專利名稱：晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型系關(guān)于一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，尤指一種于取晶臂與點膠臂之間，設(shè)置一可調(diào)整X、Y軸之調(diào)整座，以進行固晶作業(yè)之晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
一般用于晶圓吸取之設(shè)備，例如固晶機結(jié)構(gòu)，其具有二垂直的吸取頭及點膠頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計，雖然，其具有晶圓吸取的操作成效，但是由于該吸取頭與點膠頭系呈垂直之旋臂結(jié)構(gòu)型態(tài)，其并無法呈特定的夾角，進而作適當?shù)膹椥哉{(diào)整，使得晶圓的固晶作業(yè)與點膠作業(yè)不易調(diào)整校正，直接造成產(chǎn)品的優(yōu)優(yōu)良率大幅下降，造成制造成本的提高，實有作進一步改進的必要。
新型內(nèi)容本實用新型的主要目的系在于提供一種可精準微調(diào)至固晶位置，使得產(chǎn)品的優(yōu)良率提升之晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)。
為了達到上述目的，本實用新型一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其包括一第一基座，該第一基座的一側(cè)延伸一點膠臂，且該第一基座的頂面裝設(shè)一第一滾珠滑軌，而該第一基座的側(cè)緣面裝設(shè)一下調(diào)整固定座，該下調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕，而利用旋調(diào)該分厘卡旋鈕，使該第一滾珠滑軌得以被推動滑移；一調(diào)整座，該調(diào)整座的底面系與該第一滾珠滑軌結(jié)合，且該調(diào)整座的頂面裝設(shè)一第二滾珠滑軌，而該調(diào)整座的側(cè)緣面裝設(shè)一上調(diào)整固定座，該上調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕，而利用旋調(diào)該分厘卡旋鈕，使該第二滾珠滑軌得以被推動滑移；一第二基座，該第二基座的一側(cè)延伸一取晶臂，且該第二基座的底面系與該第二滾珠滑軌結(jié)合。
其中，該第一滾珠滑軌與該第二滾珠滑軌系呈相互垂直狀設(shè)置。
本實用新型一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其優(yōu)點是它可精確微調(diào)至固晶位置，使得產(chǎn)品的優(yōu)良率大為提升。結(jié)構(gòu)簡單，操作使用靈活方便。

圖1系本實用新型之立體分解示意圖。
圖2系本實用新型之立體組合示意圖。
圖3系本實用新型之實施例進行X軸位移調(diào)整示意圖。
圖4系本實用新型之實施例進行Y軸位移調(diào)整示意圖。
圖5系本實用新型之實施例進行微調(diào)操作示意圖。
圖中標號如下10、第一基座 11、點膠臂 12、第一滾珠滑軌13、下調(diào)整固定座 14、分厘卡旋鈕 20、調(diào)整座21、第二滾珠滑軌 22、上調(diào)整固定座23、分厘卡旋鈕30、第二基座 31、取晶臂具體實施方式首先，請配合參閱圖1至圖5所示，本實用新型一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其包括一第一基座10，該第一基座10的一側(cè)延伸一點膠臂11，且該第一基座10的頂面裝設(shè)一第一滾珠滑軌12，而該第一基座10的側(cè)緣面裝設(shè)一下調(diào)整固定座13，該下調(diào)整固定座13裝設(shè)一分厘卡旋鈕14，而利用旋調(diào)該分厘卡旋鈕14，使該第一滾珠滑軌12得以被推動滑移；一調(diào)整座20，該調(diào)整座20的底面系與該第一滾珠滑軌12結(jié)合，且該調(diào)整座20的頂面裝設(shè)一第二滾珠滑軌21，而該調(diào)整座20的側(cè)緣面裝設(shè)一上調(diào)整固定座22，該上調(diào)整固定座22裝設(shè)一分厘卡旋鈕23，而利用旋調(diào)該分厘卡旋鈕23，使該第二滾珠滑軌21得以被推動滑移；一第二基座30，該第二基座30之一側(cè)延伸一取晶臂31，且該第二基座30之底面系與該第二滾珠滑軌21結(jié)合。
其中，該第一滾珠滑軌12與該第二滾珠滑軌21系呈相互垂直狀設(shè)置。
藉由以上的組合構(gòu)成，請續(xù)配合參閱圖1至圖5所示，本實用新型主要可供操作者進行固定晶粒的作業(yè)，不僅整體的操作方式簡單方便，且由于本實用新型系于取晶臂31與點膠臂11之間，另外裝設(shè)一可容易調(diào)整點膠臂11之X軸及Y軸位置的調(diào)整座20(如圖3及圖4所示)，而可供操作者快速精準地調(diào)整點膠臂11之X軸及Y軸的位置(如圖3及圖4所示)，且操作者亦可分別利用分厘卡旋鈕23、14對點膠臂11之X軸及Y軸作微調(diào)，待精準地微調(diào)至晶粒固定位置與點膠位置之后(如圖5所示)，即可進行固晶流程，故藉由微調(diào)式的位置調(diào)整，可確實地使得產(chǎn)品的優(yōu)良率提升，避免因晶粒固定位置與點膠位置的誤差，造成制造成本上的損失，深具經(jīng)濟實用性。
權(quán)利要求1.一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其特征在于其包括一第一基座，該第一基座的一側(cè)延伸一點膠臂，且該第一基座的頂面裝設(shè)一第一滾珠滑軌，而該第一基座的側(cè)緣面裝設(shè)一下調(diào)整固定座，該下調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕；一調(diào)整座，該調(diào)整座的底面系與該第一滾珠滑軌結(jié)合，且該調(diào)整座的頂面裝設(shè)一第二滾珠滑軌，而該調(diào)整座的側(cè)緣面裝設(shè)一上調(diào)整固定座，該上調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕；一第二基座，該第二基座的一側(cè)延伸一取晶臂，且該第二基座的底面系與該第二滾珠滑軌結(jié)合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其特征在于該第一滾珠滑軌與該第二滾珠滑軌系呈相互垂直狀設(shè)置。
專利摘要一種晶粒取晶臂結(jié)構(gòu)，其系由一第一基座、一調(diào)整座及一第二基座所組成；第一基座一側(cè)延伸一點膠臂，且第一基座頂面裝設(shè)一第一滾珠滑軌，而第一基座側(cè)緣面裝設(shè)一下調(diào)整固定座，下調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕，利用旋調(diào)分厘卡旋鈕，使第一滾珠滑軌得以被推動滑移，另調(diào)整座之底面系與該第一滾珠滑軌結(jié)合，且調(diào)整座頂面裝設(shè)一第二滾珠滑軌，而調(diào)整座側(cè)緣面裝設(shè)一上調(diào)整固定座，上調(diào)整固定座裝設(shè)一分厘卡旋鈕，利用旋調(diào)分厘卡旋鈕，使第二滾珠滑軌得以被推動滑移，另外，第二基座一側(cè)延伸一取晶臂，且第二基座底面系與第二滾珠滑軌結(jié)合；藉此，可精準微調(diào)至固晶位置，使得產(chǎn)品的優(yōu)良率提升。
文檔編號H01L21/02GK2914325SQ20062001299
公開日2007年6月20日 申請日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者盧彥豪 申請人:盧彥豪