專利名稱：半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及固體激光器，尤其涉及一種半導(dǎo)體激光泵浦的固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體激光器泵浦的腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器因其轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)緊湊、頻率穩(wěn)定、熱效應(yīng)小、光束質(zhì)量好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，在醫(yī)療診斷、光學(xué)指示、娛樂照明等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。
但由于腔內(nèi)倍頻激光器的光學(xué)諧振腔內(nèi)各縱模之間存在著和頻過程，從而引起各縱模之間相互耦合，造成增益交叉飽和，導(dǎo)致輸出的倍頻光功率很不穩(wěn)定，呈現(xiàn)出嚴(yán)重的“綠色噪聲”。自從激光二極管泵浦腔內(nèi)倍頻綠光激光器問世以來，綠色噪聲問題一直是困擾人們的主要問題，這種“綠色噪聲”限制了它們在一些應(yīng)用中的用途。
現(xiàn)已發(fā)展了多種技術(shù)手段消除“綠色噪聲”，實(shí)現(xiàn)低噪聲激光器。較為常見的是使激光器運(yùn)行于單縱模狀態(tài)，只允許一個縱模起振并倍頻輸出，因此摒除了和頻的產(chǎn)生，從而消除了“綠色噪聲”，其缺點(diǎn)是激光器運(yùn)行于單縱模狀態(tài)時，轉(zhuǎn)換效率太低，而且對環(huán)境溫度的變化非常敏感，激光輸出受外界溫度變化影響很大，其原因主要有兩點(diǎn)首先，溫度的變化會引起激光諧振腔有效腔長的變化，導(dǎo)致輸出波長變化；其次，溫度的變化會引起腔內(nèi)晶體折射率變化，進(jìn)而導(dǎo)致腔內(nèi)的選模元件對波長選擇隨溫度漂移，這兩個原因必將導(dǎo)致跳模現(xiàn)象的發(fā)生，使激光器的噪聲變大。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于，提供一種寬工作溫度范圍的半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器，它通過在光學(xué)諧振腔內(nèi)引入一塊補(bǔ)償晶體，有效的抑制了“綠色噪聲”，同時使光學(xué)諧振腔內(nèi)的選模元件對波長選擇隨溫度的漂移與腔長隨溫度變化引起的輸出波長變化保持同步，有效的增寬了激光器不發(fā)生跳?，F(xiàn)象的溫度范圍，使激光器在較寬的工作溫度范圍可長期穩(wěn)定的工作于低噪聲狀態(tài)。
為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器，其光學(xué)諧振腔包括激光增益介質(zhì)、光學(xué)倍頻晶體以及其上的鍍膜，所述光學(xué)諧振腔還具有補(bǔ)償晶體。
本實(shí)用新型中，對于所述激光增益介質(zhì)、所述補(bǔ)償晶體和所述光學(xué)倍頻晶體這三個部件的放置順序，按照光線輸入至輸出的方向，依次為所述激光增益介質(zhì)、所述補(bǔ)償晶體和所述光學(xué)倍頻晶體；或者依次為所述激光增益介質(zhì)、所述光學(xué)倍頻晶體和所述補(bǔ)償晶體；或者依次為所述補(bǔ)償晶體、所述激光增益介質(zhì)和所述光學(xué)倍頻晶體；所述三個部件可以分離放置，也可以通過膠合或光膠的方式固定在一起，或者其中的兩個通過膠合或光膠的方式固定在一起，而另一個分開放置。
按照本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述光學(xué)諧振腔還包括平凹型輸入耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸入端；或者還包括平凹型輸出耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸出端；或者既包括平凹型輸入耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸入端，又包括平凹型輸出耦合鏡，位于所述光學(xué)諧振腔的輸出端。
按照本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述光學(xué)諧振腔的所述激光增益介質(zhì)、所述補(bǔ)償晶體和所述光學(xué)倍頻晶體，按照光線輸入至輸出的方向，位于最前端的部件的輸入面為凸面；或者，位于最后端的部件的輸出面為凸面；或者位于最前端的部件的輸入面為凸面，且位于最后端的部件的輸出面為凸面。
按照本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述光學(xué)諧振腔的所述激光增益介質(zhì)、所述補(bǔ)償晶體和所述光學(xué)倍頻晶體，按照光線輸入至輸出的方向，位于最前端的部件的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；且位于最后端的部件的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
本實(shí)用新型所述補(bǔ)償晶體是溫度特性與激光增益介質(zhì)、光學(xué)倍頻晶體和諧振腔溫度特性相匹配的雙折射材料。
本實(shí)用新型的半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器，由于采用了上述的技術(shù)方案，使得該激光器對溫度的變化不敏感，無需精密的溫度控制系統(tǒng)，就可使該激光器長期穩(wěn)定的工作于低噪聲狀態(tài)，且簡化了工藝，降低了成本，更利于實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。
圖1至圖75分別是本實(shí)用新型低噪聲激光器各個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
圖1是本實(shí)用新型低噪聲激光器的一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔100由激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103以及其上的鍍膜共同形成，補(bǔ)償晶體102放置于激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103之間，并通過膠合或光膠的方式與激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103固定在一起。激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。激光增益介質(zhì)101可以是Nd:YVO4、Nd:GdVO4、Nd:YAG或類似激光增益介質(zhì)，光學(xué)倍頻晶體103可以是KTP、KDP、LBO、BBO、ADP、LiNbO3或類似非線性材料，補(bǔ)償晶體102可以是YVO4或類似的溫度特性與激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和光學(xué)諧振腔100溫度特性相匹配的雙折射材料，適當(dāng)?shù)剡x擇補(bǔ)償晶體102的長度，可以補(bǔ)償因溫度變化引起的光學(xué)諧振腔有效腔長的變化和腔內(nèi)其他晶體折射率變化造成的縱模漂移，使得有效腔長隨溫度變化引起波長的變化與腔內(nèi)選模元件對波長的選擇隨溫度的漂移保持同步，從而增寬了激光器不發(fā)生跳?，F(xiàn)象的溫度范圍，使該激光器在較寬的工作溫度范圍內(nèi)可長期穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)低噪聲輸出。
圖2是本實(shí)用新型低噪聲激光器另一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔200中，光學(xué)倍頻晶體103放置于激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102之間，并通過膠合或光膠的方式與激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102固定在一起。激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，補(bǔ)償晶體102的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖3是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔300中，激光增益介質(zhì)101放置于補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103之間，并通過膠合或光膠的方式與補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103固定在一起。補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖4是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔400包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是激光增益介質(zhì)101，設(shè)置在激光增益介質(zhì)101后的是補(bǔ)償晶體102，與補(bǔ)償晶體102光連接的是光學(xué)倍頻晶體103，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖5是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔500中，激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖6是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔600中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖7是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔700中，激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖8是本實(shí)用新型低噪聲激光器第八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔800包括激光增益介質(zhì)101，與激光增益介質(zhì)101光連接的是補(bǔ)償晶體102，設(shè)置在補(bǔ)償晶體102后的是光學(xué)倍頻晶體103，與光學(xué)倍頻晶體103光連接的是平凹型輸出耦合鏡105，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖9是本實(shí)用新型低噪聲激光器第九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔900中，激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖10是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1000中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖11是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1100中，激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖12是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1200包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是激光增益介質(zhì)101，設(shè)置在激光增益介質(zhì)101后的是補(bǔ)償晶體102，與補(bǔ)償晶體102光連接的是光學(xué)倍頻晶體103，設(shè)置在光學(xué)倍頻晶體103后的是平凹型輸出耦合鏡105，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖13是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1300中，激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸出面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖14是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1400中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖15是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1500中，激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖16是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1600包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是激光增益介質(zhì)101，設(shè)置在激光增益介質(zhì)101后的是光學(xué)倍頻晶體103，與光學(xué)倍頻晶體103光連接的是補(bǔ)償晶體102，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖17是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1700中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖18是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1800中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖19是本實(shí)用新型低噪聲激光器第十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔1900中，激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖20是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2000包括激光增益介質(zhì)101，與激光增益介質(zhì)101光連接的是光學(xué)倍頻晶體103，設(shè)置在光學(xué)倍頻晶體103后的是補(bǔ)償晶體102，與補(bǔ)償晶體102光連接的是平凹型輸出耦合鏡105，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖21是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2100中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖22是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2200中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖23是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2300中，激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖24是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2400包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是激光增益介質(zhì)101，設(shè)置在激光增益介質(zhì)101后的是光學(xué)倍頻晶體103，與光學(xué)倍頻晶體103光連接的是補(bǔ)償晶體102，設(shè)置在補(bǔ)償晶體102后的是平凹型輸出耦合鏡105，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸入面和輸出面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖25是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2500中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖26是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2600中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖27是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2700中，激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖28是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2800包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是補(bǔ)償晶體102，設(shè)置在補(bǔ)償晶體102后的是激光增益介質(zhì)101，與激光增益介質(zhì)101光連接的是光學(xué)倍頻晶體103，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面都鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖29是本實(shí)用新型低噪聲激光器第二十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔2900中，補(bǔ)償晶體102和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖30是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3000中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖31是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3100中，補(bǔ)償晶體102、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖32是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3200包括補(bǔ)償晶體102，與補(bǔ)償晶體102光連接的是激光增益介質(zhì)101，設(shè)置在激光增益介質(zhì)101后的是光學(xué)倍頻晶體103，與光學(xué)倍頻晶體103光連接的是平凹型輸出耦合鏡105，補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖33是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3300中，補(bǔ)償晶體102和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖34是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3400中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖35是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3500中，補(bǔ)償晶體102、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖36是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3600包括平凹型輸入耦合鏡104，與平凹型輸入耦合鏡104光連接的是補(bǔ)償晶體102，設(shè)置在補(bǔ)償晶體102后的是激光增益介質(zhì)101，與激光增益介質(zhì)101光連接的是光學(xué)倍頻晶體103，設(shè)置在光學(xué)倍頻晶體103后的是平凹型輸出耦合鏡105，平凹型輸入耦合鏡104的平面鍍有對泵浦光增透的介質(zhì)膜，凹面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；平凹型輸出耦合鏡105的凹面鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，平面鍍有對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖37是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3700中，補(bǔ)償晶體102和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖38是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3800中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖39是本實(shí)用新型低噪聲激光器第三十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔3900中，補(bǔ)償晶體102、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖40是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4000由激光增益介質(zhì)106、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103以及其上的鍍膜共同形成，補(bǔ)償晶體102放置于激光增益介質(zhì)106和光學(xué)倍頻晶體103之間，激光增益介質(zhì)106的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖41是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4100中，激光增益介質(zhì)106和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖42是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4200中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖43是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4300中，激光增益介質(zhì)106、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖44是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4400由激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107以及其上的鍍膜共同形成，補(bǔ)償晶體102放置于激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107之間，光學(xué)倍頻晶體107的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖45是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4500中，激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖46是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4600中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖47是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4700中，激光增益介質(zhì)101、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖48是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4800由激光增益介質(zhì)106、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107以及其上的鍍膜共同形成，補(bǔ)償晶體102放置于激光增益介質(zhì)106和光學(xué)倍頻晶體107之間，激光增益介質(zhì)106的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的兩個面上都鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體107的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖49是本實(shí)用新型低噪聲激光器第四十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔4900中，激光增益介質(zhì)106和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖50是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5000中，補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖51是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5100中，激光增益介質(zhì)106、補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖52是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5200由激光增益介質(zhì)106、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102以及其上的鍍膜共同形成，光學(xué)倍頻晶體103放置于激光增益介質(zhì)106和補(bǔ)償晶體102之間，激光增益介質(zhì)106的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖53是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5300中，激光增益介質(zhì)106和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖54是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5400中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖55是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5500中，激光增益介質(zhì)106、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體102通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖56是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5600由激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108以及其上的鍍膜共同形成，光學(xué)倍頻晶體103放置于激光增益介質(zhì)101和補(bǔ)償晶體108之間，激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體108的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖57是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5700中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖58是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5800中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖59是本實(shí)用新型低噪聲激光器第五十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔5900中，激光增益介質(zhì)101、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖60是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6000由激光增益介質(zhì)106、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108以及其上的鍍膜共同形成，光學(xué)倍頻晶體103放置于激光增益介質(zhì)106和補(bǔ)償晶體108之間，激光增益介質(zhì)106的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜；補(bǔ)償晶體108的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光和倍頻光同時增透的介質(zhì)膜。
圖61是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6100中，激光增益介質(zhì)106和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖62是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6200中，光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖63是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6300中，激光增益介質(zhì)106、光學(xué)倍頻晶體103和補(bǔ)償晶體108通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖64是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6400由補(bǔ)償晶體109、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103以及其上的鍍膜共同形成，激光增益介質(zhì)101放置于補(bǔ)償晶體109和光學(xué)倍頻晶體103之間，補(bǔ)償晶體109的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體103的輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜。
圖65是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6500中，補(bǔ)償晶體109和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖66是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十六個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6600中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖67是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十七個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6700中，補(bǔ)償晶體109、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體103通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖68是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十八個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6800由補(bǔ)償晶體102、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107以及其上的鍍膜共同形成，激光增益介質(zhì)101放置于補(bǔ)償晶體102和光學(xué)倍頻晶體107之間，補(bǔ)償晶體102的輸入面上鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體107的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖69是本實(shí)用新型低噪聲激光器第六十九個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔6900中，補(bǔ)償晶體102和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖70是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7000中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖71是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十一個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7100中，補(bǔ)償晶體102、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖72是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十二個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7200由補(bǔ)償晶體109、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107以及其上的鍍膜共同形成，激光增益介質(zhì)101放置于補(bǔ)償晶體109和光學(xué)倍頻晶體107之間，補(bǔ)償晶體109的輸入面是一凸面，并鍍有對泵浦光增透同時對諧振腔內(nèi)基頻光高反的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜；激光增益介質(zhì)101的輸入面上鍍有對泵浦光和諧振腔內(nèi)基頻光同時增透的介質(zhì)膜，輸出面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜；光學(xué)倍頻晶體107的輸出面是一凸面，并鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光高反同時對倍頻光增透的介質(zhì)膜，輸入面上鍍有對諧振腔內(nèi)基頻光增透的介質(zhì)膜。
圖73是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十三個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7300中，補(bǔ)償晶體109和激光增益介質(zhì)101通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖74是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十四個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7400中，激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
圖75是本實(shí)用新型低噪聲激光器第七十五個實(shí)施例的諧振腔結(jié)構(gòu)圖。該激光器的光學(xué)諧振腔7500中，補(bǔ)償晶體109、激光增益介質(zhì)101和光學(xué)倍頻晶體107通過膠合或光膠的方式固定在一起。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下突出效果本實(shí)用新型將一塊補(bǔ)償晶體引入到光學(xué)諧振腔內(nèi)，使光學(xué)諧振腔內(nèi)的選模元件對波長選擇隨溫度的漂移與腔長隨溫度變化引起輸出波長的變化保持同步，有效的增寬了激光器不發(fā)生跳?，F(xiàn)象、穩(wěn)定工作的溫度范圍，降低了噪聲，使該激光器在較寬的溫度范圍內(nèi)可長期穩(wěn)定的工作于低噪聲狀態(tài)，且簡化了工藝，降低了成本，更利于實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。
上述實(shí)施例是提供給熟悉本領(lǐng)域內(nèi)的人員來實(shí)現(xiàn)或使用本實(shí)用新型的，熟悉本領(lǐng)域的人員可在不脫離本實(shí)用新型的發(fā)明思想的情況下，對上述實(shí)施例做出種種修改或變化，因而本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不被上述實(shí)施例所限，而應(yīng)該是符合權(quán)利要求書提到的創(chuàng)新性特征的最大范圍。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器，其光學(xué)諧振腔包括激光增益介質(zhì)、光學(xué)倍頻晶體以及其上的鍍膜，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔還具有補(bǔ)償晶體。
2.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔中，按照光線輸入至輸出的方向，依次為所述激光增益介質(zhì)、所述補(bǔ)償晶體和所述光學(xué)倍頻晶體；所述三個部件可以分離放置，也可以通過膠合或光膠的方式固定在一起，或者其中的兩個通過膠合或光膠的方式固定在一起，而另一個分開放置。
3.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔中，按照光線輸入至輸出的方向，依次為所述激光增益介質(zhì)、所述光學(xué)倍頻晶體和所述補(bǔ)償晶體；所述三個部件可以分離放置，也可以通過膠合或光膠的方式固定在一起，或者其中的兩個通過膠合或光膠的方式固定在一起，而另一個分開放置。
4.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔中，按照光線輸入至輸出的方向，依次為所述補(bǔ)償晶體、所述激光增益介質(zhì)和所述光學(xué)倍頻晶體；所述三個部件可以分離放置，也可以通過膠合或光膠的方式固定在一起，或者其中的兩個通過膠合或光膠的方式固定在一起，而另一個分開放置。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔還包括平凹型輸入耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸入端。
6，如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔還包括平凹型輸出耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸出端。
7.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔還包括平凹型輸入耦合鏡，按照光線輸入至輸出的方向，位于所述光學(xué)諧振腔的輸入端；以及平凹型輸出耦合鏡，位于所述光學(xué)諧振腔的輸出端。
8.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的激光器，其特征在于，所述光學(xué)諧振腔的所述補(bǔ)償晶體、所述激光增益介質(zhì)和所述光學(xué)倍頻晶體，按照光線輸入至輸出的方向，位于最前端的部件的輸入面為凸面；或者，位于最后端的部件的輸出面為凸面；或者位于最前端的部件的輸入面為凸面，且位于最后端的部件的輸出面為凸面。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的激光器，其特征在于，所述補(bǔ)償晶體是溫度特性與激光增益介質(zhì)、光學(xué)倍頻晶體和諧振腔溫度特性相匹配的雙折射材料。
專利摘要一種半導(dǎo)體激光泵浦固體腔內(nèi)倍頻低噪聲激光器，其光學(xué)諧振腔包括激光增益介質(zhì)、補(bǔ)償晶體、光學(xué)倍頻晶體以及其上的鍍膜。上述的三個部件可以以一定的順序放置，既可以分離放置，也可以通過膠合或光膠的方式固定在一起。光學(xué)諧振腔還可以包括平凹型輸入耦合鏡和/或平凹型輸出耦合鏡。由于采用了上述的技術(shù)方案，使得該激光器對溫度的變化不敏感，無需精密的溫度控制系統(tǒng)，就可使該激光器在相當(dāng)寬的工作溫度范圍內(nèi)長期穩(wěn)定的工作于低噪聲狀態(tài)，且簡化了工藝，降低了成本，更利于實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。
文檔編號H01S3/0941GK2717072SQ200420022218
公開日2005年8月10日 申請日期2004年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月26日
發(fā)明者張哨峰, 鄧鵬 , 陳燕萍 申請人:上海冠威光電有限公司