專利名稱：一種功率半導體器件蒸發(fā)冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及功率半導體器件的一種冷卻裝置，尤其是涉及功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置。
背景技術(shù)：
隨著高壓交流輸電技術(shù)、交流變頻調(diào)速技術(shù)等方面日益廣泛應(yīng)用，電力電子裝置的緊湊型和可靠性問題越來越受到廣大電力技術(shù)人員的關(guān)注。在影響電力電子裝置可靠性的多種因素中，散熱是至關(guān)重要的一個。大功率半導體器件(亦稱電力電子器件)工作時所產(chǎn)生的熱量，將導致芯片溫度的升高，如果沒有適當?shù)纳岽胧?，可能使芯片的溫度超過所允許的最高結(jié)溫，從而導致器件性能的惡化以致?lián)p壞。所以在電路設(shè)計中，選擇適當?shù)纳岱绞?，并進行合理的設(shè)計，是使器件的潛力得到充分發(fā)揮，提高電路可靠性不可缺少的重要環(huán)節(jié)之一。
現(xiàn)代電力電子裝置一般采用空氣冷卻或者水冷。應(yīng)該說，從散熱的角度來說，水冷是非常理想的。但是，水循環(huán)系統(tǒng)工藝要求高，安裝復雜，維護工作量大，而且一旦漏水，會帶來安全隱患。所以，能夠用空氣冷卻解決問題的場合，就不要采用水冷。采用水冷必須解決冷卻水的純度和長期運行時系統(tǒng)的可靠性及腐蝕兩大問題?？傊?，開發(fā)和選擇新型高效散熱技術(shù)對電力電子裝置進行冷卻，是保證裝置可靠性和縮小設(shè)備體積的一個重要措施。
中國專利200320129492.1公開了一種大功率電力電子器件蒸發(fā)冷卻裝置，包括蒸發(fā)冷卻箱8和冷凝器9，冷凝器9置于蒸發(fā)冷卻箱8之上方，冷凝器9中有冷凝管3、進水口1和出水口2；蒸發(fā)冷卻箱8與冷凝器9連為一整體或與冷凝器9分體，兩者通過連接管7連通；蒸發(fā)冷卻箱8中與器件接觸的壁面為平面，內(nèi)充有冷卻液5，功率模塊4固定在蒸發(fā)冷卻箱8的外側(cè)板表面。這種蒸發(fā)冷卻箱采用容積式結(jié)構(gòu)，內(nèi)部體積較大，液體量多，箱體壁面接縫采用焊接方式，上部有出汽口，與器件進行熱傳遞。經(jīng)過多次樣機試驗，發(fā)現(xiàn)其結(jié)構(gòu)有以下缺點，如體積大、焊接面、密封面比較多，使得加工安裝維修均不方便；冷卻介質(zhì)成本較高且比重大，灌液量多，成本也高，重量大，同時設(shè)計裕度過大。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明優(yōu)化了現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)計，提供了一種改進型的非浸泡方式的蒸發(fā)冷卻裝置。本發(fā)明加工更簡單、密封性能好、體積小、可以降低成本?？梢栽谀撤N特殊條件下作用。
本發(fā)明由用于安裝器件的蒸發(fā)冷卻散熱器和冷凝器組成，冷凝器置于蒸發(fā)冷卻散熱器之上方，用連接管連通，蒸發(fā)冷卻散熱器與器件散發(fā)熱量的底座接觸面為平面，器件緊固于蒸發(fā)冷卻散熱器壁面，冷凝器中有冷凝管，冷凝器外部有進水口和出水口便于連接用戶水管，冷凝管內(nèi)通二次冷卻水。蒸發(fā)冷卻散熱器內(nèi)充蒸發(fā)冷卻介質(zhì)，冷卻介質(zhì)采用沸點適中符合環(huán)保要求的蒸發(fā)冷卻介質(zhì)。
功率半導體器件即電力電子器件用于散發(fā)熱量的底座安裝在蒸發(fā)冷卻散熱器的外側(cè)板表面，蒸發(fā)冷卻散熱器充有冷卻介質(zhì)，功率半導體器件工作時產(chǎn)生的熱量通過器件發(fā)熱面?zhèn)髦僚c器件接觸的蒸發(fā)冷卻散熱器，根據(jù)沸騰換熱機理，蒸發(fā)冷卻散熱器內(nèi)的冷卻介質(zhì)吸熱，在沸點蒸發(fā)產(chǎn)生相變，由于密度壓差在重力加速度作用下生成的流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到冷凝器上部，并與其內(nèi)的冷卻循環(huán)水進行熱交換冷凝成液體后，重新流回蒸發(fā)冷卻散熱器。如此的蒸發(fā)冷卻方式由于相變吸熱量大，所以能對大功率電力電子器件進行高效的冷卻。該結(jié)構(gòu)功率器件組合安裝方便，也可以將功率器件的芯片直接與蒸發(fā)冷卻散熱器封裝一體，散熱器采用導電金屬材料，同時做電極引線，是整個電氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單且靈活。箱體式結(jié)構(gòu)個功率器件集中在箱體四壁，器件安裝和電氣連線不方便。
本發(fā)明蒸發(fā)冷卻散熱器為管道式結(jié)構(gòu)，散熱器內(nèi)部為空心管道，可以是螺紋管、微肋管、收縮管，或多孔表面管，采用型材或鑄造制成，以減少焊接面。散熱器上下端部設(shè)有進液口和出汽口。冷卻介質(zhì)在管道內(nèi)流動，與器件進行熱傳遞。由于采用了管道式結(jié)構(gòu)，本發(fā)明比中國專利200320129492.1的結(jié)構(gòu)體積更小，灌液量小，結(jié)構(gòu)密封面減少。
本發(fā)明基于管內(nèi)流動沸騰換熱原理。流動沸騰是指液體在壓差作用下，以一定的流速流經(jīng)加熱面時所發(fā)生的沸騰現(xiàn)象?，F(xiàn)有技術(shù)的蒸發(fā)冷卻箱容積式結(jié)構(gòu)，采用大容積沸騰換熱原理，所謂大容積飽和沸騰是指加熱面被浸潤在無強制對流的液體中所發(fā)生的沸騰現(xiàn)象。由于加熱面處得氣泡生長受流體流動方向上的附加作用，是當?shù)氐臍饣^程發(fā)生變化，如改變起始沸騰條件、減小氣泡脫離直徑，增加氣泡逸離頻率，影響氣泡聚合過程等，因此，管內(nèi)沸騰的機理要比大容積沸騰更為復雜。影響管內(nèi)沸騰的因素很多，首先是液體在管內(nèi)流動速度的影響，按強迫流動的對流放熱方程式Nuf=0.021Ref0.8.Prf0.43.(Prf/Prw)0.25]]>當熱負荷很低，即沸騰很弱時，放熱系數(shù)α基本上與不沸騰時的對流放熱相一致。只在流速w很小時才顯示出沸騰對放熱的增強作用，當q不斷增大時，α的數(shù)值也不斷增大，流動速度的影響則逐漸減弱；只有流速很高時，才顯示出對α有影響。
管內(nèi)沸騰時臨界狀態(tài)的到來在很大程度上取決于形成的汽泡從受熱面上脫離的條件。所以流動速度提高時，汽泡容易被液流從受熱面上沖走，使臨界點來得晚一些，從而提高了qKP(臨界熱負荷)的數(shù)值。
管內(nèi)蒸汽含量的多少對沸騰放熱也有很大的影響，上述關(guān)于液體在管內(nèi)流動沸騰的放熱系數(shù)的關(guān)系式，是指沸騰時液體內(nèi)蒸汽含量不大的狀況，當單位容積內(nèi)蒸汽含量很大時，α就迅速增加，這是因為占容積大部分的蒸汽在管子中心流動，而液體則被擠向壁面形成一層薄膜，這層薄膜在高速地流動著，從而形成了放熱的有利條件，提高液體的換熱效率。
大容積沸騰時，由溫差引起的自然對流，流動沸騰是以一定的流速流經(jīng)加熱面，與氣泡方向相同的沸騰現(xiàn)象，對核態(tài)沸騰傳熱有強化作用，并且管徑越小，強化作用越明顯， h自然對流＜h流動對流。
由于采用管道結(jié)構(gòu)，可以通過改變流道的表面形狀，以提高強制對流換熱系數(shù)，管道可以采用各種形式的內(nèi)肋管、內(nèi)螺旋管、縮放管、橫紋管等，如采用垂直上升螺紋管，其傳熱系數(shù)是光管的1.6～2倍.或采用內(nèi)部微肋管，微肋管傳熱系數(shù)是光管的1.2～1.5倍，改變流道形狀可使沸騰得到強化，原因是由于流體質(zhì)點速度變化或產(chǎn)生的劇烈漩渦，不斷沖刷流動邊界層，使流動邊界層和傳熱邊界層相應(yīng)地減薄，從而可提高傳熱效率。多孔表面管也是一種在光滑表面上覆蓋多孔層后所形成的換熱，它也能對沸騰換熱進行顯著的強化。按加工工藝不同，分為燒結(jié)型、機械加工型、噴涂型及電化學腐蝕型等四種。其傳熱系數(shù)可達光滑表面的5倍左右。多孔表面之所以能夠取得較好的強化換熱效果在于它有大量的氣化核心和較高的氣泡脫離頻率，兩相流速提高，使傳熱系數(shù)升高，同時，其結(jié)構(gòu)特點使得多孔層中可以建立起穩(wěn)定的氣液兩相流動與傳熱傳質(zhì)循環(huán)。
中國專利200320129492.1的箱體結(jié)構(gòu)屬于自然對流傳熱，本發(fā)明采用管道式結(jié)構(gòu)和多種強化傳熱的措施，提高對流傳熱效率，因此從原理分析，本發(fā)明傳熱效果更好。蒸發(fā)冷卻散熱器內(nèi)部管道結(jié)構(gòu)可以根據(jù)熱負荷能力、介質(zhì)流速等參數(shù)及臨界熱流密度交互計算來確定。
因為功率器件的故障率隨結(jié)溫的升高按指數(shù)函數(shù)增加，因此器件運行時必須保證其內(nèi)部的結(jié)溫始終保持在允許的結(jié)溫之內(nèi)。為降低器件結(jié)溫，須設(shè)計熱阻盡可能低的熱流通路，使器件的熱量能通過它盡快發(fā)散出去，根據(jù)傳熱學的基本原理，即要提高對流換熱系數(shù)及降低表面接觸熱阻。由上述可知本發(fā)明管道式結(jié)構(gòu)比中國專利200320129492.1的箱體結(jié)構(gòu)的換熱系數(shù)提高。為降低表面接觸熱阻即可以減小散熱器與元件發(fā)熱面接觸的壁厚，可以采用導熱性好的金屬(如紫銅)，且在接觸面之間添導熱性好的硅脂，以減小接觸面之間的空隙，這些措施均可以減小熱阻。
本發(fā)明冷卻效率高，結(jié)構(gòu)相對簡單，器件安裝和檢修方便，同時由于冷卻介質(zhì)本身具有絕緣性，因此提高了器件的可靠性，無水冷的結(jié)露、水路電位不固定、水路堵塞、腐蝕等帶來的故障以及水處理設(shè)備的投資，經(jīng)濟性較好。


圖1a為本發(fā)明實施例之一空氣冷凝器式蒸發(fā)冷卻散熱器分體式結(jié)構(gòu)示意圖，圖1b為散熱器內(nèi)部側(cè)視圖；圖2a為本發(fā)明實施例之二水冷凝器式多個蒸發(fā)冷卻散熱器并聯(lián)結(jié)構(gòu)示意圖，圖2b為散熱器側(cè)視內(nèi)部剖面圖；圖3a是本發(fā)明實施例之三外部風冷式蒸發(fā)冷卻散熱器一體式結(jié)構(gòu)示意圖，圖3b是散熱器正視內(nèi)部剖面圖。
圖中1蒸發(fā)冷卻散熱器、2功率半導體器件、3 水冷凝器或空氣冷卻器、4冷卻水或風進口、5 冷卻水或風出口、6 集液管、7回液管、8 均壓管、9 出汽管、10蒸發(fā)冷卻介質(zhì)、11 固定螺栓、12 電連接頭、13 散熱片、14 散熱器殼體、15進液管。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明進一步說明。
本發(fā)明的一個實施例如圖1a所示，空氣冷凝器式蒸發(fā)冷卻散熱器分體式結(jié)構(gòu)。冷凝器為空氣冷卻器3，蒸發(fā)冷卻散熱器1與空氣冷卻器3分體，空氣冷卻器3置于蒸發(fā)冷卻散熱器1之上方，兩者通過出汽管9連通，風機從進口4吹進冷風，從出口5吹出來。蒸發(fā)冷卻散熱器1外部尺寸寬×厚×高為100mm×30mm×630mm。如圖1b所示，蒸發(fā)冷卻散熱器1寬100mm×厚30mm×高590，內(nèi)部為寬90mm×厚15mm×高590的方形管道，內(nèi)表面噴涂為多孔表面，增加氣化核心和提高的氣泡脫離頻率，強化換熱效果。在散熱器1的內(nèi)部充入蒸發(fā)冷卻介質(zhì)10。蒸發(fā)冷卻散熱器1的外側(cè)板表面加工成光滑的平面，安裝功率半導體器件2。功率半導體器件2的熱量通過蒸發(fā)冷卻散熱器1的外側(cè)板傳至其內(nèi)的蒸發(fā)冷卻介質(zhì)10，冷卻介質(zhì)10在沸點蒸發(fā)，產(chǎn)生相變吸熱，由于密度壓差在重力加速度作用下生成的流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)10在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到空氣冷卻器3上部，并與其內(nèi)的冷空氣進行熱交換凝結(jié)成液體后，重新流回蒸發(fā)冷卻散熱器1。這種方式的空氣冷卻器或水冷凝器放置比較靈活，結(jié)構(gòu)簡單，維修方便。多個功率器件安裝在同一表面，由于采用銅等導電材料作散熱器，可以不用再在器件極板引出電連接線，可用散熱器兼做電極板引線，通過電連接頭12與外部電源線連接。如圖1b為內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖面圖所示。
實驗表明此實施例工作電流為2520A，壓力為0.008MPa時，功率半導體器件2平均壁溫63℃，殼溫76℃內(nèi)；工作電流為2520A，壓力為0.015MPa時，功率半導體器件2平均壁溫64℃，殼溫可控制在78℃內(nèi)；工作電流為2520A，壓力為0.0225MPa，電壓3.79v，功率為3528w時，功率半導體器件2平均壁溫65℃，殼溫可控制在78℃內(nèi)；隨著蒸發(fā)冷卻散熱器1內(nèi)的冷卻介質(zhì)蒸汽壓力升高，殼溫會有略微升高，這是因為冷卻介質(zhì)10的沸點隨壓力升高而升高，引起壁溫升高，如果為負壓，壁溫會降低，殼溫也會隨著降低。
采用非浸泡式蒸發(fā)冷卻方式冷卻大功率器件可以達到理想的冷卻效果。而且一個散熱器可以冷卻多個功率器件，結(jié)構(gòu)簡單冷卻效率高。
本發(fā)明的另一個實施例，多個蒸發(fā)冷卻散熱器并聯(lián)與水冷凝器分體式如圖2a所示，6個蒸發(fā)冷卻散熱器1通過出汽管15及均壓管8連通，在其頂部與水冷凝器3連通，冷凝器裝有冷凝管。功率半導體器件2夾裝在蒸發(fā)冷卻散熱器1的外側(cè)板表面之間，用固定螺栓11固定。為提高導熱率，蒸發(fā)冷卻散熱器1為空心殼體，外表面加工光滑平整。散熱器1內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2b所示，在散熱器1的內(nèi)部，以寬度方向并排均布的9根直徑為10mm的內(nèi)螺旋圓管為中央，外部用銅澆筑成型，并在上下留有匯流的進液管15和出汽管9。在功率半導體器件2與接觸壁之間涂抹導熱脂以減小熱阻，蒸發(fā)冷卻散熱器1內(nèi)的空心殼體充蒸發(fā)冷卻介質(zhì)10，水冷凝器3包括進水口4，出水口5，六個蒸發(fā)冷卻散熱器1上部通過端部出汽管9與均壓管8連通，下部通過端部進液管15與集液管6連通，集液管6通過回液管7與頂部冷凝器3連通。功率半導體器件2工作時產(chǎn)生的熱量通過蒸發(fā)冷卻散熱器1的外側(cè)板傳至其內(nèi)的冷卻介質(zhì)10，蒸發(fā)冷卻散熱器1內(nèi)的冷卻介質(zhì)10吸熱，在沸點蒸發(fā)產(chǎn)生相變，由于密度壓差在重力加速度作用下生成的流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到冷凝器3上部，并與其內(nèi)的冷卻循環(huán)水進行熱交換冷凝成液體后，經(jīng)冷凝器3、回液管7、集液管6和進液管15，重新流回到蒸發(fā)冷卻散熱器1。由于采用內(nèi)部管道，強化了核態(tài)沸騰，提高換熱效率。
本發(fā)明實施例之三外部風冷式蒸發(fā)冷卻散熱器一體式結(jié)構(gòu)如圖3a所示。臥式布置的蒸發(fā)冷卻散熱器1與立式布置的空氣散熱片13連為一體。空氣散熱片13中設(shè)有冷卻介質(zhì)10的流通通道，這些通道與臥式蒸發(fā)冷卻散熱器1的管道相通，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖3b所示。蒸發(fā)冷卻散熱器1底板寬×厚×長為100mm×30mm×200mm，內(nèi)部寬×厚×高為80mm×24mm×180mm的空心長方體，上部為內(nèi)部空心的圓柱體散熱片，增加換熱面積，提高冷卻效果，類似熱管散熱片。散熱器1內(nèi)充滿蒸發(fā)冷卻介質(zhì)10。功率半導體器件2安裝在蒸發(fā)冷卻散熱器1的外側(cè)板表面，功率半導體器件2的熱量通過蒸發(fā)冷卻散熱器的外側(cè)板傳至散熱器1內(nèi)的冷卻介質(zhì)10，冷卻介質(zhì)10在沸點蒸發(fā)，產(chǎn)生相變吸熱，由于密度壓差在重力加速度作用下生成流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)10在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到空氣散熱片13中，通過空氣散熱片13與外部冷空氣進行熱交換，凝結(jié)成液體后，經(jīng)空氣散熱片13內(nèi)表面向下流回蒸發(fā)冷卻散熱器1。這種方式的空氣散熱片體積小，可以使用在缺水的特殊環(huán)境中。多個功率器件安裝在同一表面，由于采用銅等導電材料作散熱器，可以不用再在器件極板引出電連接線，可用散熱器兼做電極板引線，通過連接頭12與外部電源線連接，結(jié)構(gòu)簡單，安裝和維修方便。如圖3b所示。
這三種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點是功率半導體器件2通過固定螺栓和導熱膠(脂)固定在蒸發(fā)冷卻散熱器1外側(cè)表面上，安裝和檢修方便，更換器件時不需要打開蒸發(fā)冷卻散熱器。由于冷卻介質(zhì)10的沸點低，從而使得功率半導體器件2的最高溫度控制在器件結(jié)溫允許的范圍。
權(quán)利要求
1.一種功率半導體器件蒸發(fā)冷卻裝置，包括蒸發(fā)冷卻散熱器[1]和冷凝器[3]，冷凝器[3]置于蒸發(fā)冷卻散熱器[1]之上方，冷凝器[3]中有冷凝管、冷卻水或冷風進口[4]和冷卻水或熱風出口[5]；其特征在于蒸發(fā)冷卻散熱器[1]散熱器內(nèi)部設(shè)有采用型材或鑄造制成的管道，管道可以是螺紋管、微肋管、收縮管，或多孔表面管，其形狀為矩形、圓形或多邊形，散熱器[1]上下端部設(shè)有進液管[15]和出汽管[9]，管道內(nèi)充入蒸發(fā)冷卻介質(zhì)[10]；蒸發(fā)冷卻散熱器[1]中與器件接觸的外側(cè)板表面為光滑平面，功率半導體器件[2]固定在此外側(cè)板表面；大功率半導體器件[2]工作時產(chǎn)生的熱量通過器件發(fā)熱面?zhèn)髦僚c器件接觸的蒸發(fā)冷卻散熱器[1]，蒸發(fā)冷卻散熱器[1]管道內(nèi)的蒸發(fā)冷卻介質(zhì)[10]在沸點蒸發(fā)產(chǎn)生相變，由于密度壓差在重力加速度作用下生成的流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到冷凝器[3]上部，并與其內(nèi)的冷卻循環(huán)水或冷風進行熱交換，冷凝成液體后，重新流回蒸發(fā)冷卻散熱器[1]。
2.按照權(quán)利要求1所說的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于冷凝器[3]為空氣冷卻管型[3]或空氣散熱片型[13]；蒸發(fā)冷卻散熱器[1]與空氣冷卻管型冷卻器[3]分體時，兩者通過出汽管[9]連通；空氣散熱片[13]作為冷凝器時，蒸發(fā)冷卻散熱器[1]臥式布置，與立式布置的空氣散熱片[13]連為一體，空氣散熱片[13]中設(shè)有冷卻介質(zhì)[10]的流通通道，流通通道與臥式蒸發(fā)冷卻散熱器[1]的管道相通。
3.按照權(quán)利要求1所說的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于可在兩個蒸發(fā)冷卻散熱器[1]之間夾裝一個或多個功率半導體器件[2]，或多個蒸發(fā)冷卻散熱器[1]中間夾裝多個功率半導體器件[2]。
4.按照權(quán)利要求1所說的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于多個蒸發(fā)冷卻散熱器[1]連通時，蒸發(fā)冷卻散熱器[1]上部通過端部出汽管[9]與均壓管[8]連通，下部通過進液管[15]與集液管[6]連通，集液管[6]與回液管[7]連通至上部冷凝器[3]或冷卻器[3]。
5.按照權(quán)利要求1所說的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于蒸發(fā)冷卻介質(zhì)循環(huán)可以借助泵提供循環(huán)動力或無泵自循環(huán)。
6.按照權(quán)利要求1所說的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于蒸發(fā)冷卻介質(zhì)其沸騰點不超過70℃。
7.按照權(quán)利要求1所說的的功率半導體器件的蒸發(fā)冷卻裝置，其特征在于可在功率半導體器件[2]與蒸發(fā)冷卻散熱器[1]之間涂抹導熱脂(膠)。
全文摘要
一種功率半導體器件蒸發(fā)冷卻裝置，其蒸發(fā)冷卻散熱器[1]內(nèi)布置空心管道，散熱器上下端部設(shè)有進液管[15]和出汽管[9]，管道內(nèi)充入蒸發(fā)冷卻介質(zhì)[10]。大功率半導體器件[2]安裝在蒸發(fā)冷卻散熱器[1]的外側(cè)板表面，功率半導體器件[2]工作時產(chǎn)生的熱量傳至與器件接觸的蒸發(fā)冷卻散熱器[1]，根據(jù)沸騰換熱機理，蒸發(fā)冷卻介質(zhì)[10]吸熱，在沸點蒸發(fā)產(chǎn)生相變，由于密度壓差在重力加速度作用下生成的流動壓頭，克服阻力壓降形成一定流量的循環(huán)，使冷卻介質(zhì)在沸騰點蒸發(fā)成汽態(tài)上升到冷凝器[3]上部，并與其內(nèi)的冷卻循環(huán)水進行熱交換冷凝成液體后，重新流回蒸發(fā)冷卻散熱器[1]。本發(fā)明體積小，冷卻效率高。
文檔編號H01L23/427GK1851908SQ20061001195
公開日2006年10月25日 申請日期2006年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月22日
發(fā)明者顧國彪, 國建鴻, 傅德平, 田新東, 李振國, 袁佳毅 申請人:中國科學院電工研究所