全息記錄再現(xiàn)裝置和全息再現(xiàn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及進(jìn)行使用全息術(shù)的記錄或再現(xiàn)的裝置和全息再現(xiàn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前，通過使用藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光的Blu-ray Disc (TM)標(biāo)準(zhǔn)，在民用中也能夠?qū)崿F(xiàn)具有50GB程度的記錄容量的光盤的商品化。今后，在光盤中也要求100GB?ITB這樣與HDD (Hard Disk Drive:硬盤驅(qū)動器)容量相同程度的大容量化。
[0003]但是，為了在光盤中實現(xiàn)這樣的超高密度，需要與通過短波長化和物鏡高NA化實現(xiàn)的高密度化技術(shù)不同的新方式的高密度化技術(shù)。
[0004]在進(jìn)行關(guān)于下一代存儲技術(shù)的研究中，利用全息術(shù)記錄數(shù)字信息的全息記錄技術(shù)受到了關(guān)注。
[0005]全息記錄技術(shù)指的是使被空間光調(diào)制器二維調(diào)制后的具有頁數(shù)據(jù)信息的信號光在記錄介質(zhì)的內(nèi)部與參考光重合，用此時產(chǎn)生的干涉條紋圖案在記錄介質(zhì)內(nèi)產(chǎn)生折射率調(diào)制從而將信息記錄在記錄介質(zhì)中的技術(shù)。
[0006]再現(xiàn)信息時，對記錄介質(zhì)照射記錄時使用的參考光時，記錄介質(zhì)中記錄的全息圖起到如衍射光柵那樣的作用而產(chǎn)生衍射光。該衍射光被再現(xiàn)為與記錄的信號光包括相位信息在內(nèi)為相同的光。
[0007]對于再現(xiàn)的信號光，用CMOS或CXD等光檢測器二維地高速檢測。這樣，全息記錄技術(shù)能夠用I個全息圖在光記錄介質(zhì)中一并記錄二維的信息，進(jìn)而能夠再現(xiàn)該信息，而且能夠在記錄介質(zhì)的某個場所重疊寫入多個頁數(shù)據(jù)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)大容量且高速的信息的記錄再現(xiàn)。
[0008]作為全息記錄再現(xiàn)裝置的結(jié)構(gòu)，例如在專利文獻(xiàn)I中有記載。該文獻(xiàn)中記載了:“記錄介質(zhì)I的形狀例如是盤狀，被夾緊機(jī)構(gòu)固定在主軸電機(jī)200上，通過主軸電機(jī)200旋轉(zhuǎn)驅(qū)動而能夠使記錄介質(zhì)上的可干涉性光束的照射位置在切向上移動。主軸電機(jī)200固定在螺桿電機(jī)201上，通過螺桿電機(jī)201進(jìn)行旋轉(zhuǎn)進(jìn)給而能夠使記錄介質(zhì)上的可干涉性光束的照射位置也在徑向上移動?！?br>[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)1:日本特許4963509

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的課題
[0013]全息記錄的一大優(yōu)點在于能夠記錄大容量的數(shù)據(jù)這一點。但是，追求記錄容量增大的情況下，需要使照射信號光和參考光的位置的定位控制的精度比以往更加提高。
[0014]如專利文獻(xiàn)I的結(jié)構(gòu)那樣，在主軸電機(jī)上固定全息記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)的情況下，例如偏心成為問題。偏心指的是主軸電機(jī)的旋轉(zhuǎn)中心與圓盤狀全息記錄介質(zhì)的中心不一致。關(guān)于偏心的原因，是因全息記錄介質(zhì)自身的偏心和安裝在主軸電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸上的全息記錄介質(zhì)固定部的偏心的組合而發(fā)生，它們都是在制造工藝中產(chǎn)生的偏心引起的。因此，存在每次將全息記錄介質(zhì)插入全息記錄再現(xiàn)裝置時，偏心的程度都變化這樣的特征。
[0015]專利文獻(xiàn)I的結(jié)構(gòu)中，通過分別用螺桿電機(jī)控制半徑r、用主軸電機(jī)控制旋轉(zhuǎn)角Θ而在全息記錄介質(zhì)上移動，變更照射信號光和參考光的位置。
[0016]用圖25說明存在偏心的情況下的課題。此處，為了簡便，考慮在記錄時不存在偏心地記錄，在再現(xiàn)時存在偏心的情況。圖25(a)示出了不存在偏心的情況下的理想的參考光照射位置，考慮再現(xiàn)在半徑r和旋轉(zhuǎn)角Θ記錄的全息圖的情況。點O是圓盤狀全息記錄介質(zhì)的中心，點P是理想的參考光照射位置。此處，因為假設(shè)記錄時不存在偏心地記錄，所以在點P上記錄有全息圖。
[0017]另一方面，圖25(b)示出了存在偏心的情況下的全息圖再現(xiàn)位置。示出了因為偏心，相對于圓盤狀全息記錄介質(zhì)的中心0，主軸電機(jī)的旋轉(zhuǎn)中心spO不一致的狀態(tài)。此時，在以主軸電機(jī)的旋轉(zhuǎn)中心spO為基準(zhǔn)決定半徑r的機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)的情況下，參考光照射位置成為P’的位置。因為實際記錄有全息圖的是點P，所以再現(xiàn)時參考光沒有對適當(dāng)?shù)奈恢谜丈洹＿@樣，參考光照射位置P’偏離了偏心量A p。
[0018]現(xiàn)有技術(shù)中，通過控制因制造工藝而產(chǎn)生的偏心量Δρ，而使得即使產(chǎn)生該差異Ap也不會引起問題。S卩，減小偏心量Δρ，使得即使參考光照射位置偏離了 Δρ全息圖也能夠再現(xiàn)。為此，必須使偏心量小于參考光照射位置的定位容許量Ap_th。
[0019]這樣，存在偏心的情況下的課題的第一點，在于因參考光照射位置偏離Ap而導(dǎo)致全息圖再現(xiàn)品質(zhì)劣化。
[0020]但是，另一方面，在全息圖中也存在高密度記錄的要求。實現(xiàn)高密度記錄的情況下，參考光照射位置的定位容許量Ap_th減小。結(jié)果，難以使偏心量Ap小于參考光照射位置的定位容許量Ap_th而制造。
[0021]該情況下，參考光照射位置是P’，全息圖不能適當(dāng)?shù)卦佻F(xiàn)。因此，為了再現(xiàn)目標(biāo)全息圖，需要再次進(jìn)行被稱為尋軌的定位動作。存在偏心的情況下的課題的第二點，在于因全息圖再現(xiàn)失敗而引起再現(xiàn)傳輸速率降低。
[0022]以上說明了在記錄時不存在偏心地記錄、在再現(xiàn)時存在偏心的情況，但實際上在記錄時也可能存在偏心。如果將圖25 (b)置換為記錄時進(jìn)行說明，則點P是理想的全息圖記錄位置，點P’是實際的全息圖記錄位置。在記錄時存在偏心的情況下，要在半徑r和旋轉(zhuǎn)角Θ記錄的全息圖的記錄位置會偏離。在當(dāng)初的再現(xiàn)時的說明中假設(shè)全息圖被記錄在理想位置即點P進(jìn)行了說明，但在記錄時存在偏心且與再現(xiàn)時的偏心不同的情況下，圖25(b)中實際記錄有全息圖的位置不是點P而是別的位置。即，如果也考慮記錄時的偏心，則上述第一和第二課題變得更加顯著。但是，專利文獻(xiàn)I完全沒有考慮介質(zhì)的偏心。
[0023]這樣，為了進(jìn)行全息圖的高密度記錄，參考光照射位置的定位容許量Ap_th的要求變得嚴(yán)格，在現(xiàn)有技術(shù)中難以實現(xiàn)對全息記錄介質(zhì)的適當(dāng)?shù)挠涗浽佻F(xiàn)。
[0024]于是，本發(fā)明的目的在于提供一種實現(xiàn)對全息記錄介質(zhì)的適當(dāng)?shù)挠涗浐?或再現(xiàn)的全息記錄再現(xiàn)裝置。
[0025]用于解決課題的技術(shù)方案
[0026]上述課題例如通過權(quán)利要求書中記載的發(fā)明解決。
[0027]發(fā)明效果
[0028]根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)對全息記錄介質(zhì)的適當(dāng)?shù)挠涗浐?或再現(xiàn)。
【附圖說明】
[0029]圖1是表示實施例1的全息記錄再現(xiàn)裝置的框圖。
[0030]圖2是說明全息記錄再現(xiàn)裝置的記錄原理的圖。
[0031]圖3是說明全息記錄再現(xiàn)裝置的再現(xiàn)原理的圖。
[0032]圖4(a)是全息記錄再現(xiàn)裝置中的直到記錄或再現(xiàn)的準(zhǔn)備完成的流程圖。
[0033]圖4 (b)是全息記錄再現(xiàn)裝置中的記錄處理的流程圖。
[0034]圖4 (c)是全息記錄再現(xiàn)裝置中的再現(xiàn)處理的流程圖。
[0035]圖5是實施例1中的尋軌處理的流程圖。
[0036]圖6是實施例1中的正交入射角度優(yōu)化處理的流程圖。
[0037]圖7(a)示出了參考光的正交入射角度從最佳值偏移至負(fù)方向的情況下的光檢測器的亮度分布。
[0038]圖7(b)示出了參考光的正交入射角度是最佳值的情況下的光檢測器的亮度分布。
[0039]圖7(c)示出了參考光的正交入射角度從最佳值偏移至正方向的情況下的光檢測器的亮度分布。
[0040]圖8(a)是說明本說明書中的入射角度和正交入射角度的圖。
[0041]圖8(b)是說明本說明書中的入射角度和正交入射角度的圖。
[0042]圖8(c)是說明本說明書中的入射角度和正交入射角度的圖。
[0043]圖9是說明實施例1中的第一入射角度控制電路21的圖。
[0044]圖10(a)是說明偏心補(bǔ)償控制系統(tǒng)理想地工作的情況的圖。
[0045]圖10(b)是說明不使用本發(fā)明的情況下的課題的圖。
[0046]圖11(a)是將布拉格衍射條件代入全息圖的再現(xiàn)的情況的圖。
[0047]圖11 (b)是表示參考光的波數(shù)矢量Kr與光柵矢量(grating vector)的合成的圖。
[0048]圖12(a)是說明Ewald球的圖。
[0049]圖12(b)是說明發(fā)生了全息圖的旋轉(zhuǎn)的情況下的補(bǔ)償方法的圖。
[0050]圖13是說明實施例1中的全息記錄介質(zhì)的圖。
[0051]圖14是用于說明實施例1中的各傳感器的固定位置的圖。
[0052]圖15是用于說明實施例1中的角度檢測用標(biāo)記和從旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器輸出的信號的圖。
[0053]圖16(a)是用于說明實施例1中的偏心檢測用標(biāo)記的圖。
[0054]圖16(b)是說明實施例1中的第一偏心檢測傳感器的輸出信號的圖。
[0055]圖17是表示實施例1中的主軸控制電路的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0056]圖18是表示實施例1中的半徑方向輸送控制電路的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0057]圖19是表示實施例1中的偏心補(bǔ)償電路和移動臺驅(qū)動電路的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0058]圖20(a)是用于說明變更了第一偏心檢測傳感器的固定位置的情況的圖。
[0059]圖20(b)是用于說明變更了第一偏心檢測傳感器的固定位置的情況下的第一偏心檢測傳感器的輸出信號的圖。
[0060]圖21 (a)是用于說明不使用實施例1的控制方法的情況的圖。
[0061]圖21 (b)是用于說明不使用實施例1的控制方法的情況下的課題的圖。
[0062]圖22 (a)表示記錄時的數(shù)據(jù)處理流程。
[0063]圖22 (b)表示再現(xiàn)時的數(shù)據(jù)處理流程。
[0064]圖23是全息記錄再現(xiàn)裝置內(nèi)的信號生成電路的框圖。
[0065]圖24是全息記錄再現(xiàn)裝置內(nèi)的信號處理電路的框圖。
[0066]圖25 (a)是用于說明不存在偏心的情況的圖。
[0067]圖25(b)是用于說明存在偏心的情況的圖。
[0068]圖26是實施例2中的正交入射角度優(yōu)化處理的流程圖。
[0069]圖27是說明實施例2中的最佳的正交入射角度的計算方法的圖。
[0070]圖28是實施例3中的尋軌處理的流程圖。
[0071]圖29是實施例3中的正交入射角度優(yōu)化處理的流程圖。
[0072]圖30是表示實施例4的全息記錄再現(xiàn)裝置的框圖。
【具體實施方式】
[0073]以下，用【附圖說明】本發(fā)明的實施例。
[0074]實施例1
[0075]按照【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。圖1是表示利用全息術(shù)記錄和/或再現(xiàn)數(shù)字信息的全息記錄介質(zhì)的記錄再現(xiàn)裝置的框圖。
[0076]全息記錄再現(xiàn)裝置10經(jīng)由輸入輸出控制電路90與外部控制裝置91連接。在全息記錄介質(zhì)I中記錄信息的情況下，全息記錄再現(xiàn)裝置10用輸入輸出控制電路90從外部控制裝置91接收要記錄的信息信號。從全息記錄介質(zhì)I再現(xiàn)信息的情況下，全息記錄再現(xiàn)裝置10用輸入輸出控制電路90對外部控制裝置91發(fā)送再現(xiàn)出的信息信號。
[0077]本實施例中的全息記錄介質(zhì)I是圓盤狀。進(jìn)而，本實施例中的全息記錄介質(zhì)I具有2種規(guī)定模式的標(biāo)記。一個是角度檢測用標(biāo)記，是用于檢測全息記錄介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)角度的標(biāo)記。另一個是偏心檢測用標(biāo)記，是用于檢測上述全息記錄介質(zhì)I的位置的標(biāo)記。關(guān)于這些標(biāo)記的詳情在后文中敘述。
[0078]全息記錄再現(xiàn)裝置10具備拾取器11、再現(xiàn)用參考光光學(xué)系統(tǒng)12、固化光學(xué)系統(tǒng)13、旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14、第一偏心檢測傳感器15、第二偏心檢測傳感器16、半徑位置檢測傳感器17和主軸電機(jī)50、移動臺51、半徑方向輸送部52。
[0079]主軸電機(jī)50具有能夠?qū)ζ湫D(zhuǎn)軸裝卸全息記錄介質(zhì)I的介質(zhì)裝卸部(未圖示)，全息記錄介質(zhì)I是能夠通過主軸電機(jī)50旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。同時，全息記錄介質(zhì)I是能夠通過半徑方向輸送部52以拾取器11的位置為基準(zhǔn)在半徑方向上移動的結(jié)構(gòu)。
[0080]移動臺51和旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14和第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16都固定在半徑方向輸送部52的可動部上。進(jìn)而，主軸電機(jī)50固定在移動臺51的可動部上。
[0081]結(jié)果，相對于固定拾取器11的規(guī)定的基座部件(未圖示)，搭載能夠在半徑方向上驅(qū)動的半徑方向輸送部52。在半徑方向輸送部52的可動部上，固定移動臺51和第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16和旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14。在移動臺51的可動部上固定主軸電機(jī)50。在主軸電機(jī)50的旋轉(zhuǎn)軸上，能夠固定具有規(guī)定的標(biāo)記的全息記錄介質(zhì)I。
[0082]如果著眼于可動部來記載結(jié)構(gòu)上的搭載順序，則如下所述。即，是按固定有拾取器11的規(guī)定的基座部件、可動部上固定了移動臺51和第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16和旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14的半徑方向輸送部52、主軸電機(jī)50、具有規(guī)定的標(biāo)記的全息記錄介質(zhì)I的順序搭載的機(jī)構(gòu)。
[0083]本實施例中的移動臺51是正交的2軸的可動臺，能夠在與全息記錄介質(zhì)I的記錄面大致平行的平面內(nèi)移動。本實施例中，使一方的可動軸取與半徑方向輸送部52的輸送方向相同的方向設(shè)為Y軸，設(shè)與其正交的另一方的可動軸為X軸。
[0084]照射信號光和/或參考光的位置由后述的拾取器11的位置決定，是在裝置中固定的位置。本實施例中，主軸電機(jī)50和半徑方向輸送部52的可動部和移動臺51起到變更被照射信號光和/或參考光的全息記錄介質(zhì)I上的位置的單元的作用。
[0085]旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14使用設(shè)置在全息記錄介質(zhì)I上的角度檢測用標(biāo)記來檢測全息記錄介質(zhì)I的旋轉(zhuǎn)角度。旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14的輸出信號對主軸控制電路42輸Ao變更照射信號光和參考光的旋轉(zhuǎn)角度的情況下，主軸控制電路42基于旋轉(zhuǎn)角度檢測傳感器14的輸出信號和來自控制器80的指令信號生成驅(qū)動信號，經(jīng)由主軸驅(qū)動電路43驅(qū)動主軸電機(jī)50。由此，能夠控制全息記錄介質(zhì)I的旋轉(zhuǎn)角度。
[0086]此外，半徑方向輸送部52的可動部上，固定有具有規(guī)定圖案的標(biāo)尺18。半徑位置檢測傳感器17使用標(biāo)尺18檢測半徑方向輸送部52的可動部的位置。變更照射信號光和參考光的半徑位置的情況下，半徑方向輸送控制電路44基于半徑位置檢測傳感器17的輸出信號和來自控制器80的指令信號生成驅(qū)動信號，經(jīng)由半徑方向輸送驅(qū)動電路45驅(qū)動半徑方向輸送部52。由此在半徑方向上輸送全息記錄介質(zhì)I。由此，能夠控制照射信號光和參考光的半徑位置。
[0087]第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16使用設(shè)置在全息記錄介質(zhì)I上的偏心檢測用標(biāo)記來檢測全息記錄介質(zhì)I的位置。第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16的輸出信號對偏心補(bǔ)償電路40輸入。偏心補(bǔ)償電路40生成用于補(bǔ)償偏心的驅(qū)動信號，經(jīng)由移動臺驅(qū)動電路41驅(qū)動移動臺51。第一偏心檢測傳感器15和第二偏心檢測傳感器16和偏心補(bǔ)償電路40的詳情在后文中敘述，通過該結(jié)構(gòu)，本實施例的全息記錄再現(xiàn)裝置10以偏心檢測用標(biāo)記為基準(zhǔn)進(jìn)行全息記錄介質(zhì)I的定位而工作。
[0088]拾取器11起到對全息記錄介質(zhì)I照射參考光和信號光而利用全息術(shù)在記錄介質(zhì)中記錄數(shù)字信息的作用。此時，要記錄的信息信號被控制器80經(jīng)由信號生成電路81發(fā)送至拾取器11內(nèi)的后述的空間光調(diào)制器，信號光被空間光調(diào)制器調(diào)制。
[0089]再現(xiàn)全息記錄介質(zhì)I中記錄的信息的情況下，用再現(xiàn)用參考光光學(xué)系統(tǒng)12生成使從拾取器11出射的參考光以與記錄時相反的方向?qū)θ⒂涗浗橘|(zhì)I入射的光波。用拾取器11內(nèi)的后述的光檢測器226檢測用再現(xiàn)用參考光再現(xiàn)的衍射光，用信號處理電路82再現(xiàn)信號。
[0090]此外，用衍射光強(qiáng)度計測電路83計測用再現(xiàn)用參考光再現(xiàn)的衍射光的光強(qiáng)度。本實施例的衍射光強(qiáng)度計測電路83能夠基于來自光檢測器226的信號，計測衍射光的強(qiáng)度作為亮度，能夠計測用光檢測器226接受的衍射光的亮度重心。本說明書中，像這樣，用光檢測器226檢測的亮度能夠替換為衍射光的強(qiáng)度。
[0091]進(jìn)而，參考光對全息記錄介質(zhì)I入射的角度，由第一入射角度控制電路21和第二入射角度控制電路24、以及正交入射角度控制電路29控制。此處，關(guān)于參考光對全息記錄介質(zhì)I入射的角度，在本說明書中定義“入射角度”和“正交入射角度”。以下，用圖7說明。
[0092]圖8 (a)是表示記錄時的信號光的波數(shù)矢量Ks和參考光的波數(shù)矢量Kr和全息記錄介質(zhì)I的介質(zhì)面的圖。信號光的入射面規(guī)定為包括信號光的波數(shù)矢量Ks和全息記錄介質(zhì)I的法線矢量的平面。裝置為理想狀態(tài)的情況下，參考光的波數(shù)矢量Kr存在于信號光的入射面內(nèi)，圖8(a)示出了該狀態(tài)。此時，如圖8(a)所示，在信號光的入射面內(nèi)，能夠變更參考光的波數(shù)矢量Kr的角度。本說明書中，將該參考光的入射面內(nèi)的角度的變更稱為“入射角度的變更”。
[0093]接著，對“正交入射角度的變更”進(jìn)行說明。圖8(b)和圖8(c)是用于對其說明的圖。圖8(b)示出了從圖8(a)的狀態(tài)起變更了正交入射角度的狀態(tài)。此外，圖8(c)示出了對圖8(b)從側(cè)面觀察的狀態(tài)。
[0094]從圖8(b)可知，變更參考光的正交入射角度時，參考光的波數(shù)矢量Kr不存在于信號光的入射面上，而是存在于圖8(b)的平面A上。即，“正交角度的變更”意即在與信號光的入射面正交的方向上，變更參考光對全息記錄介質(zhì)I入射的角度。
[0095]此外，在如圖8(b)所示地變更了正交入射角度的狀態(tài)下，“入射角度的變更”指的是參考光在平面A內(nèi)的角度的變更。
[0096]此外，從圖8(c)可知，入射角度變更的方向(即平面A中包括的方向)與正交入射角度變更的方向(圖8(c)的箭頭的方向)必定正交。
[0097]控制器80輸出要控制的參考光的入射角度的指令值Tgt Φ和正交入射角度的指令值Tgt P。入射角度偏移輸出電路26按照來自控制器80的指示，輸出規(guī)定的值Φ Ofs0入射角度偏移加法器27將來自控制器80的入射角度的指令值Tgt Φ和入射角度偏移輸出電路26的輸出值Φ ofs相加。
[0098]第一入射角度信號生成電路20根據(jù)拾取器11的輸出信號，生成用于控制參考光的入射角度的信號。第一入射角度控制電路21使用第一入射角度信號生成電路20的輸出信號和入射角度偏移加法器27的輸出信號生成驅(qū)動信號。從第一入射角度控制電路21輸出的驅(qū)動信號經(jīng)由第一入射角度驅(qū)動電路22對拾取器11內(nèi)的后述的致動器221供給。
[0099]此處，用圖9說明第一入射角度控制電路21的動作。第一入射角度信號生成電路20的輸出信號是表示在檢流計反射鏡220上反射后的參考光的入射角度的信號，設(shè)該入射角度為Det Φ。在入射角度偏移加法器27中，進(jìn)行指令值Tgt Φ和入射角度偏移Φ ofs的相加。
[0100]第一入射角度控制電路21具有2個輸入。第一輸入是檢測出的參考光的入射角度Det Φ，第二輸入是入射角度偏移加法器27的輸出信號。在第一入射角度控制電路21中，以第一輸入的值與第二輸入的值一致的方式生成驅(qū)動信號。
[0101]通過該動作，例如如果入射角度偏移輸出電路26輸出的入射角度偏移Oofs為零，則以在檢流計反射鏡220上反射后的參考光的入射角度成為指令值Tgt Φ的方式進(jìn)行控制。此外，如果入射角度偏移Oofs為零以外，則以在檢流計反射鏡220上反射后的參考光的入射角度成為(Tgt(i) + (i)0fS)的方式進(jìn)行控制。由此，成為通過設(shè)定微小的入射角度偏移，能夠用入射角度偏移輸出電路26對參考光的入射角度進(jìn)行微調(diào)的結(jié)構(gòu)。
[0102]此外，第二入射角度信號生成電路23根據(jù)再現(xiàn)用參考光光學(xué)系統(tǒng)12的輸出信號，生成用于控制參考光的入射角度的信號。第二入射角度控制電路24使用第二入射角度信號生成電路23的輸出信號和入射角度偏移加法器27的輸出信號生成驅(qū)