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液晶像差校正元件的制作方法

文檔序號(hào):6755964閱讀:272來源:國(guó)知局
專利名稱:液晶像差校正元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及在光盤裝置中用于校正由光拾取器的記錄/再現(xiàn)時(shí)產(chǎn)生的像差的液晶像差校正元件的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
以往,作為信息記錄媒體,已知CD、DVD等的各種光盤。這些光盤由旋轉(zhuǎn)造成的厚度偏差或彎曲等而產(chǎn)生像差(聚光點(diǎn)的變形),所以要求校正該像差來提高記錄/再現(xiàn)的精度。
特別是最近,作為下一代光盤,BD(Blu-ray Disc)引人注目。該標(biāo)準(zhǔn)是,將光源波長(zhǎng)從650nm提高到405nm,物鏡的數(shù)值孔徑(NA)從0.6提高至0.85,表面記錄密度提高至以往的DVD的約5倍的光盤。這里,由厚度偏差產(chǎn)生的球面像差與光源的波長(zhǎng)成反比,與NA的四次方成正比,所以在BD中有像差急劇增大的傾向。因此,期望研發(fā)更高精度地校正像差的技術(shù)。
作為校正上述像差的技術(shù),已知用驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)準(zhǔn)直透鏡的方式、以及利用液晶像差校正元件的方式。
前者的方式需要驅(qū)動(dòng)器,所以光拾取器變得復(fù)雜,而且有不徹底對(duì)應(yīng)于高精度的校正的問題。
與此相對(duì),液晶像差校正元件一般是將液晶面板的電極分割為同心圓狀,由此在光束的中央部和外緣部進(jìn)行不同的相位控制。
例如,在(專利文獻(xiàn)1)中記載有像差校正元件,其包括第一電極層,具有與由光盤產(chǎn)生的球面像差的分布對(duì)應(yīng)的同心圓狀的多個(gè)電極部;第二電極層,與所述第一電極層相對(duì)置;以及液晶,被所述第一電極層和第二電極層夾持,在通過的光束中產(chǎn)生與對(duì)所述第一電極層和第二電極層的施加電壓相應(yīng)的相位變化。
此外,在(專利文獻(xiàn)2)中記載有對(duì)具有多個(gè)記錄層的多層盤進(jìn)行再現(xiàn)的多層盤再現(xiàn)裝置所使用的光拾取器,該光拾取器具備配置在光源和物鏡之間的光路中、根據(jù)選擇出的記錄層對(duì)從所述光源射出的光的波面像差進(jìn)行校正的波面像差校正部件;而且,所述波面像差校正部件由液晶元件構(gòu)成,并具備用于施加電壓的、被分割為同心圓狀的電極。
為了進(jìn)行良好的校正,對(duì)于產(chǎn)生的像差施加相反的相位波是理想的。因此,在上述以往的液晶像差校正元件的情況下,期望盡可能多地形成被分割為同心圓狀的電極區(qū)域,但是,由于元件一般是超小型尺寸(直徑3~4mm程度),所以很難增加區(qū)域(十幾級(jí)左右為極限)。
因此,期望開發(fā)對(duì)產(chǎn)生的像差能夠進(jìn)行線性校正的液晶像差校正元件。
此外,作為另一個(gè)問題,如上述那樣利用液晶像差校正元件要施加相反的相位波時(shí),若產(chǎn)生的像差大,有時(shí)難以得到僅與該像差相抵的相位差。其結(jié)果,存在沒有將像差完全校正徹底的問題。
因此,期望開發(fā)在對(duì)發(fā)生的像差進(jìn)行線性的校正的同時(shí),還能夠充分地獲得該校正的絕對(duì)量(相位差)的液晶像差校正元件。
專利文獻(xiàn)1日本特開2002-237077號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求1,段0014)專利文獻(xiàn)2日本特開平10-269611號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求1~4)發(fā)明內(nèi)容因此,鑒于上述以往的狀況,本發(fā)明的目的在于,提供一種新的液晶像差校正元件,線性地校正因光盤的厚度偏差等產(chǎn)生的像差,由此能夠提高記錄/再現(xiàn)的精度。
此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種新的液晶像差校正元件,不僅線性地校正像差,而且其校正量大。
為了解決上述課題,本發(fā)明的液晶像差校正元件的特征在于,具有如下結(jié)構(gòu)具備液晶、及夾著所述液晶相對(duì)置的多個(gè)電極,在所述電極的至少一個(gè)上形成不存在電極材料的多個(gè)非電極部位;在所述非電極部位的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向。
發(fā)明效果本發(fā)明的液晶像差校正元件,在電極上形成多個(gè)非電極部位,使液晶分子沿著該非電極部位的位置上形成的不均勻的電場(chǎng)分布取向,從而產(chǎn)生透鏡效應(yīng)。由此,可以線性地校正因光盤的厚度偏差等產(chǎn)生的像差。再有,通過施加電壓來控制液晶的取向狀態(tài),由此可以使校正量任意地變化。
根據(jù)本發(fā)明,可以校正聚光點(diǎn)的變形,能夠提高記錄/再現(xiàn)的精度。因此,適合作為下一代高密度光盤的校正元件。
此外,本發(fā)明的液晶像差校正元件的特征在于,根據(jù)電極上的位置使多個(gè)非電極部位的大小、配置間隔變化,并且,沿著該非電極部位的配置圖形,將多條線狀電極按預(yù)定的間隔設(shè)置。由此,可以獲得在設(shè)置有線狀電極的多個(gè)部位強(qiáng)制性地提高由非電極部位獲得的相位差、作為整體由非電極部位產(chǎn)生的相位差曲線被增強(qiáng)的、校正量大的狀態(tài)。


圖1是實(shí)施方式1的液晶像差校正元件的俯視圖;圖2是圖1的A部分的放大圖;圖3是實(shí)施方式1的液晶像差校正元件的剖面圖;圖4是說明實(shí)施方式1的液晶像差校正元件的施加電壓時(shí)的狀態(tài)的圖;圖5是實(shí)施方式2的液晶像差校正元件的俯視圖;圖6是實(shí)施方式3的液晶像差校正元件的俯視圖;圖7是示意地表示由實(shí)施方式3的液晶像差校正元件獲得的相位變化量的圖;圖8是說明實(shí)施方式3的液晶像差校正元件的制造過程的圖。
符號(hào)說明1 液晶像差校正元件10液晶20電極21電極201 非電極部位30基板31基板40a~40d 線狀電極400 電極50 SiO2膜E 電場(chǎng)S1、S2端子R1~R3電阻P、Q 相位差曲線具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供一種液晶像差校正元件,具有如下結(jié)構(gòu)具備液晶、以及夾著所述液晶相對(duì)置的多個(gè)電極,在所述電極的至少一個(gè)上形成不存在電極材料的多個(gè)非電極部位;在所述非電極部位的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向(第一發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),在形成多個(gè)的非電極部位的中心部,相對(duì)電極在垂直方向上形成弱的電場(chǎng),在非電極部位的端部分,在傾斜的方向上形成電場(chǎng),所以,沿著該電場(chǎng)分布液晶分子不均勻地取向,從而獲得從非電極部位的中心至周邊折射率連續(xù)地變化的透鏡效應(yīng)。因此,使光束通過該透鏡部分,來提供預(yù)定的相位差、并校正像差。
此外,本發(fā)明在上述第一發(fā)明的液晶像差校正元件中,其特征在于,電極上形成的多個(gè)非電極部位的大小或配置間隔、或者這兩者根據(jù)電極上的位置而變化。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過使非電極部位的大小或配置間隔變化,設(shè)定各區(qū)域中獲得的相位差,作為元件整體進(jìn)行與像差相應(yīng)的最佳的校正。
此外,本發(fā)明提供一種液晶像差校正元件,具備液晶、以及夾著所述液晶相對(duì)置的多個(gè)電極;在所述電極的至少一個(gè)上,不存在電極材料的多個(gè)非電極部位形成為大小或配置間隔、或者這兩者根據(jù)所述電極上的位置而變化的配置圖形來;在所述非電極部位的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向;并且,將施加相互不同的電壓的多條線狀電極沿所述配置圖形以預(yù)定的間隔設(shè)置(第三發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過如上述那樣使伴隨透鏡效應(yīng)的非電極部位的大小或配置間隔變化,獲得與產(chǎn)生的像差對(duì)應(yīng)的相位差曲線,并且,通過設(shè)置多條線狀電極并在預(yù)定部位再施加電壓,上述相位差曲線被強(qiáng)調(diào),成為最佳校正量。
此外,本發(fā)明在上述第二發(fā)明的液晶像差校正元件中,其特征在于,多個(gè)非電極部位的大小及配置間隔沿著將電極分為同心圓狀時(shí)的半徑方向變化(第四發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過同心圓狀地改變獲得的相位差,從而良好地校正球面像差。
此外,本發(fā)明在上述第三發(fā)明的液晶像差校正元件中,其特征在于,多個(gè)非電極部位的大小及配置間隔沿著將電極分為同心圓狀時(shí)的半徑方向變化,多條線狀電極沿著所述同心圓狀地變化的配置圖形設(shè)置為環(huán)狀(第五發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過設(shè)置為環(huán)狀的線狀電極,沿著電極的半徑方向的多個(gè)部位的相位差被強(qiáng)制地上拉,與由上述非電極部位產(chǎn)生的作用相結(jié)合良好地校正球面像差。
此外,本發(fā)明在上述第四或第五發(fā)明的液晶像差校正元件中,其特征在于,多個(gè)非電極部位的配置間隔在電極上的分為同心圓狀的各區(qū)域內(nèi)不規(guī)則(第六發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),將與相鄰的非電極部位的間隔形成為不規(guī)則(隨機(jī)),來防止由光干擾效應(yīng)產(chǎn)生的波面紊亂。
而且,本發(fā)明在上述第一~第六發(fā)明的液晶像差校正元件中,其特征在于,非電極部位的形狀為圓形(第七發(fā)明)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu),對(duì)于產(chǎn)生的像差,非電極部位的形狀被最佳化。
以下,詳細(xì)地說明本發(fā)明。
首先,圖1~圖4表示本發(fā)明的實(shí)施方式1。圖1是液晶像差校正元件1的俯視圖,圖2是圖1的A部分的放大圖,并且圖3是放大了液晶像差校正元件1的截面的圖。如圖3所示,液晶像差校正元件1具有液晶10、夾著該液晶10相對(duì)置的兩個(gè)電極20、21、以及基板30、31,在電極20上孔狀地形成有不存在電極材料的多個(gè)非電極部位201。再有,在圖3中,通常在基板30、31上設(shè)置的防反射膜(AR膜)、電極20、21和液晶10之間設(shè)置的液晶取向膜、透明絕緣層等省略了圖示。此外,在電極20及電極21上連接有施加電壓用的引線等。
如圖1所示,多個(gè)非電極部位201的大小及配置間隔根據(jù)電極20上的位置而連續(xù)變化。再有,非電極部位201的數(shù)目在圖1中為了簡(jiǎn)明而較少地描繪,實(shí)際上,如圖2所示,微細(xì)地形成有多個(gè)非電極部位201。而且,在該實(shí)施方式1中,沿著將電極20上分為同心圓狀時(shí)的半徑方向R,以非電極部位201的大小d1從大直徑一下成為小直徑再成為大直徑的方式、并且以配置間隔d2從寬間隔一下成為窄間隔再成為寬間隔的方式形成有連續(xù)的圖形。
在電極20、21間施加電壓的情況下,非電極部位201附近的電場(chǎng)E的狀態(tài)如圖4所示。即,在電極20和電極21相對(duì)置的部分a中,與電極垂直的方向上形成強(qiáng)的電場(chǎng),在作為非電極部位201的中心部的部分b,在與電極垂直的方向上仍然形成弱的電場(chǎng)。并且,在靠近非電極部位201和電極20的邊界的部分c成為朝向電極20電場(chǎng)傾斜的狀態(tài)。
于是,在液晶10的電介質(zhì)各向異性為正的情況下,液晶分子沿著電場(chǎng)E取向,所以在部分a液晶分子相對(duì)于電極垂直排列,在部分b由于電場(chǎng)弱,所以仍然是與電極平行的狀態(tài),在部分c會(huì)傾斜地取向。即,在非電極部位201的內(nèi)側(cè)液晶成為不均勻的取向狀態(tài)。此時(shí),相對(duì)于通過元件的光(異常光)的折射率,形成從非電極部位201的中心向周邊連續(xù)地減小的分布,所以在非電極部位201的部分呈現(xiàn)凸透鏡的效應(yīng)。由此,可以對(duì)通過的光賦予相位差。
因此,如圖1所示,在根據(jù)電極上的位置使非電極部位201的大小及配置間隔連續(xù)變化的情況下,由于在各位置獲得的相位差不同,根據(jù)產(chǎn)生的像差適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)非電極部位201的配置圖形,從而能夠作為元件整體線性地校正像差。
再有,在使施加的電壓變化的情況下,液晶分子的取向狀態(tài)根據(jù)該電壓而變化。例如,在增大電壓的情況下,即使在非電極部位201的中心,液晶分子也垂直地取向,反之,從非電極部位201的中心至周邊呈現(xiàn)折射率增大的凹透鏡效應(yīng)。即,通過施加的電壓,能夠使由元件整體獲得的相位差曲線變化,所以例如根據(jù)再現(xiàn)(RF)波形計(jì)算校正量,可以根據(jù)該結(jié)果控制電壓來實(shí)時(shí)校正產(chǎn)生的像差。
此外,在圖1的例子中,使非電極部位201的大小及配置間隔沿著半徑方向R變化。這樣,與非電極部位201的配置圖形對(duì)應(yīng)而得到同心圓狀地變化的相位差曲線,所以可以良好地校正因光盤厚度的偏差產(chǎn)生的球面像差。而且,使非電極部位201的大小及配置間隔連續(xù)地變化,所以不是像同心圓狀地分割電極的以往的像差校正元件那樣進(jìn)行階梯狀的不連續(xù)校正,而是可以進(jìn)行更加線性的校正。
而且,優(yōu)選非電極部位201的配置間隔在電極20上的分為同心圓狀的各區(qū)域(例如區(qū)域X、區(qū)域Y)內(nèi)不規(guī)則(隨機(jī)配置)。即,如圖2所示,使配置間隔h1和h2稍微不同。這樣,可以防止分別通過相鄰的非電極部位的光相互干涉而波面紊亂的狀況。
再有,在由光的波長(zhǎng)和配置間隔的關(guān)系估計(jì)幾乎沒有干涉效果的情況下,也可以使h1和h2相同而有規(guī)則地配置。
作為電極20、21,可以使用以往公知的一般的電極。具體地說,最好是采用在透明的基板30、31上形成了銦錫氧化膜的ITO電極。關(guān)于形成非電極部位201側(cè)的電極20,例如可以通過在基板30上蒸鍍鋁等金屬來構(gòu)成。
此外,作為形成非電極部位201的方法,首先,最適合采用在基板30上的整個(gè)面上形成電極20之后,通過光學(xué)加工按期望的配置圖形形成多個(gè)非電極部位201的方法。這樣,可以容易地制作出連續(xù)變化的微細(xì)的配置圖形?;蛘?,采用在基板30上蒸鍍、電鍍電極20等時(shí)隔著掩模進(jìn)行的方法。
圖5表示本發(fā)明實(shí)施方式2。該液晶像差校正元件1與上述實(shí)施方式1同樣,在電極20上形成有多個(gè)非電極部位201,但是非電極部位201的大小形成相同直徑。而且,從電極20的中心向周邊,使非電極部位201的配置間隔從寬間隔向窄間隔、再向?qū)掗g隔的連續(xù)地變化。這樣,在使非電極部位201的配置具有疏密的情況下,通過施加電壓時(shí)各非電極部位的透鏡效應(yīng),在非電極部位201的密度密的區(qū)域和稀的區(qū)域獲得的相位差不同,可以作為整體線性地校正通過元件的光束的球面像差。
下面,根據(jù)圖6~圖8說明有關(guān)本發(fā)明的實(shí)施方式3。圖6的液晶像差校正元件1與上述實(shí)施方式1同樣,在夾著液晶的電極20上形成多個(gè)非電極部位201,使該非電極部位201的大小及配置間隔向半徑方向R連續(xù)地變化。并且,在該實(shí)施方式3中,其特征在于,沿著非電極部位201的配置圖形(同心圓地變化的圖形)設(shè)置環(huán)狀的線狀電極40a~40d。
線狀電極40a~40d構(gòu)成為,連接在端子S1、S2上、利用電阻R1~R3施加不同的電壓。
圖7示意地表示由該液晶像差校正元件1獲得的相位差曲線。如圖7所示,在通過非電極部位201的透鏡效應(yīng)獲得相位差曲線P時(shí),在設(shè)置了線狀電極40a~40d的部位s、t、u、v中液晶進(jìn)一步取向,由此,相位差僅提高預(yù)定量,作為結(jié)果,成為校正量大的相位差曲線Q的狀態(tài)。這里,線狀電極40a~40d的設(shè)置位置、以及施加在各線狀電極上的電壓值可以根據(jù)由非電極部位201引起的相位差曲線P來決定。即,優(yōu)選設(shè)定與相位差曲線P的相位變化量成正比的電壓值,例如在端子S1、S2之間施加1V的電壓的情況下,可以將電阻R1~R3設(shè)定為,在線狀電極40a(相當(dāng)于圖7的s)上成為0V的施加電壓、在線狀電極40b(相當(dāng)于t)上成為0.6V的施加電壓、在線狀電極40c(相當(dāng)于u)上成為1V的施加電壓、在線狀電極40d(相當(dāng)于v)上成為0.1V的施加電壓。再有,對(duì)于線狀電極40a~40d當(dāng)然不局限于圖6的電路結(jié)構(gòu)。
圖8表示實(shí)施方式3的液晶像差校正元件1的制造過程的一個(gè)例子。首先,如圖8(a)所示,在玻璃基板30上形成ITO等的電極400(低電阻膜、幾Ω~幾十Ω)。再有,在本例子中,在基板30和電極400之間形成有SiO2膜50。該膜是防止來自基板30的鈉成分溶出的鈍化膜,可以根據(jù)需要設(shè)置。
接著,如圖8(b)、(c)所示,進(jìn)行電極400的構(gòu)圖形成線狀電極40a,在其上形成ITO等的電極20(高電阻膜,幾十Ω~幾百kΩ)。然后,如圖8(d)所示,通過在預(yù)定的位置形成多個(gè)非電極部位201,可以獲得形成了線狀電極40a(40b~40d)和電極20的目標(biāo)基板。再有,線狀電極40a與元件的大小相比非常細(xì)(幾μm~幾十μm程度),所以根據(jù)情況,也可以由ITO以外的不透明的金屬構(gòu)成。
多個(gè)非電極部位201的配置圖形,不限定于上述實(shí)施方式1~3。即,根據(jù)產(chǎn)生的像差等,可以根據(jù)電極20上的位置適當(dāng)?shù)卦O(shè)定非電極部位201的大小或配置間隔、或者這兩者。具體地說,例如,可列舉出以下情況與圖1相反,從電極20的中心向周邊,使非電極部位的大小從小直徑向大直徑、再向小直徑連續(xù)地變化的情況;或者與圖5相反,從電極20的中心向周邊,使非電極部位的配置間隔從窄間隔向?qū)掗g隔、再向窄間隔連續(xù)地變化。此外,如圖1及圖5,不限于使大小及配置間隔同心圓狀地變化的情況,例如在將電極20分為左右區(qū)域時(shí),也可以在各自的區(qū)域形成為不同的配置圖形。這種情況下,可以有效地校正因盤的彎曲等產(chǎn)生的慧形像差(coma)。
再有,在上述各實(shí)施方式中,僅在電極20上形成有非電極部位201,但也可以在電極20和電極21兩者上形成非電極部位。這種情況下,即使在電極21的附近,液晶分子也不均勻地取向,所以獲得的透鏡效應(yīng)更強(qiáng),可以增大校正量。
此外,由分割成幾個(gè)的電極構(gòu)成電極20,在各電極上形成多個(gè)非電極部位,通過對(duì)各電極施加不同的電壓,可以作為整體賦予更復(fù)雜的相位差曲線。
此外,對(duì)置的電極不是上述那樣限于一對(duì),也可以是一對(duì)以上的電極夾著液晶而層疊。
在上述實(shí)施方式1~3中,說明了多個(gè)非電極部位201的形狀為圓形的情況,但不限于此,例如考慮產(chǎn)生的像差的種類、研磨方向等,也可以形成其他形狀。具體地說,可列舉橢圓形狀、半圓形狀等。
以上那樣的液晶像差校正元件1,例如可以與激光光源、偏振片、1/2波片、1/4波片、物鏡、受光元件等一起構(gòu)成光拾取器,并組裝在光盤裝置中使用。
由于能夠線性地校正產(chǎn)生的像差,所以可以適合于下一代BD、多層盤等高密度光盤。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的液晶像差校正元件在光盤裝置中用于校正由光拾取器的記錄/再現(xiàn)時(shí)產(chǎn)生的像差。
權(quán)利要求
1.一種液晶像差校正元件,該液晶像差校正元件構(gòu)成為,具備液晶、以及夾著所述液晶相對(duì)置的多個(gè)電極,在所述電極的至少一個(gè)上形成不存在電極材料的多個(gè)非電極部位,在所述非電極部位的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向。
2.如權(quán)利要求1所述的液晶像差校正元件,其特征在于,電極上形成的多個(gè)非電極部位的大小或配置間隔、或者這兩者根據(jù)電極上的位置而變化。
3.一種液晶像差校正元件,該液晶像差校正元件構(gòu)成為,具備液晶、以及夾著所述液晶相對(duì)置的多個(gè)電極,在所述電極的至少一個(gè)上,不存在電極材料的多個(gè)非電極部位形成為大小或配置間隔、或者這兩者根據(jù)所述電極上的位置而變化的配置圖形,在所述非電極部位的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向;并且,沿著所述配置圖形以預(yù)定的間隔設(shè)置施加不同電壓的多條線狀電極。
4.如權(quán)利要求2所述的液晶像差校正元件,其特征在于,多個(gè)非電極部位的大小及配置間隔沿著將電極分為同心圓狀時(shí)的半徑方向變化。
5.如權(quán)利要求3所述的液晶像差校正元件,其特征在于,多個(gè)非電極部位的大小及配置間隔沿著將電極分為同心圓狀時(shí)的半徑方向變化,多條線狀電極沿著所述同心圓狀地變化的配置圖形被設(shè)置成環(huán)狀。
6.如權(quán)利要求4所述的液晶像差校正元件,其特征在于,多個(gè)非電極部位的配置間隔在電極上的分為同心圓狀的各區(qū)域內(nèi)不規(guī)則。
7.如權(quán)利要求5所述的液晶像差校正元件,其特征在于,多個(gè)非電極部位的配置間隔在電極上的分為同心圓狀的各區(qū)域內(nèi)不規(guī)則。
8.如權(quán)利要求1~7中的任一項(xiàng)所述的液晶像差校正元件,其特征在于,非電極部位的形狀為圓形。
全文摘要
本發(fā)明的課題是提供一種新的液晶像差校正元件,能夠線性地校正因光盤的厚度偏差等而產(chǎn)生的像差,由此提高記錄/再現(xiàn)精度。為了解決該課題,本發(fā)明具有液晶、以及夾著液晶相對(duì)置的多個(gè)電極。在電極(20)中孔狀地形成不存在電極材料的多個(gè)非電極部位(201),在所述非電極部位(201)的內(nèi)側(cè),在施加電壓時(shí)液晶不均勻地取向而產(chǎn)生透鏡效應(yīng)。多個(gè)非電極部位(201)的大小或配置間隔、或者這兩者根據(jù)電極(20)上的位置而變化,來線性地校正像差。
文檔編號(hào)G11B7/135GK1867859SQ200480030048
公開日2006年11月22日 申請(qǐng)日期2004年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月14日
發(fā)明者中川信義, 前山裕行, 佐藤進(jìn) 申請(qǐng)人:碧理科技有限公司
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