專利名稱：串聯(lián)式射頻mems開關(guān)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)。
背景技術(shù)：
目前所制作的串聯(lián)式MEMS開關(guān)，通常采用平面式SiN薄膜作懸梁，在平面式SiN懸梁下蒸平面式鍍金膜形成二層平面式薄膜觸點結(jié)構(gòu)，二層薄膜的尺寸均為14(寬)×80(長)微米，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。由于平面式SiN薄膜制作過程中會產(chǎn)生較大的應(yīng)力，致使觸點產(chǎn)生形變，并導(dǎo)致彎曲，影響觸點與信號線的接觸。
實用新型內(nèi)容本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)因觸點變形彎曲而影響觸點與信號線的接觸效果的問題，提供一種能保證觸點與波導(dǎo)能夠穩(wěn)定接觸的串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)。
本實用新型的技術(shù)方案如下它包括驅(qū)動塊、觸點、固定端、共平面波導(dǎo)，觸點由上下二層薄膜構(gòu)成，其特征在于其上層薄膜的下表面的中間設(shè)有向下凸起，下層薄膜的上表面的中間設(shè)有與上層薄膜的向下凸起相配對的向上凹槽。
本實用新型的T型結(jié)構(gòu)的觸點，有效地改善了觸點的形變和彎曲，使觸點與信號線之間能夠進行有效的接觸。本實用新型的T型觸點結(jié)構(gòu)的射頻MEMS開關(guān)減少了因多層薄膜所造成的應(yīng)力影響，T型結(jié)構(gòu)由于其下端的窄條起了支撐的作用，使觸點的下端成為平面，改變了原先觸點的彎曲現(xiàn)象，從而使觸點與波導(dǎo)的接觸成為穩(wěn)定的接觸，對開關(guān)性能的提高起了很大的作用。


圖1為現(xiàn)有的二層平面式薄膜觸點的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為二層T形結(jié)構(gòu)薄膜觸點的結(jié)構(gòu)示意圖。
標號說明1驅(qū)動塊，2觸點、21上層薄膜、22下層薄膜、23向下凸起、24向上凹槽，3固定端，4共平面波導(dǎo)的地線，5共平面波導(dǎo)的信號線。
具體實施方式
如圖2、3所示，本實用新型包括驅(qū)動塊1、觸點2、固定端3、共平面波導(dǎo)的地線、共平面波導(dǎo)的信號線；觸點2由上下二層薄膜21和22構(gòu)成，其特征在于其上層薄膜21的下表面的中間設(shè)有向下凸起23，下層薄膜22的上表面的中間設(shè)有與上層薄膜21的向下凸起23相配對的向上凹槽24。上層薄膜是1微米的SiN薄膜，下層薄膜是0.15微米的金薄膜。凸起部分尺寸8(寬)×0.2(厚)微米。
使用方式在串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)的觸點部分采用T型結(jié)構(gòu)，在靜電力的驅(qū)動下，觸點可以與信號線進行接觸與分開，實現(xiàn)開關(guān)的功能，并保證開關(guān)在閉合時能夠進行穩(wěn)定的接觸，減少接觸電阻。
權(quán)利要求1.一種串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)，包括驅(qū)動塊(1)、觸點(2)、固定端(3)、共平面波導(dǎo)，觸點(2)由上下二層薄膜(21)和(22)構(gòu)成，其特征在于其上層薄膜(21)的下表面的中間設(shè)有向下凸起(23)，下層薄膜(22)的上表面的中間設(shè)有與上層薄膜(21)的向下凸起(23)相配對的向上凹槽(24)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)，其特征在于上層薄膜(21)是1微米的SiN薄膜，下層薄膜(22)是0.15微米的金薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)，其特征在于向下凸起(23)部分尺寸為寬微米、厚0.2微米。
專利摘要一種串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)，它解決了現(xiàn)有技術(shù)因觸點變形彎曲而影響觸點與信號線的接觸效果的問題，提供一種能保證觸點與波導(dǎo)能夠穩(wěn)定接觸的串聯(lián)式射頻MEMS開關(guān)，本實用新型包括驅(qū)動塊、觸點、固定端、共平面波導(dǎo)，觸點由上下二層薄膜構(gòu)成，其上層薄膜的下表面的中間設(shè)有向下凸起，下層薄膜的上表面的中間設(shè)有與上層薄膜的向下凸起相配對的向上凹槽。本實用新型的射頻MEMS開關(guān)減少了因多層薄膜所造成的應(yīng)力影響，T型結(jié)構(gòu)由于其下端的窄條起了支撐的作用，使觸點的下端成為平面，改變了原先觸點的彎曲現(xiàn)象，從而使觸點與波導(dǎo)的接觸成為穩(wěn)定的接觸，對開關(guān)性能的提高起了很大的作用。
文檔編號H01H13/70GK2752935SQ20042011150
公開日2006年1月18日 申請日期2004年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月16日
發(fā)明者于映, 羅仲梓 申請人:福州大學