專(zhuān)利名稱(chēng)：基片裝卸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基片裝卸裝置，它具有一個(gè)直線輸送基片的輸送裝置和至少一個(gè)在輸送裝置和至少一個(gè)工站間輸送基片的可轉(zhuǎn)動(dòng)的搬運(yùn)裝置。
例如在處理基片的設(shè)備中且尤其是在給基片上漆或涂覆的設(shè)備中知道了上述類(lèi)型的基片裝卸裝置。在那里，第一搬運(yùn)裝置從一個(gè)輸送裝置中撿拾基片如CD/CD-R/DVD和其它數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器或數(shù)據(jù)載體以便上漆或涂覆并且基片被放在一個(gè)工站如上漆工站上。在加工后，第二搬運(yùn)裝置又撿拾基片并將其放在一個(gè)輸出裝置上或送往另一個(gè)工序。
從US-A-4824309中知道了一種具有一個(gè)前真空室、一個(gè)緩沖室和一個(gè)加工室的真空處理裝置。該裝置在緩沖室中具有第一圓片托座以及它具有第二圓片托座，以便從前真空室中把圓片送往緩沖室的第一圓片托座。此外，設(shè)置了第三圓片托座，它把圓片從第一圓片托座送往加工室，其中第二、第三圓片托座具有傳送帶。
Leybold公司的“Speedline Prospekt”(2/97，第6頁(yè)-第9頁(yè))示出了一種整體式CD生產(chǎn)設(shè)備，其中用于制造CD的不同加工裝置被整合在一臺(tái)設(shè)備中。為輸送構(gòu)成CD的元件，同時(shí)采用傳送帶和機(jī)械爪。
DE-C-19722408示出了一種在兩條分開(kāi)的輸送路線上分頭輸送基片的方法和裝置，該裝置具有兩個(gè)輸送站、至少兩個(gè)加工站和兩個(gè)輸出站。一個(gè)輸送基片的輸送裝置可以繞一條轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)第一度并且它具有至少兩個(gè)可以按預(yù)定角間距設(shè)置在一個(gè)繞該轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的圓弧上的手爪。在兩個(gè)加工站之間和在兩個(gè)輸出站之間的這兩個(gè)輸送站的角間距分別等于預(yù)定間隔角度，第一角度大于這個(gè)預(yù)定角度。
從DE-C-4127341中還知道了一種對(duì)一個(gè)工件進(jìn)行不同加工的裝置。工件通過(guò)一個(gè)可直線運(yùn)動(dòng)的且具分別具有三個(gè)設(shè)置在其兩側(cè)的輸送臂的輸送滑架被送往一個(gè)圓分度工作臺(tái)并從那里被取出。搬運(yùn)裝置具有一個(gè)基片爪，它可以在x、y、z方向上直線運(yùn)動(dòng)并繞z軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。
在這樣的裝置中，為給工站裝卸工件而設(shè)置了獨(dú)立的搬運(yùn)裝置和獨(dú)立的輸送和送走裝置。由此一來(lái)，裝置部件的占地需求大，這尤其是在潔凈房間環(huán)境的情況下導(dǎo)致了高成本。
基于這樣的裝置，本發(fā)明的任務(wù)是提出一種成本低廉的且具有少量部件且占地要求小的裝置。
根據(jù)本發(fā)明，在這樣一種裝置中如此完成了該任務(wù)，輸送裝置設(shè)置在至少兩個(gè)工站之間，所述的至少一個(gè)搬運(yùn)裝置被設(shè)置在輸送裝置上方。把輸送裝置布置在至少兩個(gè)工站之間具有以下優(yōu)點(diǎn)，即通過(guò)設(shè)置在輸送裝置上方的可轉(zhuǎn)動(dòng)的搬運(yùn)裝置，可以占地小地裝載許多工站。
根據(jù)一個(gè)優(yōu)選設(shè)計(jì)方案，搬運(yùn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)中心位于輸送裝置的一條中心軸線上。搬運(yùn)裝置最好具有設(shè)置在一個(gè)外圓上的基片撿拾機(jī)構(gòu)，它們等間隔地分布在外圓上。這產(chǎn)生了回轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)，這樣的對(duì)稱(chēng)可以通過(guò)搬運(yùn)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單地給多個(gè)工站裝卸基片。
為了能夠在加工基片時(shí)不擋住工站并且避免介質(zhì)轉(zhuǎn)換，撿拾頭最好設(shè)置在搬運(yùn)裝置的徑向臂上，以便在它們之間形成自由空間。
直線輸送裝置具有一條傳送帶，這是有利的，該傳送帶最好延伸于一個(gè)裝載站和一個(gè)卸載站之間。這具有以下優(yōu)點(diǎn)，即為了供應(yīng)和送走基片，只需要一條傳送帶，由此減少了所需部件數(shù)量。
根據(jù)一個(gè)特別優(yōu)選的實(shí)施例，傳送帶具有用于基片的托座。在這種情況下，當(dāng)可以規(guī)定保持不變的運(yùn)動(dòng)間歇時(shí)，托座在傳送帶運(yùn)動(dòng)方向上均勻間隔開(kāi)以便簡(jiǎn)化傳送帶控制，這是有利的。為了形成相對(duì)搬運(yùn)裝置的對(duì)稱(chēng)性，托座設(shè)置在傳送帶的中心軸線上，或者總是至少有兩個(gè)托座是相對(duì)中心軸線對(duì)稱(chēng)設(shè)置的，這簡(jiǎn)化了搬運(yùn)裝置的控制。
如果至少兩個(gè)托座被設(shè)置在外圓上，以便能夠同時(shí)撿拾或放下多個(gè)基片，則這也是有利的。
根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，工站的撿拾頭中點(diǎn)設(shè)置在外圓上并且工站最好完全相反地成對(duì)設(shè)置在外圓上。
在這種情況下，最好組成對(duì)的工站是同一類(lèi)型的。這又提高了裝置的對(duì)稱(chēng)性并因而簡(jiǎn)化了搬運(yùn)裝置的控制。
當(dāng)用同一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)在外圓上緊鄰設(shè)置的工站時(shí)，這是特別有利的，這減少了所需的驅(qū)動(dòng)裝置數(shù)量并縮減了與之有關(guān)的成本。
搬運(yùn)裝置的撿拾機(jī)構(gòu)的數(shù)量有利地等于設(shè)置在外圓上的托座和工站的數(shù)量。這使得在一個(gè)工序中有效地裝卸在外圓上的所有工站和托座成為可能。在這種情況下，最好在裝卸載時(shí)，所有撿拾頭或是被安置在輸送裝置的托座上，或是被安置在工站的撿拾頭中點(diǎn)上。
根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，設(shè)置了一個(gè)用于同時(shí)打開(kāi)和關(guān)閉撿拾頭的控制機(jī)構(gòu)，以便同時(shí)讓托座和工站撿拾基片或把基片放在其上。
以下，結(jié)合優(yōu)選實(shí)施例并參見(jiàn)附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，其中

圖1是具有一個(gè)根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基片裝卸裝置的設(shè)備的俯視圖；圖2是具有一個(gè)根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基片裝卸裝置的設(shè)備的俯視圖；圖3是具有一個(gè)根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基片裝卸裝置的設(shè)備的俯視圖。
圖1示出一臺(tái)用于加工CD的設(shè)備。設(shè)備1包括根據(jù)本發(fā)明的基片裝載裝置2的第一實(shí)施例，它具有一個(gè)直線輸送式輸送裝置3和兩個(gè)搬運(yùn)裝置4、5。此外，設(shè)備1具有八個(gè)工站6A-6D和7A-7D，在這些工站上加工CD。設(shè)備1被安置在一個(gè)基體或機(jī)座8上，它例如是無(wú)機(jī)物鑄錠。
搬運(yùn)裝置4、工站6A-6D和直線輸送裝置3一起構(gòu)成了設(shè)備1的第一組。此外，搬運(yùn)裝置5、工站7A-7D一起構(gòu)成了對(duì)應(yīng)于第一組的設(shè)備1的第二組。設(shè)備的第一組和第二組共同使用這一個(gè)直線輸送裝置3。
第一實(shí)施例的裝置2的直線輸送裝置3具有一條傳送帶13，它沿一條軌道14延伸。傳送帶13在輸送裝置3的轉(zhuǎn)向端15、16上支承在一個(gè)空轉(zhuǎn)輪17或一個(gè)主動(dòng)輪18上。在直線輸送裝置3的端部16上設(shè)置了一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置19。驅(qū)動(dòng)裝置19是一個(gè)具有一個(gè)適當(dāng)?shù)奈词境隹刂茩C(jī)構(gòu)的伺服電動(dòng)機(jī)，該驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪18以便輸送傳送帶13。
直線輸送裝置3具有一條中心軸線20，傳送帶13的中心軸線也是這條中心軸線。
在傳送帶13上設(shè)置了用于未示出CD的托座。在圖1中，示出了八個(gè)托座21-28。托座21-28以均勻的間距d設(shè)置在傳送帶13的中心軸線20上。
用于裝卸CD的未示出的搬運(yùn)裝置與傳送裝置3的轉(zhuǎn)向端15、16相鄰。在圖1中，CD在轉(zhuǎn)向端15上通過(guò)一個(gè)適當(dāng)?shù)奈词境龅陌徇\(yùn)裝置被放到傳送帶13上并在經(jīng)過(guò)加工后在轉(zhuǎn)向端16上通過(guò)另一個(gè)未示出的適當(dāng)?shù)陌徇\(yùn)裝置被取走。
搬運(yùn)裝置4、5通過(guò)適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)裝置而可以轉(zhuǎn)動(dòng)并可以抬高并且它們從上邊被固定住地被設(shè)置在傳送帶13上方。由于搬運(yùn)裝置4、5基本上是一樣的，所以，在圖中只示出了搬運(yùn)裝置4。
搬運(yùn)裝置4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線經(jīng)過(guò)外圓41的中心點(diǎn)40。搬運(yùn)裝置4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直與直線輸送裝置3的中心軸線20。搬運(yùn)裝置4分別具有六個(gè)撿拾機(jī)構(gòu)或撿拾頭42-47，它們?cè)O(shè)置在六個(gè)徑向延伸的臂48-53上。撿拾頭42-47適用于通過(guò)如打開(kāi)和關(guān)閉來(lái)?yè)焓安⒂址畔翪D，為此可以通過(guò)一個(gè)未示出的控制機(jī)構(gòu)來(lái)進(jìn)行適當(dāng)?shù)目刂啤?br> 如圖1所示，搬運(yùn)裝置4的撿拾頭42-48位于外圓41上并且在外圓41上均勻間隔開(kāi)。這六個(gè)撿拾頭42-48分別以一個(gè)角度α＝60°設(shè)置在外圓41上。
如上所述地，給這兩個(gè)搬運(yùn)裝置4或5分別配備了工站6A-6D或7A-7D。因此，只描述工站6A-6D，但這也適用于與搬運(yùn)裝置5有關(guān)的工站7A-7D。
工站6A和6C是上漆工站，它們具有一個(gè)轉(zhuǎn)盤(pán)和可擺動(dòng)的噴漆嘴。此外，它們具有帶有用于要處理的CD的撿拾頭中點(diǎn)60A、60C的撿拾頭。工站6B和6D是邊緣清理裝置，它們具有一個(gè)轉(zhuǎn)盤(pán)和一個(gè)用于在上漆后清理CD邊緣的邊緣刮刀。工站6B和6D也具有帶有用于在工站上支承CD的撿拾頭中點(diǎn)60B和60D的撿拾頭。
撿拾頭中點(diǎn)60A-60D設(shè)置在外圓41上，它們完全對(duì)置地成對(duì)位于外圓41上。因而，撿拾頭中點(diǎn)60A和60C或撿拾頭中點(diǎn)60B和60D分別組成一對(duì)。
完全相反地位于外圓41上的工站是同一類(lèi)型的。工站6A和6C分別是上漆工站，工站6B和6D分別是邊緣清理工站。
撿拾頭中點(diǎn)60A-60D是如此布置的，即撿拾頭中點(diǎn)與在外圓上緊鄰的工站間隔一個(gè)角度α＝60°并且撿拾頭中點(diǎn)分別與輸送裝置中心軸線20與外圓41的切點(diǎn)也間隔一個(gè)角度α＝60°。
設(shè)備1第一組和第二組的外圓41、66的中心點(diǎn)40、65間隔一段等于在直線輸送裝置3上的相鄰?fù)凶g距離d三倍的距離。這兩個(gè)外圓41、66的直徑是一樣的并且等于在傳送帶3上的相鄰?fù)凶g距離d的兩倍。
設(shè)備1如圖所示地具有預(yù)定數(shù)量的工站，但這個(gè)數(shù)量只是示范性的并且是可以改變的。工站也不一定就是上漆工站和邊緣清理工站，也可以進(jìn)行其它加工。也不一定要采取不同的加工。此外，可以代替CD地處理其它基片。
圖2示出了設(shè)備1b的第二實(shí)例施，它具有另一個(gè)第三搬運(yùn)裝置，該搬運(yùn)裝置等同于圖1的第一實(shí)施例的搬運(yùn)裝置4、5。第三搬運(yùn)裝置也被設(shè)置在輸送裝置3b上方，它比第一實(shí)施例的直線輸送裝置3更長(zhǎng)。第三搬運(yùn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直于輸送裝置3b的中心軸線20b。第三搬運(yùn)裝置和另外四個(gè)工站一起構(gòu)成了設(shè)備1b的第三組，其中這四個(gè)工站又是兩個(gè)上漆工站和兩個(gè)邊緣清理工站。
工站CD撿拾頭的撿拾頭中點(diǎn)以及各組搬運(yùn)裝置的撿拾頭被設(shè)置在各自的外圓上，其中點(diǎn)設(shè)置在輸送裝置3b的中心軸線20b上并且與搬運(yùn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線重合，如圖2所示。
各外圓的直徑相同。在圖2的實(shí)施例中，外圓的直徑是輸送裝置3b的相鄰?fù)凶?1b-36b之間距離d的三倍。相鄰?fù)廨S圓的中點(diǎn)以一個(gè)間距位于輸送裝置3b的中心軸線20b上，這個(gè)間距是輸送裝置3b相鄰?fù)凶g距離d的四倍。
如以下結(jié)合對(duì)設(shè)備1a或1b的優(yōu)選工作方式的說(shuō)明所詳細(xì)說(shuō)明的那樣，第一實(shí)施例和第二實(shí)施例在給輸送裝置3或3b的托座裝載CD方面也是有區(qū)別的。
圖3示出了設(shè)備1a，它具有本發(fā)明裝置2a的第三實(shí)施例。裝置2a具有一個(gè)直線輸送裝置3a和一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)的搬運(yùn)裝置4a。此外，設(shè)備1a具有工站80A-80H。
直線輸送裝置4a具有一條軌道，一條傳送帶13a設(shè)置在該軌道上。如以上對(duì)第一實(shí)施例的傳送帶13所作的說(shuō)明那樣，該傳送帶13a也延伸于直線輸送裝置3a的轉(zhuǎn)向端15a、16a之間并在轉(zhuǎn)向端16a上借助一個(gè)主動(dòng)輪18a由一個(gè)適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)裝置19a如可控的伺服電動(dòng)機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)。
輸送裝置3a具有一條中心軸線20a，它也是傳送帶13a的中心軸線。在傳送帶13a上設(shè)置了用于CD的托座。在圖3中，可以看到托座21a-28a。托座相對(duì)中心軸線對(duì)稱(chēng)地成對(duì)布置。例如，托座21a和28a或托座22a和27a構(gòu)成了相對(duì)中心軸線20a對(duì)稱(chēng)的一對(duì)。
搬運(yùn)裝置4a通過(guò)一個(gè)適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)裝置而可以轉(zhuǎn)動(dòng)并可以抬高并且它可從上面被固定住地設(shè)置在傳送帶13a的上方。搬運(yùn)裝置4的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線垂直于直線輸送裝置3a的中心軸線20a。搬運(yùn)裝置4a在相應(yīng)的徑向延伸的臂420a-431a上具有十二個(gè)撿拾頭400a-411a。撿拾頭400a-411a用于撿拾并放下CD并且為此通過(guò)一個(gè)未示出的控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行適當(dāng)控制。
如圖3所示，撿拾頭400a-411a設(shè)置在一個(gè)外圓41a上，其中可轉(zhuǎn)動(dòng)的搬運(yùn)裝置4a的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線經(jīng)過(guò)外圓41a的中點(diǎn)40a。撿拾頭400a-411a以一定角度α＝30°等間隔分布在外圓上。
外圓41a的直徑是如此確定的，即在圖3所示的裝置2a位置上，在傳送帶13a上共有兩個(gè)相對(duì)中心軸線20a對(duì)稱(chēng)的托座對(duì)位于外圓41a上。具體地說(shuō)，其在圖3中就是托座對(duì)23a、26a和22a、27a。相應(yīng)地，外圓41a的直徑等于托座22a和26a或托座23a和27a之間的距離。
圖3所示的工站80A-80H或是給CD上漆的上漆工站80A-80D，或者邊緣清理工站80E-80H。上漆工站80A-80D具有轉(zhuǎn)盤(pán)、可擺動(dòng)的噴漆嘴以及具有用于要上漆的CD的各自撿拾頭中點(diǎn)81A-81H的撿拾頭。邊緣清理工站80E-80H具有轉(zhuǎn)盤(pán)、邊緣刮刀和具有撿拾頭中點(diǎn)81E-81H的撿拾頭。
工站80A-80H的各撿拾頭中點(diǎn)81A-81H設(shè)置在外圓41a上并完全相反地成對(duì)位于外圓41a上。在這種情況下，結(jié)成對(duì)的工站是同類(lèi)型的。
此外，兩個(gè)同樣的工站分別緊鄰地設(shè)置在外圓41a上，它們通過(guò)一個(gè)公用驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)驅(qū)動(dòng)，盡管也可以設(shè)置獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)裝置。
以下，簡(jiǎn)短說(shuō)明根據(jù)第一實(shí)施例的裝置2的工作方式。
已經(jīng)過(guò)處理CD位于工站上，它們?cè)谏掀峁ふ?A、6C中經(jīng)過(guò)涂覆并且其邊緣在邊緣清理工站中經(jīng)過(guò)清理。
在搬運(yùn)裝置4的徑向臂上的撿拾頭42-47在處理CD的過(guò)程中位于一個(gè)中間位置上，即它們位于相鄰工站之間。因此，如此定位搬運(yùn)裝置4、5，即在工站上沒(méi)有任何撿拾頭42-47。參見(jiàn)圖1，這意味著搬運(yùn)裝置4、5轉(zhuǎn)離其所示位置一個(gè)角度α/2＝30°。
傳送帶的托座在轉(zhuǎn)向端15上通過(guò)裝載站被裝上要處理的CD。在裝載過(guò)程后，只應(yīng)裝載那些被定位在外圓41和66上的傳送帶13托座。在圖1的設(shè)備1中，這是如此進(jìn)行的，即首先在轉(zhuǎn)向端15上通過(guò)裝載站給一個(gè)托座裝載CD，不裝載下個(gè)托座，對(duì)下兩個(gè)托座進(jìn)行裝載，再對(duì)一個(gè)托座不進(jìn)行裝載，最后還給一個(gè)托座裝載要處理的CD。傳送帶總是以一定的間距d按節(jié)拍移動(dòng)，直到最后所有裝上CD的托座都被安置在其中一個(gè)外圓41或66上為止。在圖1中，這樣的托座就是托座22、24、25、27。
在給托座裝CD的過(guò)程中，在轉(zhuǎn)向端16上通過(guò)卸載裝置從傳送帶上卸下已有先前的工作周期處理過(guò)的CD。
一旦已裝載的托座22、24、25、27都被安置在外圓41或66上，則搬運(yùn)裝置4、5馬上轉(zhuǎn)入圖1所示的位置，在該位置上，撿拾頭42-47或是設(shè)置在撿拾頭中點(diǎn)60A-60C上，或是在托座22和24上，這種情況同樣適用于由搬運(yùn)裝置5、四個(gè)工站7A-7D和傳送帶13構(gòu)成的設(shè)備1的第二組。
在這個(gè)位置上，撿拾頭42-47為了抓住CD而降低并隨后又升高。在這種情況下，未處理的CD同時(shí)被托座取走并且處理過(guò)的CD被工站的撿拾頭取走并一起被提高。
搬運(yùn)裝置4和已撿拾的CD一起順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度α＝60°。在這里，例如被托座22撿拾的未處理CD被送往工站6A的撿拾頭中點(diǎn)60A，被工站6A撿拾的CD被送往邊緣清理工站6B，等等。
在新的位置上，使撿拾頭降低并且它們把CD放下到工站撿拾頭中點(diǎn)上或傳送帶13的托座上。
在CD被下放在托座和工站上后，使搬運(yùn)裝置4又轉(zhuǎn)入一個(gè)中間位置或過(guò)渡位置上，在該位置上，臂48-53和進(jìn)而搬運(yùn)裝置的撿拾頭設(shè)置在相鄰工站之間。這種情況同樣適用于第二搬運(yùn)裝置5及其基片撿拾。
在CD在上漆工站和邊緣清理工站中進(jìn)行加工的過(guò)程中，對(duì)傳送帶13進(jìn)行卸載并且如上所述地重新給其裝載要處理的CD。
而圖2的設(shè)備1b與圖1的設(shè)備1的區(qū)別在于，沿加長(zhǎng)的輸送裝置3設(shè)置由第三搬運(yùn)裝置和四個(gè)對(duì)應(yīng)的工站組成的第三組。
當(dāng)圖2所示的裝卸裝置工作時(shí)，與圖1相比，由此出現(xiàn)了一個(gè)差異。傳送帶的托座如此在轉(zhuǎn)向端15b通過(guò)裝載站加裝CD，即在兩個(gè)裝上CD的且設(shè)置在各組的一個(gè)公共外圓上的托座之間留有兩個(gè)未裝載的托座，這兩個(gè)托座在傳送帶裝載后位于搬運(yùn)裝置下方。在第一托座裝上CD后，放過(guò)兩個(gè)托座，隨后再裝載兩個(gè)托座，隨后再放過(guò)兩個(gè)托座。為了通過(guò)搬運(yùn)裝置撿拾來(lái)?yè)焓昂头畔翪D，把傳送帶13b定位于圖2所示的位置上，其中已裝載的托座安置在搬運(yùn)裝置的各外圓上。
隨后，控制這三個(gè)搬運(yùn)裝置來(lái)輸送在工站和托座上的CD，如已結(jié)合圖1的設(shè)備的工作方式所述的那樣。
在圖3的設(shè)備1a中，如此繼續(xù)實(shí)施本發(fā)明的設(shè)想，即對(duì)搬運(yùn)裝置4a來(lái)說(shuō)，共設(shè)置了十二個(gè)撿拾頭400a-411a。在圖3所示的位置上，可以通過(guò)這些撿拾頭同時(shí)從托座22a、27a、23a、26a和工站80A-80H的撿拾頭中點(diǎn)81A-81H中撿拾四個(gè)未處理的CD。在拾起CD后，使搬運(yùn)裝置4a轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度2α＝60°，或者說(shuō)轉(zhuǎn)動(dòng)在外圓41a上的兩個(gè)相鄰撿拾頭之間的角間距的兩倍。因此，同時(shí)共有四個(gè)CD被送往上漆工站80A-80D并有四個(gè)CD被送往邊緣清理工站，四個(gè)已處理的CD被送往托座22a、27a、23a、26a。在放下CD后，使搬運(yùn)裝置4a和在上述實(shí)施例中一樣轉(zhuǎn)入一個(gè)中間位置，在該中間位置上，撿拾頭被安置在工站或托座之間或一個(gè)工站和一個(gè)托座之間。隨后，可以把處理過(guò)的CD送往卸載站并借助裝載站給托座裝載要處理的新CD并在工站上進(jìn)行處理。
盡管結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例描述了本發(fā)明，但本發(fā)明不局限于特定的實(shí)施例。
例如，還可以通過(guò)其它組來(lái)擴(kuò)建給圖1、2的設(shè)備，這些組由一個(gè)與搬運(yùn)裝置4、5相似地具有數(shù)量適當(dāng)?shù)墓ふ镜陌徇\(yùn)裝置構(gòu)成，確切地說(shuō)，在相應(yīng)延長(zhǎng)直線輸送裝置3的情況下，擴(kuò)建了圖1、2的設(shè)備。在這種情況下，一定要注意，各外圓的直徑與在傳送帶13、13a或13b上的相鄰?fù)凶g的間距d成適當(dāng)?shù)谋壤?，只給這樣的托座裝載CD，即它們可以被安置在相應(yīng)的外圓上。此外，代替CD地，也可以加工其它基片，或者通過(guò)除傳送帶13、13a或13b之外的其它方式來(lái)實(shí)現(xiàn)直線輸送裝置。
權(quán)利要求
1.一種基片裝卸裝置(1；1a；1b)，它具有一個(gè)直線輸送基片的輸送裝置(3；3a；3b)和至少一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的且用于在該輸送裝置(3；3a；3b)和至少一個(gè)工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之間輸送基片的搬運(yùn)裝置(4，5；4a)，其特征在于，輸送裝置(3；3a；3b)被設(shè)置在至少兩個(gè)工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之間且所述的至少一個(gè)搬運(yùn)裝置(4，5；4a)被設(shè)置在輸送裝置(3；3a；3b)的上方。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，搬運(yùn)裝置(4，5；4a)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心(40，65；40a)位于輸送裝置(3；3a；3b)的一條中心軸線(20；20b；20a)上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，搬運(yùn)裝置(4，5；4a)具有設(shè)置在一個(gè)外圓(41，66；41a)上的基片用撿拾頭(42-47；400a-411a)。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，撿拾頭(42-47；400a-411a)等間隔地分布在外圓(41，66；41a)上。
5.如權(quán)利要求3或4所述的裝置，其特征在于，撿拾頭(42-47；400a-411a)設(shè)置在搬運(yùn)裝置(4，5；4a)的徑向臂(48-53；420-431)上。
6.如前述權(quán)利要求之一所述的裝置，其特征在于，輸送裝置(3；3a；3b)具有一條傳送帶(13；13a；13b)。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，傳送帶(13；13a；13b)延伸于一個(gè)裝載站和一個(gè)卸載站之間。
8.如權(quán)利要求6或7所述的裝置，其特征在于，傳送帶(13；13a；13b)具有用于基片的托座(21-28；21a-28a)。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，托座(21-28；21a-28a)在傳送帶(13；13a；13b)的運(yùn)動(dòng)方向上均勻間隔開(kāi)。
10.如權(quán)利要求8或9所述的裝置，其特征在于，托座(21-28)設(shè)置在傳送帶(13；13b)的中心軸線(20；20a；20b)上。
11.如權(quán)利要求8或9所述的裝置，其特征在于，總是至少有兩個(gè)托座(21a-28a)是相對(duì)中心軸線(20a)對(duì)稱(chēng)地設(shè)置的。
12.如前述權(quán)利要求之一所述的裝置，其特征在于，至少兩個(gè)托座(21-28；21a-28a)設(shè)置在外圓(41，66；41a)上以便裝卸基片。
13.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，工站(6A-6D；80A-H)的撿拾頭中點(diǎn)(60A-D；80A-D)設(shè)置在外圓(41；41a)上。
14.如權(quán)利要求12或13所述的裝置，其特征在于，工站(6A-6D；80A-H)完全相反地成對(duì)設(shè)置在外圓(41，66；41a)上。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，組成對(duì)的工站(6A-6D；80A-H)是同一類(lèi)型的。
16.如前述權(quán)利要求之一所述的裝置，其特征在于，用同一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)在外圓(41a)上緊鄰設(shè)置的工站(80A-H)。
17.如權(quán)利要求3-16之一所述的裝置，其特征在于，搬運(yùn)裝置(4；4a)的撿拾頭(42-47；400a-411a)的數(shù)量等于設(shè)置在外圓(41；41a)上的托座(22，24；22a，23a，26a，27a)和工站(6A-6D；80A-H)的數(shù)量。
18.如權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于，當(dāng)裝卸載時(shí)，所有撿拾頭(42-47；400a-411a)或是被安置在輸送裝置(3；3a；3b)的托座(22，24，25，27；22a，23a，26a，27a)上，或是被安置在工站(6A-6D，7A-7D；80A-H)的撿拾頭中點(diǎn)上。
19.如前述權(quán)利要求之一所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個(gè)用于同時(shí)打開(kāi)和關(guān)閉撿拾頭(42-47；400a-411a)的控制機(jī)構(gòu)。
全文摘要
當(dāng)輸送裝置(3;3a;3b)設(shè)置在至少兩個(gè)工站(6A－6D;7A－7D;80A－H)之間且至少這一個(gè)搬運(yùn)裝置(4,5;4a)被設(shè)置在輸送裝置(3;3a;3b)的上方時(shí),一種具有一個(gè)直線輸送基片的輸送裝置(3;3a;3b)和至少一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的且用于在該輸送裝置(3;3a;3b)和至少一個(gè)工站(6A－6D;7A－7D;80A－H)之間輸送基片的搬運(yùn)裝置(4,5;4a)的基片裝卸裝置(1;1a;1b)有少量部件和需要小塊地方就足夠了。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1376305SQ00813269
公開(kāi)日2002年10月23日 申請(qǐng)日期2000年9月20日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月23日
發(fā)明者K·韋伯, M·塞曼, J·卡利斯 申請(qǐng)人:施蒂格哈馬技術(shù)股份公司