專利名稱：夾具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及集成電路制造領域，尤其涉及一種用于固定引線框架的夾具。
背景技術：
在集成電路制造領域，引線鍵合(Wire Bonding)工藝是整個封裝工序中至關重 要的一步，其功能是將引線的兩端分別焊接到芯片的電極(Pad)和引線框架(Lead Frame) 的引腳上，所述引線可以為金線或鋁線，盡管金線的傳導性能較佳，且具有良好的抗氧化性 能，但由于鋁線成本低廉，并且芯片的電極多為鋁材料，鋁線不容易受腐蝕的影響，因此業(yè) 界通常采用鋁線作為引線的材料。目前，業(yè)界普遍采用弓|線鍵合設備來完成弓I線鍵合工藝，例如UAB320弓|線鍵合設 備，所述引線鍵合設備包括夾具、定位板(未圖示)以及驅(qū)動裝置(未圖示)。具體請參考 圖1A至圖1C，其中，圖1A為現(xiàn)有技術的夾具的俯視圖，圖1B為圖1A的剖視圖，圖1C為現(xiàn) 有技術的夾具的使用示意圖。如圖1A和圖1B所示，所述夾具10包括連接部11以及爪部，其中，連接部11為呈 直角的折板，所述折板的一端與所述爪部連接，另一端與所述驅(qū)動裝置連接，所述爪部包括 三根直爪12，所述夾具10可在所述驅(qū)動裝置的驅(qū)動下上下移動。一般來說，引線鍵合工藝通常采用超聲波焊接的方式來完成鋁線焊接過程，如圖 1C所示，多個芯片20排列成行的粘接在沖壓成型的引線框架30的一端，引線框架30的另 一端則是對應每個芯片20而延伸出的三根引腳，所述引腳通常為細長條形，其端部為焊接 端，其中，位于兩側(cè)的引腳31懸空，中間的引腳32與芯片20的底面電極連接。引線鍵合過 程中，首先將引線框架30固定在所引線鍵合設備的定位板上，接著夾具10將所述引腳壓在 所述定位板上，再將兩根鋁線40分別焊接在芯片20頂面的電極和兩側(cè)的引腳31上，最后 經(jīng)過沖裁將引線框架30上連接各芯片20和引腳之間的連接切斷，就可得到焊好引腳并引 出線的半導體器件。但是，在實際生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，由于夾具10的直爪12僅僅將所述引腳的一部分壓 在所述定位板上，所述引腳的焊接端仍然呈懸臂梁狀態(tài)，因此在焊接過程中，所述引腳的焊 接端非常容易松動，導致焊接質(zhì)量較差，經(jīng)常出現(xiàn)脫焊或虛焊的情況，降低了產(chǎn)品的良率。
實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種夾具，以解決現(xiàn)有的夾具在使用過程中，引腳的焊接端經(jīng)常 松動，導致產(chǎn)品的焊接質(zhì)量差的問題。為解決上述技術問題，本實用新型提出了一種夾具，所述夾具用于固定引線框架， 其設置于引線鍵合設備上，所述引線鍵合設備包括一驅(qū)動裝置，所述引線框架包括引腳，所 述引腳的端部為焊接端，所述夾具包括爪部以及連接部，所述爪部的形狀與所述引線框架 的形狀匹配，所述爪部包括兩根端部相向?qū)獜澱鄣膹澴σ约拔挥谒鰞筛鶑澴χg的直 爪，所述彎爪的端部對應于所述焊接端的邊緣，所述彎爪的內(nèi)側(cè)開設有弧形缺口，所述連接 部的一端與所述爪部連接，所述連接部的另一端與所述驅(qū)動裝置連接。[0010]可選的，所述連接部為呈直角的折板，所述連接部上設置有固定孔，所述連接部通 過所述固定孔與所述驅(qū)動裝置連接?？蛇x的，所述夾具是一體成型的?？蛇x的，所述夾具的材質(zhì)為模具鋼。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型所提供的夾具用于固定引線框架，其包括爪部和連 接部，所述爪部的形狀與所述引線框架的形狀匹配，可將引腳的焊接端緊緊地壓在定位板 上，確保焊接過程中引腳的焊接端不會松動，可避免出現(xiàn)脫焊或虛焊的情況，提高了產(chǎn)品的 良率，并且由于所述各爪僅僅壓在焊接端的邊緣，當中留有焊接鋁線的空隙，可根據(jù)工藝要 求制成具有一定弧度的鋁線。
圖1A為現(xiàn)有技術的夾具的俯視圖；圖1B為圖1A的剖視圖；圖1C為現(xiàn)有技術的夾具的使用示意圖；圖2A為本實用新型一實施例所提供的夾具的俯視圖；圖2B為圖2A的剖視圖；圖2C為本實用新型一實施例所提供的夾具的使用示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的夾具作進一步詳細說明。根據(jù)下 面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡 化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參考圖2A至圖2C，其中，圖2A為本實用新型一實施例所提供的夾具的俯視圖， 圖2B為圖2A的剖視圖，圖2C本實用新型一實施例所提供的夾具的使用示意圖。如圖所 示，所述夾具100用于固定引線框架300，其設置于引線鍵合設備上，所述引線鍵合設備包 括定位板(未圖示)以及驅(qū)動裝置(未圖示)，所述夾具100包括連接部110以及爪部，其 中，連接部110的一端與所述爪部連接，另一端與所述驅(qū)動裝置連接，所述爪部的形狀與所 述引線框架300的形狀匹配，所述夾具結(jié)構簡單，易于制作。具體的說，所述引線框架300包括有多根引腳，所述引腳的端部為焊接端。優(yōu)選 的，所述爪部包括兩根端部相向?qū)獜澱鄣膹澴?21，所述彎爪121的端部對應于所述焊接 端的邊緣，所述爪部還包括位于所述兩根彎爪121之間的直爪122。所述每個爪在壓緊所述 引腳的焊接端時，僅僅壓在焊接端的邊緣，當中留有焊接鋁線的空隙。所述夾具100可將引 腳的焊接端緊緊地壓在定位板上，避免焊接過程中引腳的焊接端松動。優(yōu)選的，彎爪121的內(nèi)側(cè)靠近端部的位置開設有弧形缺口 123，在焊接過程中，所 述弧形缺口 123可以給焊接劈刀讓位，可根據(jù)工藝要求制成具有一定弧度的鋁線。較佳的，連接部110為呈直角的折板，所述折板上設置有固定孔(未圖示)，所述連 接部110可通過所述固定孔與所述驅(qū)動裝置連接，并在所述驅(qū)動裝置的驅(qū)動下上下移動。請繼續(xù)參考圖2C，引線鍵合過程一般采用超聲波焊接的方式，多個芯片200粘接 在沖壓成型的引線框架300的一端，所述引線框架300的另一端則是對應每個芯片200而 延伸出的三根引腳，所述引腳的端部為焊接端，其中，兩側(cè)的引腳310是懸空的，中間的引腳320則與芯片200的底面電極連接。在引線鍵合過程中，首先將引線框架300固定在所述定位板上，接著夾具100將兩 側(cè)的引腳310以及中間的引腳320壓在所述定位板上，再利用焊接劈刀將兩根鋁線400分 別焊接在芯片200頂面的電極和兩側(cè)的引腳310上，由于所述爪部的形狀與所述引線框架 300的形狀匹配，更具體的說，由于所述彎爪121和直爪122牢牢壓在所述引腳焊接端的邊 緣，且彎爪121的內(nèi)側(cè)開設有弧形缺口 123，因此可避免焊接過程中引腳的焊接端松動，防 止出現(xiàn)脫焊或虛焊的情況，提高了產(chǎn)品的良率，并且各爪之間留有焊接鋁線的空隙，可根據(jù) 工藝要求制成具有一定弧度的鋁線。在本實用新型一實施例中，夾具100是一體成型的，所述夾具100的材質(zhì)優(yōu)選為模 具鋼，其具有較高的硬度和強度，且耐磨性能較佳，確保在使用過程中，所述夾具100不會 發(fā)生形變，可將所述引腳牢靠的固定在所述定位板上。當然，在本實用新型其它實施例中， 也可采用其它不易發(fā)生形變的材料制作所述夾具。綜上所述，本實用新型提供一種用于固定引線框架的夾具，所述夾具設置于引線 鍵合設備上，所述引線鍵合設備包括一驅(qū)動裝置，所述夾具包括爪部以及連接部，所述爪部 的形狀與所述引線框架的形狀匹配，所述連接部的一端與所述爪部連接，所述連接部的另 一端與所述驅(qū)動裝置連接。本實用新型所提供的夾具結(jié)構簡單，易于制作，可將引腳緊緊的 固定在定位板上，避免引腳的焊接端松動，確保在引線鍵合過程中不會出現(xiàn)脫焊或虛焊的 情況，并且由于所述各爪僅僅壓在焊接端的邊緣，當中留有焊接鋁線的空隙，可根據(jù)工藝要 求制成具有一定弧度的鋁線，提高了產(chǎn)品的良率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權利要求一種夾具，用于固定引線框架，其設置于引線鍵合設備上，所述引線鍵合設備包括一驅(qū)動裝置，所述引線框架包括引腳，所述引腳的端部為焊接端，其特征在于，包括爪部，其形狀與所述引線框架的形狀匹配，所述爪部包括兩根端部相向?qū)獜澱鄣膹澴σ约拔挥谒鰞筛鶑澴χg的直爪，所述彎爪的端部對應于所述焊接端的邊緣，所述彎爪的內(nèi)側(cè)開設有弧形缺口；以及連接部，一端與所述爪部連接，另一端與所述驅(qū)動裝置連接。
2.如權利要求1所述的夾具，其特征在于，所述連接部為呈直角的折板。
3.如權利要求2所述的夾具，其特征在于，所述連接部上設置有固定孔，所述連接部通 過所述固定孔與所述驅(qū)動裝置連接。
4.如權利要求1所述的夾具，其特征在于，所述夾具是一體成型的。
5.如權利要求1所述的夾具，其特征在于，所述夾具的材質(zhì)為模具鋼。
專利摘要本實用新型提供一種夾具，所述夾具用于固定引線框架，所述夾具設置于引線鍵合設備上，所述引線鍵合設備包括一驅(qū)動裝置，所述夾具包括爪部以及連接部，所述爪部的形狀與所述引線框架的形狀匹配，所述連接部的一端與所述爪部連接，所述連接部的另一端與所述驅(qū)動裝置連接。本實用新型所提供的夾具可將引腳緊緊的固定在定位板上，避免引腳的焊接端松動，提高了產(chǎn)品的良率。
文檔編號H01L21/60GK201611652SQ20092007620
公開日2010年10月20日 申請日期2009年6月12日 優(yōu)先權日2009年6月12日
發(fā)明者張新軍, 王利, 蔣美連, 陳濤 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司