專利名稱：用于傳送基底的機械手的末端執(zhí)行器的制作方法
用于傳送基底的機械手的末端執(zhí)行器
本專利申請要求提交于2007年4月5日的美國臨時申請60/921, 946 的優(yōu)先權(quán)，該臨時申請全文以引用方式并入本文。
背景技術(shù)：
發(fā)明領(lǐng)域
本發(fā)明涉及作為機械手的組成構(gòu)件的末端執(zhí)行器，該機械手用于傳送 多種類型的基底，例如液晶顯示屏中使用的玻璃基底。本發(fā)明還涉及包括 所述末端執(zhí)行器的機械手。
背景技術(shù)：
隨著液晶顯示屏尺寸的增大，在液晶顯示屏生產(chǎn)過程中采用的玻璃的 尺寸近來也變得更大。盡管在傳送玻璃基底時，采用了提供末端執(zhí)行器來 夾持基底的基底傳送機械手，但這些機械手也趨于變得更大。美國專利 6,893， 712中公開了在傳送半導(dǎo)體硅片和液晶基底的機械手中使用的傳送
" 盡管美國專利6，893，:口712,A、開了組合多個碳纖維強;匕的塑料件的末端 執(zhí)行器，但在應(yīng)用該技術(shù)來夾持被稱為第八代基底的大尺寸玻璃基底的情 況下，尤其存在末端執(zhí)行器彎曲的問題。
期望使用可夾持大尺寸基底的末端執(zhí)行器。還期望裝備有此類末端執(zhí) 行器的基底傳送機械手，用于傳送大尺寸基底，尤其是用于液晶顯示屏的 大尺寸玻璃。
發(fā)明概述 本發(fā)明的目
機械手，該末端執(zhí)行器外形纖細(xì)、耐彎曲、重量輕、并且足以用于夾持稱為第八代基底的大尺寸玻璃基底。此外，本發(fā)明的目的是提供用于容易地 制造長型末端執(zhí)行器的方法。
本發(fā)明為基底傳送機械手的末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器包括纖維強
化的塑料(FRP)制成的上板、FRP下板以及布置在上板與下板之間的中間構(gòu) 件，中間構(gòu)件包含選自鋁、不銹鋼和蜂窩狀FRP的材料。纖維優(yōu)選為碳纖 維、芳族聚酰胺纖維或聚對苯撐苯并二哺唑纖維。
此外，本發(fā)明涉及裝備有前述末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
本發(fā)明的末端執(zhí)行器由上板、下板以及布置在這之間的中間構(gòu)件構(gòu) 成。這類末端執(zhí)行器與僅由碳纖維強化的材料構(gòu)成的末端執(zhí)行器相比具有 更加簡單的結(jié)構(gòu)。此外，它還能降低制造成本。例如，圓柱形末端執(zhí)行器 的制造工藝較為復(fù)雜。在生產(chǎn)用于第八代基底等的末端執(zhí)行器的情況下， 制造尤其困難。就這一點而言，本發(fā)明的末端執(zhí)行器可通過筒單地對板狀 構(gòu)件進行層合來制造，從而使制造工藝變得極為簡單。根據(jù)情況，可將上 板、下板和中間構(gòu)件運送到液晶面板制造廠，并在廠內(nèi)進行裝配，以方便 地制造末端執(zhí)行器。
此外，本發(fā)明的末端執(zhí)行器為復(fù)合件，該復(fù)合件由包含纖維強化的塑 料的上板和下板，以及由鋁、不銹鋼或蜂窩狀纖維強化的塑料制成的中間 構(gòu)件構(gòu)成。在以此方式使用具有不同特性的中間構(gòu)件的情況下，與僅由碳 纖維復(fù)合材料構(gòu)成的末端執(zhí)行器相比，可提高減振性能。因此，可有效防 止末端執(zhí)行器彎曲期間各玻璃基底之間的接觸。這一特性在長型末端執(zhí)行 器中尤其有用，例如用于第八代基底的末端#1行器。
此外，本發(fā)明的末端執(zhí)行器采用碳纖維復(fù)合材料或強化纖維用于上板 和下板。因此，可提供重量輕并且纖細(xì)的末端執(zhí)行器。
此外，由于前述末端執(zhí)行器兼具外形纖細(xì)、抑制彎曲和重量較輕的特 點，本發(fā)明的基底傳送機械手可優(yōu)選用于在液晶顯示屏制造工藝中來傳送 玻璃基底。由于本發(fā)明的基底傳送機械手具有上述極高的抑制彎曲的效 果，因此尤其優(yōu)選用于夾持稱為第八代基底的大尺寸玻璃基底。然而，本 發(fā)明并不僅限于第八代基底，而是理所當(dāng)然地還可用于其他尺寸的玻璃基 底以及除玻璃基底之外的基底。附圖簡述


圖1A為作為本發(fā)明的實例的末端執(zhí)行器12的透視圖，圖IB為其頂 視圖，圖1C為其側(cè)視圖2A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的實例的側(cè)視圖，圖2B為其前視圖，其 中中間構(gòu)件為中空矩形棱柱；
圖3A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的實例的頂視圖，圖3B為其側(cè)視圖，圖 3C為其后視圖，其中中間構(gòu)件為U形構(gòu)件；
圖4A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的實例的頂視圖，圖4B為其側(cè)視圖，圖 4C為其前視圖，其中中間構(gòu)件由蜂窩狀芳族聚酰胺纖維制成；
圖5為基底傳送機械手30的實例的示意性透視圖，該基底傳送機械 手裝備有本發(fā)明的末端執(zhí)行器。
優(yōu)選實施方案il明
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的末端執(zhí)行器和基底傳送機械手進行詳細(xì)闡述。
圖1示出了作為本發(fā)明的實例的末端執(zhí)行器12。圖1A為透視圖，圖 1B為頂視圖，圖1C為側(cè)視圖。在該實例中，末端執(zhí)行器12由纖維強化的 塑料(下文有時簡稱為FRP)制成的上板14、 FRP制成的下板16以及布置 在上板14與下板16之間的中間構(gòu)件18構(gòu)成，中間構(gòu)件選自鋁、不銹鋼 和蜂窩狀FRP,并且末端執(zhí)行器12總體上具有中空結(jié)構(gòu)。此外，盡管圖1 的實例為中空結(jié)構(gòu)的實例，但本發(fā)明專利申請的末端執(zhí)行器并不限于該形 狀，并且也可采用實心結(jié)構(gòu)。
對于用作上板14和下板16的材料的FRP的組成并無具體限制，并且 可應(yīng)用稱為FRP的多種材料。也可組合使用這些材料中的兩種或更多種。 優(yōu)選對摻入塑料中的強化纖維使用碳纖維、芳族聚酰胺纖維或聚對苯撐苯 并二-惡唑纖維。這些材料可商購獲得，并且可使用可商購獲得的材料作為 基料來成形為板形?？缮藤彨@得的材料的實例包括Kevlar⑧和Zylon 。優(yōu) 選使用更輕并且具有改善的耐彎曲特性的纖維。例如，包含碳纖維的碳纖 維強化的塑料(CFRP)，該碳纖維的形式為具有490至950 GPa的拉伸彈性 模量的高彈性碳纖維，按體積計占30°/?；蚋摺Ｍㄟ^使這些纖維的體積比高，可獲得足夠的剛度和具有高減振性能的 構(gòu)件。上述體積比率優(yōu)選為40%或更高。
盡管所用的所有強化纖維均可為高彈性^友纖維，但部分纖維可由其他 強化纖維制成，例如具有小于490 GPa的拉伸彈性模量的碳纖維、玻璃纖 維、芳族聚酰胺纖維、碳化硅纖維或其他已知的強化纖維。例如，高彈性 碳纖維的體積比率最多可為90%，同時其他強化纖維，尤其是具有小于 490 GPa的拉伸彈性模量的碳纖維，可與其余纖維組合使用。
此外，對布置在上板14與下板16之間的中間構(gòu)件18使用選自鋁、 不銹鋼和蜂窩狀FRP的材料。鋁和不銹鋼具有高強度并且耐腐蝕。
對于用作中間構(gòu)件的材料的強化纖維并無具體限制，并且可應(yīng)用已知 為強化纖維的多種材料。優(yōu)選對摻入塑料中的強化纖維使用碳纖維、芳族 聚酰胺纖維或聚對苯撐苯并二喁唑纖維。這些材料可商購獲得，并且可使 用可商購獲得的材料作為基料來成形為板形?？缮藤彨@得的材料的實例包 括Kevlar⑧和Zylon 。優(yōu)選使用更輕并且具有改善的耐彎曲特性的纖維。 例如，包含碳纖維的碳纖維強化的塑料(CFRP),該碳纖維的形式為具有 490至950 GPa的拉伸彈性模量的高彈性碳纖維，按體積計占30%或更 高。通過使這些纖維的體積比率為30%或更高，可獲得足夠的剛度和具有 高減振性能的構(gòu)件。上述體積比率優(yōu)選為40%或更高。
下面對本發(fā)明的末端執(zhí)行器的多個方面進行說明，尤其是對其中中間 構(gòu)件已經(jīng)過適當(dāng)修改的方面。
圖2A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的一個方面的側(cè)視圖，圖2B為其前視圖 (從圖2A的側(cè)面看)。在該實例中，末端執(zhí)行器由上板n、下板"以及 布置在板21與22之間的中空矩形棱柱中間構(gòu)件23構(gòu)成。使用這種形式 的中間構(gòu)件可使整個末端執(zhí)行器表現(xiàn)出輕的重量、足夠的強度和彎曲剛 度。
圖3A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的一個方面的頂視圖，圖3B為其側(cè)視 圖，圖3C為其后視圖(從圖3B的左側(cè)看)。在該實例中，末端執(zhí)行器由 上板24、下板25以及布置在這些板24與25之間的U形中間構(gòu)件26構(gòu) 成。與圖2中示出的實例相比，由于可使中間構(gòu)件的體積變得更小，使用 這種形式的中間構(gòu)件可減輕末端執(zhí)行器的重量。此外，在末端執(zhí)行器如同在圖5所示的基底機械手中一樣單方向延伸的情況下，減小末端執(zhí)行器末 端的彎曲的效果是大大的，該基底機械手將在下文描述。
圖4A為本發(fā)明的末端執(zhí)行器的一個方面的頂視圖，圖4B為其側(cè)視 圖，圖4C為其前視圖(從圖4B的側(cè)面看)。在該實例中，末端執(zhí)行器由 上板27、下板28以及布置在這些板27與28之間的中間構(gòu)件29構(gòu)成，中 間構(gòu)件由蜂窩狀芳族聚酰胺纖維制成。使用此類中間構(gòu)件可極大程度地減 輕末端執(zhí)行器的重量。由于芳族聚酰胺纖維具有大約五倍于普通鋼絲的強 度，重量輕，并且具有優(yōu)異的耐熱性和耐沖擊性，因此將它們用作中間構(gòu) 件29是尤其有利的。
如圖1所示，在整個末端執(zhí)行器12采用中空結(jié)構(gòu)的情況下，末端執(zhí) 行器的固定端13優(yōu)選具有這樣的結(jié)構(gòu)其中垂直于末端執(zhí)行器的縱向的 橫截面的外周長從固定端13朝向自由端15移動時變小，以獲得更高的減 振性能。在此處，"縱向，，是指將圖1所示的中空末端執(zhí)行器12的固定 端13的橫截面重心(G1)與自由端15的橫截面重心(G2)相連接的線11的 方向。
在圖1所示的末端執(zhí)行器12中，在將固定端13的寬度和高度分別定 義為Hl和Tl,并且將自由端15的寬度和高度分別定義為H2和T2的情況 下，末端執(zhí)行器12具有錐形形狀，其中只有寬度在朝向自由端移動時變 窄(Hl > H2， Tl = T2)。然而，本發(fā)明的末端執(zhí)行器并不局限于這一形 狀。除了具有圖1所示形狀的末端執(zhí)行器12外，本發(fā)明的末端執(zhí)行器也 可采用這樣的錐形形狀其中(例如)只有厚度在朝向自由端移動時變小 (Hl = H2， Tl 〉 T2)。此外，本發(fā)明的末端執(zhí)行器還可具有這樣的錐形形 狀其中寬度和高度在朝向自由端移動時均變小(Hl 〉 H2， Tl > T2，如 圖3A和3B所示)。
如果末端執(zhí)行器12的外周長在朝向自由端15移動時變小，為了減小 初始振動過程中的振幅，末端執(zhí)行器12的自由端15的外周長優(yōu)選為固定 端13的外周長的1/3或更高，并且更優(yōu)選為其1/2或更高。另一方面， 為了通過將自由端15的外周長減少甚至一點點而表現(xiàn)出與具有相同固定 端外周長和自由端外周長的末端執(zhí)行器比較而言相當(dāng)?shù)臏p振性能效果，自 由端15的外周長優(yōu)選為固定端13的外周長的9/10或更低，并且更優(yōu)選為其3/5或更低。因此，自由端15的外周長優(yōu)選為固定端15的外周長的 1/3至9/10,并且更優(yōu)選的是，自由端15的外周長為固定端15的外周長 的1/2至3/5。
此外，外周長在朝向自由端方向移動時變小的外形并不局限于如圖1 所示的外周長從固定端13朝向自由端15均勻縮小的外形。例如，可采用 如下外形其中外周長在靠近固定端13的部分處不發(fā)生改變，然后在該 部分以外在朝向自由端15移動時逐漸變小，或者可采用如下外形其中 外周長最多減小至在縱向上的中間部分，然后在該部分之后在朝向自由端 15移動時保持恒定。還可采用其他多種此類外形。
此外，盡管未在附圖中示出，但本發(fā)明的末端執(zhí)行器可為這樣的形 狀其中固定端和自由端的寬度和高度均為同一尺寸，即，Hl = H2、 Tl =T2，以便末端執(zhí)行器的橫截面一致并且從固定端到自由端沒有發(fā)生變 化。
末端執(zhí)行器12的自由端可如圖1所示保持開口，或者可將橡膠或其 他彈性構(gòu)件制成的頂蓋插入開口的末端。
此外，圖1所示的末端執(zhí)行器12的長度應(yīng)使得末端執(zhí)行器能夠支撐 基底，以便在下文所述的基底機械手攀納基底時，抑制中央部分的彎曲。 因此，可根據(jù)要容納的基底的尺寸來適當(dāng)確定該長度。在本發(fā)明中，本發(fā) 明展現(xiàn)出的效果隨著末端執(zhí)行器12長度的變大而更為突出。具體地講， 本發(fā)明在末端執(zhí)行器的長度為500mm或更長，優(yōu)選為1000mm或更長，并 且更優(yōu)選為2300mm或更長的情況下極其有用。對于末端執(zhí)行器12的寬度 并無具體限制，并且就對應(yīng)于所用材料的組合方式而言，要確保最小寬度 能維持所需的強度和彎曲剛度，以防止所容納基底的中央部分發(fā)生彎曲。 此外，也可根據(jù)在容納基底的節(jié)距范圍內(nèi)高度和寬度的關(guān)系來適當(dāng)設(shè)定高 度，以便能夠確保必需的最低強度和彎曲剛度。通常，本發(fā)明的末端執(zhí)行 器的高度為5至60mm。在本發(fā)明中提供了重量輕、強度高的末端執(zhí)行器。 通常，末端執(zhí)行器的重量為1至4kg,但不限于此范圍。
末端執(zhí)行器優(yōu)選地表現(xiàn)為幾乎不具有撓性。具體地講，如果將lkg重 量置于自由端上，彎曲中的撓度優(yōu)選小于20mm，更優(yōu)選小于10mm。如圖1所示，具有如上所述構(gòu)造的末端執(zhí)行器12由例如上板14、下板16以及布置在它們之間的中間構(gòu)件18構(gòu)成。通過采用此類構(gòu)造，可方便地制造末端執(zhí)行器。此外，所述末端執(zhí)行器12的上板14和下板16由具有高減振性能的FRP制成，并且選擇鋁、不銹鋼或蜂窩狀FRP用于中間構(gòu)件，使得抑制彎曲的效果得以增強。此外，本發(fā)明的末端執(zhí)行器確保了重量輕。在中間構(gòu)件為中空的情況下，可提供重量更輕并且更不易彎曲(變形)的末端執(zhí)行器。
下面通過著重介紹用于制造如圖1所示的錐形、中空末端執(zhí)行器的方法的實例來對本發(fā)明的末端執(zhí)行器的制造方法進行說明。本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員將容易理解這樣的事實通過適當(dāng)?shù)馗南率龇椒ㄒ部芍圃炀哂衅渌螤畹哪┒藞?zhí)行器。
首先，作為初始步驟，為上板和下板制備碳纖維復(fù)合材料，并且為中間構(gòu)件制備鋁結(jié)構(gòu)。
上板和下板的形成
以下述方式來形成用于上板和下板的碳纖維復(fù)合材料。首先，將基質(zhì)樹脂浸漬入碳纖維片材中以形成未固化的預(yù)浸漬(預(yù)浸處理)片材。該預(yù)浸處理片材例如優(yōu)選使用高彈性碳纖維，該高彈性碳纖維具有490至950GPa的拉伸彈性模量，按體積計占30%或更高。此外，也可將玻璃纖維或其他纖維添加到碳纖維復(fù)合材料中，前提條件是它們不會削弱上板和下板的支撐性能。
就基質(zhì)樹脂而言，可使用熱固性樹脂，例如環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、氰酸酯樹脂、不飽和聚酯樹脂、聚酰亞胺樹脂、以及雙馬來酰亞胺樹脂。在此情況下，優(yōu)選能夠承受高溫高濕環(huán)境例如橡膠硫化的樹脂。此外，也可使用其中加入由橡膠或樹脂制成的細(xì)小顆粒以賦予耐沖擊性和韌性的熱固性樹脂，或者其中已溶解有熱塑性樹脂的熱固性樹脂。
盡管碳纖維的類型包括具有小于490 GPa的拉伸彈性模量的PAN基碳纖維(得自聚丙烯腈-PAN纖維)和具有490至950 GPa的拉伸彈性模量的瀝青基碳纖維(得自石油或煤焦油基前體)，但這些纖維可在本發(fā)明中組合使用。在此情況下，瀝青基纖維具有高彈性模量的特性，而PAN基纖維具有高拉伸強度的特性。此外，預(yù)浸處理片材的實例包括其中強化纖維以同一方向取向的單向片，以及諸如平織、凍+織、緞面織和三向織等交叉
織造的片材。就具有490至950 GPa的拉伸彈性模量的高彈性碳纖維預(yù)浸處理片材而言，單向片是尤其優(yōu)選的。
可制備多種類型的預(yù)浸處理片材，例如具有不同類型強化纖維的預(yù)浸處理片材、強化纖維與基質(zhì)樹脂的用量比率不同的預(yù)浸處理片材、或者強化纖維取向不同的預(yù)浸處理片材。因此，優(yōu)選的是，根據(jù)要夾持的玻璃基底來適當(dāng)選擇要使用的預(yù)浸處理片材，以便形成具有最佳彎曲剛度的末端執(zhí)行器。
預(yù)浸處理片材的外表面可根據(jù)需要使用交叉織造的預(yù)浸處理片材來包裹。交叉織造的預(yù)浸處理片材是指這樣的未固化片材，其中上述基質(zhì)樹脂浸漬入以多個方向織造的強化纖維中。優(yōu)選將織造的碳纖維、玻璃纖維、芳族聚酰胺纖維或碳化硅纖維等用于強化纖維。此外，優(yōu)選柔韌、高粘合性的片材，以便能夠緊密地粘附并包裹預(yù)浸處理片材?？稍谑褂美予F等進行加熱的同時，通過緊密地粘附預(yù)浸處理片材而進行包裹。
由于使用該交叉織造的預(yù)浸處理片材進行了包裹，在諸如切割和鉆孔的后處理過程中，可防止起毛、或分散或類似的不可取結(jié)果。因此，使用交叉織造的預(yù)浸處理片材不僅有改善加工性能的優(yōu)點，還可減少碎屑的產(chǎn)生，同時不會有損壞液晶顯示屏基底、等離子顯示屏基底、硅片或其他精密基底的風(fēng)險。
然后，將預(yù)浸處理片材形成為預(yù)定尺寸的預(yù)浸處理片材段。預(yù)浸處理片材段的形狀為例如圖1所示的上板14和下板16的形狀。用于形成預(yù)浸處理片材段的方法可以是切割、機械加工或激光加工。
將以此方式得到的未固化的預(yù)浸處理片材段置于真空袋中，然后在加壓的情況下于烘箱或相似設(shè)備中加熱，以獲得上板和下板。在此情況下的加熱條件包括從室溫開始以每分鐘2至l(TC的速度加熱，接著在約100至190。C的溫度下保持約10至180分鐘，然后停止加熱，并通過自然冷卻回至室溫。將未固化的預(yù)浸處理段置于真空袋中的目的是向未固化的構(gòu)件大致均勻地施加外部壓力(即大氣壓)。
中間構(gòu)件的形成
10用于中間構(gòu)件的材料優(yōu)選以鋁、不銹鋼或蜂窩狀FRP的方式具有優(yōu)異
的耐腐蝕性。與采用不銹鋼能夠?qū)崿F(xiàn)的末端執(zhí)行器重量減輕相比，優(yōu)選使 用鋁來實現(xiàn)更大程度的末端執(zhí)行器的重量減輕。此外，在需要進一步減輕
重量的情況下，優(yōu)選使用蜂窩狀FRP (例如包含芳族聚酰胺纖維的蜂窩狀 FRP)來替代鋁。
使用已知的成形方法，將這些金屬材料或FRP形成為前述尺寸的構(gòu)件 以獲得中間構(gòu)件。例如，可將它們形成為如圖l所示的中間構(gòu)件18。成形 可通過切割、機械加工或激光加工來進行。
末端執(zhí)行器的形成
使用以上述方式得到的上板、下板和中間構(gòu)件，4艮據(jù)已知的成形方法 來形成末端執(zhí)行器?？赏ㄟ^例如粘合這些構(gòu)件來形成末端執(zhí)行器?？墒褂?例如雙液混合型環(huán)氧粘合劑作為粘合劑。盡管未對粘合條件進行具體限 制，但考慮到可加工性，優(yōu)選使用可在室溫下固化的粘合劑。
如上文所述，可方便地制造以此方式得到的末端執(zhí)行器。此外，由于 末端執(zhí)行器的形式為具有上板、下板和其他構(gòu)件的復(fù)合構(gòu)件，因而整個末 端執(zhí)行器具有抑制彎曲的效果。因此抑制了由末端執(zhí)行器的振動造成的彎 曲，從而可有效地防止末端沖丸行器彎曲期間各玻璃基底之間的接觸。此 外，通過將上述材料和中空結(jié)構(gòu)用于上板和下板，可進一步減輕末端執(zhí)行 器的重量。
此外，形成如圖1所示的末端執(zhí)行器12不必經(jīng)過復(fù)雜的制造工藝， 例如在形成圓柱形末端執(zhí)行器的情況下，以相對于芯的預(yù)定角度來對非硫 化片材進行多層包裹。因此可顯著提高末端執(zhí)行器的生產(chǎn)效率。從而可以 低廉的成本容易地制造末端執(zhí)行器。
盡管以上已對本發(fā)明的末端執(zhí)行器進行了說明，下面還要對使用此類 末端執(zhí)行器的基底傳送機械手進行說明。
圖5為基底傳送機械手30的實例的示意透視圖，該基底傳送機械手 裝備有本發(fā)明的末端執(zhí)行器?；讉魉蜋C械手30由末端執(zhí)行器(指狀 物)31、腕32和臂33構(gòu)成。每個末端執(zhí)行器31均具有連接到腕32的固 定端34，以及自由端35。通過將基底置于末端執(zhí)行器31上來傳送基底。本發(fā)明的末端執(zhí)行器由于兼具外形薄、抑制彎曲和重量輕的特點，可 用于傳送在液晶顯示屏制造過程中使用的玻璃基底。此外，可方便地制造 本發(fā)明的末端執(zhí)行器。此外，本發(fā)明用于抓握基底的機械手尤其可用于傳 送被稱為第8代基底的大尺寸玻璃基底。
權(quán)利要求
1.基底傳送機械手的末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器包括由纖維強化的塑料(FRP)制成的上板；由纖維強化的塑料(FRP)制成的下板；和布置在所述上板與下板之間的中間構(gòu)件，所述中間構(gòu)件包含選自鋁、不銹鋼和蜂窩狀纖維強化的塑料(FRP)的材料。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的末端執(zhí)行器，其中所述FRP的纖維為碳纖維、芳族聚酰胺纖維或聚對苯撐苯并二嗜唑纖維。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的末端執(zhí)行器，其中所述FRP的纖維為碳纖維，所述碳纖維具有490至950 GPA的拉伸彈性模量，并且所述纖維的體積占所述FRP的總體積的30%或更高。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的末端執(zhí)行器，其中所述纖維的體積占所述FRP的總體積的40%或更高。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的末端執(zhí)行器，其中所述末端執(zhí)行器具有連接到所述基底傳送機械手上的固定端和自由端以及垂直于所述末端執(zhí)行器的縱向的橫截面，并且其中所述末端執(zhí)行器具有中空結(jié)構(gòu)，所述橫截面的外周長在從所述固定端朝向所述自由端移動時變小。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5的末端執(zhí)行器，其中所述自由端的外周長為所述固< 定端的外周長的1/3至9/10。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6的末端執(zhí)行器，其中所述自由端的外周長為所述固定端的外周長的1/2至3/5。
8. 裝備有權(quán)利要求1的末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
9. 裝備有權(quán)利要求2的末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
10. 裝備有權(quán)利要求3的末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
11. 裝備有權(quán)利要求5的末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
全文摘要
一種基底傳送機械手的末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器包括由纖維強化的塑料(FRP)制成的上板；由纖維強化的塑料(FRP)制成的下板；以及布置在所述上板與下板之間的中間構(gòu)件，所述中間構(gòu)件選自鋁、不銹鋼和蜂窩狀纖維強化的塑料(FRP)。此外，公開了一種裝備有上述末端執(zhí)行器的基底傳送機械手。
文檔編號H01L21/687GK101652852SQ200880010805
公開日2010年2月17日 申請日期2008年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月5日
發(fā)明者I·于亞薩, I·富卡祖, T·托基, Y·馬魯亞馬 申請人:納幕爾杜邦公司