專(zhuān)利名稱:薄的平板顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種薄的平板顯示器及其制造方法,更具體地說(shuō),涉及一種柔性的平板顯示器。
背景技術(shù):
在柔性平板顯示器中使用的基片必須是柔性的。一般使用合成樹(shù)脂基片作為這種柔性基片。不過(guò),這種合成樹(shù)脂基片需要非常復(fù)雜的制造條件,以便在其上形成電極層、有機(jī)層、薄膜晶體管層以及定向?qū)拥?。如果條件不滿足,則合成樹(shù)酯基片或者其上形成的層發(fā)生變形。
一種考慮到這個(gè)問(wèn)題的使用防潮基片制造圖像顯示裝置的方法在日本專(zhuān)利申請(qǐng)2000-123971中披露了。該專(zhuān)利披露了一種用于制造有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示裝置的方法。在所披露的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置中,兩個(gè)絕緣基片中的至少一個(gè)是柔性的,并且兩個(gè)絕緣基片中的至少一個(gè)是可透光的。在兩個(gè)基片的每個(gè)內(nèi)表面上,形成電極層,發(fā)光層被置于兩個(gè)電極層之間。用于制造所披露的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的方法包括以下步驟在一個(gè)基片上沉積電極層和發(fā)光層,在另一個(gè)基片上沉積另一個(gè)電極層或其類(lèi)似物,以及把所述兩個(gè)基片緊密地連接在一起。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種可以被簡(jiǎn)單地制造的薄的平板顯示器以及用于制造所述平板顯示器的方法。
本發(fā)明單獨(dú)地提供一種用于制造薄的平板顯示器的方法。制備可蝕刻的上基片和可蝕刻的下基片。在所述下基片的內(nèi)表面上用這種方式形成至少兩個(gè)圖像顯示裝置,使得所述至少兩個(gè)圖像顯示裝置彼此隔離。把所述上基片和所述下基片組合在一起,使得所述圖像顯示裝置被單獨(dú)地密封。蝕刻所述上基片和下基片的外表面。組合的上基片和下基片被這樣切割,使得每個(gè)圖像顯示裝置是分開(kāi)的。
本發(fā)明單獨(dú)地提供用于制造薄的平板顯示器的另一種方法。制備可蝕刻的上基片和可蝕刻的下基片。在所述下基片的內(nèi)表面上形成一個(gè)圖像顯示裝置。把所述上基片和所述下基片組合在一起,使得所述圖像顯示裝置被密封。蝕刻所述上基片和下基片的外表面。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,所述上基片和下基片由基于玻璃的材料制成。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,在所述上基片和下基片被組合在一起之后,在組合的上基片和下基片的側(cè)向側(cè)面上連附不能被蝕刻的保護(hù)膜。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,在蝕刻步驟中,上基片和下基片的外表面被蝕刻,使得所述上基片和下基片具有0.5毫米或更小的總厚度。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,提供一種薄的平板顯示器,其包括上基片,下基片,圖像顯示裝置以及保護(hù)膜。所述上基片和下基片被蝕刻,使得具有0.5毫米或者更小的厚度,并被組合在一起。所述圖像顯示裝置被形成在下基片的內(nèi)表面上。所述保護(hù)膜被連附在所述組合的上基片和下基片的側(cè)向側(cè)面。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,所述圖像顯示裝置包括第一電極層,形成在所述第一電極層上的發(fā)光層,以及形成在所述發(fā)光層上的第二電極層。
在本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例中,可以在仍然使用制造平板顯示器的常規(guī)的方法的同時(shí)獲得所述薄的上基片和下基片。此外,因?yàn)樵谒錾匣拖禄匀皇呛竦臅r(shí)候提供圖像顯示裝置,所以可以改善制造工藝的穩(wěn)定性以及無(wú)缺陷的產(chǎn)品的比例。
下面通過(guò)結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的示例的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,可以更加清楚地看出本發(fā)明的上述的以及其它的特征和優(yōu)點(diǎn),其中圖1是表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第一步之后,薄的平板顯示器的截面圖;圖2A表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第二步期間,具有薄膜晶體管的薄的平板顯示器的截面圖;
圖2B表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第二步期間,具有和所述薄膜晶體管相連的第一和第二電極層和發(fā)光層的薄的平板顯示器的截面圖;圖2C表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第二步之后,薄的平板顯示器的截面圖;圖3A表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第三步期間,被連接在一起的上基片和下基片的截面圖;圖3B表示在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第三步中,其邊沿連附有保護(hù)膜的被連接的上基片和下基片的截面圖;圖4是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第四步的截面圖;以及圖5是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法的第五步的截面圖。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法可以應(yīng)用于圖像顯示裝置,例如有機(jī)電致發(fā)光顯示器及其類(lèi)似物。這種用于制造薄的平板顯示器的方法不影響形成圖像顯示裝置(例如電極層、有機(jī)層、薄膜晶體管層、定向?qū)拥?的處理。根據(jù)本發(fā)明的薄的平板顯示器具有柔性的基片。
圖1表示在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例的實(shí)施例的用于制造薄的平板顯示器的方法中的第一步期間制備的可蝕刻的上基片和下基片12和11。在第一步中的上基片和下基片12和11比制成的薄的平板顯示器的那些較厚,因而,它們具有足夠的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。因而,當(dāng)形成在后面要說(shuō)明的圖像顯示部分時(shí),可以防止圖案失真。在圖1的實(shí)施例中,上基片和下基片12和11由可蝕刻的基于玻璃的材料制成。不過(guò),本發(fā)明不限于這個(gè)實(shí)施例,因而上基片和下基片12和11可以用可蝕刻的并具有絕緣性能的其它材料制成。上基片和下基片12和11分別具有內(nèi)表面12a和11a。
在上基片和下基片12和11被完全制成之后,執(zhí)行第二步,在下基片11的內(nèi)表面上形成圖像顯示裝置20(圖3A)。根據(jù)要被制造的薄的平板顯示器的尺寸及其制造條件,可以在下基片11的內(nèi)表面(即上表面)11a上形成一個(gè)或多個(gè)圖像顯示裝置20。如果在下基片11的上表面11a上形成多個(gè)圖像顯示裝置,則上基片和下基片12和11在后面要說(shuō)明的第五步被切割成多個(gè)圖像顯示裝置單元。因而,不同的圖像顯示裝置被以預(yù)定的間隔相互隔離。如果要制成大尺寸的平板顯示器,可以在下基片11上形成一個(gè)大的圖像顯示裝置。
圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)根據(jù)要被制造的薄的平板顯示器的類(lèi)型而不同。在本說(shuō)明中,選擇有機(jī)電致發(fā)光顯示器作為薄的平板顯示器的例子。
圖2A表示具有有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的薄膜晶體管的下基片11。如圖2A所示,在下基片11的上表面上形成緩沖層21。在緩沖層21上以預(yù)定的圖案形成P型與/或n型半導(dǎo)體層22。P型或n型半導(dǎo)體層22由柵極絕緣層23覆蓋。柵極電極層24,其可以在半導(dǎo)體層22內(nèi)形成導(dǎo)電溝道,被形成在柵極絕緣層23的上表面上,并被第一絕緣層25覆蓋。第一絕緣層25和柵極絕緣層23具有露出半導(dǎo)體層22的一些區(qū)域的孔。這些孔被漏極26和源極27填充,并且第一絕緣層25被其覆蓋。漏極和源極26和27的每一個(gè)和半導(dǎo)體層22電氣相連。電容器28位于薄膜晶體管旁邊,并包括第一電極28b和第二電極28a。第一電極28b在形成柵極24的同時(shí)被形成。第二電極28a在形成源極27的同時(shí)被形成,從而和其組合在一起。
圖2B表示具有子像素的下基片11,其包括發(fā)光層31和兩個(gè)電極層32和29。發(fā)光層31用于發(fā)光,兩個(gè)電極層32和29被分別形成在發(fā)光層31的上表面和下表面上。在如圖2A所示在下基片11上形成薄膜晶體管之后,在第一絕緣層25的上表面上形成第二絕緣層25a。和漏極26電氣相連的第一電極層29被形成在第二絕緣層25a的上表面上。第三絕緣層30被形成在第二絕緣層25a的上表面上。發(fā)光層31被形成在第一電極層29的上表面上。第二電極層32被形成在發(fā)光層31的上表面上和第三絕緣層30的上表面上。保護(hù)膜13被形成在第二電極層32上,以便弄平第二電極層32的合成的不均勻的表面。圖2B表示一個(gè)子像素。這種子像素在下基片11上被設(shè)置成矩陣構(gòu)型,借以形成一個(gè)圖像顯示裝置20。
如果圖像顯示裝置要使用液晶制造,則在上基片12的下表面上形成第二電極層32。在第一和第二電極層29和32的每個(gè)面對(duì)的表面上形成用于使液晶定向的定向?qū)?。在兩個(gè)定向?qū)又g的空間利用液晶填充。
在完成第二步之后,上基片和下基片12和11具有如圖2C所示的截面。
第三步把上基片和下基片12和11組合在一起,使得圖像顯示裝置20被單獨(dú)地密封,現(xiàn)在參照?qǐng)D3A進(jìn)行說(shuō)明。在第三步中,在上基片和下基片12和11的面對(duì)的邊沿上,形成第一密封件31,并這樣形成第二密封件32,使得隔開(kāi)每個(gè)圖像顯示裝置20。在涂覆第一和第二密封件31和32之后,把上基片和下基片12和11對(duì)準(zhǔn),然后組合在一起。在上基片和下基片12和11的面對(duì)的邊沿上形成的第一密封件31保護(hù)圖像顯示裝置20不受蝕刻溶液的影響,所述蝕刻溶液將在后面要說(shuō)明的第四步中使用。在第三步中,最好是,把不能蝕刻的保護(hù)膜33連附于上基片和下基片12和11的側(cè)向側(cè)面,如圖3B所示,以便阻止上基片和下基片12和11的側(cè)面被蝕刻溶液蝕刻。
在第三步把上基片和下基片12和11組合在一起之后,進(jìn)行第四步,分別蝕刻上基片和下基片12和11的外表面12b,11b(圖3),如圖4所示。雖然圖4表示利用化學(xué)蝕刻方法蝕刻上基片和下基片12和11的外表面12b,11b,但是也可以利用物理方法進(jìn)行蝕刻。用于化學(xué)蝕刻的蝕刻溶液可以是氟酸、鹽酸或其類(lèi)似物。最好是,被蝕刻的上基片和下基片每個(gè)的最終厚度(T)小于或等于0.5毫米。如果上基片和下基片每個(gè)的最后的厚度(T)小于或等于100微米,則最終的上基片和下基片成為柔性的。上基片和下基片的厚度可以從一開(kāi)始便被不同地確定,以便獲得具有不同厚度的最終上基片和下基片。
圖5表示第五步,以圖像顯示裝置20為單位切割其外表面12b和11b已在第四步被蝕刻的上基片和下基片12和11。在下基片上形成有多個(gè)圖像顯示裝置的情況下,需要第五步。最好是,使用激光束切割上基片和下基片12和11。
在上述的用于制造薄的平板顯示器的方法中,根據(jù)用于制造非薄型的平板顯示器的方法在下基片11上形成圖像顯示裝置20,使具有圖像顯示裝置20的下基片11和上基片12組合,并蝕刻其外表面12b,11b,借以制成薄的平板顯示器。因而,制造工藝簡(jiǎn)單,并且可以大大減少由于在薄的基片上形成圖像顯示裝置而出現(xiàn)的次品的數(shù)量。
現(xiàn)在簡(jiǎn)要說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的這種制造方法制造的有機(jī)電致發(fā)光顯示器的操作。當(dāng)由薄膜晶體管把預(yù)定電壓加于第一和第二電極層29和32時(shí),由第一電極層29引入的空穴和由發(fā)光層31中的第二電極層引入的電子結(jié)合,借以產(chǎn)生激子。當(dāng)激子的受激狀態(tài)被改變?yōu)榛鶓B(tài)時(shí),在發(fā)光層31上的熒光分子便發(fā)光。由有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置發(fā)出的光通過(guò)第一或第二電極層29或32射出。
在這種薄的平板顯示器中,在上基片和下基片被相互粘結(jié)之后,其外表面被蝕刻,因而成為較薄的。因而,上基片和下基片成為柔性的。
在根據(jù)本發(fā)明的用于制造薄的平板顯示器的方法中,薄的上基片和下基片甚至可以利用常規(guī)的用于制造非薄平板顯示器的方法來(lái)獲得。此外,因?yàn)閳D像顯示裝置在上基片和下基片仍然是厚的情況下被形成,所以可以改善制造工藝的穩(wěn)定性,并提高無(wú)缺陷的產(chǎn)品的比例。
雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的示例的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,不脫離由下面的權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍和構(gòu)思,可以在形式和細(xì)節(jié)上作出許多改變。例如,本發(fā)明可以應(yīng)用于液晶顯示器及其類(lèi)似物。
權(quán)利要求
1.一種用于制造薄的平板顯示器的方法,該方法包括制備可蝕刻的上基片和可蝕刻的下基片;在所述下基片的內(nèi)表面上用這種方式形成圖像顯示裝置,使得至少兩個(gè)圖像顯示裝置彼此隔離;把所述上基片和所述下基片組合在一起,使得所述圖像顯示裝置被單獨(dú)地密封;蝕刻所述上基片和下基片的外表面;以及以圖像顯示裝置為單位切割組合的上基片和下基片,使得每個(gè)圖像顯示裝置是分開(kāi)的。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述上基片和下基片由基于玻璃的材料制成。
3.如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述組合步驟包括在組合的上基片和下基片的每個(gè)側(cè)向側(cè)面上連附不能被蝕刻的保護(hù)膜。
4.如權(quán)利要求1所述的方法,其中在蝕刻步驟期間,上基片和下基片的外表面被蝕刻,使得所述上基片和下基片具有最多為0.5毫米的總厚度。
5.一種用于制造薄的平板顯示器的方法,該方法包括制備可蝕刻的上基片和可蝕刻的下基片;在所述下基片的內(nèi)表面上形成圖像顯示裝置;把所述上基片和所述下基片組合在一起,使得所述圖像顯示裝置被密封;以及蝕刻所述上基片和下基片的外表面。
6.如權(quán)利要求5所述的方法,其中所述上基片和下基片由基于玻璃的材料制成。
7.如權(quán)利要求5所述的方法,其中所述組合步驟包括在組合的上基片和下基片的每個(gè)側(cè)向側(cè)面上連附不能被蝕刻的保護(hù)膜。
8.如權(quán)利要求5所述的方法,其中在蝕刻步驟期間,上基片和下基片的外表面被蝕刻,使得所述上基片和下基片具有最多為0.5毫米的總厚度。
9.一種薄的平板顯示器,其包括上基片和下基片,所述上基片和下基片被蝕刻以具有0.5毫米或者更小的厚度并被組合在一起;圖像顯示裝置,所述圖像顯示裝置被形成在下基片的內(nèi)表面上;以及保護(hù)膜,所述保護(hù)膜被連附在所述組合的上基片和下基片的側(cè)向側(cè)面上。
10.如權(quán)利要求9所述的薄的平板顯示器,其中所述圖像顯示裝置包括第一電極層;形成在所述第一電極層上的發(fā)光層;以及形成在所述發(fā)光層上的第二電極層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以被簡(jiǎn)單地制造的薄的平板顯示器以及用于制造所述平板顯示器的方法。制備可蝕刻的上基片和可蝕刻的下基片。在所述下基片的內(nèi)表面上用這種方式形成圖像顯示裝置,使得如果提供兩個(gè)或多個(gè)圖像顯示裝置,則每個(gè)圖像顯示裝置彼此隔離。把所述上基片和所述下基片組合在一起,使得所述圖像顯示裝置被單獨(dú)地密封。蝕刻所述上基片和下基片的外表面。以圖像顯示裝置為單位切割組合的上基片和下基片。
文檔編號(hào)H01L27/32GK1535081SQ20031012405
公開(kāi)日2004年10月6日 申請(qǐng)日期2003年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月18日
發(fā)明者鄭昊均, 樸鎮(zhèn)宇, 宋承龍 申請(qǐng)人:三星Sdi株式會(huì)社