火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，包括：火警報(bào)警系統(tǒng)、測(cè)試系統(tǒng)、電壓供應(yīng)單元以及設(shè)備機(jī)臺(tái)；其中所述電壓供應(yīng)單元與所述設(shè)備機(jī)臺(tái)連接，所述火警報(bào)警系統(tǒng)與測(cè)試系統(tǒng)并聯(lián)接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間；添加了測(cè)試系統(tǒng)，在進(jìn)行火警報(bào)警系統(tǒng)測(cè)試時(shí)，只需將測(cè)試系統(tǒng)打開(kāi)，即能夠?qū)λ鲈O(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行供電，避免了對(duì)火警報(bào)警系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試時(shí)設(shè)備機(jī)臺(tái)出現(xiàn)斷電，無(wú)法正常工作的問(wèn)題，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其一種涉及火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，晶圓廠往往需要注意避免各種意外和災(zāi)害可能帶來(lái)的損失和人員的傷亡。例如，酸槽清洗設(shè)備機(jī)臺(tái)，除了帶有廢液處理系統(tǒng)還帶有火警報(bào)警系統(tǒng)。所述火警報(bào)警系統(tǒng)能夠在所述酸液清洗機(jī)臺(tái)著火時(shí)自動(dòng)將所述酸液清洗機(jī)臺(tái)斷電，并噴出二氧化碳進(jìn)行滅火。所述火警報(bào)警系統(tǒng)需要很多感應(yīng)器裝在酸液清洗機(jī)臺(tái)不同的位置以感應(yīng)酸液清洗機(jī)臺(tái)是否有火災(zāi)出現(xiàn)。然而隨著時(shí)間的推移，感應(yīng)器往往會(huì)出現(xiàn)接觸不良、老化致使感應(yīng)器無(wú)法正常工作，此時(shí)就需要對(duì)感應(yīng)器進(jìn)行更換。為了避免發(fā)生火災(zāi)時(shí)，感應(yīng)器無(wú)法正常工作，即所述火警報(bào)警系統(tǒng)無(wú)法在第一時(shí)間噴出二氧化碳并將酸液清洗機(jī)臺(tái)斷電，通常情況會(huì)在所述火警報(bào)警系統(tǒng)添加一個(gè)火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，用于測(cè)試所述火警報(bào)警系統(tǒng)是否能夠正常工作，一般是測(cè)試傳感器是否能夠正常工作。
[0003]請(qǐng)參考圖1，所述火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)包括:電壓供應(yīng)單元、設(shè)備機(jī)臺(tái)、若干傳感器(圖未示)、若干電源繼電器21、若干火警繼電器22以及緊急操盤(pán)按鈕10 ;其中電壓供應(yīng)單元來(lái)自廠務(wù)，用于對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)等進(jìn)行供電；在所述電壓供應(yīng)單元與所述設(shè)備機(jī)臺(tái)之間連接有電源繼電器21，所述火警繼電器22與傳感器連接，傳感器的信號(hào)能夠控制所述火警繼電器22開(kāi)和關(guān)；所述火警繼電器22的開(kāi)和關(guān)能夠控制所述電源繼電器21的開(kāi)和關(guān)；所述緊急操盤(pán)按鈕10能夠手動(dòng)控制所述電壓供應(yīng)單元為所述設(shè)備機(jī)臺(tái)供電與否。
[0004]在進(jìn)行火警報(bào)警測(cè)試時(shí)，技術(shù)人員會(huì)逐個(gè)給所述傳感器信號(hào)，若傳感器能夠正常工作，則會(huì)斷開(kāi)所述火警繼電器22，進(jìn)而斷開(kāi)所述電源繼電器21，造成所述設(shè)備機(jī)臺(tái)斷電；若傳感器無(wú)法正常工作，則無(wú)法給所述火警繼電器22信號(hào)，也就無(wú)法使所述設(shè)備機(jī)臺(tái)斷電。因此需要對(duì)無(wú)法正常工作的傳感器進(jìn)行更換。然而，每次進(jìn)行火警報(bào)警測(cè)試時(shí)都需要使設(shè)備機(jī)臺(tái)停止工作，這嚴(yán)重影響了生產(chǎn)力。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)能夠測(cè)試火警報(bào)警是否能夠正常工作的同時(shí)還能避免設(shè)備機(jī)臺(tái)停止工作。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，包括:火警報(bào)警系統(tǒng)、測(cè)試系統(tǒng)、電壓供應(yīng)單元以及設(shè)備機(jī)臺(tái)；其中，所述電壓供應(yīng)單元與所述設(shè)備機(jī)臺(tái)電連接，所述火警報(bào)警系統(tǒng)與測(cè)試系統(tǒng)并聯(lián)后，接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間。
[0007]進(jìn)一步的，所述測(cè)試系統(tǒng)包括若干第一電壓繼電器、測(cè)試變壓器、測(cè)試開(kāi)關(guān)、揚(yáng)聲器以及測(cè)試?yán)^電器；所述第一電壓繼電器接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間；所述測(cè)試變壓器與電壓供應(yīng)單元連接；所述測(cè)試開(kāi)關(guān)、揚(yáng)聲器以及測(cè)試?yán)^電器串聯(lián)，并與所述測(cè)試變壓器相連。
[0008]進(jìn)一步的，所述第一電壓繼電器為3個(gè)。[0009]進(jìn)一步的，所述第一電壓繼電器為常開(kāi)繼電器。
[0010]進(jìn)一步的，所述測(cè)試?yán)^電器為常開(kāi)繼電器。
[0011]進(jìn)一步的，所述測(cè)試開(kāi)關(guān)為常開(kāi)開(kāi)關(guān)。
[0012]進(jìn)一步的，火警報(bào)警系統(tǒng)包括若干第二電壓繼電器、火警穩(wěn)壓器、若干傳感器、緊急操作按鈕以及若干火警繼電器；其中，所述第二電壓繼電器接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間并與所述第一電壓繼電器并聯(lián)；所述火警穩(wěn)壓器與電壓供應(yīng)單元連接；所述緊急操作按鈕以及火警繼電器與所述火警穩(wěn)壓器串聯(lián)；所述傳感器設(shè)置于所述設(shè)備機(jī)臺(tái)中。
[0013]進(jìn)一步的，所述第二電壓繼電器個(gè)數(shù)為3個(gè)。
[0014]進(jìn)一步的，所述第二電壓繼電器為常閉繼電器。
[0015]進(jìn)一步的，所述緊急操作按鈕為常閉開(kāi)關(guān)。
[0016]進(jìn)一步的，所述火警繼電器為常閉繼電器。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:添加測(cè)試系統(tǒng)，在進(jìn)行火警報(bào)警系統(tǒng)測(cè)試時(shí)，只需將測(cè)試系統(tǒng)打開(kāi)，即能夠?qū)λ鲈O(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行供電，避免了對(duì)火警報(bào)警系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試時(shí)設(shè)備機(jī)臺(tái)出現(xiàn)斷電，無(wú)法正常工作的問(wèn)題，提高了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中火警報(bào)警系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中火警測(cè)試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0021]請(qǐng)參考圖2，在本實(shí)施例中，提出了一種火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，所述火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)包括:火警報(bào)警系統(tǒng)、測(cè)試系統(tǒng)、電壓供應(yīng)單元以及設(shè)備機(jī)臺(tái)；其中所述電壓供應(yīng)單元與所述設(shè)備機(jī)臺(tái)連接，用于對(duì)所述設(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行供電，使設(shè)備機(jī)臺(tái)能夠正常生產(chǎn)；所述火警報(bào)警系統(tǒng)與測(cè)試系統(tǒng)并聯(lián)接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間。
[0022]在本實(shí)施例中，所述測(cè)試系統(tǒng)包括若干第一電壓繼電器310、測(cè)試變壓器(圖未示)、測(cè)試開(kāi)關(guān)420、揚(yáng)聲器410以及測(cè)試?yán)^電器300 ;所述第一電壓繼電器310接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間，所述第一電壓繼電器310為3個(gè)，分別接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)三相線之間，所述第一電壓繼電器310為常開(kāi)繼電器；所述測(cè)試變壓器與電壓供應(yīng)單元連接，所述測(cè)試變壓器用于將所述電壓供應(yīng)單元的交流電壓轉(zhuǎn)變成24V直流電壓，供測(cè)試開(kāi)關(guān)420、揚(yáng)聲器410以及測(cè)試?yán)^電器300使用；所述供測(cè)試開(kāi)關(guān)420、揚(yáng)聲器410以及測(cè)試?yán)^電器300三者串聯(lián)；其中，所述測(cè)試?yán)^電器300也為常開(kāi)繼電器，其得電與失電能夠控制所述第一電壓繼電器310的開(kāi)與關(guān)；其中，所述測(cè)試開(kāi)關(guān)420為常開(kāi)開(kāi)關(guān)，能夠由人工手動(dòng)閉合和打開(kāi)，方便進(jìn)行火警報(bào)警測(cè)試。
[0023]在本實(shí)施例中，火警報(bào)警系統(tǒng)包括若干第二電壓繼電器210、火警穩(wěn)壓器(圖未示)、若干傳感器(圖未示)、緊急操作按鈕100以及若干火警繼電器200 ;其中，所述第二電壓繼電器210個(gè)數(shù)為3個(gè)，均為常閉繼電器，所述第二電壓繼電器210分別接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間的三相線中，所述第二電壓繼電器210與所述第一電壓繼電器310并聯(lián)；所述火警穩(wěn)壓器與電壓供應(yīng)單元連接，所述火警穩(wěn)壓器用于將所述電壓供應(yīng)單元的交流電壓轉(zhuǎn)變成24V直流電壓，供緊急操作按鈕100以及火警繼電器200使用；所述緊急操作按鈕100以及火警繼電器200與所述火警穩(wěn)壓器串聯(lián)，所述緊急操作按鈕100為常閉開(kāi)關(guān)，出現(xiàn)緊急狀況時(shí)可以人工按下所述緊急操作按鈕100即能夠使所述設(shè)備機(jī)臺(tái)斷電，避免發(fā)生進(jìn)一步的危害；所述火警繼電器200為常閉繼電器，其得電與失電能夠控制所述第二電壓繼電器210的閉合和斷開(kāi)；所述傳感器設(shè)置于所述設(shè)備機(jī)臺(tái)中。
[0024]在進(jìn)行火警報(bào)警測(cè)試時(shí)，人工閉合所述測(cè)試開(kāi)關(guān)420，使所述測(cè)試?yán)^電器300得電，從而能夠使第一電壓繼電器310閉合，為所述設(shè)備機(jī)臺(tái)提供正常工作電壓，同時(shí)，由于所述揚(yáng)聲器410也得電，其能夠發(fā)出報(bào)警聲音，進(jìn)行報(bào)警。此時(shí)，再給傳感器信號(hào)，使所述火警繼電器200斷開(kāi)，進(jìn)一步導(dǎo)致所述第二電壓繼電器210斷開(kāi)時(shí)也不會(huì)使設(shè)備機(jī)臺(tái)斷電，從而能夠在保證設(shè)備機(jī)臺(tái)正常工作的同時(shí)可以對(duì)火警報(bào)警系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)的測(cè)試。
[0025]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)中，添加測(cè)試系統(tǒng)，在進(jìn)行火警報(bào)警系統(tǒng)測(cè)試時(shí)，只需將測(cè)試系統(tǒng)打開(kāi)，即能夠?qū)λ鲈O(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行供電，避免了對(duì)火警報(bào)警系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試時(shí)設(shè)備機(jī)臺(tái)出現(xiàn)斷電，無(wú)法正常工作的問(wèn)題，提高了生產(chǎn)效率。
[0026]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，包括:火警報(bào)警系統(tǒng)、測(cè)試系統(tǒng)、電壓供應(yīng)單元以及設(shè)備機(jī)臺(tái)；其中，所述電壓供應(yīng)單元與所述設(shè)備機(jī)臺(tái)電連接，所述火警報(bào)警系統(tǒng)與測(cè)試系統(tǒng)并聯(lián)后，接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間。
2.如權(quán)利要求1所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試系統(tǒng)包括若干第一電壓繼電器、測(cè)試變壓器、測(cè)試開(kāi)關(guān)、揚(yáng)聲器以及測(cè)試?yán)^電器；所述第一電壓繼電器接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間；所述測(cè)試變壓器與電壓供應(yīng)單元連接；所述測(cè)試開(kāi)關(guān)、揚(yáng)聲器以及測(cè)試?yán)^電器串聯(lián)，并與所述測(cè)試變壓器相連。
3.如權(quán)利要求2所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一電壓繼電器為3個(gè)。
4.如權(quán)利要求3所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述第一電壓繼電器為常開(kāi)繼電器。
5.如權(quán)利要求2所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試?yán)^電器為常開(kāi)繼電器。
6.如權(quán)利要求2所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試開(kāi)關(guān)為常開(kāi)開(kāi)關(guān)。
7.如權(quán)利要求2所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，火警報(bào)警系統(tǒng)包括若干第二電壓繼電器、火警穩(wěn)壓器、若干傳感器、緊急操作按鈕以及若干火警繼電器；其中，所述第二電壓繼電器接入所述電壓供應(yīng)單元與設(shè)備機(jī)臺(tái)之間并與所述第一電壓繼電器并聯(lián)；所述火警穩(wěn)壓器與電壓供應(yīng)單元連接；所述緊急操作按鈕以及火警繼電器與所述火警穩(wěn)壓器串聯(lián)；所述傳感器設(shè)置于所述設(shè)備機(jī)臺(tái)中。
8.如權(quán)利要求7所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述第二電壓繼電器個(gè)數(shù)為3個(gè)。
9.如權(quán)利要求8所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述第二電壓繼電器為常閉繼電器。
10.如權(quán)利要求7所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述緊急操作按鈕為常閉開(kāi)關(guān)。
11.如權(quán)利要求7所述的火警報(bào)警測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述火警繼電器為常閉繼電器。
【文檔編號(hào)】G08B29/00GK203480671SQ201320557969
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月9日
【發(fā)明者】潘建偉, 肖方, 倪堯, 張偉 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司