專利名稱：高精度發(fā)泡同軸電纜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及由多孔質(zhì)帶狀體形成內(nèi)導(dǎo)體外周的絕緣體，由編織屏蔽體形成外導(dǎo)體的高精度發(fā)泡同軸電纜，例如涉及適用于信息通信設(shè)備及用于該設(shè)備的半導(dǎo)體元件的試驗(yàn)·檢查裝置等，特性阻抗值變化小的高精度發(fā)泡同軸電纜。而且，本發(fā)明還涉及該高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，特別是涉及使發(fā)泡率為60％以上，特性阻抗值為±1Ω，減少絕緣體及外導(dǎo)體的厚度與外徑的變動(dòng)，將它們形成正圓形的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法。
背景技術(shù)：
由于近年來高度信息化社會(huì)的進(jìn)展，對(duì)信息通信設(shè)備以及適用于該設(shè)備的半導(dǎo)體元件的試驗(yàn)·檢查裝置等的傳輸速度的高速化及傳輸精度的提高提出了更高的要求。因此，對(duì)于該設(shè)備以及裝置等中使用的同軸電纜以及同軸軟線也要求其傳輸速度的高速化及傳輸精度的提高。
這里，記述對(duì)于同軸電纜所要求的具有代表性的電氣特性如下。
傳輸延遲時(shí)間(Td)＝√ε/0.3(nS/m)相對(duì)傳輸速度(V)＝100/√ε(％)特性阻抗(Zo)＝60/√ε·LnD/d(Ω)靜電容量(C)＝55.63ε/LnD/d(PF/m)式中，ε絕緣體的比介電常數(shù)，D絕緣體的外徑(外導(dǎo)體的內(nèi)徑)，d導(dǎo)體外徑(內(nèi)導(dǎo)體的外徑)。
由此可以理解，同軸電纜的傳輸特性，與絕緣體的比介電常數(shù)、內(nèi)導(dǎo)體及絕緣體的外徑相關(guān)，就比介電常數(shù)而言，其值越小，傳輸特性越高，就內(nèi)導(dǎo)體及絕緣體的外徑而言，其比率及偏差與傳輸特性有很大關(guān)系。特別是可以理解，如下的情況比較理想，即對(duì)于特性阻抗及靜電容量，絕緣體的比介電常數(shù)小，且其偏差小，以及內(nèi)導(dǎo)體與絕緣體的外徑(屏蔽層的內(nèi)徑)等的偏差小，且其形狀形成正圓的筒狀。
但是，在歷來的同軸電纜中，存在有以下①～④中所述的問題。
①適用于同軸電纜的內(nèi)導(dǎo)體，是由AWG20～30的鍍銀軟銅線或?qū)⑵浣g合而成的絞合導(dǎo)體，鍍銀軟銅線的外徑公差為±3/1000mm，在絞合導(dǎo)體中，例如，如果是將7根絞合，則其絞合的外徑的公差為±3×3/1000mm。因此，在這些外徑的±公差內(nèi)進(jìn)行電纜化時(shí)，就成為所述特性阻抗、靜電容量中大的變動(dòng)的主要原因。內(nèi)導(dǎo)體越細(xì)，該影響越大。
②適用于同軸電纜的發(fā)泡絕緣體，以盡量減少電纜的傳輸延遲時(shí)間、提高傳輸速度為目的，目前，通過使其氣孔率(發(fā)泡率)為60％以上，多設(shè)置孔隙，使絕緣體的比介電常數(shù)(ε)為1.4以下，從而達(dá)到傳輸時(shí)間的縮短，減衰量的減少等目的。作為氣孔率為60％以上，比介電常數(shù)為1.4以下的絕緣體材料，可以使用將聚四氟乙烯(PTFE)的多孔帶狀體(特公昭42-13560號(hào)公報(bào)，特公昭51-18991號(hào)公報(bào)等中記述)盤卷于內(nèi)導(dǎo)體的外周，在盤卷時(shí)或盤卷后進(jìn)行燒結(jié)處理而成的材料，作為其它的多孔質(zhì)帶狀體，可以使用重均分子量為500萬以上的聚乙烯帶狀體(專利2000-110643號(hào))。
但是，這些絕緣體層，在多孔質(zhì)帶狀體的性質(zhì)方面，其厚度、氣孔率的偏差大，為了使同軸電纜的傳輸特性穩(wěn)定，強(qiáng)烈要求對(duì)其改善。特別是在內(nèi)導(dǎo)體尺寸AWG24以上的細(xì)徑導(dǎo)體，特性阻抗值為50Ω的同軸電纜中，厚度、外徑、氣孔率、以及燒結(jié)等的偏差成為消除傳輸特性的偏差、實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定化的大的障礙。
而且，由于所述絕緣體層是在內(nèi)導(dǎo)體的外周重復(fù)盤卷多孔質(zhì)帶狀體而構(gòu)成，所以在導(dǎo)體外周的帶狀體的重疊部，產(chǎn)生空隙部與重疊而外形的凹凸，比介電常數(shù)與外徑的偏差會(huì)極度增大。
而且，由于該絕緣體層是由機(jī)械強(qiáng)度極低的多孔質(zhì)帶狀體的盤卷而構(gòu)成，所以為了使帶狀體自身盤卷時(shí)沒有伸長(zhǎng)與切斷，及沒有極細(xì)內(nèi)導(dǎo)體的伸長(zhǎng)與斷線，必須盡量減少帶狀體的張力。因此，盤卷后的絕緣體的外形的凹凸與外徑的偏差會(huì)更大，同時(shí)與內(nèi)導(dǎo)體的緊密接合程度會(huì)大大減弱，比介電常數(shù)與外徑的偏差也就會(huì)更大。
進(jìn)而，由于該絕緣體層以盡量減少電纜的傳輸延遲時(shí)間、提高傳輸速度為主要目的而減小比介電常數(shù)，所以具有由其機(jī)械強(qiáng)度，即同軸電纜所承受的彎曲、扭轉(zhuǎn)、推壓、滑動(dòng)等機(jī)械應(yīng)力，而難于維持作為同軸電纜的結(jié)構(gòu)尺寸等缺點(diǎn)。最大的缺點(diǎn)是不能夠?qū)⒔^緣體外徑維持為規(guī)定的外徑，消除其偏差，進(jìn)而將絕緣體形成為圓筒體形狀。
③與同軸電纜的傳輸特性有很大關(guān)系的外導(dǎo)體，在歷來的這種同軸電纜中，使用了如下的導(dǎo)體，即，將在單面具有銅等金屬層的塑料帶狀體在絕緣體外周盤卷或縱向施加而構(gòu)成的導(dǎo)體，或由外徑公差符合JIS標(biāo)準(zhǔn)的±3/1000mm鍍銀軟銅線或鍍錫軟銅線編織而成的編織體所構(gòu)成的導(dǎo)體，進(jìn)而還有由上述帶狀體與編織體組合所構(gòu)成的導(dǎo)體等。
但是，在上述帶狀體盤卷或縱向施加而得到的導(dǎo)體中，電纜的柔韌性不足，在電纜受到彎曲、扭轉(zhuǎn)等機(jī)械應(yīng)力時(shí)外導(dǎo)體容易被破壞，從而不能起到外導(dǎo)體的功能。在鍍銀軟銅線的編織體中，由于銀的滑動(dòng)性較低，所以鍍銀軟銅線與鍍銀軟銅線之間的摩擦力增大，在電纜受到彎曲、扭轉(zhuǎn)等機(jī)械應(yīng)力時(shí)構(gòu)成編織體的各原料線無法動(dòng)作，存在有電纜的柔韌性欠缺，絕緣層變形，特性阻抗值變動(dòng)，同時(shí)不能減低機(jī)械應(yīng)力的影響，使電纜的壽命縮短等問題。
對(duì)于鍍錫軟銅線的編織體，在高溫(80℃以上)使用的情況下，銅向錫鍍層中擴(kuò)散，由該擴(kuò)散促進(jìn)錫晶須的發(fā)生與成長(zhǎng)，該錫晶須長(zhǎng)大時(shí)，有穿透極薄的絕緣體，發(fā)生與內(nèi)導(dǎo)體短路的可能性。進(jìn)而，如在上述②的絕緣體的說明中所述，由于所述各外導(dǎo)體是在具有絕緣體外形的凹凸以及外徑的偏差的絕緣體外周上形成，所以在外導(dǎo)體的內(nèi)外部凹凸及外徑偏差大的狀態(tài)下，在外導(dǎo)體與絕緣體層之間有多的空隙，會(huì)維持殘留有使比介電常數(shù)變動(dòng)的要因的狀態(tài)。
④在外導(dǎo)體外周設(shè)置的外護(hù)套，歷來是由氯乙烯樹脂、聚乙烯樹脂、氟系樹脂形成，或者將其交聯(lián)而構(gòu)成，其功能是以物理性地保護(hù)同軸心、消除外導(dǎo)體的移動(dòng)、使最終產(chǎn)品的外徑盡量小等為優(yōu)先，是在編織體的間隙中也填充外護(hù)套樹脂的結(jié)構(gòu)。因此，在對(duì)同軸電纜施加彎曲、扭轉(zhuǎn)、滑動(dòng)等機(jī)械應(yīng)力時(shí)，在外護(hù)套內(nèi)無法容許同軸心為了緩和應(yīng)力而移動(dòng)(編織體的各原料線的移動(dòng))。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種高精度發(fā)泡同軸電纜，使傳輸速度高速化，提高特性阻抗值的精度，改善電纜的柔韌性，使得即使是電纜受到施加的彎曲、扭轉(zhuǎn)等機(jī)械應(yīng)力時(shí)，也能夠通過減低應(yīng)力來維持其機(jī)械強(qiáng)度，同時(shí)又能夠使特性阻抗值的變化減小的。
本發(fā)明的目的還在于提供一種高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，對(duì)具有適用了多孔質(zhì)帶狀體的高發(fā)泡絕緣體(發(fā)泡度60％以上)的同軸電纜的高發(fā)泡絕緣體與外導(dǎo)體二次成型，使它們的外徑與厚度均勻化，同時(shí)使外形為正圓形，能夠提高內(nèi)導(dǎo)體與外導(dǎo)體之間的特性阻抗值的精度，能夠使二次成型工序穩(wěn)定化。
本發(fā)明的高精度發(fā)泡同軸電纜，由將多條導(dǎo)線絞合而成的內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的由多孔質(zhì)帶狀體所構(gòu)成的低介電常數(shù)的發(fā)泡絕緣體，在該發(fā)泡絕緣體的外周編織的由多條細(xì)導(dǎo)線所構(gòu)成的外導(dǎo)體，以及在該外導(dǎo)體的外周形成的由具有耐熱性的樹脂所構(gòu)成的外護(hù)套所組成，其特征在于使所述內(nèi)導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為4/1000mm以下，使所述發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的精度為±0.02mm，并將其形狀形成為正圓形，使所述外導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為外徑中心值的±2％，并將其形狀形成正圓形，使夾持所述發(fā)泡絕緣體的所述內(nèi)導(dǎo)體與所述外導(dǎo)體之間的特性阻抗值的精度為±1Ω。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠減少構(gòu)成高精度發(fā)泡同軸電纜的內(nèi)導(dǎo)體、絕緣體、外導(dǎo)體等的外形的凹凸與外徑的偏差，提高外徑尺寸的精度，使個(gè)部件為正圓形，能夠減少特性阻抗值的變動(dòng)。
而且，其特征在于所述內(nèi)導(dǎo)體，其外徑尺寸的精度為2/1000mm以下，由實(shí)施了1～3μm厚的銀鍍層的鍍銀軟銅線絞合而成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠減少內(nèi)導(dǎo)體的凹凸與外徑的變動(dòng)，從而減少特性阻抗值的變動(dòng)。
而且，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體，將所述多孔質(zhì)帶狀體在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周以重疊1/2的方式盤卷而形成，該盤卷后的發(fā)泡絕緣體的厚度的變動(dòng)為±0.01mm，外徑的變動(dòng)為±0.02mm。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠消除由內(nèi)導(dǎo)體與絕緣體間的帶盤卷而產(chǎn)生的空隙，增大內(nèi)導(dǎo)體與絕緣體的緊密接合程度，使絕緣體外形接近正圓形，能夠減少外徑的偏差。
而且，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體，將所述多孔質(zhì)帶狀體在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周以多孔質(zhì)帶狀體自身不重疊的方式盤卷而形成，該盤卷的多孔質(zhì)帶狀體的寬度是所述發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的3倍，且其寬度的精度為±1％。
而且，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體至少具有兩條以上的所述多孔質(zhì)帶狀體，各自以帶寬間隔在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周的同一方向上不重疊地盤卷而成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠消除由帶狀體的盤卷而構(gòu)成的絕緣體的帶狀體的重疊，消除由帶狀體盤卷的重疊而生成的導(dǎo)體與絕緣體之間的空隙與絕緣體外周的空隙及凹凸，能夠減少外徑偏差，使絕緣體的比介電常數(shù)一定。
而且，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體具有在其外周盤卷塑料帶狀體而構(gòu)成的外徑保護(hù)層。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠抑制絕緣體外徑的凹凸與變動(dòng)，使絕緣體的外徑均勻化，同時(shí)能夠增大絕緣體的機(jī)械強(qiáng)度。
而且，其特征在于所述多孔質(zhì)帶狀體是氣孔率為60％以上，氣孔精度為±5％，厚度公差為±3μm，在壓縮壓力為0.24～0.28kg力的情況下壓縮變形應(yīng)變?yōu)?.6～0.8％的燒結(jié)PTFE帶狀體。
而且，其特征在于所述多孔質(zhì)帶狀體是氣孔率為60％以上，氣孔精度為±5％，厚度公差為±3μm，重均分子量為500萬以上的聚乙烯帶狀體。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠減少構(gòu)成發(fā)泡絕緣體的多孔質(zhì)帶狀體的比介電常數(shù)、厚度、及機(jī)械強(qiáng)度等的偏差，減少絕緣體的比介電常數(shù)與外徑的變動(dòng)，同時(shí)使帶狀體的盤卷張力保持為一定。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體由在鍍層厚度為1～3μm的鍍銀軟銅線上實(shí)施厚度為0.2～0.5μm的錫合金鍍層、外徑公差為±2/1000mm的兩層鍍層軟銅線的編織體所構(gòu)成。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體由在鍍層厚度為1～3μm的鍍鎳軟銅線上實(shí)施厚度為0.2～0.5μm的錫合金鍍層、外徑公差為±2/1000mm的兩層鍍層軟銅線的編織體所構(gòu)成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，構(gòu)成編織體的各緯(shot)的原料線在電纜承受到機(jī)械應(yīng)力時(shí)能夠個(gè)別地移動(dòng)。而且由于編織體的滑動(dòng)性提高，故柔韌性變好，由滑動(dòng)性與柔韌性的提高而使編織體的成型成為可能，能夠減少編織體的凹凸和外徑變動(dòng)，提高與絕緣體的緊密接合程度。
而且，其特征在于所述錫合金鍍層由錫與銅所構(gòu)成，銅的含有量為0.6～2.5％。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠防止銅的擴(kuò)散，抑制晶須的發(fā)生與生長(zhǎng)，成為維持導(dǎo)電率的編織體，能夠改善編織體原料線的滑移性。
而且，其特征在于構(gòu)成所述外導(dǎo)體的編織體，其構(gòu)成編織體的各編織緯數(shù)(the number of braiding shots)按照一上、一下(“one-over”and“one-under”)的方式編織。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于構(gòu)成編織體的各緯(shot)按照一上一下進(jìn)行編織，能夠增大編織體自身的形狀維持力，所以能夠增大保持絕緣體的保持力，提高與絕緣體的緊密性。
而且，其特征在于所述外護(hù)套，其厚度為所述外導(dǎo)體的厚度的0.5倍以上，該厚度的精度為3/100mm以下，與所述外導(dǎo)體的接合力在23℃為20g/mm2以上，由FEP樹脂擠出成型而形成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠維持外導(dǎo)體的圓筒狀外形，能夠抑制其釋放，可提高特性阻抗值的精度。
本發(fā)明的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，是由內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的發(fā)泡絕緣體，以及在該發(fā)泡絕緣體的外周形成的外導(dǎo)體的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于由以下工序所組成在由供給部所供給的所述內(nèi)導(dǎo)體上盤卷氣孔率為60％以上的多孔質(zhì)帶狀體而形成所述發(fā)泡絕緣體的盤卷工序，將由所述盤卷工序所形成的發(fā)泡絕緣體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的絕緣體成型工序，在由所述絕緣體成型工序形成的發(fā)泡絕緣體的外周編織多條細(xì)導(dǎo)線而形成所述外導(dǎo)體的編織工序，以及將由所述編織工序所編織的外導(dǎo)體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的外導(dǎo)體成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的外導(dǎo)體成型工序。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使在內(nèi)導(dǎo)體的外周盤卷多孔質(zhì)帶狀體所構(gòu)成的發(fā)泡絕緣體，及在發(fā)泡絕緣體的外周由編織體構(gòu)成的外導(dǎo)體等的厚度、外徑均勻化，形成正圓形，能夠提高內(nèi)導(dǎo)體與發(fā)泡絕緣體、發(fā)泡絕緣體與外導(dǎo)體的緊密接合一體化。
而且，其特征在于所述絕緣體成型工序由插入具有規(guī)定內(nèi)徑的一次成型模而成型的一次成型工序，與插入具有規(guī)定內(nèi)徑的二次成型模而成型的二次成型工序所組成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在由成型模成型發(fā)泡絕緣體時(shí)，不會(huì)損傷發(fā)泡絕緣線芯，不會(huì)伸長(zhǎng)與斷線，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行成型。
而且，其特征在于具有在由所述絕緣體成型工序成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的所述發(fā)泡絕緣體的外周，盤卷形成極薄的外形保護(hù)層的外形保護(hù)層工序。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠持續(xù)維持成型為規(guī)定外徑與正圓形的所述發(fā)泡絕緣體的外徑與外形。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序由插入具有規(guī)定內(nèi)徑的一次成型模而成型的一次成型工序，與插入具有規(guī)定內(nèi)徑的二次成型模而成型的二次成型工序所組成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使外導(dǎo)體緊密接合于發(fā)泡絕緣體，使其厚度、外徑均勻化，消除在將外形形成為正圓形的外導(dǎo)體成型工序中的斷線、變形、伸長(zhǎng)、外傷等，使其穩(wěn)定化，由此提高生產(chǎn)性。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序使所述外導(dǎo)體成型模以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)而成型所述外導(dǎo)體。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使外導(dǎo)體成型工序中的外導(dǎo)體成型穩(wěn)定化，消除斷線、變形、伸長(zhǎng)、外傷等。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序?qū)λ鐾鈱?dǎo)體成型模施加超聲波振動(dòng)，在所述外導(dǎo)體的外徑方向給予規(guī)定振動(dòng)而成型。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使外導(dǎo)體成型工序中的外導(dǎo)體成型穩(wěn)定化，消除斷線、變形、伸長(zhǎng)、外傷等。
而且，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序在所述編織工序之后設(shè)置，或在所述外導(dǎo)體外周上形成的外護(hù)套的外護(hù)套形成工序之前單獨(dú)設(shè)置，或在所述編織工序之后及所述外護(hù)套形成工序之前同時(shí)設(shè)置。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步提高外導(dǎo)體成型的成型精度。
而且，其特征在于在所述外導(dǎo)體成型工序中，在插入所述一次成型模的所述外導(dǎo)體與所述一次成型模的摩擦力為規(guī)定值以上的情況下，使所述二次成型模以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步穩(wěn)定地進(jìn)行外導(dǎo)體成型工序中的外導(dǎo)體的成型，能夠進(jìn)一步提高成型精度。
而且，其特征在于在所述外導(dǎo)體成型工序中，在插入所述一次成型模的所述外導(dǎo)體與所述一次成型模的摩擦力為規(guī)定值以上的情況下，對(duì)所述二次成型模施加超聲波振動(dòng)。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步穩(wěn)定地進(jìn)行外導(dǎo)體成型工序中的外導(dǎo)體的成型，能夠進(jìn)一步提高成型精度。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中高精度發(fā)泡同軸電纜的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2A、2B表示所述實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中將多孔質(zhì)帶狀體盤卷于內(nèi)導(dǎo)體外周的結(jié)構(gòu)。
圖3是用于說明所述實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中多孔質(zhì)帶狀體盤卷方法的圖。
圖4表示所述實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中外導(dǎo)體的制造方法。
圖5A、5B是表示另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖6是在另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中，將兩條多孔質(zhì)帶狀體無重疊地盤卷的線芯的截面圖。
圖7表示在另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中，將兩條多孔質(zhì)帶狀體相互以規(guī)定的間隔盤卷的狀態(tài)。
圖8A、8B表示另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中編織體的結(jié)構(gòu)。
圖9表示在另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中，將兩條多孔質(zhì)帶狀體無重疊地盤卷的狀態(tài)。
圖10表示在另一實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中，將兩條多孔質(zhì)帶狀體相互以規(guī)定的間隔盤卷的狀態(tài)。
圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法的工序圖。
圖12表示高精度發(fā)泡同軸電纜中對(duì)外導(dǎo)體成型模施加超聲波振動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
圖13表示高精度發(fā)泡同軸電纜中根據(jù)摩擦力檢測(cè)而使外導(dǎo)體成型模旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
圖14表示高精度發(fā)泡同軸電纜中根據(jù)摩擦力檢測(cè)而對(duì)外導(dǎo)體成型模施加超聲波振動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
圖15表示適用本實(shí)施方式的絕緣體形成工序，成型發(fā)泡絕緣體的情況下的絕緣體外徑的變動(dòng)。
圖16表示不適用本實(shí)施方式的絕緣體形成工序的情況下的絕緣體外徑的變動(dòng)。
圖17表示適用本實(shí)施方式的外導(dǎo)體(編織體)形成工序，成型外導(dǎo)體(編織體)的情況下的外導(dǎo)體(編織體)外徑的變動(dòng)。
圖18表示不適用所述外導(dǎo)體(編織體)形成工序情況下的外導(dǎo)體(編織體)的外徑的變動(dòng)。
圖19是適用所述絕緣體形成工序及外導(dǎo)體(編織體)形成工序，成型發(fā)泡絕緣體及外導(dǎo)體的情況下的特性阻抗值的實(shí)測(cè)值。
圖20是不適用所述絕緣體形成工序及外導(dǎo)體(編織體)形成工序的情況下的特性阻抗值的實(shí)測(cè)值。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中高精度發(fā)泡同軸電纜的結(jié)構(gòu)的立體圖。
該圖1所示的高精度發(fā)泡同軸電纜，是在具有多條原料線的內(nèi)導(dǎo)體1上順次形成絕緣體2，由編組體構(gòu)成的外導(dǎo)體3，外護(hù)套4所構(gòu)成。如圖2A、2B所示，絕緣線芯10由內(nèi)導(dǎo)體1，以及將多孔質(zhì)帶狀體21在該內(nèi)導(dǎo)體1上以重疊1/2的方式盤卷所構(gòu)成的絕緣體2所組成。
該高精度發(fā)泡同軸電纜，適用于信息通信設(shè)備及用于該設(shè)備的半導(dǎo)體元件的試驗(yàn)·檢查裝置等，適用于這樣的設(shè)備及裝置的高精度發(fā)泡同軸電纜所要求的特性，可以列舉出具有柔韌性，受彎曲、扭轉(zhuǎn)、滑動(dòng)等機(jī)械應(yīng)力的影響小，其傳輸特性，特別是特性阻抗值穩(wěn)定，即使是附加機(jī)械應(yīng)力，該特性值的變動(dòng)也小，進(jìn)而還有外徑細(xì)，具有耐熱性等。
而且，作為使同軸電纜具有柔韌性的條件，可以舉出以下①～⑥的內(nèi)容。①構(gòu)成內(nèi)導(dǎo)體1的各原料線具有柔韌性，絞合線時(shí)各原料線可以移動(dòng)。②內(nèi)導(dǎo)體1與絕緣體2不是緊密接合(一體化)，而是各自可以移動(dòng)。③外導(dǎo)體3由編織體所構(gòu)成。④絕緣體2與外導(dǎo)體3不是緊密接合(一體化)，而是各自可以移動(dòng)。⑤外導(dǎo)體3的各原料線可以移動(dòng)。⑥外導(dǎo)體3與外護(hù)套4不是緊密接合(一體化)，而是各自可以移動(dòng)。以上等條件是必要的。即為了減少機(jī)械應(yīng)力的影響，改善柔韌性，構(gòu)成同軸電纜的各部件1、2、3、4各自可以移動(dòng)是不可缺少的條件。
而且，作為提高同軸電纜的特性阻抗值的精度的條件，可以舉出以下①～④的內(nèi)容。①構(gòu)成內(nèi)導(dǎo)體1的各原料線一體化且形成正圓形狀，外徑的變動(dòng)小。②絕緣體2的比介電常數(shù)一定，形成正圓形狀，外徑的變動(dòng)小，與內(nèi)導(dǎo)體1緊密接合(一體化)。③外導(dǎo)體3一體化且形成正圓形狀，外徑和厚度的變動(dòng)小，與絕緣體緊密接合(一體化)。④外護(hù)套4與外導(dǎo)體3緊密接合一體化，由外護(hù)套4內(nèi)限制外導(dǎo)體3的運(yùn)動(dòng)。以上等條件是必要的。就是說，為了提高特性阻抗值的精度，各構(gòu)成部件緊密接合一體化，最終加工為正圓形狀，外徑的變動(dòng)小，以及比介電常數(shù)一定等是不可缺少的條件。由此可知，使同軸電纜具有柔韌性的條件，與提高特性阻抗值的精度的條件，是完全相反的。
所以，在本實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜中，滿足下述的①～⑤的條件。①內(nèi)導(dǎo)體1由絞合線所構(gòu)成，各原料線可以運(yùn)動(dòng)，絞合線外徑均勻，其變動(dòng)小，且為正圓形狀。②絕緣體2為了減小比介電常數(shù)而使用多孔質(zhì)帶狀體，其氣孔率、厚度、機(jī)械強(qiáng)度等為一定。③絕緣體2由多孔質(zhì)帶狀體構(gòu)成，與內(nèi)導(dǎo)體1緊密接合一體化，其比介電常數(shù)、厚度、外觀的變動(dòng)小，外徑具有正圓形狀。④外導(dǎo)體3由編織體所構(gòu)成，形狀維持力大，具有柔韌性，與絕緣體2緊密接合一體化，其外徑、厚度的變動(dòng)小，內(nèi)徑具有正圓形狀。⑤外護(hù)套4具有耐熱性、柔韌性，即使是受到熱、機(jī)械的應(yīng)力，也可以減小對(duì)外導(dǎo)體3、絕緣體2、內(nèi)導(dǎo)體1的影響，最終加工的外徑細(xì)等。
由此，本實(shí)施方式的高精度發(fā)泡同軸電纜，如圖2A、2B所示，內(nèi)導(dǎo)體1(以導(dǎo)體尺寸適用AWG#26的例記述)是以實(shí)施了厚度為1～3μm的鍍銀的軟銅線，使用其外徑為0.16mm，外徑精度為2/1000mm以下的原料線形成的絞合導(dǎo)體，在本實(shí)施方式中，是使用7根原料線形成的絞合導(dǎo)體，絞合pt為層芯徑的20倍以下，其層芯徑的精度為4/1000mm以下。
為了使鍍銀軟銅原料線的外徑精度為2/1000mm以下，將拔絲模的內(nèi)徑精度定為1/1000mm以下，同時(shí)進(jìn)行物理特性管理，以及將拔絲速度設(shè)為±1％。而且，為了使絞合外徑精度在4/1000mm以下，使絞合時(shí)的盤卷張力控制在±5％而進(jìn)行。
限定鍍銀軟銅原料線的外徑精度及其絞合外徑精度的理由在于，為了減少細(xì)徑同軸電纜中內(nèi)導(dǎo)體1的外徑的偏差，形成正圓形，消除特性阻抗值的變動(dòng)，提高其精度，都是不可缺少的。
使各原料線的外徑精度為3/1000mm以下時(shí)，7根線的絞合外徑的偏差可由下式求出。
(3/1000)2+(3/1000)2+(3/1000)2>5/1000[mm]]]>另一方面，使絞合外徑的精度為5/1000mm時(shí)，由歷來例中記述的特性阻抗值的計(jì)算式可知，在絕緣體2的外徑變動(dòng)0.02mm的情況下，不能夠滿足特性阻抗值為±1Ω。
絕緣體2，可以使用氣孔率為60％以上、其精度為±5％、厚度的公差為±3μm、壓縮應(yīng)力為0.24～0.28kg力時(shí)壓縮變形應(yīng)變?yōu)?.6～0.8％的燒結(jié)多孔PTFE帶狀體，或重均分子量為500萬以上的聚乙烯多孔帶狀體等，將寬度為4.6mm、厚度為0.09mm的帶狀體，以80度的盤卷角度、以重疊1/2的方式盤卷于內(nèi)導(dǎo)體，進(jìn)而將寬度為6.9mm、厚度為0.09mm的帶狀體，以80度的盤卷角以重疊1/2的方式盤卷而構(gòu)成。
盤卷帶狀體而構(gòu)成的絕緣線芯10，外徑的變動(dòng)為絕緣體外徑的中心值的±1.5％而形成。其氣孔率為60％以上、精度為±5％，是為了加快傳輸延遲時(shí)間(滿足比介電常數(shù)為1.4以下)，而且，還因?yàn)樘匦宰杩怪档木纫彩艿浇^緣體的比介電常數(shù)的精度的影響。該厚度的公差為±3μm、帶狀體的盤卷重疊為1/2，是為了提高絕緣體2的厚度精度。
使用壓縮應(yīng)力為0.24～0.28kg力時(shí)壓縮變形應(yīng)變?yōu)?.6～0.8％的燒結(jié)PTFE帶狀體，且盤卷角度取80度，是為了減輕盤卷時(shí)帶狀體的壓壞。將絕緣體2的外徑變動(dòng)形成為±1％的方法，是在帶狀體盤卷后或后述的編織體層形成時(shí)等，在將絕緣體2的外徑成型為規(guī)定的外徑的成型模中插入絕緣線芯10并成型處理而進(jìn)行。
該成型處理，是消除如圖2A、2B所示的多孔質(zhì)帶狀體(帶狀盤卷體)21所生成的內(nèi)導(dǎo)體1的周圍與絕緣體2的外部空隙部a、b，達(dá)到絕緣體2對(duì)內(nèi)導(dǎo)體緊密接合，消除由盤卷引起的絕緣體2的內(nèi)外周的凹凸的處理。由該處理，使絕緣體2的厚度均勻化，消除外徑的偏差，使外徑形成正圓圓筒體形狀。
該成型處理，即使多孔質(zhì)帶狀體21的氣孔率為60％以上，由于將厚度限制為上述數(shù)值，故也可以實(shí)現(xiàn)。在歷來的僅加快傳輸速度而使發(fā)泡度為70％以上的同軸電纜中，由于多孔質(zhì)帶狀體21的機(jī)械強(qiáng)度低，以及絕緣體2的外徑變動(dòng)、凹凸而無法實(shí)現(xiàn)。
在其外徑的變動(dòng)形成為±1.5％的絕緣線芯10，即絕緣體2的外周形成外導(dǎo)體3。外導(dǎo)體3使用外徑為0.05～0.1mm的軟銅線，在其外周實(shí)施厚度為1～3μm的銀或鎳的鍍層，進(jìn)而再實(shí)施厚度為0.20～0.50μm的錫合金鍍層，應(yīng)用外徑公差為±2/1000mm的具有兩層鍍層的軟銅線，以編織角度65～75°，編織密度95％以上進(jìn)行編織，編織外徑精度形成為±1％。
在外導(dǎo)體3中使用編織體的理由，是為了在對(duì)高精度發(fā)泡同軸電纜附加彎曲、扭轉(zhuǎn)、推壓、滑動(dòng)、及其它機(jī)械應(yīng)力時(shí)，不會(huì)給予絕緣體2及外導(dǎo)體3以損害，使電纜具有柔韌性。
而且，在編織原料線上使用具有銀或鎳等金屬鍍層與錫合金鍍層的兩層鍍層的軟銅線，是為了減小原料線表面的摩擦阻力，改善滑動(dòng)性，在對(duì)電纜施加機(jī)械應(yīng)力時(shí)，各原料線易于滑動(dòng)，分散應(yīng)力，對(duì)絕緣體2不產(chǎn)生影響，以及為了維持編織體的形狀，保持絕緣體2，防止編織體的扭曲，同時(shí)防止內(nèi)部應(yīng)力的釋放。
在各原料線的外周設(shè)置錫合金鍍層的理由，是為了改善上述滑動(dòng)性，防止晶須。錫合金的成分為錫與銅，銅的含量為0.6～2.5％。而且，此外還可以使用銀0.3～3.5％、鉍1～10％的材料等，即一般稱為無鉛焊料的材料。對(duì)于各原料線的鍍層結(jié)構(gòu)，使用能夠使導(dǎo)電率增大，動(dòng)摩擦系數(shù)減小的錫合金是有效的，但如果單獨(dú)使用錫，則在高溫下使用時(shí)，銅會(huì)擴(kuò)散到錫鍍層中，由擴(kuò)散應(yīng)力而促進(jìn)晶須的發(fā)生與生長(zhǎng)，使用錫合金是為了防止由生長(zhǎng)的晶須使內(nèi)導(dǎo)體1與外導(dǎo)體3短路，為了防止晶須，以下的①～④是有效的。
①防止內(nèi)部的銅的擴(kuò)散。②在錫中加入添加物。③由熱處理減少內(nèi)部應(yīng)力。④減薄鍍層的厚度。這里，設(shè)置銀、鎳等鍍層，能夠防止銅的擴(kuò)散，但由于增大動(dòng)摩擦系數(shù)，會(huì)使原料線之間的滑動(dòng)惡化，失去電纜的柔韌性。
為了改善原料線之間的滑動(dòng)并保持柔韌性，相對(duì)應(yīng)的措施是使用在上述鍍層上進(jìn)而實(shí)施了0.20～0.50μm的錫合金熔融鍍層的軟銅線?；椎你y或鎳等鍍層的厚度設(shè)為1～3μm，是由于為了防止銅的擴(kuò)散需要1μm以上的厚度，但過厚時(shí)會(huì)影響電纜的柔韌性。錫合金鍍層的厚度為0.2以下時(shí)會(huì)露出下面的銀鍍層，影響柔韌性，厚度為0.5μm以上時(shí)容易發(fā)生晶須。這里，各金屬的動(dòng)摩擦系數(shù)大體為，銀1.30，銅0.90，錫合金0.55，由此容易理解將動(dòng)摩擦系數(shù)小的錫合金鍍層使用于編織體的原料線是有效的。還有，各金屬的動(dòng)摩擦系數(shù)，是由Bowden型低載荷磨損試驗(yàn)機(jī)所測(cè)定的。
通過使編織體的外徑精度成型為±2％，使編織體層在其長(zhǎng)度方向聚齊，消除編織體自身的空隙部，編織體與絕緣體緊密接合使編織體與絕緣體之間的空隙部也消除，編織體內(nèi)徑自身更接近于正圓形狀，使特性阻抗值一定化，減少其變動(dòng)。使編織體層的外徑精度形成為±2％的方法，是在編織后或后述的同軸電纜的外護(hù)套4的成型時(shí)等，在將編織體的外徑成型為規(guī)定的外徑的成型模中插入帶編織體層的線芯并實(shí)施成型處理而進(jìn)行。
該成型處理，由于將多孔質(zhì)帶狀體21限制于上述內(nèi)容，故提高了絕緣體2的機(jī)械強(qiáng)度，進(jìn)而消除了絕緣體2的外徑的變動(dòng)與凹凸，消除了編織體的外徑的變動(dòng)與凹凸，所以可以實(shí)現(xiàn)。進(jìn)而，通過由具有錫合金鍍層的軟銅線構(gòu)成編織體，能夠減小摩擦阻力，能夠插入成型模，進(jìn)行成型處理。
還有，在歷來的僅加快傳輸速度而使發(fā)泡度為70％以上的同軸電纜中，由于編織體屏蔽層外徑的變動(dòng)，外徑的凹凸大，所以不能進(jìn)行該成型處理。
在由上述處理將外徑精度成型為±2％的編織體的外周，由FEP樹脂的擠出成型而得到外護(hù)套4，外護(hù)套4的厚度為外導(dǎo)體3的厚度的0.5倍以上，在23℃時(shí)與編織體層的結(jié)合力為20g/mm2以上。這里限制厚度的理由是為了在對(duì)電纜施加機(jī)械應(yīng)力時(shí)能夠維持編織體的形狀，防止扭曲，結(jié)合力不到20g/mm2時(shí)，不能夠抑制編織體內(nèi)部應(yīng)力的釋放，其結(jié)果是，特性阻抗值的精度穩(wěn)定性不足。如果結(jié)合力為20g/mm2以上，就能夠抑制內(nèi)部應(yīng)力的釋放。
接著，參照?qǐng)D3，對(duì)多孔質(zhì)帶狀體21的盤卷，以及將絕緣體2的外徑的變動(dòng)成型為±1.5％的方法加以說明。
絞合導(dǎo)體(內(nèi)導(dǎo)體)1，由未圖示的供給部供給到卷帶裝置的第一、第二、第三導(dǎo)向模30a、30b、30c與成型模31a、31b。供給的導(dǎo)體1，沿箭頭Y1方向以一定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)體1，通過沿箭頭Y2以規(guī)定的速度傳輸，在通過第一導(dǎo)向模30a后，在第二導(dǎo)向模30b之前，盤卷上由帶狀體供給部15所供給的多孔質(zhì)帶狀體21。該盤卷是，多孔質(zhì)帶狀體21對(duì)于導(dǎo)體1，以角度80°、帶張力300g，通過導(dǎo)體1自身沿箭頭Y1方向的旋轉(zhuǎn)，以1/2重疊盤卷在導(dǎo)體1的外周，進(jìn)而，在其外周再一次盤卷帶狀體。
這樣，盤卷多孔質(zhì)帶狀體21通過第二模30b的帶狀卷體，插入配置于第二與第三導(dǎo)向模30b、30c之間的第一和第二成型模31a、31b。這里，對(duì)于內(nèi)徑為1.13mm，內(nèi)徑長(zhǎng)為3.0mm的第一成型模31a，外徑的變動(dòng)為±2％。通過第一成型模31a的多孔質(zhì)帶狀體21，接著插入第二成型模31b，這里，對(duì)內(nèi)徑為1.12mm，內(nèi)徑長(zhǎng)為3.0mm的尺寸，以規(guī)定的尺寸及公差成型。由以上的成型處理使多孔質(zhì)帶狀體21的外徑成為正圓圓筒狀，與導(dǎo)體1的接合變好，減少厚度的不均勻，外徑的凹凸，外徑的偏差等。在由成型模31a、31b所成型的多孔質(zhì)帶狀體21的成型更順利地進(jìn)行的情況下，能夠在使成型模31a、31b等以規(guī)定的轉(zhuǎn)速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行。進(jìn)而在同時(shí)進(jìn)行帶狀體盤卷與帶狀體的燒結(jié)的情況下，也可以將成型模31a、31b加熱到燒結(jié)溫度。
接著，參照?qǐng)D4，對(duì)編織體(外導(dǎo)體)3的編織與將編織體外徑精度形成為±1％的方法的概要進(jìn)行說明。
在導(dǎo)體1的外周盤卷帶狀體，成型為規(guī)定外徑與規(guī)定外徑精度的卷帶體絕緣線芯10供給到編織裝置40，插入于編織裝置40的第一、第二導(dǎo)向模41、42及成型模43。
第一導(dǎo)向模41進(jìn)行絕緣線芯10的導(dǎo)向，此外還將編織前的絕緣線芯10成型為規(guī)定外徑與規(guī)定外徑精度。通過了第一導(dǎo)向模41的絕緣線芯10，具有多條編織用原料線44，通過在交互相反方向上旋轉(zhuǎn)的編織裝置40的旋轉(zhuǎn)，編織用原料線44編入，在第二導(dǎo)向模42之前編織。第二導(dǎo)向模42，在對(duì)編織體3進(jìn)行導(dǎo)向的同時(shí)，也進(jìn)行編織體3的外周的成型。
通過了第二導(dǎo)向模(編織用模)42的編織體3，插入具有內(nèi)徑為1.50mm，內(nèi)徑長(zhǎng)為3.00mm的內(nèi)徑的成型模43，由成型模43成型編織體3。由于由該成型，編織體3在長(zhǎng)度方向上拉伸、縮徑，可消除編織體3自身的空隙部，使編織體3與絕緣體2更緊密地接合，消除編織體3與絕緣體2之間的空隙，編織體3的內(nèi)徑更接近絕緣體2的外徑的值，減少編織體3的厚度不均勻、外徑的凹凸、外徑的偏差等，更接近正圓圓筒狀，使特性阻抗值一定并減少其變化。
接著，參照?qǐng)D5～圖10對(duì)另一實(shí)施方式加以說明。
首先，如圖5A所示，另一實(shí)施方式的同軸電纜50，由內(nèi)導(dǎo)體1、在該導(dǎo)體1的外周盤卷多孔質(zhì)帶狀體而構(gòu)成的絕緣體2、由設(shè)置于絕緣體2外周的編織體所構(gòu)成的外導(dǎo)體3、以及在外導(dǎo)體3的外周設(shè)置的外護(hù)套4所組成。進(jìn)而，圖5B所示的同軸電纜55，在絕緣體2的外周形成外徑保持層56。
絕緣體2，使用氣孔率為60％以上、其精度為±5％、厚度的公差為±3μm、壓縮彈性應(yīng)變?yōu)?.6～0.8％的燒結(jié)多孔PTFE帶狀體，或重均分子量為500萬以上的聚乙烯多孔帶狀體等，如圖6所示，是將帶狀體寬度為2.5mm±3μm，厚度為0.180mm的帶狀體21a對(duì)于內(nèi)導(dǎo)體1以80度的盤卷角度，無重疊地二次盤卷而構(gòu)成?；蛘呤牵鐖D7所示，在內(nèi)導(dǎo)體1的外周具有兩條帶狀體21b，具有帶狀體21b的寬度的間隔并無重疊地盤卷而構(gòu)成絕緣體2時(shí)，由于沒有帶狀體21a的重疊，所以能夠消除導(dǎo)體1一側(cè)的空隙與絕緣體2外部的凹凸，能夠使絕緣體2以其外徑的變動(dòng)為絕緣體2外徑的中心值的±1.5％而形成。
而且，還可以在外徑的變動(dòng)為±1％而形成的絕緣體2的外周，設(shè)置具有塑料的帶狀體，以80度的盤卷角度無重疊盤卷的外徑保持層56。該外徑保持層56，是為了阻止在以±1％成型絕緣體2的外徑后，成型的外徑隨時(shí)間的經(jīng)過而返回的層，可以使用厚度為0.025mm，寬度為7.5mm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯帶等。
在外徑變動(dòng)為±2％而形成的絕緣體2的外周，形成外導(dǎo)體3。外導(dǎo)體3由編織體所構(gòu)成，編織體的適用規(guī)格與上述相同。其不同點(diǎn)在于編織的方法，如圖8B所示，歷來的編織的編織方法為，在各緯數(shù)中，使兩緯在上(在這種情況下為2上)，接著通過另兩緯的下面(在這種情況下為2下)而進(jìn)行編織。
本實(shí)施方式也可以使用這樣的編織方法，但如圖8A所示的各緯數(shù)的編織方法中，每隔一緯而一上、一下地進(jìn)行編織，則能夠使各緯拉緊，與絕緣體2的接合力增大，絕緣體2的保持力也增大。進(jìn)而編織體自身由各緯的拉緊而更容易成為圓筒化。
接著，對(duì)于絕緣體2，使帶寬為絕緣體2的外徑的3倍，帶狀體寬的精度為±1％，具有80度的盤卷角度，在內(nèi)導(dǎo)體1的外周無重疊地盤卷的情況(對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求4)下的絕緣體2的成型方法，參照?qǐng)D9加以說明。
絞合導(dǎo)體(內(nèi)導(dǎo)體)1，由未圖示的供給部所供給，插入卷帶裝置的第一、第二、第三、第四導(dǎo)向模93a、93b、93c、93d與成型模94。該供給的導(dǎo)體1，由未圖示的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而沿箭頭Y1方向以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，由未圖示的退出部以規(guī)定的速度向箭頭Y2方向退出。
通過了第一導(dǎo)向模93a的導(dǎo)體1，在第二導(dǎo)向模93b之前，由帶狀體供給部91以規(guī)定角度所供給的多孔質(zhì)帶狀體21c，通過導(dǎo)體1沿箭頭Y1方向的旋轉(zhuǎn)與向箭頭Y2方向的行進(jìn)，而在其外周無重疊地盤卷。
盤卷了帶狀體21c的導(dǎo)體1，通過第二導(dǎo)向模93b，在第三導(dǎo)向模93c之前，從帶狀體供給部92向著與帶狀體21c相反方向而供給的帶狀體21d在其外周盤卷。由這樣的帶盤卷，使帶狀體21無重疊地雙重盤卷于導(dǎo)體1。盤卷帶狀體21d，通過第三導(dǎo)向模93c的卷帶體，插入配置于第三與第四導(dǎo)向模93c、93d之間的成型模94，并通過內(nèi)徑1.12mm，模長(zhǎng)3.00mm的模，使絕緣體2的外徑變動(dòng)為±2％而成型。
通過以上的帶狀體21的盤卷與成型，絕緣體2的外徑成為正圓形，提高了與導(dǎo)體1的接合，減少了厚度的不均勻、外徑的凹凸、及外徑的偏差等。由成型模94成型帶狀體21后，為了維持其成型精度，還可以在第四導(dǎo)向模93d上盤卷厚度雖薄但機(jī)械強(qiáng)度高的帶狀體21，設(shè)置外形保護(hù)層。
接著，對(duì)于絕緣體2至少有兩條所述多孔質(zhì)帶狀體21，各自以帶寬間隔在內(nèi)導(dǎo)體1的外周的同一方向上不重疊地盤卷而成的情況(對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求5)下的絕緣體2的成型方法，參照?qǐng)D10加以說明。
在第二導(dǎo)向模93b之前，從第一帶狀體供給部91所供給的多孔質(zhì)帶狀體21c，以帶狀體寬度的間隔盤卷于導(dǎo)體1的外周。接著，在導(dǎo)向模93c之前，在前面盤卷的帶狀體的未盤卷處，盤卷從第二帶狀體供給部92所供給的帶狀體21d。這樣，通過兩條帶狀體21c、21d的無重疊盤卷，能夠減少由于在導(dǎo)體1的外周帶盤卷所產(chǎn)生的凹凸與外形的偏差等，也能夠減少絕緣體比介電常數(shù)的偏差。將通過第三導(dǎo)向模93c，無重疊地盤卷的帶狀體21，插入成型模94，以帶狀體21的外形變動(dòng)為±1％而成型。也可以在帶狀體21的外周盤卷其它的帶狀體，形成外形保護(hù)層。
下面，將各同軸電纜的結(jié)構(gòu)及其特性表示于表1及表2。
表1
表2

在這些表1及表2中，內(nèi)導(dǎo)體由7根0.16mm的鍍銀軟銅線絞合，絕緣體的多孔質(zhì)帶狀體使用了空隙率為70％的PTEF帶狀體。外導(dǎo)體使用鍍銀軟銅線的由Ag表示，僅使用軟銅線的由Cu表示，使用鍍錫合金的軟銅線的由Ag-Sn表示，作為本發(fā)明的Ag-Sn，絕緣體、編織體都插入成型模而成型的由SML1表示，絕緣體、編織體都不成型的由SML2表示。
為了比較上述各同軸電纜的特性而實(shí)施的試驗(yàn)的內(nèi)容，記述于以下①～③。
①?gòu)澢囼?yàn)測(cè)定切斷為500mm的電纜的特性阻抗值(A)，將電纜的中央部約200mm以200g的張力盤繞于直徑為5mm的心軸，測(cè)定該狀態(tài)下的特性阻抗值(B)，由(A)-(B)求出特性阻抗值的變化。該結(jié)果示于表1。作為結(jié)果，在編織體原料線中使用動(dòng)摩擦系數(shù)小的錫合金，由于絕緣體、編織體一起成型其外徑，所以特性阻抗值的變動(dòng)小，電纜的柔韌性變好，由彎曲而引起的特性阻抗值的變化也減小。
②柔韌性試驗(yàn)在長(zhǎng)度為150mm的電纜的中央部附上72mm的標(biāo)線，對(duì)在23±2℃、相對(duì)濕度65％的條件下放置2小時(shí)的兩個(gè)試驗(yàn)片，求出將其兩端壓縮至40mm時(shí)的力的值，其結(jié)果示于表1。作為結(jié)果，由于在編織體中使用鍍錫合金的軟銅線作為編織體，所以編織體的各原料線的滑動(dòng)容易，柔韌性變好。
③特性阻抗的測(cè)定值使用TDR測(cè)定法，前面的SML1、SML2的測(cè)定值示于表2。作為結(jié)果，SML1的特性阻抗的偏差小，穩(wěn)定性好，而SML2的特性阻抗的偏差大，不能滿足±1Ω。
圖11是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式中高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法的工序圖。
由圖11的制造工序所形成的高精度發(fā)泡同軸電纜的結(jié)構(gòu)示于圖1。該高精度發(fā)泡同軸電纜，是在具有多條原料線的內(nèi)導(dǎo)體1上，順次形成發(fā)泡絕緣體2、由編織體構(gòu)成的外導(dǎo)體3、以及外護(hù)套4所組成。但是，外導(dǎo)體3在以下的說明中也稱為編織體3。
圖11所示的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造工序，由絕緣體形成工序P1、外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11、外護(hù)套形成工序P21三個(gè)工序所構(gòu)成。絕緣體形成工序P1由內(nèi)導(dǎo)體供給工序P2、帶盤卷工序P3、絕緣體成型工序P4、以及卷取工序P5所構(gòu)成。外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11由絕緣線芯供給工序P12、絕緣體成型工序P13、編織工序P14、編織體成型工序P15、以及卷取工序P16所構(gòu)成。外護(hù)套形成工序P21由編織線芯供給工序P22、編織體成型工序P23、外護(hù)套被覆工序P24、以及卷取工序P25所構(gòu)成。
本實(shí)施方式的特征在于絕緣體形成工序P1與外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11。
絕緣體形成工序P1的絕緣體成型工序P4與外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11的絕緣體成型工序P13是同樣的內(nèi)容，而且，外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11的編織體成型工序P15與外護(hù)套形成工序P21的編織體成型工序P23是相同的內(nèi)容。所以，絕緣體成型工序P4與P13，編織體成型工序P15與P23，可以在任意一個(gè)工序中單獨(dú)進(jìn)行，或者是，也可以在兩個(gè)工序中重復(fù)實(shí)施。如果在兩個(gè)工序中重復(fù)實(shí)施，能夠使絕緣體與編織體的外徑的凹凸，外徑的變動(dòng)精度，正圓度的精度提高，成型操作也穩(wěn)定。
對(duì)于絕緣體形成工序P1，參照?qǐng)D3加以說明。
首先，如圖3所示，在內(nèi)導(dǎo)體供給工序P2中，由未圖示的供給部將絞合導(dǎo)體(內(nèi)導(dǎo)體)1供給到第一、第二、第三導(dǎo)向模30a、30b、30c與成型模31a、31b。
在帶盤卷工序P3中，該供給的導(dǎo)體1，沿箭頭Y1方向以一定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)體1，通過沿箭頭Y2方向以規(guī)定的速度傳輸，在通過第一導(dǎo)向模30a后，在第二導(dǎo)向模30b之前，盤卷上由帶狀體供給部15所供給的氣孔率為60％以上的多孔質(zhì)帶狀體21。該盤卷是，多孔質(zhì)帶狀體21對(duì)于導(dǎo)體1，以角度80°、帶張力300g，通過導(dǎo)體1自身沿箭頭Y1方向的旋轉(zhuǎn)，以1/2重疊地盤卷的外周，進(jìn)而，在其外周再一次盤卷帶狀體。
這樣盤卷的多孔質(zhì)帶狀體21，在絕緣體成型工序P4中，通過第二導(dǎo)向模30b，插入配置于第二與第三導(dǎo)向模30b、30c之間的成型模31a、31b。該插入時(shí)，由各成型模31a、31b的內(nèi)徑的收縮力而形成發(fā)泡絕緣體2。這里，第一導(dǎo)向模31a的內(nèi)徑為1.13mm、模長(zhǎng)為3.0mm，第二導(dǎo)向模31b的內(nèi)徑為1.12mm、模長(zhǎng)為3.0mm，絕緣線芯10的通過速度為10m/min。
這樣形成的發(fā)泡絕緣體2的外徑為正圓圓筒狀，與導(dǎo)體1的接合性變好，能夠減少厚度的不均勻，外徑的凹凸，外徑的偏差等。由成型模31a、31b成型的多孔質(zhì)帶狀體21使絕緣線芯10的成型更順利進(jìn)行的情況下，也可以是在成型模31a、31b以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)而進(jìn)行。進(jìn)而在帶盤卷與帶狀體燒結(jié)同時(shí)進(jìn)行的情況下，也可以將成型模31a、31b加熱到燒結(jié)溫度。而且，發(fā)泡絕緣體2在卷取工序P5中卷取。
接著，參照?qǐng)D4對(duì)外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11加以說明。
首先，在絕緣線芯供給工序P12中，在所述絕緣體形成工序P1中，在導(dǎo)體1的外周盤卷多孔質(zhì)帶狀體21，以規(guī)定的外徑與規(guī)定的外徑精度成型的絕緣線芯10，供給到編織裝置40，插入編織裝置40的第一、第二導(dǎo)向模41、42與成型模43。
在絕緣體成型工序P13中，進(jìn)行絕緣線芯10的導(dǎo)向，同時(shí)，由起到成型模作用的第一導(dǎo)向模41將編織之前的絕緣線芯10成型為規(guī)定的外徑與規(guī)定的外徑精度。
通過了第一導(dǎo)向模41的絕緣線芯10，在編織工序P14中，通過具有多條編織用原料線44、向交互相反方向旋轉(zhuǎn)的編織裝置40的旋轉(zhuǎn)，編入編織用原料線44，在將要到達(dá)第二導(dǎo)向模42之前編織。
該編織后，在編織體成型工序P15中，通過插入起到成型模作用的第二導(dǎo)向模42而進(jìn)行外周的成型，進(jìn)而通過插入成型模43而形成編織體3。但是，成型模43的內(nèi)徑為1.5mm，模長(zhǎng)為3.0mm，僅在編織裝置40動(dòng)作時(shí)，由未圖示的馬達(dá)以編織速度約10倍的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，成型編織體3。
而且，在由成型模43成型編織體3時(shí)，由于編織體3在其長(zhǎng)度方向上拉伸、截面收縮，可消除編織體3自身的空隙部，使編織體3與絕緣體2更緊密地接合，消除編織體3與絕緣體2之間的空隙，編織體3的內(nèi)徑更接近絕緣體2的外徑的值，減少編織體3的厚度不均勻、外徑的凹凸、外徑的偏差等，更接近正圓圓筒狀，使特性阻抗值一定并減少其變化。編織體(編織體線芯)3在卷取工序P16中被卷取。
另外，如圖12所示，在編織體成型工序P15中，還可以對(duì)編織體3的成型模43施加超聲波振動(dòng)，對(duì)編織體3的外徑方向給予規(guī)定的振動(dòng)而成型。
就是說，在將利用作為細(xì)導(dǎo)線的編織用原料線44編織絕緣線芯10而形成的編織體10a插入成型模43而形成編織體3時(shí)，由超聲波振蕩裝置51對(duì)成型模43施加頻率為20～45kHz、振幅為5μm、輸出為200～700W的超聲波振動(dòng)而成型外導(dǎo)體。這樣成型的編織體3與發(fā)泡絕緣體2緊密接合一體化，編織體3的厚度均勻化，消除外徑的凹凸，成型為正圓形狀。
這里，如圖12所示，成型模43的出口直徑52為1.50mm，成型模43的入口直徑53為1.7mm，成型模43的出口直徑52部分的長(zhǎng)度為3.0mm，是由不銹鋼等所構(gòu)成。在成型模43的外面，設(shè)置有給予成型模43以徑向振動(dòng)的共振圓板54，進(jìn)而，在該共振圓板54的外面設(shè)置有使共振圓板54振動(dòng)的振子58。
振子58通過超聲波振蕩裝置51而振動(dòng)，僅在編織裝置40動(dòng)作時(shí)振蕩。利用編織裝置的旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置57而僅在編織裝置40動(dòng)作時(shí)振蕩的超聲波振蕩裝置51，通過借助振子58將電振動(dòng)轉(zhuǎn)換為機(jī)械振動(dòng)而使成型模43振動(dòng)。
成型模43以上述振動(dòng)條件，由振動(dòng)與?？讖蕉尚团c模43相接的編織體3。在編織體3的外徑的凹凸與外徑變動(dòng)大的場(chǎng)所，利用振動(dòng)減少或消除編織體3與成型模43的摩擦力，從而消除編織體3的斷線及擦傷，進(jìn)而能夠消除發(fā)泡絕緣體2與內(nèi)導(dǎo)體1的斷線、延伸及損傷等而成型。
在上述說明中，編織體成型工序P15設(shè)置于編織工序P14之后，此外，也可以在外護(hù)套形成工序P21之前單獨(dú)設(shè)置，或者是在編織工序P14之后與外護(hù)套形成工序P21之前均設(shè)置。
在編織體成型工序P15中，還可以由圖13所示的控制結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定地進(jìn)行編織體3的成型。
首先，將編織體線芯插入也起到成型模作用的第二導(dǎo)向模42，由摩擦力檢測(cè)部61檢測(cè)由該插入所引起的該導(dǎo)向模42與編織體線芯的接觸摩擦力(接觸壓力)。由摩擦力比較部62將該檢測(cè)出的接觸摩擦力與預(yù)先設(shè)定的編織體線芯的抗拉強(qiáng)度(延伸率)進(jìn)行比較。結(jié)果是，在接觸摩擦力大的情況下，由馬達(dá)控制部63旋轉(zhuǎn)成型模43的旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)64。由此，成型模43旋轉(zhuǎn)，則由成型模43向編織體線芯成型時(shí)的編織體線芯所施加的摩擦力(壓力)減少，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行外導(dǎo)體成型。
在實(shí)際的實(shí)施中，使第二導(dǎo)向模42的徑為1.60mm，成型模43的徑為1.50mm，成型模43以編織速度的約10倍的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)是在一次成型模與編織體線芯的接觸摩擦力為產(chǎn)生編織體的變形的值、即100gf/mm2以上的情況下旋轉(zhuǎn)。
在編織體成型工序P15中，還可以由圖14所示的控制結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定地進(jìn)行編織體3的成型。
與上述參照?qǐng)D13所說明的同樣，由摩擦力比較部62對(duì)接觸摩擦力與抗拉強(qiáng)度比較的結(jié)果，在摩擦力大的情況下，通過超聲波振蕩控制部71而使超聲波振蕩裝置51振蕩，將該振動(dòng)通過共振圓板54及振子58傳動(dòng)到成型模43，由成型模43的振動(dòng)而成型編織體線芯。由成型模43的超聲波振動(dòng)，使作用于編織體線芯的接觸摩擦力減少、變小，減小由成型模43成型編織體線芯時(shí)施加于編織體線芯的摩擦力(壓力)，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行外導(dǎo)體的成型。
在實(shí)際的實(shí)施中，使第二導(dǎo)向模42的徑為1.60mm，成型模43的徑為1.50mm，成型模43的振動(dòng)于上述同樣進(jìn)行，在第二導(dǎo)向模42與編織體線芯的接觸摩擦力為產(chǎn)生編織體3的變形的值、即100gf/mm2以上的情況下振動(dòng)。
在實(shí)施這樣的絕緣體形成工序P1及外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11之后，如圖5A所示，通過實(shí)施外護(hù)套形成工序P21，形成由內(nèi)導(dǎo)體1、在該導(dǎo)體1的外周盤卷多孔質(zhì)帶狀體而構(gòu)成的發(fā)泡絕緣體2、由設(shè)置于發(fā)泡絕緣體2外周的編織體所構(gòu)成的外導(dǎo)體3、以及在外導(dǎo)體3的外周設(shè)置的外護(hù)套4所組成的高精度發(fā)泡同軸電纜50。
此外，還可以如圖5B所示的高精度發(fā)泡同軸電纜55那樣，在發(fā)泡絕緣體2的外周形成外徑保持層56。外徑保持層56，是在發(fā)泡絕緣體2的外周由塑料帶以80度的盤卷角度無重疊地盤卷而成。該外徑保持層56，是在將發(fā)泡絕緣體2的外徑在例如±1％以內(nèi)成型后，為了阻止成型的外徑隨時(shí)間的經(jīng)過而回復(fù)的保護(hù)層，可以使用厚度為0.025mm，寬度為7.5mm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯帶等。
下面，在圖15中表示以上說明的使用絕緣體形成工序P1而成型發(fā)泡絕緣體的情況下的絕緣體外徑(mm)的變動(dòng)，圖16中表示不使用的情況下的絕緣體外徑(mm)的變動(dòng)，對(duì)雙方進(jìn)行了比較。
從結(jié)果可知，通過由成型模成型發(fā)泡絕緣體，其外徑一定化，正圓化，其變動(dòng)也小。外徑的測(cè)定是在長(zhǎng)度方向上以100mm的間隔，使用激光式外徑測(cè)定儀(タキカワエンジニアリング公司(Takikawa EngineeringCo.，Ltd.)制)進(jìn)行的測(cè)定。
而且，使用外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11而成型外導(dǎo)體(編織體)的情況下的外導(dǎo)體(編織體)外徑(mm)的變動(dòng)示于圖17，不使用的情況下的外導(dǎo)體(編織體)外徑(mm)的變動(dòng)示于圖18，對(duì)雙方進(jìn)行了比較。
從結(jié)果可知，通過由成型模成型外導(dǎo)體，其外徑一定化，正圓化，其變動(dòng)也小。外徑的測(cè)定采用與發(fā)泡絕緣體的外徑的測(cè)定同樣的方法進(jìn)行。
進(jìn)而，使用絕緣體形成工序P1與外導(dǎo)體(編織體)形成工序P11而成型發(fā)泡絕緣體與外導(dǎo)體的情況下的特性阻抗值(Ω)示于圖19，不使用的情況下的特性阻抗值(Ω)示于圖20，對(duì)雙方進(jìn)行了比較。
結(jié)果表明，在成型發(fā)泡絕緣體與外導(dǎo)體的情況下，其特性阻抗值均在51.0±1Ω的范圍內(nèi)。特性阻抗值的測(cè)定是由TDR法進(jìn)行。
(產(chǎn)業(yè)上的利用可能性)在本發(fā)明的高精度發(fā)泡同軸電纜中，由于使內(nèi)導(dǎo)體的外徑尺寸的精度在4/1000mm以下，發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的精度為±0.02mm，同時(shí)將其形狀形成為正圓形，使外導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為外徑中心值的±2％，同時(shí)將其形狀形成正圓形，夾持發(fā)泡絕緣體的內(nèi)導(dǎo)體與外導(dǎo)體間的特性阻抗值的精度為±1Ω，所以能夠使構(gòu)成高精度發(fā)泡同軸電纜的內(nèi)導(dǎo)體、絕緣體、外導(dǎo)體等的外形凹凸與外徑的偏差減小，提高外徑尺寸的精度，使各部件成為正圓形狀，能夠減少特性阻抗值的變動(dòng)。所以，能夠使電纜具有柔韌性，使特性阻抗值為±1Ω。還有，即使是對(duì)電纜施加各種機(jī)械應(yīng)力，特性阻抗值也能夠維持其精度。
就是說，由于本發(fā)明的高精度發(fā)泡同軸電纜具有柔韌性，即使是電纜承受施加的彎曲、扭曲、滑動(dòng)等機(jī)械應(yīng)力，也不會(huì)受其影響，傳輸特性穩(wěn)定，即使是受到機(jī)械應(yīng)力也能夠使其傳輸特性的變動(dòng)很小，且能夠減小特性阻抗值的變化，提高其精度，所以工業(yè)化時(shí)具有很好的效果。
另一方面，在本發(fā)明的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法中，在具有內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的發(fā)泡絕緣體，以及在該發(fā)泡絕緣體的外周形成的外導(dǎo)體的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法中，由于具有在由供給部所供給的所述內(nèi)導(dǎo)體上盤卷氣孔率為60％以上的多孔質(zhì)帶狀體而形成發(fā)泡絕緣體的盤卷工序，將由盤卷工序所形成的發(fā)泡絕緣體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的絕緣體成型工序，在由絕緣體成型工序成型的發(fā)泡絕緣體的外周編織多條細(xì)導(dǎo)線而形成外導(dǎo)體的編織工序，以及將由編織工序所編織的外導(dǎo)體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的外導(dǎo)體成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的外導(dǎo)體成型工序，所以能夠消除高發(fā)泡絕緣體的外徑的凹凸與偏差，形成正圓形，進(jìn)而能夠消除由編織體構(gòu)成的外導(dǎo)體的外徑的凹凸與偏差，能夠穩(wěn)定地成型為正圓形，從而可以制造特性阻抗值為±1Ω的高精度發(fā)泡同軸電纜。
權(quán)利要求
1.一種高精度發(fā)泡同軸電纜，由將多條導(dǎo)線絞合而成的內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的由多孔質(zhì)帶狀體所構(gòu)成的低介電常數(shù)的發(fā)泡絕緣體，在該發(fā)泡絕緣體的外周編織的由多條細(xì)導(dǎo)線所構(gòu)成的外導(dǎo)體，以及在該外導(dǎo)體的外周形成的由具有耐熱性的樹脂所構(gòu)成的外護(hù)套所組成，其特征在于使所述內(nèi)導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為4/1000mm以下，使所述發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的精度為±0.02mm，并將其形狀形成為正圓形，使所述外導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為外徑中心值的±2％，并將其形狀形成為正圓形，使夾持所述發(fā)泡絕緣體的所述內(nèi)導(dǎo)體與所述外導(dǎo)體之間的特性阻抗值的精度為±1Ω。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述內(nèi)導(dǎo)體，其外徑尺寸的精度為2/1000mm以下，由實(shí)施了1～3μm厚的銀鍍層的鍍銀軟銅線絞合而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體，將所述多孔質(zhì)帶狀體在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周以重疊1/2的方式盤卷而形成，該盤卷后的發(fā)泡絕緣體的厚度的變動(dòng)為±0.01mm，外徑的變動(dòng)為±0.02mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體，將所述多孔質(zhì)帶狀體在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周以多孔質(zhì)帶狀體自身不重疊的方式盤卷而形成，該盤卷的多孔質(zhì)帶狀體的寬度是所述發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的3倍，且其寬度的精度為±1％。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體至少具有兩條以上的所述多孔質(zhì)帶狀體，各自以帶寬間隔在所述內(nèi)導(dǎo)體的外周的同一方向上不重疊地盤卷而成。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述發(fā)泡絕緣體具有在其外周盤卷塑料帶狀體而構(gòu)成的外徑保護(hù)層。
7.根據(jù)權(quán)利要求3～6中任一項(xiàng)所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述多孔質(zhì)帶狀體是氣孔率為60％以上，氣孔精度為±5％，厚度公差為±3μm，在壓縮壓力為0.24～0.28kg力的情況下壓縮變形應(yīng)變?yōu)?.6～0.8％的燒結(jié)PTFE帶狀體。
8.根據(jù)權(quán)利要求3～6中任一項(xiàng)所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述多孔質(zhì)帶狀體是氣孔率為60％以上，氣孔精度為±5％，厚度公差為±3μm，重均分子量為500萬以上的聚乙烯帶狀體。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述外導(dǎo)體由在鍍層厚度為1～3μm的鍍銀軟銅線上實(shí)施厚度為0.2～0.5μm的錫合金鍍層、外徑公差為±2/1000mm的兩層鍍層軟銅線的編織體所構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述外導(dǎo)體由在鍍層厚度為1～3μm的鍍鎳軟銅線上實(shí)施厚度為0.2～0.5μm的錫合金鍍層、外徑公差為±2/1000mm的兩層鍍層軟銅線的編織體所構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述錫合金鍍層由錫與銅所構(gòu)成，銅的含有量為0.6～2.5％。
12.根據(jù)權(quán)利要求1、9、10中任一項(xiàng)所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于構(gòu)成所述外導(dǎo)體的編織體，其構(gòu)成編織體的各編織緯數(shù)按照一上一下(“one-over”and“one-under”)的方式編織。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度發(fā)泡同軸電纜，其特征在于所述外護(hù)套，其厚度為所述外導(dǎo)體的厚度的0.5倍以上，該厚度的精度為3/100mm以下，與所述外導(dǎo)體的接合力在23℃為20g/mm2以上，由FEP樹脂擠出成型而形成。
14.一種高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，該高精度發(fā)泡同軸電纜由內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的發(fā)泡絕緣體，以及在該發(fā)泡絕緣體的外周形成的外導(dǎo)體，其特征在于由以下工序所組成在由供給部所供給的所述內(nèi)導(dǎo)體上盤卷氣孔率為60％以上的多孔質(zhì)帶狀體而形成所述發(fā)泡絕緣體的盤卷工序，將由所述盤卷工序所形成的發(fā)泡絕緣體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的絕緣體成型工序，在由所述絕緣體成型工序形成的發(fā)泡絕緣體的外周編織多條細(xì)導(dǎo)線而形成所述外導(dǎo)體的編織工序，以及將由所述編織工序所編織的外導(dǎo)體插入具有規(guī)定內(nèi)徑的外導(dǎo)體成型模、成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的外導(dǎo)體成型工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于所述絕緣體成型工序由插入具有規(guī)定內(nèi)徑的一次成型模而成型的一次成型工序，與插入具有規(guī)定內(nèi)徑的二次成型模而成型的二次成型工序所組成。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于具有在由所述絕緣體成型工序成型為規(guī)定外徑與正圓形狀的所述發(fā)泡絕緣體的外周，盤卷形成極薄的外形保護(hù)層的外形保護(hù)層工序。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序由插入具有規(guī)定內(nèi)徑的一次成型模而成型的一次成型工序，與插入具有規(guī)定內(nèi)徑的二次成型模而成型的二次成型工序所組成。
18.根據(jù)權(quán)利要求14或17所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序使所述外導(dǎo)體成型模以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)而成型所述外導(dǎo)體。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序?qū)λ鐾鈱?dǎo)體成型模施加超聲波振動(dòng)，在所述外導(dǎo)體的外徑方向給予規(guī)定振動(dòng)而成型。
20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于所述外導(dǎo)體成型工序在所述編織工序之后設(shè)置，或在所述外導(dǎo)體外周上形成的外護(hù)套的外護(hù)套形成工序之前單獨(dú)設(shè)置，或在所述編織工序之后及所述外護(hù)套形成工序之前同時(shí)設(shè)置。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于在所述外導(dǎo)體成型工序中，在插入所述一次成型模的所述外導(dǎo)體與所述一次成型模的摩擦力為規(guī)定值以上的情況下，使所述二次成型模以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的高精度發(fā)泡同軸電纜的制造方法，其特征在于在所述外導(dǎo)體成型工序中，在插入所述一次成型模的所述外導(dǎo)體與所述一次成型模的摩擦力為規(guī)定值以上的情況下，對(duì)所述二次成型模施加超聲波振動(dòng)。
全文摘要
一種高精度發(fā)泡同軸電纜，由將多條導(dǎo)線絞合而成的內(nèi)導(dǎo)體，在該內(nèi)導(dǎo)體的外周形成的由多孔質(zhì)帶狀體所構(gòu)成的低介電常數(shù)的發(fā)泡絕緣體，在該發(fā)泡絕緣體的外周編織的由多條細(xì)導(dǎo)線所構(gòu)成的外導(dǎo)體，以及在該外導(dǎo)體的外周形成的由具有耐熱性的樹脂所構(gòu)成的外護(hù)套所組成，并使所述內(nèi)導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為4/1000mm以下，使所述發(fā)泡絕緣體的外徑尺寸的精度為±0.02mm，并將其形狀形成為正圓形，使所述外導(dǎo)體的外徑尺寸的精度為外徑中心值的±2％，并將其形狀形成為正圓形，使夾持所述發(fā)泡絕緣體的所述內(nèi)導(dǎo)體與所述外導(dǎo)體之間的特性阻抗值的精度為±1Ω。
文檔編號(hào)H01B13/016GK1630916SQ0380353
公開日2005年6月22日 申請(qǐng)日期2003年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月8日
發(fā)明者山口鐵雄, 巖崎光男, 石戶隆雄, 草間孝秋, 南城光夫, 松村茂, 村山茂 申請(qǐng)人:平河福泰克株式會(huì)社, 株式會(huì)社愛德萬測(cè)試