電容式傳感器、傳感裝置、感測系統(tǒng)、以及電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電容式傳感技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電容式傳感器、電容式傳感裝置、電容式感測系統(tǒng)、以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著社會的發(fā)展，越來越多的電子設(shè)備(如:手機(jī)、平板電腦、穿戴式設(shè)備、以及智能家居等各種智能產(chǎn)品)一般都會設(shè)置一種或多種傳感裝置。所述傳感裝置包括如感測用戶觸摸操作的觸摸傳感裝置、感測人體生物信息的生物信息傳感裝置等等。目前，生物信息傳感裝置等多采用電容式傳感裝置來執(zhí)行感測操作。
[0003]電容式傳感裝置一般包括電容式傳感器和控制電路。所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。所述多個傳感單元接收控制電路的驅(qū)動信號，并在用戶觸摸所述多個傳感單元時對應(yīng)輸出感測信號給所述控制電路，以獲得相應(yīng)的感測信息。
[0004]然，各傳感單元獨(dú)立檢測，分別輸出單一感測信號，所述單一感測信號(如:電壓和/或電量)一般強(qiáng)度較弱。另外，電壓、電量等感測信號在被傳輸?shù)倪^程中易受電容式傳感裝置中寄生電容的影響，較不穩(wěn)定，從而導(dǎo)致電容式傳感裝置的感測存在不精確或者出現(xiàn)誤判的情況，影響用戶體驗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種易輸出感測信號較穩(wěn)定的電容式傳感器、感測精度較高的電容式傳感裝置、感測精度較高的電容式感測系統(tǒng)、以及用戶體驗較好的電子設(shè)備。
[0006]本發(fā)明提供了一種電容式傳感器，包括:
[0007]多個傳感單元，所述傳感單元包括:
[0008]感測電極，能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體，所述感測電極用于加載參考信號；和
[0009]傳感電路，包括:
[0010]第三晶體管，用于響應(yīng)感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，對應(yīng)產(chǎn)生第二交流信號。
[0011]優(yōu)選地，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極，第三控制電極與感測電極為二電極，第三控制電極連接感測電極，或者，第三控制電極與感測電極為同一電極。
[0012]優(yōu)選地，當(dāng)?shù)谌刂齐姌O與感測電極為二電極時，第三控制電極直接連接感測電極，或者，第三控制電極通過電阻連接感測電極。
[0013]優(yōu)選地，所述第三晶體管為場效應(yīng)管，所述場效應(yīng)管的柵極用作第三控制電極，源極與漏極中之一者用作第五傳輸電極、另一者用作第六傳輸電極。
[0014]優(yōu)選地，所述第五傳輸電極用于與一電流源連接，第六傳輸電極用于傳輸?shù)诙涣?目號O
[0015]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括差分對管，所述差分對管由相鄰的傳感單元的第三晶體管組成。
[0016]優(yōu)選地，所述差分對管用于響應(yīng)感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，對應(yīng)于二第三晶體管的第六傳輸電極上分別形成不同的第二交流信號。
[0017]優(yōu)選地，所述不同的第二交流信號為差分電流信號。
[0018]優(yōu)選地，所述傳感電路進(jìn)一步包括第一開關(guān)單元和第二開關(guān)單元；所述第五傳輸電極用于通過所述第一開關(guān)單元連接一電流源，所述第一開關(guān)單元用于控制第五傳輸電極與所述電流源之間是否有電流傳輸；所述第二開關(guān)單元用于連接所述第三控制電極，控制是否傳輸所述參考信號給所述感測電極。
[0019]優(yōu)選地，所述第二開關(guān)單元用于按預(yù)定時間間隔傳輸參考信號給所述感測電極。
[0020]優(yōu)選地，所述多個傳感單元呈陣列式排布。
[0021]優(yōu)選地，對于一傳感單元的第三晶體管:
[0022]用于與行方向上相鄰的傳感單元的第三晶體管形成差分對管；或/和
[0023]用于與列方向上相鄰的傳感單元的第三晶體管形成差分對管。
[0024]優(yōu)選地，每一傳感單元的第三晶體管用于分時與行方向和列方向上相鄰的傳感單元的第三晶體管均形成差分對管。
[0025]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括信號線群組，一信號群組連接至少二傳感單元，所述信號線群組包括第一信號線、第二信號線、和第三信號線，且第一、第二、第三信號線分別沿列方向延伸；所述第一開關(guān)單元用于通過所述第一信號線連接所述電流源；
[0026]對于位于同一列的二相鄰傳感單元:一傳感單元中的第三晶體管的第六傳輸電極用于與第二信號線連接，另一傳感單元中的第三晶體管的第六傳輸電極用于與第三信號線連接；所述二相鄰傳感單元的第一開關(guān)單元與同一第一信號線相連接。
[0027]優(yōu)選地，對于位于同一行的二相鄰傳感單元:所述二相鄰傳感單元的第一開關(guān)單元用于通過第一信號線與同一電流源相連接。
[0028]優(yōu)選地，奇數(shù)行的傳感單元的第三晶體管連接第二信號線；偶數(shù)行的傳感單元的第三晶體管連接第三信號線。
[0029]優(yōu)選地，所述第一信號線、第二信號線、和第三信號線沿列方向延伸，對于同一信號線群組，所述第二信號線與所述第三信號線沿著行方向依次排列。
[0030]優(yōu)選地，每一列傳感單元連接一信號線群組，不同列傳感單元連接不同的信號線群組。
[0031]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括掃描線群組，所述掃描線群組包括第一掃描線和第二掃描線，所述第一開關(guān)單元包括:
[0032]第一晶體管，包括第一控制電極、第一傳輸電極、和第二傳輸電極，所述第一控制電極與第一掃描線連接，用于響應(yīng)第一掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮?yīng)控制第一傳輸電極與第二傳輸電極是否電連通，第一傳輸電極與第一信號線連接，第二傳輸電極與第五傳輸電極連接；和
[0033]第二晶體管，包括第二控制電極、第三傳輸電極、和第四傳輸電極，其中，第二控制電極連接第二掃描線，用于響應(yīng)第二掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮?yīng)控制第三傳輸電極與第四傳輸電極是否電連通，第三傳輸電極連接第二傳輸電極、第四傳輸電極連接第五傳輸電極。
[0034]優(yōu)選地，所述掃描線群組進(jìn)一步包括第三掃描線和參考信號線，所述第二開關(guān)單元包括:
[0035]第五晶體管，包括第五控制電極、第九傳輸電極、和第十傳輸電極，其中，第五控制電極連接第三掃描線，用于響應(yīng)第三掃描線上傳輸?shù)膾呙栊盘柖鴮?yīng)控制第九傳輸電極與第十傳輸電極是否電連通，第九傳輸電極連接參考信號線、第十傳輸電極連接第三控制電極；所述感測電極通過第五晶體管從參考信號線上接收參考信號。
[0036]優(yōu)選地，所述掃描線群組進(jìn)一步包括第四掃描線，所述傳感電路進(jìn)一步包括第七晶體管，所述第七晶體管包括第七控制電極、第十三傳輸電極、和第十四傳輸電極，所述第七控制電極連接第四掃描線，所述第十三傳輸電極連接第十傳輸電極，所述第十四傳輸電極連接第三控制電極，且第十三傳輸電極與第十四傳輸電極短接。
[0037]優(yōu)選地，所述第七晶體管用于與所述第五晶體管交替導(dǎo)通。
[0038]優(yōu)選地，第一掃描線用于連接同一行第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一列第二晶體管的第二控制電極；或者，第一掃描線用于連接同一列第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一行第二晶體管的第二控制電極。
[0039]優(yōu)選地，同一行的傳感單元共用同一第三掃描線、同一第四掃描線、和同一參考信號線。
[0040]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括基板，所述基板用于承載所述多個傳感單
J L ο
[0041]優(yōu)選地，當(dāng)所述感測電極與所述第三控制電極為二電極時，所述傳感電路設(shè)置在所述感測電極與所述基板之間，且所述傳感電路的結(jié)構(gòu)中設(shè)置接觸孔，所述感測電極通過所述接觸孔與所述第三控制電極連接；當(dāng)所述感測電極與所述第三控制電極為同一電極時，所述第三控制電極相較于第五傳輸電極與第六傳輸電極鄰近所述基板設(shè)置。
[0042]優(yōu)選地，所述感測電極覆蓋所述傳感電路。
[0043]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括接地線，與所述多個傳感單元設(shè)置在所述基板的同側(cè)，所述接地線用于加載調(diào)制信號，在未有目標(biāo)物體接近或觸摸所述感測電極時，所述參考信號相對于所述接地線加載的調(diào)制信號保持不變。
[0044]優(yōu)選地，所述基板為絕緣基板，所述傳感電路中的各晶體管均采用薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管的柵極用作控制電極，源極與漏極分別用作傳輸電極。
[0045]優(yōu)選地，所述電容式傳感器進(jìn)一步包括導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層與所述多個傳感單元設(shè)置在所述基板的相對二側(cè)，所述接地線與所述導(dǎo)電層用于傳輸相同的調(diào)制信號，所述調(diào)制信號包括接地信號和驅(qū)動信號。
[0046]優(yōu)選地，所述電容式傳感器為生物信息傳感器。
[0047]優(yōu)選地，所述第三晶體管對感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起的參考信號的變化量進(jìn)行轉(zhuǎn)換以及放大，產(chǎn)生第一交流信號，并將第一交流信號疊加至一第二恒定直流信號上，對應(yīng)產(chǎn)生所述第二交流信號，其中，所述第二恒定直流信號為所述電流源提供的第一恒定直流信號的一半。
[0048]本發(fā)明還提供一種電容式傳感裝置，包括電容式傳感器和控制電路，所述控制電路用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測操作，其中，所述電容式傳感器為上述中任意所述的電容式傳感器，所述控制電路集成在一顆芯片上，所述電容式傳感器集成為另一顆芯片。
[0049]優(yōu)選地，所述控制電路集成為一控制芯片，所述控制芯片采用半導(dǎo)體基板上形成包括有互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管的集成電路工藝制成，所述電容式傳感器采用絕緣基板上形成包括有薄膜晶體管的集成電路工藝制成，其中，所述控制芯片壓合在形成有電容式傳感器的絕緣基板上。
[0050]本發(fā)明還提供一種電容式感測系統(tǒng)，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置，所述控制電路包括接地端，所述電源管理芯片用于為所述接地端提供調(diào)制信號，所述控制電路用于為所述電容傳感器提供參考信號，其中，所述參考信號隨所述調(diào)制信號的升高而升高、隨所述調(diào)制信號的降低而降低。
[0051]本發(fā)明還提供一種電容式感測系統(tǒng)，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置，所述電源管理芯片提供給電容式傳感器的電源電壓高于提供給集成有控制電路的芯片的電源電壓。
[0052]本發(fā)明還提供一種電子設(shè)備，包括電容式傳感裝置，其中，所述電容式傳感裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置。
[0053]本發(fā)明還提供一種電子設(shè)備，包括電容式感測系統(tǒng)，其中，所述電容式感測系統(tǒng)為上述中任意所述的電容式感測系統(tǒng)。
[0054]由于本發(fā)明的電容式示傳感器的傳感單元包括第三晶體管，第三晶體管用于響應(yīng)感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應(yīng)于第六傳輸電極上形成第二交流信號，因此，所述電容式示傳感器輸出的感測信號較穩(wěn)定。相應(yīng)地，包括所述電容式傳感器的電容式傳感裝置的感測精度較高，具有所述電容式傳感裝置的電容式感測系統(tǒng)的感測精度較高，具有電容式傳感裝置或電容式感測系統(tǒng)的電子設(shè)備的用戶體驗較好。
[0055]盡管公開了多個實施例，包括其變化，但是通過示出并描述了本發(fā)明公開的說明性實施例的下列詳細(xì)描述，本發(fā)明公開的其他實施例將對所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見。將認(rèn)識到，本發(fā)明公開能夠在各種顯而易見的方面修改，所有修改都不會偏離本發(fā)明的精神和范圍。相應(yīng)地，附圖和詳細(xì)描述本質(zhì)上應(yīng)被視為說明性的，而不是限制性的。
【附圖說明】
[0056]通過參照附圖詳細(xì)描述其示例實施方式，本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)將變得更加明顯。
[0057]圖1為本發(fā)明電容式傳感裝置的第一實施方式的示意圖。
[0058]圖2為圖1所示電容式傳感裝置的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0059]圖3為圖2所示電容式傳感器的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0060]圖4為圖2所示電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0061]圖5與圖6為圖3所示傳感電路的其它變更實施方式的示意圖。
[0062]圖7為圖1所示電容式傳感器的示意圖。
[0063]圖8至圖11中主要示出電容式傳感器的一傳感單元的第三晶體管與感測電極的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0064]圖12為圖2所示的電容式傳感裝置的工作時序圖。
[0065]圖13為圖1所示電容式傳感器的部分方框示意圖。
[0066]圖14為本發(fā)明電容式傳感裝置的第二實施方式的示意圖。
[0067]圖15為圖14所示一行方向上相鄰二傳感單元的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0068]圖16為圖14的電容式傳感裝置的部分電路結(jié)構(gòu)示意圖。
[0069]圖17為圖14所示電容式傳感器的方框結(jié)構(gòu)示意圖。
[0070]圖18為本發(fā)明電容式傳感裝置的其它變更實施方式的示意圖。
[0071]圖19為在一片玻璃基板上形成多個電容式傳感裝置的示意圖。
[0072]圖20為圖19所示的一電容式傳感裝置的側(cè)視示意圖。
[0073]圖21和圖22為電容式傳感裝置的其它變更實施方式的側(cè)視圖。
[0074]圖23為本發(fā)明芯片組的一較佳實施方式的示意圖。
[0075]圖24為本發(fā)明電容式感測系統(tǒng)的第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0076]圖25為本發(fā)明電容式感測系統(tǒng)的第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0077]圖26為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)第一實施方式的示意圖。
[0078]圖27與圖28為本發(fā)明電容式傳感裝置的封裝結(jié)構(gòu)其它實施方式的示意圖。
[0079]圖29為本發(fā)明電容式感測模組的一較佳實施方式的示意圖。
[0080]圖30為本發(fā)明在電子設(shè)備的保護(hù)蓋板下方設(shè)置電容式感測模組的示意圖。
[0081]圖31是圖30沿r-r’方向的部分剖面示意圖。
[0082]圖32為電子設(shè)備的顯示裝置的TFT陣列基板的示意圖。
[0083]圖33為本發(fā)明電子設(shè)備的一較佳實施方式的示意圖。
【具體實施方式】
[0084]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本發(fā)明將全面和完整，并將示例實施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。為了方便或清楚，可能夸大、省略或示意地示出在附圖中所示的每層的厚度和大小、以及示意地示出相關(guān)元件的數(shù)量。另外，元件的大小不完全反映實際大小，以及相關(guān)元件的數(shù)量不完全反應(yīng)實際數(shù)量。在圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)。
[0085]此外，所描述的特征、結(jié)構(gòu)可以以任何合適的方式結(jié)合在一個或更多實施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對本發(fā)明的實施方式的充分理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)意識到，沒有所述特定細(xì)節(jié)中的一個或更多，或者采用其它的結(jié)構(gòu)、組元等，也可以實踐本發(fā)明的技術(shù)方案。在其它情況下，不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)或者操作以避免模糊本發(fā)明。
[0086]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是:“多個”包括兩個和兩個以上，除非另有明確具體的限定?！斑B接”可為電連接、機(jī)械連接、親接、直接連接、以及間接連接等多種實施方式，除非本發(fā)明下述特別說明，否則并不做特別限制。另外，各元件名稱以及信號名稱中出現(xiàn)的“第一”、“第二”等詞語并不是限定元件或信號出現(xiàn)的先后順序，而是為方便元件命名，清楚區(qū)分各元件，使得描述更簡潔。
[0087]進(jìn)一步需要說明的是:本發(fā)明提供的電容式傳感裝置適用于生物信息傳感裝置，尤其指紋傳感裝置。然，本發(fā)明并不限于此，所述電容式傳感裝置也可適用其它合適類型的傳感裝置，如觸摸傳感裝置。所述生物信息傳感裝置用于感測目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。所述目標(biāo)物體如為用戶的手指，也可為用戶身體的其它部分、如手掌、腳趾、耳朵等，甚至也可為其它合適類型的物體，而并不局限為人體。所述預(yù)定生物信息如為指紋、掌紋、耳紋等。
[0088]所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器(sensors)和控制電路。所述控制電路連接電容式傳感器，用于控制所述電容式傳感器執(zhí)行感測操作。
[0089]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括感測電極和差分對管。所述感測電極能夠以電容方式耦合到目標(biāo)物體，用于加載參考信號。所述差分對管與所述感測電極相關(guān)聯(lián)，用于響應(yīng)感測電極上因目標(biāo)物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應(yīng)產(chǎn)生差分信號。
[0090]所述控制電路接收所述差分信號，并根據(jù)所述差分信號對應(yīng)獲得相應(yīng)的感測信息。所述感測信息如為目標(biāo)物體的預(yù)定生物信息。類似地，所述控制電路也可根據(jù)差分信號獲知目標(biāo)物體接近或觸摸了電容式傳感裝置這一感測信息。
[0091]由于本發(fā)明的電容式傳感器傳輸給控制電路的感測信號為差分信號，所述差分信號較強(qiáng)，且差分信號在傳輸給控制電路的過程中受電容式傳感裝置中的寄生電容的影響較小，因此，所述控制電路根據(jù)差分信號獲得的感測信息相對較準(zhǔn)而能減少誤判，從而能夠提升用戶體驗。
[0092]優(yōu)選地，所述差分信號為差分電流信號。
[0093]優(yōu)選地，所述電容式傳感器包括多個感測電極和多個差分對管。同一差分對管所產(chǎn)生的差分信號為同幅同頻反相的第二交流電流信號。另外，所述差分對管用于與一電流源連接，所述電流源用于提供一第一恒定直流信號。所述二不同的第二交流電流信號之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號相等。
[0094]所述差分對管與所述感測電極相關(guān)聯(lián)，其中，所述差分對管或者與所述感測電極為二元件，所述差分對管與所述感測電極連接；又或者，所述差分對管包括所述感測電極，即，所述感測電極為差分對管的一部分。
[0095]所述差分對管包括二晶體管，所述二晶體管包括一第三晶體管，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極。當(dāng)所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極連接；當(dāng)所述差分對管包括所述感測電極時，所述第三控制電極與所述感測電極為同一電極。
[0096]當(dāng)所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極直接連接；或者，所述第三控制電極通過一限流元件與所述感測電極連接。優(yōu)選地，所述限流元件包括電阻。相應(yīng)地，所述限流元件可以起到防ESD、保護(hù)電容式傳感器的作用。
[0097]所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。每一傳感單元包括一所述感測電極。另外，優(yōu)選地，每一傳感單元還包括一所述差分對管，或者，相鄰的傳感單元各自包括一所述差分對管中的一晶體管。
[0098]通過選擇具有合適跨導(dǎo)的晶體管，當(dāng)目標(biāo)物體接近或觸摸感測電極時，所述差分對管的晶體管對參考信號的變化量進(jìn)行轉(zhuǎn)換以及放大，產(chǎn)生第一交流信號，并將第一交流信號疊加至一第二恒定直流信號上，對應(yīng)產(chǎn)生所述第二交流信號給控制電路。其中，所述第二恒定直流信號為所述第一恒定直流信號的一半。相應(yīng)地，所述感測信號較強(qiáng)，所述控制電路根據(jù)所述感測信號獲得的感測