專利名稱:直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī)及修刻方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種直滑式導(dǎo)塑電位器,具體是一種對(duì)直滑式導(dǎo)塑電位器線性度的修整技術(shù),即一種直滑式導(dǎo)塑電位器連續(xù)式激光修刻機(jī)及修刻方法。
背景技術(shù):
直滑式導(dǎo)塑電位器作為傳感器在航空航天、工業(yè)機(jī)器人、汽車電子等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。其線性精度對(duì)設(shè)備的工作有直接影響,因而十分重要。電位器導(dǎo)電塑料基體一般是由漿料噴涂或膜壓的方法加工而成。由于生產(chǎn)工藝水平的局限,電位器的線性精度通常難以滿足工業(yè)應(yīng)用要求,因此必須對(duì)電位器作進(jìn)一步的修刻工序,用以將線性度較差的電位器精度提高到要求的標(biāo)準(zhǔn)。目前完成該工序的方法主要有兩種一是人工修刻,生產(chǎn)效率低下且強(qiáng)度大,浪費(fèi)人力,加工合格率不高;二是采用高速銑刀自動(dòng)修刻。
經(jīng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn),哈爾濱工業(yè)大學(xué)的王廣林教授等在2001年5月的《組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù)》中發(fā)表的《精密碳膜電位計(jì)自動(dòng)修刻技術(shù)和系統(tǒng)的研究》中,即采用了高速銑刀加工的方法,另外,國(guó)內(nèi)2008年的專利《一種電位器修刻機(jī)》 (200820141010. 7)所涉及的修刻裝置也是如此。這類方法的不足在于只能采用開環(huán)控制, 因此線性度誤差通常在千分之一以上,修刻精度有待提高。
激光加工技術(shù)作為一種新型加工技術(shù),具有加工質(zhì)量好、精度高、非接觸加工、易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的優(yōu)點(diǎn),因此已被廣泛應(yīng)用在許多領(lǐng)域。若采用激光離散修刻方法,雖然系統(tǒng)簡(jiǎn)單,但需要的時(shí)間較長(zhǎng),難以滿足電位器生產(chǎn)的效率要求。因此本設(shè)備采用激光技術(shù)及連續(xù)修刻方法,提高了自動(dòng)化水平,縮短了修刻時(shí)間,加工精度和效率較高,有利于降低生產(chǎn)成本,滿足當(dāng)前市場(chǎng)需求。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的效率低及質(zhì)量不高的缺點(diǎn),設(shè)計(jì)一種自動(dòng)化程度高的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī)及修刻方法。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案
本發(fā)明所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),包括三個(gè)部分用于夾持工件的夾具、運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)及激光器部分。
所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包含三條直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),兩條相同且平行,但高低位置不同,第三條為短程導(dǎo)軌,與另外兩條正交;在平行的兩條直線導(dǎo)軌中,第一條導(dǎo)軌處于高位, 第二條導(dǎo)軌處于低位且其滑塊與電位器的拉桿連接,可以控制電位器電刷的沿著電位器的縱向方向來回移動(dòng)。激光器安裝在第三條直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上,可以沿該導(dǎo)軌移動(dòng);激光器發(fā)出紅外激光,在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)的過程中對(duì)電位器的導(dǎo)電塑料薄膜上的特定區(qū)域掃描,可以改變?cè)搮^(qū)域的電阻曲線。在整個(gè)縱向行程上,可對(duì)任意區(qū)域的阻值進(jìn)行修改,最終達(dá)到整體線性度提高的目的。
本發(fā)明中,所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三個(gè)運(yùn)動(dòng),其一是沿著電刷移動(dòng)方向的縱向直3線運(yùn)動(dòng),用于控制電刷的移動(dòng);其二是與電刷移動(dòng)方向垂直的橫向運(yùn)動(dòng),用于控制激光器的光點(diǎn)位置的橫向移動(dòng);第三是與電刷移動(dòng)方向平行的縱向直線運(yùn)動(dòng),用于控制激光器的光點(diǎn)位置的縱向移動(dòng)。第一個(gè)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了電阻值的實(shí)時(shí)檢測(cè),后兩個(gè)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了直滑式導(dǎo)塑電位器的連續(xù)修刻,避免了離散修刻時(shí)間過長(zhǎng)的缺點(diǎn)。
本發(fā)明中,運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的縱向直線運(yùn)動(dòng)部分采用直線導(dǎo)軌,由交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。直線導(dǎo)軌將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)榛瑝K的直線運(yùn)動(dòng),其行程可以保證能夠測(cè)試多種規(guī)格的直線電位器。橫向運(yùn)動(dòng)部分同樣采用直線導(dǎo)軌,行程較短但可以保證修刻寬度需要。處于低位的直線導(dǎo)軌的滑塊上有連接塊與電位器的拉桿連接,能夠帶動(dòng)電刷沿直線運(yùn)動(dòng)。
本發(fā)明中,所述夾具部分能夠?qū)㈦娢黄鳒?zhǔn)確可靠的裝夾在加工平臺(tái)的相應(yīng)位置處。工件的夾緊僅靠側(cè)面方向上的力實(shí)現(xiàn),推拉式快速夾鉗能夠?qū)⑺綂A緊塊沿著兩條導(dǎo)軌的方向向內(nèi)推動(dòng)。
本發(fā)明中,所述電位器的拉桿呈螺紋狀,可以利用兩個(gè)螺母夾緊一片拉桿連接板, 再通過連接板與運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相連,這樣就可以實(shí)現(xiàn)電刷的運(yùn)動(dòng);電位器導(dǎo)線與設(shè)備的信號(hào)采樣部分連接是通過快速電線夾實(shí)現(xiàn)的。
本發(fā)明中,控制電刷縱向移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)和控制激光器光點(diǎn)位置縱向移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)是相互獨(dú)立的,分別由兩條平行的直線導(dǎo)軌完成,因此在修刻過程中也隨時(shí)可以測(cè)量電位器任意位置的電阻值。
本發(fā)明中,短程直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)通過安裝板與第一條直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的滑塊連接,因此激光器可以隨其在電位器縱向上移動(dòng),同時(shí)也可作橫向移動(dòng),合成為平面運(yùn)動(dòng)。
本發(fā)明中,激光器安裝板與短程直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的滑塊連接,使得激光器部分可以隨該滑塊作平動(dòng),保證了修刻過程中激光器焦點(diǎn)水平高度不變。
本發(fā)明利用激光加工技術(shù)和直線導(dǎo)軌將待修刻的不合格電位器的線性度提高到要求的精度,其工作方式是首先將電位器裝夾在平臺(tái)的夾具處,用快速夾鉗將電位器從側(cè)向夾緊,電位器的導(dǎo)線夾在相應(yīng)接口處,拉桿末端與處于低位的運(yùn)動(dòng)執(zhí)行部分固連;該部分在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下,帶動(dòng)電位器電刷作縱向移動(dòng);激光器光點(diǎn)與電刷水平位置一致,激光器隨短程直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)一起,在處于高位的直線導(dǎo)軌上作縱向移動(dòng),同時(shí)也可以在此機(jī)構(gòu)上作橫向移動(dòng),激光沿著電阻表面進(jìn)行橫向及縱向合成移動(dòng)修刻。
采用上述結(jié)構(gòu),本發(fā)明提供一種直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻方法,包括如下步驟
第一步,將待修刻的電位器放在工位處,利用快速夾鉗將電位器固定;
第二步,然后啟動(dòng)運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu),低位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)電刷移動(dòng),將該電位器的實(shí)際電阻線性度測(cè)試出來,系統(tǒng)會(huì)根據(jù)實(shí)際電阻情況計(jì)算出一條理論的電阻曲線;
第三步,低位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)電刷復(fù)位后重新開始移動(dòng),高位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)激光器隨其后進(jìn)入修刻區(qū)域,采用實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的方法,保證已修刻區(qū)域的電阻曲線與理論曲線吻合,直至完成整個(gè)行程。在修刻的過程中,也可以根據(jù)需要測(cè)量電位器任意位置的電阻值。然后再將全行程的電阻值測(cè)試一遍,得出修刻后的線性度值;
第四步,最后松開快速夾鉗,將電位器從工位處取下,從而完成了該電位器的修刻工作。
綜上所述,本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明由于使用了正交的兩條直線導(dǎo)軌,激光器的運(yùn)動(dòng)能夠包絡(luò)一個(gè)平面。激光器的光斑打在電位器的導(dǎo)電塑料薄膜上,在激光器的平面運(yùn)動(dòng)下,光斑可以在導(dǎo)電塑料薄膜上形成連續(xù)的軌跡,避免了離散修刻時(shí)間過長(zhǎng)的缺點(diǎn)。本發(fā)明通過實(shí)現(xiàn)直滑式導(dǎo)塑電位器線性度修刻這一環(huán)節(jié)的自動(dòng)化和連續(xù)化,并且在修刻中保證激光器焦點(diǎn)高度始終與電位器電刷水平位置一致,提高了生產(chǎn)效率和加工精度,降低了生產(chǎn)成本,滿足日益擴(kuò)大的市場(chǎng)需求。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例中修刻機(jī)俯視圖2為本發(fā)明實(shí)施例中修刻機(jī)主視附圖中的標(biāo)記如下
1.第一伺服電機(jī),2.第二伺服電機(jī),3.激光器,4.導(dǎo)軌安裝板,5.第三伺服電機(jī), 6.第一直線導(dǎo)軌,7.第二直線導(dǎo)軌,8.第三直線導(dǎo)軌,9.簡(jiǎn)易滑軌,10.夾緊塊,11.電位器螺桿連接件,12.快速夾鉗,13.電位器,14.快速電線夾,15.設(shè)備安裝板。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說明,本實(shí)施例以本發(fā)明技術(shù)方案為前提,給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程,但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。
如圖1、圖2所示,本實(shí)施例提供一種直滑式導(dǎo)塑電位器連續(xù)式激光修刻機(jī),主要由三部分組成夾具、運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和激光器部分,三個(gè)部分都固定在修刻機(jī)安裝板15上。
本實(shí)施例中,所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括第一伺服電機(jī)1、第二伺服電機(jī)2、導(dǎo)軌安裝板4、第三伺服電機(jī)5、第一直線導(dǎo)軌6 (短程直線導(dǎo)軌)、第二直線導(dǎo)軌7和第三直線導(dǎo)軌 8 ;
本實(shí)施例中,所述夾具包括簡(jiǎn)易滑軌9、夾緊塊10、電位器螺桿連接件11、快速夾鉗12及快速電線夾14;
本實(shí)施例中,所述激光器部分包括激光器3及激光器安裝板。
本實(shí)施例中,所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)產(chǎn)生三個(gè)運(yùn)動(dòng)一個(gè)是第二直線導(dǎo)軌7由第一伺服電機(jī)1驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)導(dǎo)軌安裝板4、第三伺服電機(jī)5、短程直線導(dǎo)軌6及激光器部分作縱向直線運(yùn)動(dòng),第二個(gè)是第三直線導(dǎo)軌8由第二伺服電機(jī)2驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)電位器電刷作縱向直線運(yùn)動(dòng), 第三個(gè)是激光器3在直線導(dǎo)軌6上受第三伺服電機(jī)5驅(qū)動(dòng)進(jìn)行的橫向運(yùn)動(dòng)。
本實(shí)施例中,所述第一伺服電機(jī)1位于第二直線導(dǎo)軌7的左端,能夠驅(qū)動(dòng)第二直線導(dǎo)軌7的滑塊沿著直線移動(dòng);同樣地,第二伺服電機(jī)2位于第三直線導(dǎo)軌8的左端,能夠驅(qū)動(dòng)第三直線導(dǎo)軌8的滑塊沿著直線移動(dòng);短程直線導(dǎo)軌6及其第三伺服電機(jī)5通過導(dǎo)軌安裝板4連接在第二直線導(dǎo)軌7的滑塊上,激光器部分連接在直線導(dǎo)軌6的滑塊上,隨其運(yùn)動(dòng);紅外激光照射在電位器13的導(dǎo)電塑料薄膜上,激光器3在直線導(dǎo)軌6上橫向移動(dòng)同時(shí)也在第二直線導(dǎo)軌7上縱向移動(dòng),光斑會(huì)在薄膜上作平面運(yùn)動(dòng),修刻某一區(qū)域;快速夾鉗12 能夠?qū)A緊塊10向內(nèi)推動(dòng)將電位器13固定好,夾緊塊10固定在兩條平行的簡(jiǎn)易滑軌8上, 能夠提高夾緊塊10移動(dòng)的平行度,并方便操作;快速電線夾14放置在電位器13的端部,可以方便快捷的將電位器13的電線與系統(tǒng)相連。
本實(shí)施例中,利用簡(jiǎn)易滑軌9與手?jǐn)Q螺釘配合,該設(shè)備可以固定多種規(guī)格的電位器螺桿,因此能夠加工多種規(guī)格的電位器。
利用上述結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻方法,具體為
在進(jìn)行電位器修刻時(shí),首先將電位器13放在夾具部分的相應(yīng)位置處,利用快速夾鉗12推動(dòng)夾緊塊10將電位器13從側(cè)面夾緊,將電位器螺桿連接件11與電位器13固定, 然后將電位器13的三個(gè)導(dǎo)線分別夾在快速電線夾14的相應(yīng)孔內(nèi),完成裝夾工作;
然后在第二伺服電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)下,第三直線導(dǎo)軌8帶動(dòng)電刷從起始位置開始測(cè)量, 計(jì)算出電位器13的實(shí)際阻值情況及線性度,系統(tǒng)會(huì)相應(yīng)的找到一條理論曲線,能夠?qū)㈦娢黄?3的線性度提高到要求的精度;
電刷回復(fù)到起始位置重新開始運(yùn)動(dòng),隨后激光器3也會(huì)在導(dǎo)軌6上經(jīng)電機(jī)5驅(qū)動(dòng)而作橫向移動(dòng),同時(shí)也隨導(dǎo)軌7的滑塊進(jìn)行縱向移動(dòng),激光器光斑會(huì)在電位器導(dǎo)電塑料薄膜上作合成運(yùn)動(dòng),燒刻出軌跡,采用閉環(huán)控制的方法直至整體電阻曲線與理論曲線吻合 ’然后再測(cè)試一遍電位器13修刻后的線性度;
最后松開快速夾鉗12,夾緊塊10彈出,并松開電位器螺桿連接件11,將電位器13 取出,從而完成整個(gè)電位器13的線性度修刻工作。
本實(shí)施例利用紅外激光器對(duì)電位器導(dǎo)電塑料表面進(jìn)行加工處理,在一定區(qū)域內(nèi)將電阻曲線修正至與理論阻值曲線吻合,從而提高電位器整體的線性度。
從上述實(shí)施例可以看出,本發(fā)明由于使用了正交的兩條直線導(dǎo)軌,激光器的運(yùn)動(dòng)能夠包絡(luò)一個(gè)平面。激光器的光斑打在電位器的導(dǎo)電塑料薄膜上,在激光器的平面運(yùn)動(dòng)下, 光斑可以在導(dǎo)電塑料薄膜上形成連續(xù)的軌跡,避免了離散修刻時(shí)間過長(zhǎng)的缺點(diǎn)。本發(fā)明通過實(shí)現(xiàn)直滑式導(dǎo)塑電位器線性度修刻這一環(huán)節(jié)的自動(dòng)化和連續(xù)化,并且在修刻中保證激光器焦點(diǎn)高度始終與電位器電刷水平位置一致,提高了生產(chǎn)效率和加工精度。
盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹,但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后,對(duì)于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。權(quán)利要求
1.一種直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),由用于夾持工件的夾具、運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)及激光器部分組成,其特征在于所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)包含三條直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),兩條相同且平行,但高低位置不同,第三條為短程導(dǎo)軌,與另外兩條正交;在平行的兩條直線導(dǎo)軌中,第一條導(dǎo)軌處于高位,第二條導(dǎo)軌處于低位且其滑塊與電位器的拉桿連接,控制電位器電刷的沿著電位器的縱向方向來回移動(dòng);所述激光器安裝在第三條直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上,沿該導(dǎo)軌移動(dòng);激光器發(fā)出紅外激光,在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)的過程中對(duì)電位器的導(dǎo)電塑料薄膜上的區(qū)域掃描, 改變?cè)搮^(qū)域的電阻曲線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三個(gè)運(yùn)動(dòng),其一是沿著電刷移動(dòng)方向的縱向直線運(yùn)動(dòng),用于控制電刷的移動(dòng);其二是與電刷移動(dòng)方向垂直的橫向運(yùn)動(dòng),用于控制激光器的光點(diǎn)位置的橫向移動(dòng);第三是與電刷移動(dòng)方向平行的縱向直線運(yùn)動(dòng),用于控制激光器的光點(diǎn)位置的縱向移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述控制電刷縱向移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)和控制激光器光點(diǎn)位置縱向移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)是相互獨(dú)立的,分別由兩條平行的直線導(dǎo)軌完成,在修刻過程中隨時(shí)可測(cè)量電位器任意位置的電阻值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述短程直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)通過安裝板與第一條直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的滑塊連接,激光器隨其在電位器縱向上移動(dòng), 同時(shí)也可作橫向移動(dòng),合成為平面運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述夾具從側(cè)向上將電位器固定,所述夾具設(shè)有快速夾鉗,夾緊力通過推動(dòng)快速夾鉗實(shí)現(xiàn)的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述電位器拉桿的固定是靠?jī)蓚€(gè)螺母夾緊一片連接板,連接板與低位直線導(dǎo)軌的滑塊固定實(shí)現(xiàn)的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述電位器的導(dǎo)線端附近有快速電線夾,將電位器的三根導(dǎo)線與設(shè)備的信號(hào)采樣部分相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī),其特征是所述激光器安裝板與短程直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的滑塊連接,激光器可隨該滑塊作平動(dòng)。
9.一種采用權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述激光修刻機(jī)的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻方法, 包括如下步驟第一步,將待修刻的電位器放在工位處,利用快速夾鉗將電位器固定;第二步,然后啟動(dòng)運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu),低位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)電刷移動(dòng),將該電位器的實(shí)際電阻線性度測(cè)試出來,系統(tǒng)會(huì)根據(jù)實(shí)際電阻情況計(jì)算出一條理論的電阻曲線;第三步,低位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)電刷復(fù)位后重新開始移動(dòng),高位直線導(dǎo)軌帶動(dòng)激光器隨其后進(jìn)入修刻區(qū)域,采用實(shí)時(shí)閉環(huán)控制的方法,保證已修刻區(qū)域的電阻曲線與理論曲線吻合, 直至完成整個(gè)行程;然后再將全行程的電阻值測(cè)試一遍,得出修刻后的線性度值;第四步,最后松開快速夾鉗,將電位器從工位處取下,從而完成了該電位器的修刻工作。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻方法,其特征是在修刻的過程中,根據(jù)需要測(cè)量電位器任意位置的電阻值。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻機(jī)及修刻方法,利用激光加工技術(shù)對(duì)電位器的導(dǎo)電塑料薄膜表面進(jìn)行加工處理,從而提高電位器的線性度以滿足工業(yè)應(yīng)用要求。本修刻機(jī)主要由夾具、運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和激光器部分組成。夾具能夠?qū)Υ庸さ碾娢黄鬟M(jìn)行準(zhǔn)確可靠的定位與固定;運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)分為相互獨(dú)立的兩部分,一部分能夠帶動(dòng)電位器電刷運(yùn)動(dòng),另一部分帶動(dòng)激光器在一個(gè)平面上的運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制連續(xù)操作,并使得修刻與測(cè)量更加靈活及方便。該機(jī)構(gòu)能夠可靠的完成直滑式導(dǎo)塑電位器激光修刻工作,并避免了離散修刻時(shí)間過長(zhǎng)的缺點(diǎn),修刻后的電位器線性度滿足精度要求。
文檔編號(hào)H01C17/242GK102509600SQ20111033605
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月31日
發(fā)明者付莊, 劉震, 周航飛, 夏雨, 潘根, 管恩廣, 胡暉, 趙言正, 閆維新 申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)