣膜形成工序中，在晶體管陣列基板上形成層間絕緣膜。該層間絕緣膜構成為在與各驅動單元中的供電襯墊對應的一部分設有接觸孔。在步驟S104的層間絕緣膜孔填埋工序中，在與包括被判斷為有缺陷的薄膜晶體管元件的驅動單元對應的接觸孔形成絕緣構件。在缺陷為短路狀態(tài)的情況下，需要避免對像素電極供電，但在缺陷為斷開狀態(tài)的情況下，未必需要避免對像素電極供電。這是因為在斷開狀態(tài)的情況下，所對應的像素成為暗點，在該情況下，即使其周邊的像素發(fā)光，該像素也不容易顯眼。另一方面，在導通狀態(tài)的情況下，所對應的像素成為亮點，在該情況下，當其周邊的像素變暗時(在顯示面板不顯示圖像或顯示低輝度的光柵(raster)等情況下)，成為亮點的像素即使為I個也非常顯眼，因此容易被用戶識別出來。因此，亮點即使存在I個，也會被作為不良品面板。因此，需要在與包括處于導通狀態(tài)的薄膜晶體管元件的驅動單元對應的接觸孔形成絕緣構件。在步驟S105的像素電極形成工序中，將多個像素電極形成為矩陣狀，以使得與多個驅動單元一一對應。在本實施方式中，多個像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔。使用圖6詳細說明層間絕緣膜形成工序、層間絕緣膜孔填埋工序以及像素電極形成工序。圖6是表示層間絕緣膜形成工序、層間絕緣膜孔填埋工序以及像素電極形成工序的一例的工序圖。圖6的(a)示出在基板401上形成了柵極絕緣膜403、在柵極絕緣膜403上形成了電極襯墊211b的狀態(tài)。
此后，在供電襯墊212b上形成由絕緣性材料形成的絕緣材料膜。在此，絕緣材料膜例如是2層構造，可以包括鈍化材料膜和平坦化材料膜。絕緣材料膜的形成可以通過例如CVD(Chemical Vapor Deposition :化學氣相沉積)法、涂覆等來進行。接著，在與多個驅動單元相當?shù)母鲄^(qū)域的一部分形成接觸孔。具體而言，在絕緣材料膜上涂覆抗蝕劑膜后，重疊具有預定形狀的開口部的掩模，從掩模上使抗蝕劑膜感光，以顯影液(例如，TMAH(Tetra methyl ammonium hydroxide)水溶液)洗出多余的抗蝕劑膜。之后，通過干蝕刻除去了開口部的絕緣材料膜之后，剝離抗蝕劑膜，從而完成絕緣材料膜的圖案形成。在作為絕緣材料膜使用感光性的涂覆膜的情況下，能夠通過直接顯影液進行圖案形成，因此不需要抗蝕劑膜的剝離和干蝕刻。進行了圖案形成的絕緣材料膜407在位于電極襯墊211b上的一部分具有接觸孔212b (圖 6 的(b))。·之后，如圖6的(C)所示，向電極襯墊211b中從絕緣材料膜407露出的部分(即接觸孔212b內(nèi))，通過分液器411排出與平坦化材料膜相同的絕緣材料。如圖6的(d)所示，絕緣材料可以形成在接觸孔212b的至少包括底部214b的部分。這樣一來，在之后的工序中，能夠確保形成了絕緣材料的部位與沒有形成絕緣材料的部位的像素電極的形狀的同一性。對由此帶來的效果進行說明。當顯示面板105為EL顯示面板時,EL基板(參照圖7)和濾色片(color filter)基板通過封止樹脂來進行貼合(也即是，兩個基板之間以封止樹脂來填充)。當各基板的與其他基板的接合面平坦，能良好地實現(xiàn)兩個基板的貼合。通過將絕緣材料形成在接觸孔212b的一部分，能夠抑制在EL基板的與濾色片基板的接合面形成因絕緣材料引起的突起部。因此，能夠實現(xiàn)兩個基板的良好貼合。另外，當排出絕緣材料以填埋在接觸孔212b內(nèi)時，絕緣材料有可能溢出到周邊。當絕緣材料溢出到周邊時，由平坦化膜所保證的平坦性會受到損害。通過使絕緣材料形成在接觸孔212b的一部分，能夠將這樣的情況防于未然。返回到工序中，在向接觸孔排出絕緣材料之后，經(jīng)過烘培工序，從而完成包括鈍化膜408和平坦化膜409的層間絕緣膜407、以及絕緣構件410。這樣，通過共用平坦化膜409和絕緣構件410的材料，能夠避免烘培工序的次數(shù)增加。之后，沿著接觸孔在平坦化膜409和絕緣構件410上形成像素電極205b。如圖6的(e)所示，在形成了絕緣構件410之后，也形成為像素電極205b的一部分進入接觸孔212b (也即是,像素電極205b成為凹狀)。另外，通過形成絕緣構件410實現(xiàn)像素電極205b與驅動單元209b非連接的狀態(tài)，因此不需要改變薄膜晶體管元件、布線等的布局。因此，能夠直接利用已有的掩模，從成本的觀點出發(fā)是有用的。以上是層間絕緣膜形成工序、層間絕緣膜孔填埋工序以及像素電極形成工序的說明。在此，通過共用平坦化膜409和絕緣構件410的材料，在一次烘培工序中烘培了平坦化材料膜和絕緣材料這兩者，當然也可以對絕緣材料膜進行了圖案形成之后，進行一次烘培工序，在接觸孔追加了絕緣材料之后，再次進行烘培工序。在該情況下，絕緣構件的材料優(yōu)選烘培時間短的材料。例如，可以是在聚酰亞胺樹脂中添加了反應引發(fā)劑的材料。一顯不面板105的結構一在此，作為顯示面板105的一例，說明EL顯示面板的結構。圖7是示意表示顯示面板105的主要部分的局部剖視圖。如圖7所示,在晶體管陣列基板301上形成有鈍化膜408，在鈍化膜408上形成有平坦化膜409。在該平坦化膜409上形成有像素電極(陽極)205。像素電極205以子像素為單位圖案形成為行列狀而形成。另外，通過在X軸方向上相鄰的3個子像素的組合來構成I個像素。在相鄰的像素電極205之間形成有堤304，在由堤304規(guī)定的各區(qū)域內(nèi)，在像素電極205上層疊有預定顏色的發(fā)光層305G、305R、305B。發(fā)光層305R、305G、305B例如是有機 發(fā)光層。進而，在發(fā)光層305R、305G、305B上，共用電極(陰極)207形成為超出由堤304所規(guī)定的區(qū)域而與相鄰的發(fā)光層的部分連續(xù)。以下，詳細說明顯示面板105為EL顯示面板的情況下的各部分的材料等。一各部分結構一晶體管陣列基板301在基板上呈矩陣狀配置有多個驅動單元。鈍化膜408由聚酰亞胺類樹脂或者硅類樹脂等絕緣材料形成。平坦化膜409由聚酰亞胺類樹脂或者丙烯類樹脂等絕緣材料形成。像素電極205由鋁(Al)或鋁合金形成。另外，也可以例如由銀(Ag)、銀鈀銅的合金、銀銣金的合金、鑰鉻的合金(MoCr)、鎳鉻的合金(NiCr)等來形成。在顯示面板105為頂部發(fā)射型的情況下，像素電極205優(yōu)選由光反射性的材料形成。堤304由樹脂等有機材料形成，具有絕緣性。作為有機材料的例子，舉出丙烯類樹月旨、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等。堤304優(yōu)選具有有機溶劑耐性。進一步，堤304有時被進行濕法蝕刻處理、烘培處理等，因此優(yōu)選由對于這些處理不會過度變形、變質(zhì)等的耐性高的材料來形成。在發(fā)光層305R、305G、305B為有機發(fā)光層的情況下，優(yōu)選例如由日本特開平5-163488號公報所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、n惡唑化合物、n惡二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、批咯并批咯化合物、萘化合物、蒽化合物(7 >卜9 * >化合物)、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、舊(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鎗化合物、噻喃鎗化合物、硒吡喃鎗化合物、碲吡喃鎗化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物(7 7 ^ ★ >化合物)、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)來形成。共用電極(陰極)207例如由氧化銦錫(ΙΤ0)、氧化氧化銦鋅(IZO)等形成。在顯示面板105為頂部發(fā)射型的情況下，共用電極207優(yōu)選由光透射性的材料形成。以上，基于實施方式說明了本發(fā)明的顯示面板，但本發(fā)明當然不限于上述實施方式。例如可以考慮如以下的變形例。
〈變形例1>說明改變了絕緣構件的結構的一個變形例。一剖視圖一圖8是示意表示變形例I的顯示面板的結構的局部剖視圖。如圖8所示，在基板401上形成有柵極絕緣膜403，在柵極絕緣膜403上形成有供電襯墊211b。進一步，形成有層間絕緣膜407以覆蓋供電襯墊211b。層間絕緣膜407例如是2層構造，包括鈍化膜408和平坦化膜409。在層間絕緣膜407中位于供電襯墊211b的一部分，形成有接觸孔212b。至此，與圖4的(b)的結構是同樣的。但在圖8中，不同點在于形成有絕緣構件410a以將整個接觸孔212b填埋。因此，像素電極205c形成為像素電極205c的一部分不進入接觸孔212b而將填埋了接觸孔212b的絕緣構件410a覆蓋。在這樣的結構中也不切斷布線，因此當然就不會增加切斷布線帶來的微粒，也不 會造成薄膜晶體管元件的布局上的制約?！醋冃卫?>對改變了各驅動單元的結構的一個變形例加以說明。在本變形例中，各驅動單元包括一個薄膜晶體管元件。 一布局一說明變形例2的顯示面板中的柵極線200a、電源線202a、驅動單元501以及像素電極601的布局。圖9是表示變形例2的顯示面板中的柵極線200a、電源線202a、驅動單元501以及像素電極601的布局的示意俯視圖。如圖9所示，多個驅動單元501被配置成矩陣狀。多個驅動單元501的一部分是有缺陷的驅動單元，其余部分是沒有缺陷的驅動單元。另外，多個像素電極601以與多個驅動單元501 —一對應的方式被配置成矩陣狀。因此，在多個像素電極601中存在與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極(第二像素電極)、以及與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極(第一像素電極)。在以后的說明中，著眼于驅動單元501a、驅動單元501b、像素電極601a、像素電極601b加以說明。在圖9中，驅動單元501a表示沒有缺陷的驅動單元，驅動單元501b表示有缺陷的驅動單元，像素電極601a表示與驅動單元501a對應的像素電極，像素電極601b表示與驅動單元502b對應的像素電極。另外，在由沿著行方向配置的多個驅動單元構成的驅動單元行的一側(單側)，形成有柵極線200a。另一方面，在由沿著列方向配置的多個驅動單元構成的驅動單元列的一側(單側)，形成有電源線202a。一剖視圖一圖10的(a)是示意表示變形例2的顯示面板的結構的局部剖視圖(圖9的C_C’剖面)。如圖10的(a)所示，在基板601上設有柵電極602a，在設有柵電極602a的基板601上設有柵極絕緣膜603。在柵極絕緣膜603上的位于柵電極602a上方的部分設有半導體層604a。而且，在柵極絕緣膜603上設有SD電極布線605a、606a，這些SD電極布線605a、606a各自的一部分爬上半導體層604a,在該半導體層604a上隔開間隔地配置。SD電極布線606a與供電襯墊503a連接。形成層間絕緣膜609以覆蓋SD電極布線605a、606a和供電襯墊503a。層間絕緣膜609例如是2層構造，包括鈍化膜607和平坦化膜608。在層間絕緣膜609形成有接觸孔504a，沿著該接觸孔504a形成有像素電極601a，與供電襯墊503a接觸。這樣，像素電極601a的一部分進入接觸孔504a，從而像素電極601a與供電襯墊503a直接接觸。由此，驅動單元501a與像素電極601a電連接，因此得以從驅動單元501a向像素電極601a供電。圖10的(b)是示意表示變形例2的顯示面板的結構的局部剖視圖(圖9的D-D’剖面)。如圖10的(b)所示，在基板601上設有柵電極602b，在設有柵電極602b的基板601上設有柵極絕緣膜603。在極絕緣膜603上的位于柵電極602b上方的部分設有半導體層604b。而且，在柵極絕緣膜603上設有SD電極布線605b、606b。這些SD電極布線605b、606b的各自的一部分爬上半導體層604b，在該半導體層604b上隔開間隔地配置。SD電極布線606b與供電襯墊503b連接。
形成層間絕緣膜609以覆蓋SD電極布線605b、606b和供電襯墊503b。層間絕緣膜609例如是2層構造，包括鈍化膜607和平坦化膜608。在層間絕緣膜609形成有接觸孔504b。至此與圖10的(a)的結構是同樣的。但是，在圖10的(b)中，在該接觸孔504b內(nèi)形成有絕緣構件610。并且，在層間絕緣膜607和絕緣構件610上沿著接觸孔504b形成有像素電極601b。關于絕緣構件610的材料及其厚度、以及形成絕緣構件610的區(qū)域，與已經(jīng)說明過的是同樣的。這樣，在像素電極601b的與接觸孔504b相當?shù)牟糠?在此是像素電極601b中進入接觸孔504b的部分)與供電襯墊503b之間夾有絕緣構件610。因此，像素電極601b與供電襯墊503b保持非電連接的狀態(tài)。像素電極601b與驅動單元501b不電連接，因此不會從驅動單元501b向像素電極601b供電。因此，在顯示面板中與像素電極601b對應的部分成為暗點，即使在顯示面板中存在有缺陷的薄膜晶體管元件，也能夠防止在顯示面板產(chǎn)生売點O而且，像素電極601b與驅動單元501b非電連接的狀態(tài)，不是通過切斷作為驅動單元501b的薄膜晶體管元件的布線來實現(xiàn)而是通過在接觸孔504b形成絕緣構件610來實現(xiàn)。由于不切斷布線，當然不會增加切斷布線帶來的微粒，也不會造成薄膜晶體管元件的布局上的制約。對于其他沒有缺陷的驅動單元以及與該其他沒有缺陷的驅動單元對應的像素電極的結構、其他有缺陷的驅動單元以及與該其他有缺陷的驅動單元對應的像素電極也為同樣的結構。也即是，構成為在與其他有缺陷的驅動單元對應的像素電極和該其他有缺陷的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件。〈其他變形例〉(I)在顯示面板為有機EL顯示面板的情況下，也可以在像素電極與有機發(fā)光層之間根據(jù)需要而插入設置空穴注入層、空穴輸送層或者空穴注入兼輸送層。也可以在共用電極與有機發(fā)光層之間根據(jù)需要而插入設置電子注入層、電子輸送層或者電子注入兼輸送層。(2)作為顯示面板的一例，也簡單說明液晶顯示面板的結構。在液晶顯示面板中，在晶體管陣列基板上形成有鈍化膜，在鈍化膜上形成有平坦化膜。在該平坦化膜上形成有多個像素電極。至此為與EL顯示面板同樣的結構。與EL顯示面板的不同點在于，共用電極被設置成與多個像素電極對向，在多個像素電極與共用電極之間填充有液晶。(3)像素電極205a和像素電極205b也可以通過由導電性材料形成的連接部而連接。在顯示面板105中的發(fā)光色按各列而不同的情況下，優(yōu)選將像素電極205b與在列方向上相鄰的像素電極205a連接。在顯示面板105為顯示單色的面板的情況下，不一定需要與在列方向上相鄰的像素電極連接，也可以與在行方向上相鄰的像素電極連接。對于像素電極601a和像素電極601b同樣也可以通過由導電性材料形成的連接部而連接。(4)設為了通過分液器411追加絕緣材料，但也可以通過噴墨等來涂覆因干燥而絕緣化的絕緣材料，之后通過干燥來形成絕緣構件。也可以使用不進行烘培也能用紫外線進行固化的抗蝕劑材料。(5)多個像素電極各自包括形成在層間絕緣膜上的部分和進入對應的接觸孔的部 分。各部分不必一體形成，也可以由各個不同的材料構成。(6)雖未指出顯示裝置100的外觀，但例如具有如圖11所示的外觀。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠利用于例如家用、公共設施用、或者業(yè)務用的各種顯示裝置、電視裝置、便攜型電子設備用顯示器等所使用的顯示面板。
權利要求
1.一種顯不面板，包括 晶體管陣列基板，其呈矩陣狀配置有多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元； 層間絕緣膜，其形成在所述晶體管陣列基板上，在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及 多個像素電極，其與所述多個驅動單元對應地呈矩陣狀配置在所述層間絕緣膜上， 所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元， 在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下， 所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔， 所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，從而所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接， 在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣構件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。
2.根據(jù)權利要求I所述的顯示面板， 所述絕緣構件設置于與所述第一像素電極各自對應的接觸孔的至少包括底部的部分。
3.根據(jù)權利要求I或2所述的顯示面板， 所述絕緣構件由丙烯類樹脂形成。
4.根據(jù)權利要求I 3中的任一項所述的顯示面板， 所述層間絕緣膜包括形成在所述晶體管陣列基板上的鈍化膜、和形成在所述鈍化膜上的平坦化膜。
5.根據(jù)權利要求I 4中的任一項所述的顯示面板， 所述顯示面板是電致發(fā)光顯示面板。
6.根據(jù)權利要求5所述的顯示面板， 所述顯示面板是有機電致發(fā)光顯示面板。
7.一種顯示面板的制造方法，包括 準備工序，準備基板； 晶體管陣列基板形成工序，通過在所述基板上呈矩陣狀配置多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元，形成晶體管陣列基板； 層間絕緣膜形成工序，在所述晶體管陣列基板上形成層間絕緣膜，所述層間絕緣膜在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及 像素電極形成工序，在所述層間絕緣膜上與所述多個驅動單元對應而呈矩陣狀配置多個像素電極， 所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元， 在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下， 將所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔， 所述制造方法在所述層間絕緣膜形成工序和所述像素電極形成工序之間還包括絕緣構件形成工序，所述絕緣構件形成工序中在用于使所述第一像素電極與所述有缺陷的驅動單元接觸的各接觸孔形成絕緣構件， 通過使所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，使所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接， 通過使所述絕緣構件介于所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間，使所述第一像素電極各自與對應的驅動單元非電連接。
8.根據(jù)權利要求7所述的顯示面板的制造方法， 在所述絕緣構件形成工序中，在所述各接觸孔的至少包括底部的部分形成所述絕緣構件。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的顯示面板的制造方法， 在所述絕緣構件形成工序中，使用丙烯類樹脂形成絕緣構件。
10.根據(jù)權利要求7 9中的任一項所述的顯示面板的制造方法， 在所述層間絕緣膜形成工序中包括 在所述晶體管陣列基板上形成鈍化膜的工序；和 在所述鈍化膜上形成平坦化膜的工序。
11.根據(jù)權利要求7 10中的任一項所述的顯示面板的制造方法， 所述顯示面板是電致發(fā)光顯示面板。
12.根據(jù)權利要求11所述的顯示面板的制造方法， 所述顯示面板是有機電致發(fā)光顯示面板。
13.一種顯示面板的制造方法，包括 準備工序，準備基板； 晶體管陣列基板形成工序，通過在所述基板上呈矩陣狀配置多個包括薄膜晶體管元件的驅動單元，形成晶體管陣列基板； 檢查工序，檢查所述晶體管陣列基板中的各薄膜晶體管元件有無缺陷； 位置信息取得工序，基于所述檢查的結果，取得所述晶體管陣列基板中的有缺陷的驅動單元的位置信息； 層間絕緣膜形成工序，在所述晶體管陣列基板上形成層間絕緣膜，所述層間絕緣膜在與所述多個驅動單元對應的各區(qū)域的一部分形成有接觸孔；以及 像素電極形成工序，在所述層間絕緣膜上與所述多個驅動單元對應而呈矩陣狀配置多個像素電極， 所述多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元， 在將所述多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將所述多個像素電極中與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下， 將所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔， 所述制造方法在所述層間絕緣膜形成工序與所述像素電極形成工序之間還包括在與所述位置信息對應的接觸孔形成絕緣構件的工序， 通過使所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，使所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，通過使所述絕緣構件介于所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間，使所述第一像素電極各自與對應的驅動單元非電連接。
14.根據(jù)權利要求13所述的顯示面板的制造方法， 在所述形成絕緣構件的工序中，在與所述位置信息對應的接觸孔的至少包括底部的部分形成所述絕緣構件。
15.根據(jù)權利要求13或14所述的顯示面板的制造方法， 在所述形成絕緣構件的工序中，使用丙烯類樹脂形成絕緣構件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示面板及其制造方法，配置于晶體管陣列基板的多個驅動單元包括一部分有缺陷的驅動單元，在將多個像素電極中與有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第一像素電極、將與沒有缺陷的驅動單元分別對應的像素電極稱為第二像素電極的情況下，所述第二像素電極各自形成為其一部分進入對應的接觸孔，所述第二像素電極各自的進入接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊接觸，從而所述第二像素電極各自與對應的驅動單元電連接，在所述第一像素電極各自的相當于接觸孔的部分與對應的驅動單元的供電襯墊之間夾有絕緣部件，所述第一像素電極各自與對應的驅動單元保持非電連接。
文檔編號H01L51/50GK102906803SQ201180002848
公開日2013年1月30日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權日2011年5月26日
發(fā)明者竹內(nèi)孝之, 西山誠司 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社