產(chǎn)生半導(dǎo)體電路布局的方法和系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明構(gòu)思涉及一種設(shè)計半導(dǎo)體器件的方法和設(shè)計半導(dǎo)體器件的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]可以通過在諸如半導(dǎo)體晶片的襯底上圖案化各種器件和其相互連接制造半導(dǎo)體器件?？梢酝ㄟ^使用電子設(shè)計自動(EDA)工具和技術(shù)設(shè)計集成電路來制造半導(dǎo)體器件。具體地，使用EDA工具可以產(chǎn)生半導(dǎo)體器件布局，其中通過設(shè)計者將電路的各種元件功能性地放置并且相互連接。
[0003]半導(dǎo)體器件布局可以轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體襯底，由此制造半導(dǎo)體器件。但是，在完成布局之前，半導(dǎo)體器件布局可能經(jīng)過校驗過程，半導(dǎo)體器件布局包括電路元件的各種物理位置和尺寸、連接導(dǎo)線和各種層。半導(dǎo)體器件的校驗過程可通過檢查布局是否符合設(shè)計規(guī)則來實現(xiàn)。但是，如果產(chǎn)生完全符合設(shè)計規(guī)則的布局，則在降低半導(dǎo)體器件的規(guī)模上可能存在限制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例，可以提供用于產(chǎn)生半導(dǎo)體電路布局的方法、系統(tǒng)和計算機程序產(chǎn)品。根據(jù)這些實施例，一種產(chǎn)生電子電路布局數(shù)據(jù)的方法可以包括:在電子存儲介質(zhì)中電子地提供代表包括第一縮放增強電路布局的第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)；可以使用標(biāo)注器層電子地定義在第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局中包括的第一縮放增強電路布局?？梢噪娮拥貙⒌谝豢s放增強電路布局替換為第二縮放增強電路布局以在電子存儲介質(zhì)中電子地產(chǎn)生代表第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)；以及可以電子地校驗代表第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)。
[0005]根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例，一種產(chǎn)生電子電路布局數(shù)據(jù)的方法可以包括:在電子存儲介質(zhì)中電子地提供代表包括設(shè)計規(guī)則違反層的第二縮放增強電路布局?？梢噪娮拥靥峁┐戆ǖ谝豢s放增強電路布局的第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)，第一縮放增強電路布局不同于第二縮放增強電路布局并且包括電子存儲介質(zhì)中的設(shè)計規(guī)則違反層?？梢噪娮拥貙⒌谝豢s放增強電路布局替換為第二縮放增強電路布局以電子地產(chǎn)生第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局；以及可以電子地校驗第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局。
[0006]根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例，一種產(chǎn)生電子電路布局數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以包括:處理器電路；以及電子存儲介質(zhì)，被配置為存儲處理器電路執(zhí)行的更新模塊，其中更新模塊可以被配置為接收代表包括第一縮放增強電路布局的第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)；可以被配置為使用標(biāo)注器層定義在第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局中包括的第一縮放增強電路布局；以及可以被配置為將第一縮放增強電路布局替換為第二縮放增強電路布局以提供代表第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)。
[0007]根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例，一種設(shè)計半導(dǎo)體器件的系統(tǒng)可以包括:處理器電路；以及電子存儲介質(zhì)，被配置為存儲使用處理器電路上載或下載的數(shù)據(jù)文件，其中數(shù)據(jù)文件包括代表標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)以及代表與標(biāo)準(zhǔn)單元布局對應(yīng)并且包括設(shè)計規(guī)則違反層的縮放增強電路布局的數(shù)據(jù)。
[0008]根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一些實施例，一種計算機程序產(chǎn)品可以包括:有形的計算機可讀存儲介質(zhì)，包括嵌入該介質(zhì)中的計算機可讀程序代碼，當(dāng)被處理器電路執(zhí)行計算機可讀程序代碼使得處理器電路執(zhí)行包括如下的操作:允許電子設(shè)計自動工具訪問代表包括電子存儲介質(zhì)中的第一縮放增強電路布局的第一標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)；允許電子設(shè)計自動工具將第一縮放增強電路布局替換為第二縮放增強電路布局以在電子存儲介質(zhì)中提供代表第二標(biāo)準(zhǔn)單元布局的數(shù)據(jù)。
【附圖說明】
[0009]圖1是說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的處理半導(dǎo)體器件設(shè)計的方法的流程圖；
[0010]圖2是說明圖1的步驟SlOO的詳細流程圖；
[0011]圖3、4A、4B和5是說明圖2中所示的處理的圖；
[0012]圖6A是說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的處理半導(dǎo)體器件設(shè)計的系統(tǒng)的框圖；
[0013]圖6B至8是說明圖1所示的處理的圖；
[0014]圖9是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的被配置為處理半導(dǎo)體器件設(shè)計的系統(tǒng)的框圖；
[0015]圖10是說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的處理半導(dǎo)體器件設(shè)計的方法的流程圖；
[0016]圖11是說明圖10的步驟S220的詳細流程圖；
[0017]圖12 (a)-(b)和13 (a)-(b)是說明圖11中所示的處理的圖；
[0018]圖14(a)_(c)和15(a)_(c)是說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的半導(dǎo)體器件設(shè)計處理的圖；以及
[0019]圖16是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實施例的被配置為處理半導(dǎo)體器件設(shè)計的系統(tǒng)的框圖。
【具體實施方式】
[0020]下文將參見附圖更全面地描述本發(fā)明構(gòu)思，附圖中示出了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。然而，本發(fā)明構(gòu)思的示例實施例可以以很多不同形式來具體化，而不應(yīng)該被解釋為僅限于在此闡述的實施例。相反，提供這些實施例，使得本發(fā)明將是全面和完備的，并將向本領(lǐng)域技術(shù)人員全面地傳達本發(fā)明的范圍。遍及說明書，相同的標(biāo)號指代相同的元件。附圖中，為了清楚起見，層和區(qū)域的厚度可以被夸大。
[0021]將理解，當(dāng)元件或?qū)颖环Q為“連接”或“耦合”到另一元件或?qū)訒r，它可以直接連接或耦合到另一元件或?qū)樱蛘咧虚g元件或?qū)涌梢源嬖?。相反，?dāng)元件或?qū)颖环Q為“直接連接”或“直接耦合”到另一元件或?qū)訒r，沒有中間元件或?qū)哟嬖?。如在此使用的，術(shù)語“和/或”包括一個或多個相關(guān)聯(lián)的所列項的任何和全部組合。
[0022]還將理解，當(dāng)層被稱為在另一層或襯底之上時，它可以直接在另一層或襯底之上，或者中間層也可以存在。相反，當(dāng)元件被稱為直接在另一元件之上時，沒有中間元件或?qū)哟嬖凇?br>[0023]將理解，雖然術(shù)語第一、第二等可以在此用來描述各種元件，但是這些元件不應(yīng)該被這些術(shù)語限制。這些術(shù)語僅用來區(qū)分一個元件與另一個。因此，例如，下面討論的第一元件、第一組件或第一部分可以被稱為第二元件、第二組件或第二部分，而不脫離本發(fā)明構(gòu)思的示教。
[0024]在描述本發(fā)明的上下文(特別是下面的權(quán)利要求的上下文)中使用的單數(shù)形式“一”、“一個”和“所述”術(shù)語以及類似引用被解讀為覆蓋單數(shù)和復(fù)數(shù)形式，除非本文或上下文清楚地指示除外。將理解，術(shù)語“包括”、“具有”、“包含”和/或“含有”被解讀為開放式術(shù)語(即，“包括，但不限于”)，除非另外注釋出。
[0025]除非另外定義，否則這里使用的全部技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有本發(fā)明所屬技術(shù)背景中的一個普通技術(shù)人員所共同理解的相同含義。注意，這里提供的任何和所有示例或示范性術(shù)語的使用僅意欲更好地說明本發(fā)明，并非是對本發(fā)明范圍的限制，除非另外指定。而且，除非另外定義，否則通常使用的辭典中定義的所有術(shù)語不可以過度解釋。
[0026]就包括任何新的和有用的處理、機器、制造或事物的成分、或者它們的任何新的和有用的進展的多個可專利類別或上下文的任何一個，可以在此描述和說明本公開的各個方面。因此，本公開的各個方面可以實現(xiàn)為整體上的硬件、整體上的軟件(包括固件、駐留軟件、微代碼等等)或組合軟件和硬件實現(xiàn)，在此全部可以被稱為“電路”、“模塊”、“組件”或“系統(tǒng)”。進一步，本公開的各個方面可以采用計算機程序產(chǎn)品來形成，包括一個或多個具有其上嵌入有計算機可讀程序代碼的計算可讀媒介。
[0027]可以使用一個或多個計算可讀媒介的任何組合。計算可讀媒介可以是計算機可讀信號介質(zhì)或計算機可讀存儲介質(zhì)。例如，計算機可讀存儲介質(zhì)可以是，但不限于，電子的、磁性的、光學(xué)的、電磁的或半導(dǎo)體系統(tǒng)、裝置或設(shè)備，或者上述的任何可適用的組合。計算機可讀存儲介質(zhì)的更多的特定例子(非排除列表)將包括以下:便攜式計算機盤、硬盤、隨機存取存儲器(RAM)、只讀存儲器(ROM)、可擦除可編程只讀存儲器(EPR0M或閃存)、具有中繼器的合適的光纖、便攜式致密盤只讀存儲器(CD-ROM)、光學(xué)存儲器件、磁存儲器件或前述的任何合適的組合。在本文的上下文中，計算機可讀存儲介質(zhì)可以是通過指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或者設(shè)備或者與指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或者設(shè)備相關(guān)地能夠包含或者存儲用于使用的程序的任何有形介質(zhì)。
[0028]計算機可讀信號介質(zhì)可以包括通過嵌入其中(例如以基帶或者作為載波的一部分)的計算機可讀程序代碼的傳播的數(shù)據(jù)信號。這樣的傳播信號可以具有各種形式，包括但不限于，電磁的、光學(xué)的或起任何合適的組合。計算機可讀信號介質(zhì)可以是非計算機可讀存儲介質(zhì)的任何計算機可讀介質(zhì)，可以通過指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或者設(shè)備或者與指令執(zhí)行系統(tǒng)、裝置或者設(shè)備相關(guān)地通信、傳播或傳遞所使用的程序?？梢允褂萌魏魏线m的介質(zhì)(包括但不限于無線、有線、光纖線纜、RF等，或前述的任何合適的組合)發(fā)送嵌入在計算機可讀信號介質(zhì)上的程序代碼。
[0029]本公開的各個方面的用于執(zhí)行操作的計算機程序代碼可以以一種或多種編程語言的任何組合來編寫，包括諸如 Java、Scala、Smalltalk、Eiffel、JADE、Emerald、C++、C#、VB.NET、Python等的面向?qū)ο蟮木幊陶Z言；諸如“C”編程語言、Visual Basic、Fortan2003、Perl、COBOL 2002、PHP、ABAP 的傳統(tǒng)的過程編程語言；諸如 Python、Ruby 和 Groovy的動態(tài)編程語言以及其他編程語言。程序代碼可以作為獨立的軟件包整體地在用戶的計算機上運行、部分地在用戶的計算機上運行、部分地在用戶的計算機上并且部分地在遠程計算機上運行、或者整體地在遠程計算機或服務(wù)器上運行。在后一種情形中，通過任何類型的網(wǎng)絡(luò)，包括局域網(wǎng)(LAN)或廣域網(wǎng)(WAN)，遠程計算機可以連接到用戶計算機，或者可以產(chǎn)生到外部計算機的連接(例如通過使用因特網(wǎng)服務(wù)提供商的因特網(wǎng))，或者在云計算環(huán)境中或者以諸如軟件服務(wù)(SaaS)的服務(wù)來提供到外部計算機的連接。
[0030]在此參照根據(jù)本公開的實施例方法、裝置(系統(tǒng))和計算機程序產(chǎn)品的流程圖和/或框圖來描述本公開的各個方面。應(yīng)當(dāng)理解，流程圖和/或框圖的每一個塊以及流程圖和/或框圖中的塊的組合可以通過計算機程序指令來實現(xiàn)。這些計算機程序指令可以提供給通用計算機、專用計算機或者其他可編程數(shù)據(jù)處理裝置的處理器以產(chǎn)生諸如指令的機器指令(machine)，經(jīng)由計算機或其他編程指令執(zhí)行裝置的處理器進行執(zhí)行，創(chuàng)建用于實現(xiàn)在流程圖和/或框圖或塊中規(guī)定的功能/動作的機制。
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