控制裝置及控制裝置的動作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在網(wǎng)絡(luò)中作為主控裝置發(fā)揮功能并經(jīng)由該網(wǎng)絡(luò)對I個或多個從屬裝置進(jìn)行控制的控制裝置及其動作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]許多生產(chǎn)現(xiàn)場所使用的機(jī)械或設(shè)備典型地由包含可編程控制器(P1grammableLogic Controller ;以下也稱為“PLC”。)等控制裝置的控制系統(tǒng)進(jìn)行控制。在這樣的控制系統(tǒng)中，PLC經(jīng)由稱為現(xiàn)場總線等的網(wǎng)絡(luò)與I個或多個從屬裝置(典型地，遠(yuǎn)程1dnput/Output ;輸入/輸出)裝置、伺服電動機(jī)驅(qū)動器等)進(jìn)行連接。
[0003]在這樣的控制系統(tǒng)中，多搭載有用于備份/恢復(fù)參數(shù)等各種數(shù)據(jù)的功能。例如，JP特開2011 - 215814號公報(引用文獻(xiàn)I)公開能對通信設(shè)備的對象參數(shù)的設(shè)定值進(jìn)行備份或恢復(fù)的可編程控制器。該可編程控制器具有備份過程信息以及恢復(fù)過程信息，并在進(jìn)行備份/恢復(fù)時基于該過程信息來進(jìn)行備份/恢復(fù)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1: JP特開2011 - 215814號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008]在一般的控制系統(tǒng)中，能任意地變更設(shè)備構(gòu)成。故而，在備份時與恢復(fù)時兩者之間，存在設(shè)備構(gòu)成不同的情況。在上述的JP特開2011 — 215814號公報(引用文獻(xiàn)I)所公開的構(gòu)成中，預(yù)先準(zhǔn)備有過程信息，因此在備份時與恢復(fù)時兩者之間設(shè)備構(gòu)成不同那樣的情況下，存在不能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行恢復(fù)這樣的課題。
[0009]本發(fā)明鑒于上述那樣的點而提出，其目的在于，即使在從數(shù)據(jù)的創(chuàng)建時起變更了經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與控制裝置進(jìn)行連接的從屬裝置的情況下，也能在可能的范圍內(nèi)進(jìn)行針對從屬裝置的恢復(fù)處理的控制裝置及其動作方法。
[0010]用于解決課題的手段
[0011 ] 遵照本發(fā)明的一局面，提供一種控制裝置，在網(wǎng)絡(luò)中作為主控裝置發(fā)揮功能，并經(jīng)由該網(wǎng)絡(luò)對I個或多個從屬裝置進(jìn)行控制?？刂蒲b置具備:存儲部，其保存設(shè)備構(gòu)成信息和設(shè)定信息，該設(shè)備構(gòu)成信息包含針對被注冊為網(wǎng)絡(luò)的成員的從屬裝置的每一個的網(wǎng)絡(luò)連接有效或者無效的信息，該設(shè)定信息包含為了控制被注冊的該從屬裝置所需的參數(shù)；以及處理部，其能使用包含設(shè)定信息的數(shù)據(jù)來執(zhí)行恢復(fù)處理。處理部在執(zhí)行恢復(fù)處理時，讀出設(shè)備構(gòu)成信息，并在包含于數(shù)據(jù)中的對象的從屬裝置當(dāng)中，確定已讀出的設(shè)備構(gòu)成信息之中的網(wǎng)絡(luò)連接變?yōu)橛行У膹膶傺b置或者存在于網(wǎng)絡(luò)上的從屬裝置，并恢復(fù)與所確定的從屬裝置對應(yīng)的設(shè)定信息。
[0012]優(yōu)選地，恢復(fù)處理包括從控制裝置向恢復(fù)對象的從屬裝置發(fā)送需要的數(shù)據(jù)的處理。
[0013]優(yōu)選地，在任一從屬裝置的網(wǎng)絡(luò)連接變?yōu)橛行У那闆r下或任一從屬裝置變?yōu)榇嬖谟诰W(wǎng)絡(luò)上的情況下，處理部恢復(fù)包含在數(shù)據(jù)中的對應(yīng)的設(shè)定信息。
[0014]優(yōu)選地，數(shù)據(jù)是從支持裝置提供的。
[0015]優(yōu)選地，處理部構(gòu)成為還能執(zhí)行備份處理，該備份處理用于使用來自存儲部以及從屬裝置的數(shù)據(jù)來生成數(shù)據(jù)。
[0016]遵照本發(fā)明的另一局面，提供一種控制裝置的動作方法，該控制裝置在網(wǎng)絡(luò)中作為主控裝置發(fā)揮功能，并經(jīng)由該網(wǎng)絡(luò)對I個或多個從屬裝置進(jìn)行控制。動作方法包含如下步驟:保存設(shè)備構(gòu)成信息和設(shè)定信息的步驟，設(shè)備構(gòu)成信息包含針對被注冊為網(wǎng)絡(luò)的成員的從屬裝置的每一個的網(wǎng)絡(luò)連接有效或者無效的信息，設(shè)定信息包含為了控制被注冊的該從屬裝置所需的參數(shù)；以及使用包含設(shè)定信息的數(shù)據(jù)來執(zhí)行恢復(fù)處理的步驟。執(zhí)行恢復(fù)處理的步驟包含如下步驟，即，讀出設(shè)備構(gòu)成信息，并在包含于數(shù)據(jù)中的對象的從屬裝置當(dāng)中，確定已讀出的設(shè)備構(gòu)成信息之中的網(wǎng)絡(luò)連接變?yōu)橛行У膹膶傺b置或者存在于網(wǎng)絡(luò)上的從屬裝置，并恢復(fù)與所確定的從屬裝置對應(yīng)的設(shè)定信息的步驟。
[0017]發(fā)明效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，即使在從數(shù)據(jù)的創(chuàng)建時起變更了經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與控制裝置進(jìn)行連接的從屬裝置的情況下，也能在可能的范圍進(jìn)行針對從屬裝置的恢復(fù)處理。
【附圖說明】
[0019]圖1是用于說明使用本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)進(jìn)行控制的設(shè)備構(gòu)成的一例的圖。
[0020]圖2是表示本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)的構(gòu)成例的示意圖。
[0021]圖3是表示本實施方式所涉及的PLC的CPU單元的硬件構(gòu)成的示意圖。
[0022]圖4是表示本實施方式所涉及的PLC的CPU單元的軟件構(gòu)成的示意圖。
[0023]圖5是表示本實施方式所涉及的伺服電動機(jī)驅(qū)動器的硬件構(gòu)成的示意圖。
[0024]圖6是表示與本實施方式所涉及的PLC連接的支持裝置的硬件構(gòu)成的示意圖。
[0025]圖7是表示與本實施方式所涉及的PLC連接的支持裝置的軟件構(gòu)成的示意圖。
[0026]圖8是用于說明本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)的構(gòu)筑過程的示意圖。
[0027]圖9是表示本實施方式所涉及的設(shè)備構(gòu)成信息的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。
[0028]圖10是表示圖8所示的設(shè)備構(gòu)成I的一例的圖。
[0029]圖11是表示圖8所示的設(shè)備構(gòu)成2以及3的一例的圖。
[0030]圖12是表示圖9所示的設(shè)備構(gòu)成信息的變更內(nèi)容的一例的圖。
[0031]圖13是用于說明本實施方式所涉及的PLC中安裝的備份處理/恢復(fù)處理的概要的示意圖。
[0032]圖14是用于說明與本實施方式關(guān)聯(lián)的備份處理/恢復(fù)處理的示意圖。
[0033]圖15是用于說明實施方式I所涉及的備份處理/恢復(fù)處理的示意圖。
[0034]圖16是表示實施方式I所涉及的備份處理的過程的流程圖。
[0035]圖17是表示實施方式I所涉及的恢復(fù)處理的過程的流程圖。
[0036]圖18是用于說明實施方式2所涉及的恢復(fù)處理的示意圖。
[0037]圖19是表示實施方式2所涉及的恢復(fù)處理(其I)的過程的流程圖。
[0038]圖20是表示實施方式2所涉及的恢復(fù)處理(其I)中的恢復(fù)處理的完成的記錄所涉及的信息的一例的示意圖。
[0039]圖21是表示實施方式2所涉及的追加性的恢復(fù)處理(其I)的過程的流程圖。
[0040]圖22是表示實施方式2所涉及的追加性的恢復(fù)處理(其2)的過程的流程圖。
[0041]圖23是用于說明實施方式3所涉及的備份處理/恢復(fù)處理的概要的示意圖。
【具體實施方式】
[0042]參照附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式。此外，針對圖中的相同或相當(dāng)部分，賦予同一附圖標(biāo)記并省略其說明。
[0043]< A.控制系統(tǒng)的應(yīng)用例>
[0044]首先，針對使用本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)進(jìn)行控制的設(shè)備構(gòu)成的一例來進(jìn)行說明。圖1是用于說明使用本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)進(jìn)行控制的設(shè)備構(gòu)成的一例的圖。圖1示出多艙(multichamber)式的半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)成例。具體而言，圖1 (a)所示的半導(dǎo)體制造裝置I呈以輸送艙10為中心而設(shè)置有多個制程艙20、22、24、26的構(gòu)成。在各制程艙中，執(zhí)行針對基板的真空處理。制程艙20、22、24、26與輸送艙10之間，分別設(shè)置有閘閥21、23、25、27，切換與輸送艙10之間的連通狀態(tài)/遮斷狀態(tài)。在輸送艙10中，設(shè)置有輸送機(jī)器人12。輸送機(jī)器人12將處理前的基板插入制程艙20、22、24、26的任一者中，或者從制程艙20、22、24、26取出處理后的基板。
[0045]在輸送艙10中設(shè)置有加載互鎖真空(load lock)室30以及34。加載互鎖真空室30以及34不僅進(jìn)行處理對象的基板的存取，還將輸送艙10以及制程艙20、22、24、26的內(nèi)部維持為真空。更具體而言，加載互鎖真空室30經(jīng)由連通部33與輸送艙10連接，在輸送艙10的入側(cè)以及出側(cè)，設(shè)置有閘閥31以及32。同樣，加載互鎖真空室34經(jīng)由連通部37與輸送艙10連接，在輸送艙10的入側(cè)以及出側(cè)，設(shè)置有閘閥35以及36。在處理對象的基板的存取中，交替使用加載互鎖真空室30以及34。
[0046]將圖1 (a)所示的半導(dǎo)體制造裝置I設(shè)為基本構(gòu)成，作為變形例，存在圖1 (b)所示的半導(dǎo)體制造裝置2以及圖1 (c)所示的半導(dǎo)體制造裝置3。更具體而言，圖1 (b)所示的半導(dǎo)體制造裝置2與圖1(a)所示的半導(dǎo)體制造裝置I比較，相當(dāng)于將第一制程艙20以及閘閥21排除后的部分，圖1 (c)所示的半導(dǎo)體制造裝置3與圖1 (a)所示的半導(dǎo)體制造裝置I比較，相當(dāng)于將第四制程艙26以及閘閥27排除后的部分。
[0047]在構(gòu)筑這樣的變形例的半導(dǎo)體制造裝置2以及3所涉及的控制系統(tǒng)時，存在想要最大限度利用半導(dǎo)體制造裝置I所涉及的控制系統(tǒng)的資產(chǎn)這樣的需求。更具體而言，存在想要使用為了構(gòu)筑面向某裝置的控制系統(tǒng)所需的程序以及設(shè)定信息(以下，將這些構(gòu)筑所需的數(shù)據(jù)群總稱為“項目”(project)。)，來構(gòu)筑面向具有不同構(gòu)成的裝置的控制系統(tǒng)這樣的需求。
[0048]例如，存在想要使用I個項目來管理圖1 (a)?(C)所示的半導(dǎo)體制造裝置I?3這樣的需求?；蛘?，存在想要以I個項目來管理能將某制程艙物理性地去除而安裝別的制程艙的半導(dǎo)體制造裝置這樣的需求。
[0049]對于這樣的需求，采取如下方法:創(chuàng)建I個項目，并適當(dāng)?shù)匦薷脑搫?chuàng)建的項目，從而構(gòu)筑類似的控制系統(tǒng)。
[0050]本實施方式典型地，提供對于使用這樣部分公共的項目而構(gòu)筑的控制系統(tǒng)、或適用于根據(jù)狀況而變更構(gòu)成的裝置的控制系統(tǒng)，能靈活地進(jìn)行備份處理或恢復(fù)處理的構(gòu)成。
[0051]< B.控制系統(tǒng)的整體構(gòu)成例>
[0052]在說明本實施方式所涉及的備份處理以及恢復(fù)處理的細(xì)節(jié)之前，說明本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)的整體構(gòu)成例。圖2是表示本實施方式所涉及的控制系統(tǒng)的構(gòu)成例的示意圖。圖2所示的控制系統(tǒng)面向圖1(a)所示的半導(dǎo)體制造裝置I。
[0053]參照圖2，控制系統(tǒng)SYS包含:PLC100和經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與PLC100連接的伺服電動機(jī)驅(qū)動器210及遠(yuǎn)程1終端200。在本實施方式中，采用了現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)108作為網(wǎng)絡(luò)。PLC100在現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)108中作為管理通信處理的“主控裝置”發(fā)揮功能。該主控裝置有時也稱為“母站”或“管理站”?；谂c作為主控裝置的PLC100進(jìn)行對比的含義，將經(jīng)由現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)108與PLC100連接的伺服電動機(jī)驅(qū)動器210或遠(yuǎn)程1終端200稱為“從屬裝置”或“設(shè)備”。現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)108上的各從屬裝置基于節(jié)點編號而被識別。如此，作為主控裝置的PLC100在網(wǎng)絡(luò)中作為主控裝置發(fā)揮功能，而且經(jīng)由該網(wǎng)絡(luò)對I個或多個從屬裝置進(jìn)行控制。
[0054]作為這樣的現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)108，能使用各種產(chǎn)業(yè)用的以太網(wǎng)(Ethernet ;注冊商標(biāo))。作為產(chǎn)業(yè)用的以太網(wǎng)(注冊商標(biāo))，例如有EtherCAT (注冊商標(biāo))、PR0FINET (注冊商標(biāo))、MECHATR0LINK (注冊商標(biāo))一 II1、Powerlink、SERCOS (注冊商標(biāo))一 II1、CIPMot1n 等。進(jìn)而，還可以使用產(chǎn)業(yè)用的以太網(wǎng)(注冊商標(biāo))以外的現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)。例如還可以使用DeviceNet