專利名稱：導(dǎo)氣管裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種導(dǎo)氣管裝置，特別是有關(guān)一種應(yīng)用于半導(dǎo)體的打線接合 (Wirebonder)機(jī)臺(tái)上以供保護(hù)氣體流通的導(dǎo)氣管裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體封裝過(guò)程中，芯片上信號(hào)的傳導(dǎo)可通過(guò)打線(wire bond)工序，將芯片上的信號(hào)利用焊線傳導(dǎo)至載體(例如導(dǎo)線架(Ieadframe)、基板(substrate)...等)上，再通過(guò)外部端子(例如餳球或?qū)Ь€架的引腳...等)連接至印刷電路板(PCB)上。而焊線的形成主要是利用一焊針內(nèi)傳輸金屬線，例如銅線、銀線或金線...等，將其端部熔融形成一焊球(FAB/Free Air Ball)，于此同時(shí)，利用一輸氣裝置持續(xù)的供應(yīng)保護(hù)氣體，以保護(hù)焊球成形，前述的保護(hù)氣體較佳的可為氮、氬或氮?dú)浠旌蠚?，其中的氮、氬氣可包覆保護(hù)焊球避免氧化，而氮?dú)浠旌蠚庵械臍錃飧蛇€原焊球上已氧化的部份，有助于保護(hù)焊球的成型， 最后，再將連接有焊線的焊球接合于芯片或載體的焊墊上。因此可以有效地控制打線工序， 以確保半導(dǎo)體封裝高產(chǎn)量。在打線工序中，現(xiàn)有技術(shù)中US6234376與US4575602提出以導(dǎo)氣管裝置將保護(hù)氣體吹向熔融中的銅線或金線以促進(jìn)球狀燒結(jié)，然而，上述前案皆會(huì)因保護(hù)氣體均由單一方向供應(yīng)流動(dòng)，使得導(dǎo)氣管裝置內(nèi)的保護(hù)氣體流量不穩(wěn)或產(chǎn)生紊流，因而造成焊球燒球異常，焊球燒球的異常狀況包括焊球破裂、偏心、壓傷、缺角、結(jié)晶異常...等， 皆會(huì)造成進(jìn)行打線工序后的品質(zhì)異常，使芯片無(wú)法使用。此外，另有現(xiàn)有技術(shù)為了讓焊球制作成型之后、打線之前，不會(huì)因離開(kāi)保護(hù)氣體而使得焊球氧化，進(jìn)而使焊球產(chǎn)生異常，因此，會(huì)另以一支通有氮?dú)饣驓鍤饣虻獨(dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體的輸氣管吹向已經(jīng)成型的焊球，然而，通氣管的設(shè)置因需要另外以機(jī)器控制，造成成本上的增加與操作上較不便利。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述先前技術(shù)不盡理想之處，本發(fā)明的目的是提供一種導(dǎo)氣管裝置，可避免焊球產(chǎn)生異常而確保芯片質(zhì)量，同時(shí)可降低成本提升操作便利性。本發(fā)明提供一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包含有本體與尾管。本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁。本體的頭端附近沿第一軸向形成有貫穿的第一通孔。本體進(jìn)一步包含有第一氣孔與旁路氣孔，第一氣孔是沿第二軸向配置，且貫通本體的尾端與第一通孔，旁路氣孔一端連通至第一氣孔，另一端連通至第一通孔。尾管接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。因此，本發(fā)明的上述導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)第一氣孔與旁路氣孔(第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔)的保護(hù)氣體導(dǎo)弓丨，可以破壞導(dǎo)氣管裝置中第一通孔內(nèi)保護(hù)氣體的紊亂氣流，進(jìn)而使得焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球
4熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。本發(fā)明進(jìn)一步提供另一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，第一軸向、第二軸向與第三軸向彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包括本體、尾管及氣密包覆件。本體以多孔性陶瓷制作而成，具有外表面，沿第二軸向的兩端為頭端與尾端。本體的頭端附近沿第一軸向形成貫穿的第一通孔，沿第二軸向形成有第一氣孔，第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端且沿第二軸向形成貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。氣密包覆件包覆于本體上第一通孔以外的外表面。因此，本發(fā)明的上述另一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)本體變更材料結(jié)構(gòu)為多孔性陶瓷制作而成，再通過(guò)本體內(nèi)均勻保護(hù)氣體的導(dǎo)引，可以破壞導(dǎo)氣管裝置中第一通孔內(nèi)的紊亂氣流，進(jìn)而使得焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。本發(fā)明進(jìn)一步提供又一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，第一軸向、第二軸向與第三軸向三者彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包括本體、尾管及外管。 本體中沿第二軸向的兩端為頭端與尾端，沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁。本體的頭端附近沿第一軸向形成貫穿的第一通孔。本體進(jìn)一步包含第一氣孔與旁路氣孔，第一氣孔沿第二軸向配置且貫通本體的尾端與第一通孔，旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通第一通孔。尾管接合至本體的尾端，且沿第二軸向形成貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。外管具有底管與連接底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此成為一個(gè)U形管，使本體洽容置于U形管所形成的區(qū)域內(nèi)。本體的頭端靠近底管。外管進(jìn)一步包含旁路流道與多個(gè)排氣孔，旁路流道配置于底管與兩個(gè)側(cè)管的內(nèi)部，多個(gè)排氣孔一端流通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。因此，本發(fā)明的上述又一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)第一氣孔與旁路氣孔(第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔)的保護(hù)氣體導(dǎo)引，可以破壞導(dǎo)氣管裝置中第一通孔內(nèi)保護(hù)氣體的紊亂氣流，進(jìn)而使得焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。本發(fā)明上述的又一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)外管的配置，取代原有的氮?dú)饣驓鍤饣虻獨(dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體的輸氣管，用以降低成本及提升操作的便利性。本發(fā)明進(jìn)一步提供再一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包括本體、尾管及外管。本體以多孔性陶瓷制作而成，具有一外表面，且本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端， 本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。氣密包覆件，包覆于本體上第一通孔以外的外表面。外管具有一底管與連接于底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此形成一個(gè)U形管，使本體恰容置于 U形管所形成的區(qū)域內(nèi)，且本體的頭端靠近底管，外管進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔，旁路流道配置于底管與兩個(gè)側(cè)管的內(nèi)部，多個(gè)排氣孔一端連通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。本發(fā)明上述的再一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)本體變更材料結(jié)構(gòu)為多孔性陶瓷制作而成，再通過(guò)本體內(nèi)均勻保護(hù)氣體的導(dǎo)引，可以破壞導(dǎo)氣管裝置中第一通孔內(nèi)保護(hù)氣體的紊亂氣流，進(jìn)而使得焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。本發(fā)明上述再一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)外管的配置，取代原有的氮?dú)饣驓鍤饣虻獨(dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體的輸氣管，用以降低成本及提升操作的便利性。本發(fā)明進(jìn)一步提供另一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包括本體、尾管及外管。本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁，本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。外管具有一底管與連接于底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此形成一個(gè)U形管，使本體恰容置于U形管所形的區(qū)域內(nèi)，且本體的頭端靠近底管，外管進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔，旁路流道配置于底管與兩個(gè)側(cè)管的內(nèi)部，多個(gè)排氣孔一端連通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。本發(fā)明上述的另一種導(dǎo)氣管裝置，通過(guò)外管的配置，取代原有現(xiàn)有技術(shù)中需另外裝設(shè)的氮?dú)饣驓鍤饣虻獨(dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體的輸氣管，用以降低成本及提升操作的便利性。


圖IA是根據(jù)本發(fā)明提供的第一較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的立體示意圖。圖IB是根據(jù)本發(fā)明提供的第一較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的俯視圖。圖2A是根據(jù)本發(fā)明提供的第二較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的立體示意圖。圖2B是根據(jù)本發(fā)明提供的第二較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的俯視圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明提供的第三較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的立體示意圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明提供的第四較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的立體示意圖。圖5是根據(jù)本發(fā)明提供的第五較佳實(shí)施例的導(dǎo)氣管裝置的立體示意圖。
具體實(shí)施例方式由于本發(fā)明是揭露一種導(dǎo)氣管裝置，用于半導(dǎo)體元件的打線機(jī)臺(tái)，其中打線技術(shù)的制作原理與基本功能，已為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者所能明了，故以下文中的說(shuō)明， 不再作完整描述。同時(shí)，以下文中所對(duì)照的附圖，是表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的結(jié)構(gòu)示意，亦不需要依據(jù)實(shí)際尺寸完整繪制，合先敘明。首先請(qǐng)先參考圖1A，示出本發(fā)明提出的第一較佳實(shí)施例，為一種導(dǎo)氣管裝置1，具有沿第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3的構(gòu)形，其中，第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置1主要包含有本體11以及尾管12。本體11沿第二軸向A2的兩端為頭端112與尾端113、沿第三軸向A3的兩端為兩側(cè)壁114，本體11的頭端112附近沿第一軸向Al形成有貫穿的第一通孔115。第一通孔 115設(shè)置目的是為了讓焊針(Capillary)(未圖標(biāo))穿越第一通孔115，焊針內(nèi)供應(yīng)有金屬線，例如銅線、銀線或金線...等，而本體11內(nèi)另設(shè)置有一放電裝置(未圖標(biāo))，當(dāng)此金屬線受到焊針垂直運(yùn)動(dòng)至本體11的第一通孔115內(nèi)時(shí)，上述的金屬線尖端部受到放電裝置高熱而被加熱熔融并燒制形成一焊球。請(qǐng)參考圖1B，本體11進(jìn)一步包含有第一氣孔116與旁路氣孔。第一氣孔116是沿第二軸向A2配置，且貫通本體的尾端113與第一通孔115。旁路氣孔包含一對(duì)沿第二軸向A2配置的第二氣孔117、一對(duì)沿第三軸向A3配置的第三氣孔118與一對(duì)沿第三軸向A3 配置的第四氣孔119，其中第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側(cè)壁114 處與第四氣孔119靠近本體的側(cè)壁114處亦皆為封閉。同時(shí)，第三氣孔118連通第二氣孔 117與第一氣孔116 ；第四氣孔119連通第二氣孔117與第一通孔115，第一通孔115配置位于兩個(gè)第二氣孔117之間。藉此，旁路氣孔的一端連通至第一氣孔116，相對(duì)的另一端連通至第一通孔115，因此第一氣孔116內(nèi)的保護(hù)氣體除了可以直接導(dǎo)入第一通孔115之外，同時(shí)又借著旁路氣孔，通過(guò)第三氣孔118、第二氣孔117及第四氣孔119導(dǎo)引至第一通孔115。 要特別留意的是，第二氣孔117、第三氣孔118與第四氣孔119的孔徑均小于第一通孔115 與第一氣孔116。此外，導(dǎo)氣管裝置1中的尾管12，接合至本體11的尾端113，尾管12沿第二軸向 A2形成有貫穿的第二通孔121，且第二通孔121連通至第一氣孔116，該尾管12的設(shè)置目的是為了與外部的供氣系統(tǒng)(未圖標(biāo))及放電裝置(未圖標(biāo))連接。藉此，尾管12第二通孔121所引入的保護(hù)氣體通過(guò)第一氣孔116與旁路氣孔(第二氣孔117、第三氣孔118以及第四氣孔119)的導(dǎo)引，可以在第一通孔115內(nèi)產(chǎn)生氣體屏障。上述的結(jié)構(gòu)有其重要的物理意義，依據(jù)伯努利定理，氣體流速較快時(shí)壓力較低，氣體流速較慢時(shí)壓力較高，同時(shí)，兩個(gè)物體之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度會(huì)造成兩個(gè)物體之間的流體產(chǎn)生流動(dòng)現(xiàn)象。當(dāng)焊針內(nèi)裝的金屬線于進(jìn)出本體11的第一通孔115熔融燒結(jié)成焊球時(shí)，因?yàn)榻饘倬€本身具有具體的體積，當(dāng)金屬線進(jìn)入第一通孔115時(shí)，第一通孔115內(nèi)的氣體容積頓時(shí)減少，當(dāng)金屬線退出第一通孔115 時(shí)，第一通孔115內(nèi)的氣體容積又再增加恢復(fù)成原狀，因此金屬線快速進(jìn)出第一通孔115 時(shí)，金屬線與第一通孔115間的保護(hù)氣體產(chǎn)生流動(dòng)，又因?yàn)榻饘倬€進(jìn)入及退出第一通孔115 的運(yùn)動(dòng)方向不同，造成保護(hù)氣體壓力不同，因此流體的速度也不同而忽快忽慢，最后造成第一通孔115內(nèi)的紊亂氣流，使得金屬線于熔融燒結(jié)成焊球時(shí)因?yàn)楸Ｗo(hù)氣體紊亂氣流的影響以至于保護(hù)氣體包覆的不穩(wěn)定而造成焊球的球體形狀不平均而容易形成不良品。通過(guò)本發(fā)明所提出的第一氣孔116與旁路氣孔(第二氣孔117、第三氣孔118以及第四氣孔119)的保護(hù)氣體導(dǎo)引，可以破壞上述第一通孔115內(nèi)的紊亂氣流，而在焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。上述的本體頭端112于第二氣孔117處，可以進(jìn)一步形成有一對(duì)凹陷的肩部14，此對(duì)凹陷的肩部14用途在于讓另外的輸氣管(未圖標(biāo))得以依靠放置，使得輸氣管可準(zhǔn)確地將氮?dú)?、氬氣或氮?dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體吹往制作完成的焊球上，用以保護(hù)焊球、避免制作完成的焊球快速氧化。此外，倘若第二氣孔117、第三氣孔118與第四氣孔119是采用機(jī)械加工制作而成 (例如鉆孔)，為了避免保護(hù)氣體流出導(dǎo)氣管裝置1的本體11外、以及達(dá)成前述所提第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側(cè)壁114處與第四氣孔119靠近本體的側(cè)壁114處亦皆為封閉的效果，可以進(jìn)一步使用氣密件13，設(shè)置于第二氣孔117靠近本體頭端112處、第三氣孔118靠近本體側(cè)壁114處、以及第四氣孔119靠近本體側(cè)壁114處。此氣密件13可以是不透氣的膠帶、塑料、橡膠或樹(shù)脂等。但是倘若本體11是采用模塑成型、而將“第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側(cè)壁114處與第四氣孔119靠近本體的側(cè)壁114處亦皆為封閉”的特征在成型時(shí)便制作完成，此時(shí)便不需要外加氣密件。請(qǐng)參考圖2A，示出本發(fā)明提出的第二較佳實(shí)施例，為另一種導(dǎo)氣管裝置2，具有沿第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3的構(gòu)形，其中，第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置2主要包含有本體21、尾管22以及氣密包覆件23，且本體 21的材料為多孔性陶瓷。請(qǐng)參考圖2B，本體21包括有外表面211、頭端212與尾端213。頭端212附近沿第一軸向Al形成有貫穿的第一通孔215，第一通孔215設(shè)置目的是為了讓焊針(未圖標(biāo))穿越第一通孔215，焊針內(nèi)設(shè)有垂向傳輸?shù)慕饘倬€，而此金屬線于本體21內(nèi)下降至放電高度時(shí)將接觸到放電裝置(未圖標(biāo))而被加熱熔融，可于金屬線端部燒制形成一焊球。請(qǐng)繼續(xù)參考圖2B，本體21進(jìn)一步包含有第一氣孔216，第一氣孔216是沿第二軸向A2配置，且貫通本體21的尾端213與第一通孔215。此外，尾管22接合至本體21的尾端213，沿第二軸向A2形成有貫穿的第二通孔221，且第二通孔221連通至第一氣孔216。 重要的是，由于本體21的材料為多孔性陶瓷，為了避免第一氣孔216內(nèi)的保護(hù)氣體不被控制地流出本體21之外，氣密包覆件23包覆于第一通孔215以外的本體外表面211，使得第一氣孔216內(nèi)的保護(hù)氣體只能流至第一通孔215。同時(shí)，又因?yàn)楸倔w21的材料為多孔性陶瓷，尾管22第二通孔221所引入第一氣孔216的保護(hù)氣體，可以通過(guò)多孔性陶瓷的多孔結(jié)構(gòu)，從第一通孔215的四面八方周緣壁面滲入第一通孔215內(nèi)而產(chǎn)生保護(hù)氣體的氣體屏障。上述的結(jié)構(gòu)有其重要的物理意義，如前述第一較佳實(shí)施例中所提，當(dāng)焊針內(nèi)裝的金屬線于快速進(jìn)出本體的第一通孔熔融燒結(jié)成焊球時(shí)，因?yàn)榻饘倬€進(jìn)入及退出第一通孔 215的運(yùn)動(dòng)方向不同，造成保護(hù)氣體壓力不同，因此流體的速度也不同而忽快忽慢，最后造成第一通孔215內(nèi)的紊亂氣流，使得金屬線于熔融燒結(jié)成焊球時(shí)因?yàn)楸Ｗo(hù)氣體的紊亂氣流的影響，以至于保護(hù)氣體的包覆不穩(wěn)定、造成焊球的球體形狀不平均而容易形成不良品。通過(guò)本發(fā)明所提出的多孔性陶瓷的本體21，保護(hù)氣體從第一通孔215的四面八方周緣壁面滲入第一通孔215內(nèi)而產(chǎn)生氣體屏障，可以破壞上述第一通孔215內(nèi)的紊亂氣流，而在焊球熔融燒結(jié)時(shí)在焊球外部形成一層較為穩(wěn)定的保護(hù)氣體包覆，而使的焊球熔融燒結(jié)成型的球體均勻度更佳。請(qǐng)參考圖3，示出本發(fā)明提出的第三較佳實(shí)施例，為另一種導(dǎo)氣管裝置3，具有沿第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3的構(gòu)形，其中，第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置3主要包含有本體11、尾管12以及外管34。其中本體11 與尾管12的主要特征與功效實(shí)質(zhì)相同于如前述第一較佳實(shí)施例中的本體11以及尾管12， 請(qǐng)參考圖IA與圖1B，在此不加贅述。本實(shí)施例中，導(dǎo)氣管裝置3進(jìn)一步包含一外管34，此外管34與一供應(yīng)氮?dú)?、氬氣或氮?dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體的輸氣管(未圖標(biāo))相接，其中，此外管34具有底管341與連接于底管341兩端的側(cè)管342，藉此形成一個(gè)U形管，使本體11恰容置于U形管所圍繞形成的U形域內(nèi)并受到外管；34包覆于本體11周緣，且本體11的頭端312朝向底管341，此U型區(qū)域外管34的設(shè)置目的是為了導(dǎo)引保護(hù)氣體(例如氮?dú)?、氬氣或氮?dú)浠旌蠚?吹向已經(jīng)制作成型的焊球，以保護(hù)焊球，使其不致于因焊針垂直上下運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，將外部空氣導(dǎo)引至第一通孔 115內(nèi)，因而造成保護(hù)氣體充斥外部空氣而產(chǎn)生焊球異常，藉此可以取代原本需要另外以機(jī)器控制的氮?dú)夤芑驓鍤夤艿容敋庋b置，可用以降低成本及提升操作的便利性。請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，因?yàn)樵诖溯^佳實(shí)施例中已經(jīng)具有外管34，不需要另外設(shè)置如現(xiàn)有技術(shù)中的氮?dú)夤堋鍤夤芑虻獨(dú)浠旌蠚獾容敋夤?，所以，在此較佳實(shí)施例中的本體11便不一定需要另外再增設(shè)第一實(shí)施例中所述的凹陷肩部14(請(qǐng)參考圖1B)。要特別說(shuō)明的是，外管34進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔345。旁路流道配置于底管341與側(cè)管342的內(nèi)部，且旁路流道進(jìn)一步包含有沿第三軸向A3配置的第五氣孔 343與一對(duì)沿第二軸向A2配置的第六氣孔344，其中第五氣孔343兩端為封閉，而第六氣孔 344 —端為封閉，且第六氣孔344均連通至第五氣孔343。因此，多個(gè)排氣孔345的一端連通至旁路流道，另一端則連通至外管34的外部。又，外管34的設(shè)置并不限于本發(fā)明所揭露的范圍，可隨實(shí)際作業(yè)上的需求而反向設(shè)置。進(jìn)一步，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，外管34連接有一個(gè)進(jìn)氣口 346，一端用以連接氮?dú)?、氬氣或氮?dú)浠旌蠚猓硪欢伺c第六氣孔344相連接，進(jìn)氣口 346中亦擁有一條流道，此流道可與側(cè)管342內(nèi)的旁路流道相連接，使氮?dú)?、氬氣或氮?dú)浠旌蠚庾赃M(jìn)氣口 346進(jìn)入后得以順著旁路流道流自多個(gè)排氣孔345排出氮?dú)狻鍤饣虻獨(dú)浠旌蠚獾缺Ｗo(hù)氣體。其中，進(jìn)氣口 346的位置并不限定于本發(fā)明所揭露的范圍，進(jìn)氣口 346可朝上或朝下，亦可與尾管12方向相同， 可隨實(shí)際作業(yè)上的需求而設(shè)置。此外，倘若第五氣孔343是采用機(jī)械加工制作而成者(例如鉆孔)，為了避免保護(hù)氣體流出外管34外，可以進(jìn)一步使用氣密件33，設(shè)置于第五氣孔343靠近外管34處。此氣密件33可以是不透氣的膠帶、塑料、橡膠或樹(shù)脂等。但是倘若外管34是采模塑成型，此時(shí)便不需要外加氣密件。請(qǐng)參考圖4，示出本發(fā)明提出的第四較佳實(shí)施例，為另一種導(dǎo)氣管裝置4，具有沿第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3的構(gòu)形，其中，第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置4主要包含有本體21、尾管22、氣密包覆件23以及外管34。其中本體21的材料為多孔性陶瓷，為了避免第一氣孔216內(nèi)的保護(hù)氣體不被控制地流出本體21之外，氣密包覆件23包覆于第一通孔215以外的本體外表面211，其本體21 與尾管22的主要特征與功效實(shí)質(zhì)相同于如前述第二較佳實(shí)施例中的本體21以及尾管22， 請(qǐng)參考圖2A與圖2B，在此不加贅述。至于外管34的主要特征與功效則實(shí)質(zhì)相同于如前述第三較佳實(shí)施例中之外管34，在此亦不加贅述。請(qǐng)參考圖5，示出本發(fā)明提出的第五較佳實(shí)施例，為另一種導(dǎo)氣管裝置5，具有沿第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3的構(gòu)形，其中，第一軸向Al、第二軸向A2與第三軸向A3彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置5主要包含有本體51、尾管52以及外管M。本體51沿第二軸向A2的兩端為頭端512與尾端513、沿第三軸向A3的兩端為兩側(cè)壁514，本體的頭端 512附近沿第一軸向Al形成有貫穿的第一通孔515。第一通孔515設(shè)置目的是為了讓焊針 (未圖標(biāo))穿越第一通孔515，焊針內(nèi)含有金屬線，而此金屬線接觸到放電裝置(未圖標(biāo))而被加熱熔融時(shí)，可燒制形成焊球。此外，導(dǎo)氣管裝置5中的尾管52，接合至本體的尾端513， 沿第二軸向A2形成有貫穿的第二通孔521，且第二通孔521連通至第一氣孔516。此實(shí)施例中，外管34的主要特征與功效則實(shí)質(zhì)相同于如前述第三較佳實(shí)施例中的外管34，在此不加贅述。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用以限定本發(fā)明的申請(qǐng)專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門(mén)人士應(yīng)可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在申請(qǐng)專利范圍中。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，該第一軸向、 第二軸向與第三軸向彼此為正交，該導(dǎo)氣管裝置包含有一本體，沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁，該本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體進(jìn)一步包含有第一氣孔與旁路氣孔，該第一氣孔是沿第二軸向配置，且貫通該本體的尾端與該第一通孔，該旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通至該第一通孔；以及一尾管，接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)氣管裝置，其特征在于，該旁路氣孔包含一對(duì)第二氣孔、一對(duì)第三氣孔與一對(duì)第四氣孔，其中該等第二氣孔的兩端為封閉，該等第三氣孔與第四氣孔靠近于該本體的側(cè)壁處為封閉，各第三氣孔同時(shí)連通各第二氣孔與該第一氣孔，各第四氣孔同時(shí)連通各第二氣孔與該第一通孔，這些第二氣孔是沿第二軸向配置，這些第三氣孔與這些第四氣孔是沿第三軸向配置，該第一通孔位于這些第二氣孔之間，以及該本體頭端于這些第二氣孔處，進(jìn)一步形成有一對(duì)凹陷的肩部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)氣管裝置，其特征在于，進(jìn)一步包含多個(gè)氣密件，設(shè)置于這些第二氣孔靠近該本體頭端處、這些第三氣孔靠近該本體側(cè)壁處、以及這些第四氣孔靠近該本體側(cè)壁處，以及這些第二氣孔、第三氣孔與第四氣孔的孔徑均小于該第一通孔與第一氣孔。
4.一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，該第一軸向、 第二軸向與第三軸向彼此為正交，該導(dǎo)氣管裝置包含有一本體，以多孔性陶瓷制作而成，該本體具有一外表面，且該本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端，該本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及氣密包覆件，包覆于該第一通孔以外的該本體的外表面。
5.一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，該第一軸向、 第二軸向與第三軸向彼此為正交，該導(dǎo)氣管裝置包含有一本體，沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁，該本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體進(jìn)一步包含有第一氣孔與旁路氣孔，該第一氣孔是沿第二軸向配置，且貫通該本體的尾端與該第一通孔，該旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通至該第一通孔；一尾管，接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及一外管，具有一底管與連接于底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此形成一個(gè)U形管，使該本體恰容置于該U形管所形成的區(qū)域內(nèi)，且該本體的頭端靠近該底管，該外管進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔，該旁路流道配置于該底管與這些側(cè)管的內(nèi)部，這些排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至外管的外部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)氣管裝置，其特征在于，其中該旁路流道進(jìn)一步包含有第五氣孔與一對(duì)第六氣孔，該第五氣孔是沿第三軸向配置于底管，且兩端為封閉，各第六氣孔是沿第二軸向配置于各側(cè)管，且這些第六氣孔均連通至該第五氣孔。
7.一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，該第一軸向、 第二軸向與第三軸向彼此為正交，該導(dǎo)氣管裝置包含有一本體，以多孔性陶瓷制作而成，該本體具有一外表面，且該本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端，該本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；氣密包覆件，包覆于該第一通孔以外的該本體的外表面；以及一外管，具有一底管與連接于底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此形成一個(gè)U形管，使該本體恰容置于該U形管所形成的區(qū)域內(nèi)，且該本體的頭端靠近該底管，該外管進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔，該旁路流道配置于該底管與這些側(cè)管的內(nèi)部，這些排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至外管的外部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的導(dǎo)氣管裝置，其特征在于，其中該旁路流道進(jìn)一步包含有第五氣孔與一對(duì)第六氣孔，該第五氣孔是沿第三軸向配置于底管，且兩端為封閉，各第六氣孔是沿第二軸向配置于各側(cè)管，且這些第六氣孔均連通至該第五氣孔。
9.一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中，該第一軸向、 第二軸向與第三軸向彼此為正交，該導(dǎo)氣管裝置包含有一本體，沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁，該本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及一外管，具有一底管與連接于底管兩端的兩個(gè)側(cè)管，藉此形成一個(gè)U形管，使該本體恰容置于該U形管所形成的區(qū)域內(nèi)，且該本體的頭端靠近該底管，該外管進(jìn)一步包含有旁路流道與多個(gè)排氣孔，該旁路流道配置于該底管與這些側(cè)管的內(nèi)部，這些排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至外管的外部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)氣管裝置，其特征在于，其中該旁路流道進(jìn)一步包含有第五氣孔與一對(duì)第六氣孔，該第五氣孔是沿第三軸向配置于底管，且兩端為封閉，各第六氣孔是沿第二軸向配置于各側(cè)管，且這些第六氣孔均連通至該第五氣孔。
全文摘要
本發(fā)明提供一種導(dǎo)氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向的構(gòu)形，其中第一軸向、第二軸向與第三軸向彼此為正交。導(dǎo)氣管裝置包含有本體與尾管。本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側(cè)壁。本體的頭端附近沿第一軸向形成有貫穿的第一通孔。本體進(jìn)一步包含有第一氣孔與旁路氣孔，第一氣孔是沿第二軸向配置，且貫通本體的尾端與第一通孔，旁路氣孔的一端與第一氣孔相連通，相對(duì)的另一端與第一通孔相連通。尾管接合至本體的尾端，沿第二軸向形成有貫穿的第二通孔，第二通孔與第一氣孔相連通。
文檔編號(hào)H01L21/60GK102254841SQ201010188998
公開(kāi)日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2010年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月17日
發(fā)明者劉志益 申請(qǐng)人:南茂科技股份有限公司