專利名稱：使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備及方法
技術領域：
本發(fā)明涉及使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備及方法，且更特別地，涉及如下的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備及方法其中，用激光束照射經(jīng)由光穿透路徑下落(fall down)的小電子元件，并探測由小電子元件散射的光，以計數(shù)小電子元件。
背景技術：
通常，在用于制造諸如多層陶瓷電容器(MLCC)、芯片等的小電子元件的工序中，為了應對(manage)在工序之間遺漏小電子元件，對這些小電子元件的個數(shù)進行計數(shù)。作為一種用于計數(shù)批量生產(chǎn)的且具有小尺寸的芯片的個數(shù)的方法，對于有些元件，例如對于具有
0.6X0. 3或更大的尺寸的產(chǎn)品，已使用測量通過取樣的產(chǎn)品的個數(shù)和重量且然后通過重量法經(jīng)由換算來測量整批(entire lot)的個數(shù)的方法。另外，對于具有400 y m或更小的尺寸的元件，通過取樣的測量可能不易執(zhí)行。因此，已使用測量一個元件及整批的重量以由此測量并管理整批的個數(shù)的方法。在根據(jù)現(xiàn)有技術的通過取樣重量法來計數(shù)元件的個數(shù)的方案中，通過取樣來計數(shù)這些元件，測量取樣的元件的重量，測量所有元件的重量，且然后通過換算法來測量元件的個數(shù)，以識別出整批的個數(shù)。在通過取樣的測量法中，單獨地測量通過布置裝置卸下(discharge)的元件。然而，對于批量生產(chǎn)的小電子元件，難于通過經(jīng)由取樣的測量法來計數(shù)所有小電子元件。另外，在根據(jù)現(xiàn)有技術的通過取樣重量法來計數(shù)元件的個數(shù)的方案中，難于直接計數(shù)輕且小的元件。因此，通過將整批轉(zhuǎn)換成一個元件的標準重量來測量元件的個數(shù)。在根據(jù)現(xiàn)有技術的通過取樣重量法來計數(shù)元件的個數(shù)的方案中，因為由于重量法所產(chǎn)生的誤差率(該誤差率隨著元件變得更小且其重量變得更輕而增大)，因此難于根據(jù)該誤差率來斷言小電子元件的個數(shù)的遺漏。此外，根據(jù)朝著精確且小型化的電子元件的趨勢，已變得更難于使用取樣重量法來計數(shù)電子元件。

發(fā)明內(nèi)容
為了通過計數(shù)精確且小型化的電子元件的個數(shù)來分析并應對在工序之間遺漏小電子元件的原因，已迫切需要研發(fā)出一種能夠準確地例如單獨地測量電子元件的個數(shù)的計
數(shù)裝置。本發(fā)明的一個目的是提供一種使用激光束來單獨地計數(shù)輕且小的電子元件的設備及方法，其中，探測由經(jīng)由透射路徑(transparent path)下落的小電子元件散射的光，以用于單獨地計數(shù)電子元件。根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例，提供了一種使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備，本設備包括供給室，供給小電子元件；光穿透管，連接至供給室的下部，并形成小電子元件下落所經(jīng)過的路徑；激光發(fā)射器(laser irradiator,激光福照器)，發(fā)射激光束；光學器件，將由激光發(fā)射器發(fā)射的激光束轉(zhuǎn)換成水平式光(horizontal type light),并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至光穿透管側(cè)；以及光電探測器，探測由經(jīng)過光穿透管的小電子元件散射的光。光學器件可包括光束擴展器(beam expander)，擴展由激光發(fā)射器發(fā)射的激光束；以及柱面透鏡，將由光束擴展器擴展的激光束轉(zhuǎn)換成水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光發(fā)送至光穿透管側(cè)。光學器件可進一步包括鏡子(miiror，反射鏡)，該鏡子朝著光束擴展器改變由激光發(fā)射器發(fā)射的激光束的方向，由此朝著光束擴展器反射激光束。光電探測器可設置在光學器件側(cè)，并探測由小電子元件散射的光。光穿透管可具有與水平式光的前進方向(progressing direction)垂直的或從水平式光的前進方向傾斜的多根管道(pipe)，并且這多根管道中的每根都布置成不妨礙水平式光朝著鄰近管道的前進，且設置成不妨礙由經(jīng)過每根管道的小電子元件散射的散射光朝著光電探測器的如進。光穿透管可進一步包括形成在其上部上的開啟控制器，該開啟控制器控制管道的開啟，以將小電子元件從供給室一個接一個地弓丨入到每根管道中。供給室可包括離子發(fā)生器，該離子發(fā)生器防止或去除小電子元件的靜電。本設備可進一步包括吸氣裝置，該吸氣裝置連接至光穿透管，以從路徑中吸入空氣，從而使小電子元件平穩(wěn)地進行落下。本設備可進一步包括接收室，該接收室安裝在光穿透管下方，并接收下落的小電子元件。本設備可進一步包括處理器單元，該處理單元使用由光電探測器探測到的散射光來計數(shù)小電子元件。根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例，提供了一種使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法，本方法包括(a)允許小電子元件從供給室下落至光穿透管；(b)通過光學器件將由激光輻射器發(fā)射的激光束轉(zhuǎn)換成水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至光穿透管側(cè)；以及(C)通過光電探測器探測由經(jīng)過光穿透管的小電子元件散射的光。步驟(b)可包括(b_l)光束擴展步驟，擴展由激光輻射器發(fā)射的激光束；以及(b-2)光轉(zhuǎn)換步驟，將擴展的激光束轉(zhuǎn)換成水平式光并將轉(zhuǎn)換而成的水平式傳輸至光穿透管側(cè)。在步驟(C)，光電探測器可設置在光學器件側(cè)，并探測由小電子元件散射的光。本方法可進一步包括(d)使用在步驟(C)探測到的散射光來計數(shù)小電子元件。
雖然未作為本發(fā)明的一個方面具體地陳述，但根據(jù)上述技術特性的各種可行組合的本發(fā)明的示例性實施例可得到以下具體示例性實施例支持，并且顯然可由本領域技術人員實施。


圖I是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的構造的視圖；圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的構造的視圖；圖3是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的流程圖；圖4是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的流程圖；以及圖5是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的一部分的流程圖。
具體實施例方式將參照附圖描述用于實現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的示例性實施例。在描述本發(fā)明的示例性實施例時，將使用相同的參考標號來描述相同的元件，并將省去重疊的或允許限制性地解釋本發(fā)明的含義的額外描述。應理解的是，在本說明書中，當一個元件被稱作是僅“連接至”另一元件而非“直接連接至”另一元件時，該元件能夠直接連接至其他元件或者可在其間接合或連接有另一元件的情況下連接至其他元件，只要其不與本說明書矛盾或與本發(fā)明的構思相反。雖然在本說明書中使用的是單數(shù)形式，但只要其不與本發(fā)明的構思相反或者解釋起來矛盾或者用作明顯不同的含義，其可包括復數(shù)形式。應理解的是，本說明書中使用的“包括(include) ”、“具有(have)”、“包含(comprise) ”、“構造成包括(be configured toinclude) ”等不排除一個以上的其他特性、元件或其組合的存在或添加。首先，將參照圖I和圖2描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子兀件的設備。圖I是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的構造的視圖；以及圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的構造的視圖。將參照圖I描述本發(fā)明的一個示例性實施例。根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備構造成包括供給室10 ;光穿透管20 ;激光輻射器30 ;光學器件40 ;以及光電探測器50。另外，根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備優(yōu)選地進一步包括處理器單元(未示出)。將在下文中描述該處
理器單元。首先，供給室10接收小電子元件I，并將用于計數(shù)的小電子元件I供給至光穿透管20。光穿透管20連接至供給室10的下部，并形成小電子元件I下落所經(jīng)過的路徑。由激光發(fā)射器30發(fā)射激光束。激光束發(fā)生器在本領域中已是公知的。在本發(fā)明中使用的激光發(fā)射器30是已知的激光束發(fā)生器。因此將省去對它的詳細描述。光學器件40是本發(fā)明的一個主要特征，其將由激光發(fā)射器30發(fā)射的激光束L轉(zhuǎn)換成水平式光(horizontal type light) Lh,并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光Lh傳輸至光穿透管20偵彳。光學器件40將激光束轉(zhuǎn)換成水平式光Lh，以傳輸或發(fā)射轉(zhuǎn)換而成的光，由此使得可通過探測由經(jīng)過光穿透管20的小電子元件I散射的光來計數(shù)小電子元件I的個數(shù)。光學器件40將激光束轉(zhuǎn)換成水平式光Lh，由此使得可允許所有落下的小電子元件I散射一部分水平式光Lh，并防止由于小電子元件I重復地進行散射而導致重復地計數(shù)小電子元件I。光電探測器50探測由經(jīng)過光穿透管20的小電子元件I散射的光Ls。探測散射光Ls,以計數(shù)小電子元件I的個數(shù)。
根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例,通過發(fā)射的激光束的散射光Ls來計數(shù)小電子元件I，從而可快速且準確地計數(shù)這些小電子元件。因此，可認識到在工序之間遺漏小電子元件的原因，由此可顯著地降低由遺漏引起的損失，并可容易地應對遺漏。將參照圖2詳細地描述本發(fā)明的另一示例性實施例。參照圖2，根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例，光學器件40構造成包括光束擴展器41和柱面透鏡43。光束擴展器41擴展由激光發(fā)射器30發(fā)射的激光束L。光束擴展器41擴展發(fā)射的激光束L，并將擴展的激光束Le傳輸至柱面透鏡43，由此可允許以柱面透鏡43將擴展的激光束Le轉(zhuǎn)換成水平式光Lh。通過柱面透鏡43將由光束擴展器41擴展的激光束Le轉(zhuǎn)換成水平式光Lh，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光Lh傳輸至光穿透管20側(cè)。例如，柱面透鏡43在入射側(cè)上具有平的表面，且在發(fā)射(emitting)側(cè)上具有柱形表面，由此使在所有方向上形成預定區(qū)域的入射光平面化，從而豎直地聚焦入射光，并發(fā)射平面化的光。在這種情況下，由柱面透鏡43發(fā)射的光優(yōu)選地豎直地聚焦在光穿透管20的一位置中，以被平面化?？商娲?，優(yōu)選地在由柱面透鏡43發(fā)射的光豎直地聚焦于此的位置附近添加諸如凹透鏡的光學器件，由此不管光穿透管20的位置如何，光都可作為水平線式光筆直地前進。另外，根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例，光學器件40優(yōu)選地進一步包括鏡子45。鏡子45朝著光束擴展器41反射由激光發(fā)射器30發(fā)射的激光束L，以改變激光束的前進方向。此外，參照圖2描述了本發(fā)明的另一示例性實施例，光電探測器50設置在光學器件40側(cè)，并探測由小電子元件I散射的光Ls。在此，光學器件40側(cè)是指在光穿透管20處于中央的情況下設置有光學器件40的那一側(cè)。也就是說，光學器件40側(cè)的方向是指與水平式光Lh的前進方向相反的方向。在這種情況下，光電探測器50無需設置在與和水平式光Lh中心線重合的光學器件40的中心線相同的直線上，而可設置成從光學器件40的中心線豎直地或水平地傾斜或者與光學器件的中心線平行。另外，描述例如如圖2所示的本發(fā)明的另一示例性實施例，光穿透管20優(yōu)選地具有與水平式光Lh的前進方向垂直的或從水平式光的前進方向傾斜的多根管道。在此，這多根管道中的每根都設置成不妨礙水平式光Lh朝著鄰近管道的前進。這多根管道中的每根都不妨礙水平式光Lh朝著鄰近管道的前進這一事實意指，穿透一根管道的一部分水平式光Lh不重復地穿透其他管道，例如，鄰近管道。此外，這多根管道中的每根都設置成不妨礙由經(jīng)過每根管道的小電子元件I散射的由此朝著光電探測器50前進的散射光Ls的前進。這多根管道中的每根都不妨礙傳輸至光電探測器50的散射光Ls的前進這一事實意指，在由經(jīng)過一根管道的小電子元件I散射的光Ls朝著光電探測器50的方向前進的情況下，其他管道，例如，鄰近管道，優(yōu)選地，經(jīng)過鄰近管道的小電子元件不出現(xiàn)在散射光Ls的前進路徑上。雖然未示出，根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，圖2所示的光穿透管20進一步包括形成在其上部的開啟控制器(未示出)，該開啟控制器控制管道的開啟，以將小電子元件I從供給室10—個接一個地引入到每根管道中。光穿透管20包括開啟控制器(未示出)，以通過開啟控制器來控制光穿透管的上部的開啟，由此使得可計數(shù)具有各種尺寸的小電子元件的個數(shù)。另外，具體參照圖2描述本發(fā)明的另一示例性實施例，供給室10包括防止或去除小電子元件小電子元件I的靜電的離子發(fā)生器11。離子發(fā)生器11產(chǎn)生離 子，從而中和并去除小電子元件I中產(chǎn)生的靜電。離子發(fā)生器11可與開啟控制器(未示出)、吸氣裝置60等分開或一起構造。參照圖2，根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例，使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備進一步包括吸氣裝置60。吸氣裝置60連接至光穿透管20，從而從光穿透管20中的路徑中吸入空氣，以平穩(wěn)地執(zhí)行小電子元件I的落下。雖然未具體示出，但應注意的是，在圖2中，吸氣裝置60通過軟管連接至光穿透管20，并且經(jīng)由光穿透管20下落的小電子元件I下落至設置在光穿透管20下方的接收室15，而未被引入到軟管中。吸氣裝置60可與離子發(fā)生器、開啟控制器等分開或一起構造。另外，參照圖2，根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例，使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備進一步包括接收室15。接收室15安裝在光穿透管20下方，并接收落下的小電子元件
I。接收室15可與吸氣裝置60同時設置或不同時設置。雖然未示出，根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備包括處理器單元。處理器單元(未示出)通過由光電探測器50探測到的散射光來計數(shù)小電子元件I。在下文中，將參照附圖詳細描述根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法。將參照圖I至圖5以及上述關于使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的示例性實施例來詳細描述根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法。另外，應注意的是，可省去與對上述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備的描述重疊的描述。圖3是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的流程圖；圖4是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的流程圖；以及圖5是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法的一部分的流程圖。將參照圖3描述根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法。使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法包括以下步驟步驟(a)至步驟(C)SlOO至S300。如圖4所示，使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法優(yōu)選地進一步包括步驟(d)S400。首先，在步驟(a)S100，使小電子元件I從供給室10下落至光穿透管20。在步驟(b)S200，通過光學器件40將由激光發(fā)射器30發(fā)射的激光束L轉(zhuǎn)換成水平式光Lh，并傳輸至光穿透管20側(cè)。根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，光學器件40構造成包括擴展發(fā)射的激光束的光束擴展器41以及將擴展的激光束Le轉(zhuǎn)換成水平式光Lh的柱面透鏡43。然后，在步驟(c)S300，通過光電探測器50探測由經(jīng)過光穿透管20的小電子元件I散射的光Ls。將參照圖5詳細描述圖3和圖4中的步驟(b) S200。步驟(b) S200包括步驟(b_l)S210 和步驟(b-2)S230。在步驟(b_l)S210，其是光束擴展步驟，擴展由激光發(fā)射器30發(fā)射的激光束L。該光束擴展步驟通過例如光束擴展器41來執(zhí)行。 在步驟(b-2) S230，其是光轉(zhuǎn)換步驟，將在光束擴展步驟S210擴展的激光束Le轉(zhuǎn)換成水平式光Lh，從而發(fā)送至光穿透管20側(cè)。將光轉(zhuǎn)換成水平式光Lh通過柱面透鏡43來執(zhí)行。根據(jù)本發(fā)明另一示例性實施例，在圖3和圖4中的步驟(c) S300，光電探測器50優(yōu)選地設置在光學器件40側(cè)，并探測由小電子元件I散射的光Ls。另外，將參照圖4描述根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施例的使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法。使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法包括以下步驟步驟(d)S400。在步驟(d)S400，使用在圖4的步驟(c)S300探測到的散射光Ls來計數(shù)小電子元件I。圖4的步驟(d)S400由例如處理器單元(未示出)來執(zhí)行，上述處理器單元是上述用于計數(shù)小電子元件的設備的組件。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例，探測由經(jīng)由透射路徑下落的輕且小的電子元件(例如，芯片等)散射的光，從而用于單獨地計數(shù)這些電子元件，由此使得可容易地計數(shù)小電子元件(例如多層陶瓷電容器(MLCC)、芯片電阻器等)的個數(shù)。另外，由于根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的用于計數(shù)小電子元件的設備使用激光束來計數(shù)小電子元件，因此其具有明顯快速的計數(shù)速度，由此使得可替代與此有關的計數(shù)測量設備。此外，可認識到在工序之間遺漏小電子元件的原因，由此使地可顯著降低由遺漏造成的損失，并可容易地斷言遺漏。顯而易見的是，本領域技術人員可從根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的各種構造中得到根據(jù)本發(fā)明的各種示例性實施例所直接陳述的各種效果。在上文中，已參照附圖描述了本發(fā)明的示例性實施例。已例證性地提供了附圖和上述示例性實施例，以幫助本發(fā)明所屬領域的技術人員進行理解。雖然已出于例證的目的而公開了本發(fā)明的示例性實施例，本領域技術人員應理解的是，不背離所附權利要求中公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可做出各種更改、添加和代替。因此，這種更改、添加和代替也應被理解成落在所附權利要求及其等同物的范圍內(nèi)。
權利要求
1.一種使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備，所述設備包括 供給室，供給所述小電子元件； 光穿透管，連接至所述供給室的下部，并形成所述小電子元件下落所經(jīng)過的路徑； 激光發(fā)射器，發(fā)射所述激光束； 光學器件，將由所述激光發(fā)射器發(fā)射的所述激光束轉(zhuǎn)換成水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至所述光穿透管側(cè)； 光電探測器，探測由經(jīng)過所述光穿透管的所述小電子元件散射的光。
2.根據(jù)權利要求I所述的設備，其中，所述光學器件包括光束擴展器，擴展由所述激光發(fā)射器發(fā)射的所述激光束；以及柱面透鏡，將由所述光束擴展器擴展的所述激光束轉(zhuǎn)換成所述水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至所述光穿透管側(cè)。
3.根據(jù)權利要求2所述的設備，其中，所述光學器件進一步包括鏡子，所述鏡子朝著所述光束擴展器改變由所述激光發(fā)射器發(fā)射的所述激光束的方向，由此朝著所述光束擴展器反射所述激光束。
4.根據(jù)權利要求I所述的設備，其中，所述光電探測器設置在所述光學器件側(cè)，并探測由所述小電子兀件散射的光。
5.根據(jù)權利要求I所述的設備，其中，所述光穿透管具有與所述水平式光的前進方向垂直的或從所述水平式光的前進方向傾斜的多根管道，并且所述多根管道中的每根都設置成不妨礙所述水平式光朝著鄰近管道的前進，且設置成不妨礙由經(jīng)過每根所述管道的所述小電子元件散射的散射光朝著所述光電探測器的前進。
6.根據(jù)權利要求5所述的設備，其中，所述光穿透管進一步包括形成在所述光穿透管的上部上的開啟控制器，所述開啟控制器控制所述管道的開啟，以將所述小電子元件從所述供給室一個接一個地弓丨入到每根管道中。
7.根據(jù)權利要求I所述的設備，其中，所述供給室包括離子發(fā)生器，所述離子發(fā)生器防止或去除所述小電子元件的靜電。
8.根據(jù)權利要求I所述的設備，進一步包括吸氣裝置，所述吸氣裝置連接至所述光穿透管，以從所述路徑中吸入空氣，從而使所述小電子元件平穩(wěn)地進行落下。
9.根據(jù)權利要求I所述的設備，進一步包括接收室，所述接收室安裝在所述光穿透管下方，并接收下落的小電子元件。
10.根據(jù)權利要求I至9中任一項所述的設備，進一步包括處理器單元，所述處理器單元使用由所述光電探測器探測到的散射光來計數(shù)所述小電子元件。
11.一種使用激光束來計數(shù)小電子元件的方法，所述方法包括 (a)允許所述小電子元件從供給室下落至光穿透管； (b)通過光學器件將由激光發(fā)射器發(fā)射的所述激光束轉(zhuǎn)換成水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至所述光穿透管側(cè)；以及 (C)通過光電探測器探測由經(jīng)過所述光穿透管的所述小電子元件散射的光。
12.根據(jù)權利要求11所述的方法，其中，步驟(b)包括 (b-Ι)光束擴展步驟，擴展由所述激光發(fā)射器發(fā)射的所述激光束； (b-2)光轉(zhuǎn)換步驟，將擴展的激光束轉(zhuǎn)換成所述水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至所述光穿透管側(cè)。
13.根據(jù)權利要求11所述的方法，其中，在步驟(C)，將所述光電探測器設置在所述光學器件側(cè)，并探測由所述小電子元件散射的光。
14.根據(jù)權利要求11至13中任一項所述的方法，進一步包括(d)使用在步驟(c)探測到的散射光來計數(shù)所述小電子元件。
全文摘要
在此公開了一種使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備及方法。使用激光束來計數(shù)小電子元件的設備包括供給室，供給小電子元件；光穿透管，連接至供給室的下部，并形成小電子元件下落所經(jīng)過的路徑；激光發(fā)射器，發(fā)射激光束；光學器件，將由激光發(fā)射器發(fā)射的激光束轉(zhuǎn)換成水平式光，并將轉(zhuǎn)換而成的水平式光傳輸至光穿透管側(cè)；以及光電探測器，探測由經(jīng)過光穿透管的小電子元件散射的光。
文檔編號G06M1/272GK102622648SQ20111011198
公開日2012年8月1日 申請日期2011年4月29日 優(yōu)先權日2011年1月27日
發(fā)明者樸寅洙, 鄭在然, 金澤兼 申請人:三星電機株式會社