本發(fā)明屬于數(shù)控機(jī)床
技術(shù)領(lǐng)域：
，更具體地，涉及一種數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法及裝置。
背景技術(shù)：
：隨著制造業(yè)對(duì)數(shù)控機(jī)床加工效率和精度要求的提高，需要五軸機(jī)床具備各伺服軸系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)配合的動(dòng)態(tài)性能，而動(dòng)態(tài)性能的優(yōu)劣將對(duì)加工工件的質(zhì)量和加工效率產(chǎn)生顯著影響。為了驗(yàn)證五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)性能是否滿足要求，需要檢驗(yàn)五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度。對(duì)于五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度的檢驗(yàn)，國(guó)內(nèi)外學(xué)者做了大量研究，目前仍缺乏系統(tǒng)的機(jī)理分析和權(quán)威的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。基于檢驗(yàn)試件切削的樣件法能部分地反映機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度。目前國(guó)際上比較有名的機(jī)床檢驗(yàn)試件，如美國(guó)的nas979檢驗(yàn)試件、日本的四角錐臺(tái)檢驗(yàn)試件和德國(guó)的梅賽德斯檢驗(yàn)試件等，僅能檢驗(yàn)機(jī)床靜止或低速狀態(tài)下的各項(xiàng)精度，對(duì)于機(jī)床在高速工作狀態(tài)下的檢測(cè)無(wú)能為力。而且，通過(guò)上述試件檢測(cè)的一些機(jī)床，在實(shí)際應(yīng)用中仍然會(huì)出現(xiàn)精度達(dá)不到期望要求的現(xiàn)象。專利cn200710048269.7公開了一種“綜合檢測(cè)數(shù)控銑床精度的“s”形檢測(cè)試件及其檢測(cè)方法”提出了一種對(duì)五坐標(biāo)數(shù)控銑床五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床精度進(jìn)行檢測(cè)的試件，并且還涉及使用檢測(cè)試件檢測(cè)五坐標(biāo)數(shù)控銑床多坐標(biāo)軸聯(lián)動(dòng)精度的方法，如圖1所示。該檢測(cè)試件在試件型面中融入了航空薄壁的特征，不僅能夠反映五軸機(jī)床的靜態(tài)精度，而且重點(diǎn)關(guān)注了五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度。試件型面曲率隨表面形狀變化而變化，在拐角處具有開閉角轉(zhuǎn)換特征，通過(guò)切削“s”件可以在一定程度上反映出五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差。依據(jù)專利cn200710048269.7公開的五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度的檢驗(yàn)方法，如圖1所示，每進(jìn)行一次檢驗(yàn)都需要五軸機(jī)床加工一次“s”件，包括從制備毛坯、粗加工以及精加工的整個(gè)過(guò)程；然后將加工好的“s”件用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x檢測(cè)其輪廓誤差；如果“s”件的輪廓誤差不合格，需要找到造成五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)誤差的機(jī)床因素，并調(diào)整機(jī)床相關(guān)參數(shù)；然后，再完整地加工一次“s”件，直到加工的“s”件滿足精度要求為止。這樣一臺(tái)五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度的檢驗(yàn)的時(shí)間大約為一到兩天，有的時(shí)間會(huì)更長(zhǎng)。這在很大程度上造成了時(shí)間和試件毛坯材料、電能等資源的浪費(fèi)，而且這種方法不便于五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度的定期檢驗(yàn)和動(dòng)態(tài)性能的修正與調(diào)整。這種方法在驗(yàn)證加工的“s”件是否合格時(shí)，還需要用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等儀器，變向地增加了五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度檢驗(yàn)的成本。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷或改進(jìn)需求，本發(fā)明提供了數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法及裝置，通過(guò)測(cè)頭沿著刀具軌跡貼合“s”件直紋加工面的掃描運(yùn)動(dòng)代替刀具的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)獲得五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差，來(lái)檢驗(yàn)五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度。為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明，提供了(1)一種數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，包括：數(shù)據(jù)采集步驟，從數(shù)控機(jī)床獲取與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的第一數(shù)據(jù)和與測(cè)頭的探針的偏移量相關(guān)的第二數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)處理步驟，對(duì)所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，將所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)還原成工件坐標(biāo)系下的理論刀位軌跡，并基于所述理論刀位軌跡和所述第二數(shù)據(jù)獲得實(shí)際刀位軌跡；分析步驟，通過(guò)比較所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡，得到所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡之間的誤差，獲得所述數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差。采用上述技術(shù)方案，不需要實(shí)際加工工件，也就不需要用到三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等儀器，檢驗(yàn)環(huán)節(jié)方便快捷，有效地節(jié)約了檢驗(yàn)過(guò)程中的時(shí)間和資源成本。(2)根據(jù)(1)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，所述第一數(shù)據(jù)通過(guò)沿已經(jīng)數(shù)控加工好的工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量而獲得。(3)根據(jù)(2)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，以與數(shù)控加工所述工件時(shí)相同的進(jìn)給速度和與加工時(shí)的刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡對(duì)所述工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量。(4)根據(jù)(3)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，所述工件是“s”件，所述刀具軌跡是所述“s”件精加工中的一條與所述“s”件的基座底面平行的閉合的刀具軌跡。(5)根據(jù)(4)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，在對(duì)所述工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量時(shí)，當(dāng)出現(xiàn)所述“s”件的直紋面上未掃描到的部位時(shí)，則用所述測(cè)頭的探針對(duì)該部位進(jìn)行局部掃描測(cè)量，或者用所述測(cè)頭的探針觸碰該部位進(jìn)行一次檢驗(yàn)測(cè)量。(6)根據(jù)(5)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，當(dāng)發(fā)現(xiàn)掃描測(cè)量過(guò)的部位已經(jīng)不滿足數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度的要求時(shí)，則終止對(duì)其它未掃描部位的進(jìn)一步檢驗(yàn)測(cè)量。(7)根據(jù)(1)～(6)任意一項(xiàng)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，所述實(shí)際刀位軌跡通過(guò)將所述理論刀位軌跡加上所述測(cè)頭的探針的偏移量數(shù)據(jù)而獲得。(8)根據(jù)(1)～(6)任意一項(xiàng)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，所述第一數(shù)據(jù)為在所述數(shù)控機(jī)床坐標(biāo)系下的與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的數(shù)據(jù)；所述第二數(shù)據(jù)為在所述測(cè)頭坐標(biāo)系下的與所述探針的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)。本發(fā)明的另一方面還提供了(9)一種數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)裝置，包括：顯示器；處理器，能夠進(jìn)行以下處理：從數(shù)控機(jī)床獲取與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的第一數(shù)據(jù)和與測(cè)頭的探針的偏移量相關(guān)的第二數(shù)據(jù)；對(duì)所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，將所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)還原成工件坐標(biāo)系下的理論刀位軌跡，并基于所述理論刀位軌跡和所述第二數(shù)據(jù)獲得實(shí)際刀位軌跡；通過(guò)比較所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡，得到所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡之間的誤差，獲得所述數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差。(10)根據(jù)(9)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)裝置，所述第一數(shù)據(jù)通過(guò)沿已經(jīng)數(shù)控加工好的工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量而獲得。(11)根據(jù)(10)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)裝置，以與數(shù)控加工所述工件時(shí)相同的進(jìn)給速度和與加工時(shí)的刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡對(duì)所述工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量。(12)根據(jù)(9)～(11)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)裝置，所述實(shí)際刀位軌跡通過(guò)將所述理論刀位軌跡加上所述測(cè)頭的探針的偏移量數(shù)據(jù)而獲得。(13)根據(jù)(9)～(11)任意一項(xiàng)所述的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，所述第一數(shù)據(jù)為在數(shù)控機(jī)床坐標(biāo)系下的與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的數(shù)據(jù)；所述第二數(shù)據(jù)為在測(cè)頭坐標(biāo)系下的與所述探針的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)。本發(fā)明還進(jìn)一步提供了(14)一種能夠用于動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)的數(shù)控機(jī)床，包括：數(shù)控裝置、伺服驅(qū)動(dòng)裝置、信號(hào)監(jiān)控采集裝置、測(cè)頭以及主軸；所述數(shù)控裝置，用于控制所述數(shù)控機(jī)床的相關(guān)部件的運(yùn)行；所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置，連接著傳感設(shè)備，用于讀寫傳感器傳輸?shù)臄?shù)字量和/或模擬量信號(hào)；所述伺服驅(qū)動(dòng)裝置用于接收所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置的所述數(shù)字量信號(hào)，并輸出所述模擬量信號(hào)來(lái)控制所述主軸的伺服電機(jī)的運(yùn)動(dòng)；所述測(cè)頭被安裝在所述主軸上，用于采集所述主軸的運(yùn)行數(shù)據(jù)和所述測(cè)頭自身運(yùn)行數(shù)據(jù)，并將所采集的數(shù)據(jù)傳送給所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置。(15)根據(jù)(14)所述的數(shù)控機(jī)床，還包括：ups電源，用于給所述數(shù)控裝置和所述述信號(hào)監(jiān)控采集裝置的輸入輸出模塊供電。(16)根據(jù)(14)所述的數(shù)控機(jī)床，所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置為基于stm32的模擬量高速數(shù)據(jù)采集i/o模塊。(17)根據(jù)(14)所述的數(shù)控機(jī)床，所述測(cè)頭為三維掃描式測(cè)頭，所述測(cè)頭的探針在空間三維方向上都有一定量程，所述探針每個(gè)方向的移動(dòng)都會(huì)有正余弦模擬量信號(hào)的輸出。(18)根據(jù)(14)所述的數(shù)控機(jī)床，其特征在于，所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置通過(guò)ad/da轉(zhuǎn)換完成所述傳感器和所述伺服驅(qū)裝置及所述傳感器和所述信號(hào)監(jiān)控采集裝置的輸入輸出模塊之間的數(shù)據(jù)通訊傳輸。(19)根據(jù)(14)～(18)任意一項(xiàng)所述的數(shù)控機(jī)床，所述數(shù)控裝置配制了測(cè)頭超過(guò)量程保護(hù)模塊，當(dāng)所述測(cè)頭的量程達(dá)到超程臨界條件時(shí)，所述數(shù)控裝置發(fā)出超程控制信號(hào)，控制所述數(shù)控機(jī)床的相應(yīng)部件的運(yùn)行。(20)根據(jù)(19)所述的數(shù)控機(jī)床，當(dāng)所述測(cè)頭的量程達(dá)到超程臨界條件時(shí)，所述數(shù)控裝置發(fā)出超程控制信號(hào)，控制所述數(shù)控機(jī)床鎖死所述主軸的運(yùn)行。(21)根據(jù)(14)～(18)任意一項(xiàng)所述的數(shù)控機(jī)床，所述測(cè)頭具有超程保護(hù)單元，當(dāng)所述測(cè)頭的量程達(dá)到超程臨界條件時(shí)，發(fā)出超程報(bào)警信號(hào)。在上述技術(shù)方案中，當(dāng)所述測(cè)頭的量程達(dá)到超程臨界條件時(shí)，發(fā)出超程報(bào)警信號(hào)，以提醒用戶測(cè)頭將超程需要采取必要措施，防止所述測(cè)頭的損壞或機(jī)器故障。本發(fā)明還進(jìn)一步提供了(22)一種能夠用于動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)的測(cè)頭，包括：測(cè)頭本體和探針；所述測(cè)頭本體具有超程保護(hù)單元，能在所述測(cè)頭的位移超程時(shí)發(fā)出超程信號(hào)。在上述技術(shù)方案中，通過(guò)向數(shù)控裝置發(fā)送超程信號(hào)，使得數(shù)控裝置發(fā)出超程控制信號(hào)，以控制上述數(shù)控機(jī)床的伺服驅(qū)動(dòng)裝置、伺服電機(jī)或軸等相應(yīng)部件的運(yùn)行，能夠自動(dòng)且有效地防止上述測(cè)頭損壞或者機(jī)器故障(23)根據(jù)(22)所述的測(cè)頭，所述探針能夠通過(guò)貼合工件的加工面，對(duì)所述工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量，采集數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置所述探針自身的偏移量。(24)根據(jù)(22)所述的測(cè)頭，所述超程保護(hù)單元在所述測(cè)頭的量程達(dá)到超程臨界條件時(shí)發(fā)出超程報(bào)警信號(hào)。在上述技術(shù)方案中，通過(guò)上述超程保護(hù)單元發(fā)出超程報(bào)警信號(hào)，可以提醒用戶采取必要措施，防止上述測(cè)頭損壞或者機(jī)器故障。(25)根據(jù)(22)～(24)任意一項(xiàng)所述的測(cè)頭，所述超程信號(hào)被發(fā)送至數(shù)控機(jī)床的數(shù)控裝置，所述數(shù)控裝置基于所述超程信號(hào)發(fā)出超程控制信號(hào)，控制所述數(shù)控機(jī)床的相應(yīng)部件的運(yùn)行。(26)根據(jù)(25)所述的測(cè)頭，所述數(shù)控裝置基于所述超程信號(hào)發(fā)出超程控制信號(hào)，控制所述數(shù)控機(jī)床鎖死所述主軸的運(yùn)行。本發(fā)明還進(jìn)一步提供(27)一種存儲(chǔ)介質(zhì)，存儲(chǔ)使至少一個(gè)處理器能夠執(zhí)行以下操作的程序：從數(shù)控機(jī)床獲取與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的第一數(shù)據(jù)和與測(cè)頭的探針的偏移量相關(guān)的第二數(shù)據(jù)；對(duì)所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，將所述第一數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)還原成工件坐標(biāo)系下的理論刀位軌跡，并基于所述理論刀位軌跡和所述第二數(shù)據(jù)獲得實(shí)際刀位軌跡；通過(guò)比較所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡，得到所述理論刀位軌跡和所述實(shí)際刀位軌跡之間的誤差，獲得所述數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差。(28)根據(jù)(27)所述的存儲(chǔ)介質(zhì)，所述第一數(shù)據(jù)通過(guò)沿已經(jīng)數(shù)控加工好的工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量而獲得。(29)根據(jù)(27)所述的存儲(chǔ)介質(zhì)，以與數(shù)控加工所述工件時(shí)相同的進(jìn)給速度和與加工時(shí)的刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡對(duì)所述工件的外輪廓進(jìn)行掃描測(cè)量。(30)根據(jù)(27)～(29)任意一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)介質(zhì)，所述實(shí)際刀位軌跡通過(guò)將所述理論刀位軌跡加上所述測(cè)頭的探針的偏移量數(shù)據(jù)而獲得。(31)根據(jù)(27)～(29)任意一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)介質(zhì)，所述第一數(shù)據(jù)為在數(shù)控機(jī)床坐標(biāo)系下的與所述數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的數(shù)據(jù)；所述第二數(shù)據(jù)為在測(cè)頭坐標(biāo)系下的與所述探針的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)?？傮w而言，通過(guò)本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠取得下列有益效果：1)本發(fā)明提出的方法不需要實(shí)際加工“s”件，也就不需要用到三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等儀器，檢驗(yàn)環(huán)節(jié)方便快捷，有效地節(jié)約了檢驗(yàn)過(guò)程中的時(shí)間和資源成本。2)動(dòng)態(tài)精度檢驗(yàn)過(guò)程中測(cè)頭的走刀軌跡是“s”件精加工中刀具的軌跡，測(cè)頭探針與“s”件型面貼合，由于“s”件是已經(jīng)數(shù)控加工好的檢驗(yàn)試件，用測(cè)頭替代刀具以與刀具精加工相同的進(jìn)給速度沿著這種“s”件的直紋加工面進(jìn)行貼合掃描測(cè)量所得到的誤差值能夠有效地反映五軸機(jī)床各坐標(biāo)軸、伺服驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)以及各伺服電機(jī)的聯(lián)動(dòng)性能，把同步采集來(lái)的機(jī)床坐標(biāo)系下的數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)據(jù)處理還原成工件坐標(biāo)系下指令刀軌和加上測(cè)頭偏移數(shù)據(jù)的實(shí)際刀軌，方便有效地分析五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差，驗(yàn)證五軸機(jī)床的動(dòng)態(tài)精度是否滿足要求，為調(diào)節(jié)五軸機(jī)床聯(lián)動(dòng)性能提供依據(jù)。3)試驗(yàn)證明，通過(guò)用本發(fā)明所述的五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度的檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)的五軸機(jī)床，在使用過(guò)程中其動(dòng)態(tài)性能良好。附圖說(shuō)明圖1是檢驗(yàn)五軸機(jī)床動(dòng)態(tài)精度現(xiàn)有方法的流程圖；圖2為本發(fā)明一實(shí)施方式的數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明一實(shí)施方式的數(shù)據(jù)處理裝置的結(jié)構(gòu)框圖；圖4為本發(fā)明一實(shí)施方式的測(cè)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明一實(shí)施方式的數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)流程圖；圖6為本發(fā)明一實(shí)施方式中使用的“s”形檢驗(yàn)試件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明一實(shí)施方式中基于“s”形檢驗(yàn)試件的機(jī)床動(dòng)態(tài)精度檢驗(yàn)示意圖；圖8是本發(fā)明一實(shí)施方式中動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法詳細(xì)的主流程圖；圖9是本發(fā)明一實(shí)施方式中測(cè)頭的示意圖。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。此外，下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。參照?qǐng)D1～圖9，基于“s”形檢驗(yàn)試件的五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法，本發(fā)明所使用的“s”形檢驗(yàn)試件60是專利cn200710048269.7所加工形成的試件，所述“s”形檢驗(yàn)試件60通過(guò)數(shù)控加工形成，其由一個(gè)呈“s”形狀的直紋面等厚緣條61和一個(gè)矩形基座62組合而成，分別在兩個(gè)不同平面內(nèi)生成的兩條“s”形曲線在基座平面的投影互相交叉，并具有在交匯處轉(zhuǎn)換變化彎曲形成的開、閉角形態(tài)，所述直紋面與基座平面夾角角度沿其“s”線的運(yùn)動(dòng)軌跡呈非均勻變化走向，該動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)方法包括以下步驟：1、將測(cè)頭19安裝在五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床的主軸上，并把已經(jīng)所述數(shù)控加工完成，且滿足設(shè)定精度要求的“s”件裝夾在五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床的工作臺(tái)上；本發(fā)明中的測(cè)頭19為接觸式三維掃描測(cè)頭，優(yōu)選采用renishawsp2-1接觸式三維掃描測(cè)頭，renishawsp2-1接觸式三維掃描測(cè)頭主要由四部分組成，包括運(yùn)動(dòng)子系統(tǒng)、測(cè)量子系統(tǒng)、超程保護(hù)單元以及探針192組成，測(cè)頭19主體的示意圖如圖4所示。超程保護(hù)單元能在測(cè)頭19的位移超過(guò)量程之后發(fā)出超程信號(hào)，防止測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障。超程的臨界條件如表1所示。表1測(cè)頭超程的臨界值坐標(biāo)軸量程/mm受力/nx、y18mm(具有100mm針尖)20n～65nz5mm最小值400n～600n對(duì)于重量為0-10g的探針192來(lái)說(shuō)，測(cè)頭19每個(gè)軸的量程都為定值，但是不同的安裝方式量程又有所不同，如表2所示。表2測(cè)頭量程本實(shí)施例中待檢測(cè)動(dòng)態(tài)精度的五軸機(jī)床和數(shù)控系統(tǒng)為華中8型數(shù)控系統(tǒng)，該系統(tǒng)中根據(jù)測(cè)頭19的量程制配了測(cè)頭19超程保護(hù)軟件模塊和主軸鎖死機(jī)制。測(cè)頭19經(jīng)數(shù)據(jù)連接線連接到基于stm32的模擬量高速數(shù)據(jù)采集i/o模塊，該模塊再和數(shù)控系統(tǒng)總線相連。因?yàn)闇y(cè)頭19輸出的信號(hào)是正余弦模擬信號(hào)，需要經(jīng)過(guò)上述i/o模塊進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換，把模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)由總線傳送給數(shù)控系統(tǒng)。2、測(cè)頭19的探針192先貼合“s”件的直紋加工面，然后以與數(shù)控加工“s”件時(shí)相同的進(jìn)給速度和與數(shù)據(jù)加工“s”件時(shí)其中一刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡，沿“s”件的外輪廓掃描測(cè)量一周圈，與此同時(shí)，同步采集五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置以及測(cè)頭19探針192的偏移量；本發(fā)明中五軸機(jī)床運(yùn)行的檢驗(yàn)程序?yàn)榧庸ぁ皊”件的標(biāo)準(zhǔn)程序中精加工程序中的如圖2所示的一條閉合的與“s”件基座底平面平行的軌跡程序，并修改了主軸轉(zhuǎn)速等輔助代碼，保證測(cè)頭19掃描測(cè)量時(shí)的進(jìn)給速度和加工該“s”件時(shí)刀具的進(jìn)給速度一致。在數(shù)控系統(tǒng)開始運(yùn)行檢驗(yàn)程序的，使用采樣分析軟件同步采集五軸機(jī)床的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置與測(cè)頭19的偏移量。本發(fā)明中使用的采樣分析軟件具有數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)保存、數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)分析等功能。將采樣分析軟件安裝在pc機(jī)上，數(shù)控系統(tǒng)與pc機(jī)用網(wǎng)線連通，并設(shè)置ip地址例如，通過(guò)通信協(xié)議設(shè)置界面等，建立數(shù)控系統(tǒng)與分析軟件的正確連接。3、把同步采集來(lái)的數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)據(jù)處理還原成工件坐標(biāo)系下的理論刀位軌跡63，并通過(guò)理論刀位軌跡63和測(cè)頭19探針192偏移數(shù)據(jù)獲得實(shí)際刀位軌跡63，從而獲得理論刀位軌跡63和實(shí)際刀位軌跡63的誤差，該誤差即為五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差。本發(fā)明實(shí)時(shí)采集檢驗(yàn)過(guò)程中的機(jī)床指令位置和測(cè)頭19探針192偏移的數(shù)據(jù)，采集結(jié)束后將數(shù)據(jù)保存到本地。該軟件可以將采集的機(jī)床坐標(biāo)系下的機(jī)床指令位置數(shù)據(jù)和測(cè)頭19坐標(biāo)系下的探針192偏移數(shù)據(jù)還原成工件坐標(biāo)系下的機(jī)床指令刀軌和加上測(cè)頭19偏移數(shù)據(jù)的實(shí)際刀軌。通過(guò)機(jī)床指令刀軌和實(shí)際刀軌的對(duì)比，發(fā)現(xiàn)掃描測(cè)量“s”件時(shí)有一些地方測(cè)頭19的探針192沒(méi)有碰到“s”件，對(duì)于這樣的地方就需要采用局部掃描測(cè)量或者觸碰的方式再一次檢驗(yàn)測(cè)量，如果發(fā)現(xiàn)已經(jīng)掃描測(cè)量過(guò)的地方已經(jīng)不滿足動(dòng)態(tài)精度的要求，就可以終止進(jìn)一步的檢驗(yàn)測(cè)量，直到把“s”件一條閉合的曲線軌跡上的誤差都測(cè)量出來(lái)。整個(gè)檢驗(yàn)過(guò)程只需要一到兩個(gè)小時(shí)，大大縮短了檢驗(yàn)時(shí)間，節(jié)約了資源成本。另外，為了使本發(fā)明的思想更加清楚，本發(fā)明還提供了一種動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)系統(tǒng)，圖2為本實(shí)施方式的數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理裝置1和數(shù)控機(jī)床2，上述數(shù)據(jù)處理裝置1與上述數(shù)控機(jī)床2通信連接。上述通信連接3可以包括但不限于是無(wú)線或有線網(wǎng)絡(luò)連接、局域網(wǎng)連接、數(shù)據(jù)線連接、藍(lán)牙等連接方式。例如，通過(guò)設(shè)置ip地址、通過(guò)通信協(xié)議設(shè)置界面等，建立上述數(shù)據(jù)處理裝置1與上述數(shù)控機(jī)床2之間的正確連接。上述數(shù)據(jù)處理裝置1可以是個(gè)人電腦(pc機(jī))，安裝有采樣分析軟件，該采樣分析軟件具有數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)保存、數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)分析等功能。上述數(shù)據(jù)處理裝置1從上述數(shù)控機(jī)床2獲取數(shù)據(jù)，并用上述采樣分析軟件對(duì)所采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。上述數(shù)控機(jī)床2包括數(shù)控裝置11、伺服驅(qū)動(dòng)裝置12、信號(hào)監(jiān)控采集裝置18、測(cè)頭19以及主軸20等，上述數(shù)控機(jī)床2的數(shù)控裝置11、伺服驅(qū)動(dòng)裝置12和信號(hào)監(jiān)控采集裝置18之間可以通過(guò)總線27和28進(jìn)行相互通信連接。其中，上述數(shù)控裝置11為數(shù)控機(jī)床的五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控系統(tǒng)，控制上述數(shù)控機(jī)床2的相關(guān)部件的運(yùn)行；上述伺服驅(qū)動(dòng)裝置12用于接收上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18的數(shù)字量信號(hào)，以及接收外部編碼器(未圖示)的反饋信號(hào)，并輸出模擬量信號(hào)來(lái)控制上述主軸20的伺服電機(jī)的運(yùn)動(dòng)；上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18連接著各種壓力、位置、溫度、電壓等傳感設(shè)備，主要用于讀寫傳感器傳輸?shù)臄?shù)字量和/或模擬量信號(hào)，并通過(guò)ad/da轉(zhuǎn)換完成傳感器和上述伺服驅(qū)裝置12及傳感器和上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18的輸入輸出模塊之間的數(shù)據(jù)通訊傳輸；上述測(cè)頭19被安裝在上述主軸20上，用于采集上述主軸的運(yùn)行數(shù)據(jù)和上述測(cè)頭19自身運(yùn)行數(shù)據(jù)，并將所采集的上述數(shù)據(jù)傳送給上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18。上述數(shù)控機(jī)床2還可以包括電源26，用于給上述數(shù)控裝置11及上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18的輸入輸出模塊供電。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，上述數(shù)控機(jī)床2為五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床，還可以包括伺服驅(qū)動(dòng)裝置13～17和軸(a、c、x、y、z)21～25。上述伺服驅(qū)動(dòng)裝置13～17用于接收上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18的數(shù)字量信號(hào)，以及接收外部編碼器(未圖示)的反饋信號(hào)，并輸出模擬量信號(hào)來(lái)控制上述主軸21～25的伺服電機(jī)的運(yùn)動(dòng)；上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18通過(guò)ad/da轉(zhuǎn)換完成傳感器和上述伺服驅(qū)裝置13～17及傳感器和上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18的輸入輸出模塊之間的數(shù)據(jù)通訊傳輸。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18為基于stm32的模擬量高速數(shù)據(jù)采集i/o模塊，更優(yōu)選地，為hio-1000和/或hio-1000pulse信號(hào)監(jiān)控采集模塊。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，上述總線27和28為ncuc-bus總線。ncuc-bus總線是一種華中數(shù)控等數(shù)控廠家聯(lián)合制定的標(biāo)準(zhǔn)化、開放式的數(shù)據(jù)總線，主要用于數(shù)控機(jī)床各串聯(lián)設(shè)備間的數(shù)字通信ncuc-bus總線將各模塊串接起來(lái)實(shí)現(xiàn)各模塊之間的信號(hào)傳遞。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，上述電源26為ups電源模塊，能夠提供斷電ups功能，使斷電保存、斷電回退變得輕松。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，上述測(cè)頭19為三維掃描式測(cè)頭，更優(yōu)選地，上述測(cè)頭19為renishawsp2-1測(cè)頭，該renishawsp2-1測(cè)頭的探針在空間三維方向上都有一定量程，探針每個(gè)方向的移動(dòng)都會(huì)有正余弦模擬量信號(hào)的輸出。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，在上述數(shù)控裝置11中根據(jù)上述測(cè)頭19的量程配制了上述測(cè)頭19超過(guò)量程保護(hù)軟件模塊，當(dāng)上述測(cè)頭19的位移超過(guò)量程(超程)時(shí)發(fā)出控制信號(hào)，控制上述數(shù)控機(jī)床2的伺服驅(qū)動(dòng)裝置、伺服電機(jī)或軸等相應(yīng)部件的運(yùn)行，防止上述測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障。更優(yōu)選地，還在上述數(shù)控裝置11中根據(jù)上述測(cè)頭19的量程配制了主軸鎖死機(jī)制，當(dāng)上述測(cè)頭19的位移超過(guò)量程(超程)時(shí)發(fā)出控制信號(hào)，控制上述數(shù)控機(jī)床2鎖死上述主軸20的運(yùn)行，防止上述測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障。圖3為本實(shí)施方式的數(shù)據(jù)處理裝置的結(jié)構(gòu)框圖。如圖3所示，數(shù)據(jù)處理裝置1可以由個(gè)人電腦(pc)等構(gòu)成，主要由包括cpu、rom和ram等組成數(shù)據(jù)處理控制器31、顯示器32和鍵盤33。數(shù)據(jù)處理控制器31主要由cpu31a、rom31b、ram31c、硬盤31d、讀取裝置31e、輸出輸入接口31f、通信接口31g和數(shù)據(jù)輸出接口31h構(gòu)成。cpu31a、rom31b、ram31c、硬盤31d、讀取裝置31e、輸出輸入接口31f、通信接口31g和數(shù)據(jù)輸出接口31h通過(guò)總線31i相互連接，可以互相收發(fā)控制信號(hào)和控制計(jì)算數(shù)據(jù)等。顯示器32用于顯示分析結(jié)果和/或相應(yīng)工件的還原后的軌跡圖等。cpu31a可以執(zhí)行存儲(chǔ)在rom31b的計(jì)算機(jī)程序和讀到ram31c中的計(jì)算機(jī)程序。rom31b由只讀存儲(chǔ)器、prom、eprom、eeprom等構(gòu)成，存儲(chǔ)由cpu31a執(zhí)行的計(jì)算機(jī)程序及其所用數(shù)據(jù)等。ram31c由sram或dram等構(gòu)成，用于讀取存儲(chǔ)在rom301b和硬盤31d的計(jì)算機(jī)程序。ram31c還可以作為cpu31a執(zhí)行這些計(jì)算機(jī)程序時(shí)的工作空間。硬盤31d儲(chǔ)存有操作系統(tǒng)和應(yīng)用程序等供cpu31a執(zhí)行用的各種計(jì)算機(jī)程序及其執(zhí)行該計(jì)算機(jī)程序所用的數(shù)據(jù)。本實(shí)施方式中的采樣分析軟件7a也儲(chǔ)存在此硬盤31d中。讀取裝置31e由軟驅(qū)、cd-rom驅(qū)動(dòng)器或dvd-rom驅(qū)動(dòng)器等構(gòu)成，可讀取存儲(chǔ)于便攜型存儲(chǔ)介質(zhì)7的計(jì)算機(jī)程序或數(shù)據(jù)。便攜型存儲(chǔ)介質(zhì)7存儲(chǔ)有采樣分析軟件7a，計(jì)算機(jī)(數(shù)據(jù)處理裝置)1可從該便攜型存儲(chǔ)介質(zhì)7讀取采樣分析軟件7a，將其裝入硬盤31d。上述采樣分析軟件7a不僅可由便攜型存儲(chǔ)介質(zhì)7提供，也可以通過(guò)電子通信線路從該電子通信線路(不論有線、無(wú)線)連接的、可與計(jì)算機(jī)(數(shù)據(jù)處理裝置)1通信的外部機(jī)器上下載。比如，上述采樣分析軟件7a存儲(chǔ)于網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器的硬盤中，計(jì)算機(jī)(數(shù)據(jù)處理裝置)1可訪問(wèn)此服務(wù)器，下載該采樣分析軟件7a，裝入硬盤31d。硬盤31d裝有比如美國(guó)微軟公司生產(chǎn)的windows(注冊(cè)商標(biāo))等提供圖形用戶界面的操作系統(tǒng)。在以下說(shuō)明中，本實(shí)施方式的采樣分析軟件7a均在上述操作系統(tǒng)上執(zhí)行。輸出輸入接口31f由比如usb、ieee1394、rs－232c等串行接口、scsi、ide、ieee1284等并行接口和由d/a轉(zhuǎn)換器和a/d轉(zhuǎn)換器等組成的模擬信號(hào)接口構(gòu)成。輸出輸入接口31f接鍵盤33，用戶可以用鍵盤33直接向計(jì)算機(jī)(數(shù)據(jù)處理裝置)1輸入數(shù)據(jù)。通信接口31g可以是比如ethernet(以太網(wǎng)，注冊(cè)商標(biāo))接口。計(jì)算機(jī)(數(shù)據(jù)處理裝置)1通過(guò)該通信接口31g可以使用一定的通信協(xié)議與上述數(shù)控機(jī)床2之間傳送數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)輸出接口31h與由lcd或crt等構(gòu)成的顯示器32連接，將與從cpu31a接收的相應(yīng)工件還原后的軌跡數(shù)據(jù)輸出到顯示器32。因此，顯示器32可以按照輸入的相應(yīng)工件的還原后的軌跡數(shù)據(jù)顯示相應(yīng)工件還原后的軌跡。圖4為本實(shí)施方式的測(cè)頭的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，上述測(cè)頭9包括測(cè)頭本體191和探針192。上述測(cè)頭本體191具有運(yùn)動(dòng)子系統(tǒng)、測(cè)量子系統(tǒng)、超程保護(hù)單元等部分(未圖示)。其中，上述超程保護(hù)單元能在上述測(cè)頭19的位移超過(guò)量程(超程)時(shí)發(fā)出超程信號(hào)，并將上述超程信號(hào)發(fā)送至上述數(shù)控裝置11，由上述數(shù)控裝置11基于所接收到的上述超程信號(hào)，發(fā)出超程控制信號(hào)，以控制上述數(shù)控機(jī)床2的伺服驅(qū)動(dòng)裝置、伺服電機(jī)或軸等相應(yīng)部件的運(yùn)行，防止上述測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障。對(duì)于不同重量(例如0～10g)的探針192來(lái)說(shuō)，上述測(cè)頭19每個(gè)軸的量程都為定值。但是，不同的安裝方式，量程又會(huì)有所不同。為了防止上述測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障，可以設(shè)置超程的臨界條件，當(dāng)量程達(dá)到上述超程臨界條件時(shí)，上述超程保護(hù)單元發(fā)出超程報(bào)警信號(hào)，以提醒用戶采取必要措施，防止上述測(cè)頭19損壞或者機(jī)器故障。圖5為本實(shí)施方式的數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)誤差檢驗(yàn)流程圖。如圖5所示，將上述測(cè)頭19安裝在上述數(shù)控機(jī)床2的主軸20上，并把工件60安裝在上述數(shù)控機(jī)床2的工作臺(tái)(未圖示)上(步驟s1)。其中，上述工件60是已經(jīng)經(jīng)過(guò)上述數(shù)控機(jī)床2加工完成并滿足設(shè)定精度要求。在本發(fā)明中，可以使用的“s”形檢驗(yàn)試件60(即“s”件)(參見(jiàn)圖6)。上述“s”件60通過(guò)數(shù)控加工形成，其由一個(gè)呈“s”形狀的直紋面等厚緣條61和一個(gè)矩形基座62組合而成，分別在兩個(gè)不同平面內(nèi)生成的兩條“s”形曲線在基座平面的投影互相交叉，并具有在交匯處轉(zhuǎn)換變化彎曲形成的開、閉角形態(tài)，所述直紋面與基座平面夾角角度沿其“s”線的運(yùn)動(dòng)軌跡呈非均勻變化走向。返回圖5，用上述測(cè)頭19的探針192掃描測(cè)量上述工件60，并同步采集相關(guān)數(shù)據(jù)(步驟s2)。具體地，上述數(shù)控裝置11運(yùn)行檢驗(yàn)程序控制上述伺服驅(qū)動(dòng)裝置12驅(qū)動(dòng)上述主軸20的伺服電機(jī)，將上述測(cè)頭19的探針192先貼合上述工件的加工面，然后以與數(shù)控加工上述工件時(shí)相同的進(jìn)給速度和與數(shù)據(jù)加工上述工件時(shí)其中一刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡，沿上述工件的外輪廓掃描測(cè)量一周圈，與此同時(shí)，同步采集上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置以及上述測(cè)頭19探針192的偏移量。優(yōu)選地，上述檢驗(yàn)程序?yàn)間代碼。在本發(fā)明中，使用“s”件60時(shí)，如圖7所示，將上述測(cè)頭19的探針192先貼合上述“s”件60的直紋加工面，然后以與數(shù)控加工上述“s”件60時(shí)相同的進(jìn)給速度和與數(shù)據(jù)加工上述“s”件60時(shí)其中一刀具軌跡相同的運(yùn)動(dòng)軌跡63，沿上述“s”件60的外輪廓掃描測(cè)量一周圈，與此同時(shí)，同步采集上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置以及上述測(cè)頭19探針192的偏移量。如圖2所示，上述測(cè)頭19經(jīng)數(shù)據(jù)連接線連接到上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18，上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18再和上述數(shù)控裝置11相連。上述測(cè)頭19輸出的信號(hào)是正余弦模擬信號(hào)，需要經(jīng)過(guò)上述信號(hào)監(jiān)控采集裝置18進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換，把模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)由上述總線27傳送給上述數(shù)控裝置11。在本發(fā)明中，優(yōu)選地，上述數(shù)控機(jī)床2的數(shù)控裝置11運(yùn)行的檢驗(yàn)程序?yàn)榧庸ぁ皊”件60的標(biāo)準(zhǔn)程序中的精加工程序中的如圖7所示的一條閉合的與“s”件60的基座底平面平行的軌跡63的程序，并修改了上述主軸20轉(zhuǎn)速等輔助代碼，能夠保證上述測(cè)頭19掃描測(cè)量時(shí)的進(jìn)給速度與加工該“s”件60時(shí)刀具的進(jìn)給速度一致。在上述數(shù)控裝置11開始運(yùn)行檢驗(yàn)程序時(shí)，使用上述采樣分析軟件同步采集上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置與上述測(cè)頭19的偏移量。返回圖5，上述數(shù)據(jù)處理裝置1從上述數(shù)控機(jī)床2采集與上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置和上述測(cè)頭19探針192的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)，運(yùn)行上述采樣分析軟件對(duì)上述數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到上述數(shù)控機(jī)床2的動(dòng)態(tài)誤差(步驟s3)。具體地，上述數(shù)據(jù)處理裝置1運(yùn)行上述采樣分析軟件，從上述數(shù)控裝置11實(shí)時(shí)采集檢驗(yàn)過(guò)程中的與上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置和上述測(cè)頭19探針192的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)。在采集結(jié)束后，上述數(shù)據(jù)處理裝置1將上述數(shù)據(jù)保存到本地。同時(shí)，上述數(shù)據(jù)處理裝置1運(yùn)行上述采樣分析軟件，把同步采集來(lái)的在機(jī)床坐標(biāo)系下的與上述數(shù)控機(jī)床2的刀位點(diǎn)的實(shí)際位置相關(guān)的數(shù)據(jù)和在上述測(cè)頭19坐標(biāo)系下的與上述探針192的偏移量相關(guān)的數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)據(jù)處理還原成上述工件坐標(biāo)系下的理論刀位軌跡，并基于上述理論刀位軌跡和上述測(cè)頭19的探針192的偏移量數(shù)據(jù)獲得實(shí)際刀位軌跡63，從而獲得理論刀位軌跡和實(shí)際刀位軌跡的誤差，該誤差即為上述數(shù)控機(jī)床2的動(dòng)態(tài)誤差。在上述實(shí)施方式中，優(yōu)選地，通過(guò)將上述理論刀位軌跡加上上述測(cè)頭19的探針192的偏移量數(shù)據(jù)以獲得上述實(shí)際刀位軌跡63。在本發(fā)明中，通過(guò)理論刀位軌跡和實(shí)際刀位軌跡的對(duì)比，發(fā)現(xiàn)掃描測(cè)量上述工件時(shí)有一些地方上述測(cè)頭19的探針192沒(méi)有碰到上述工件，對(duì)于這樣的地方就需要采用局部掃描測(cè)量或者觸碰的方式再一次檢驗(yàn)測(cè)量，如果發(fā)現(xiàn)已經(jīng)掃描測(cè)量過(guò)的地方已經(jīng)不滿足動(dòng)態(tài)精度的要求，就可以終止進(jìn)一步的檢驗(yàn)測(cè)量，直到把上述工件一條閉合的曲線軌跡上的誤差都測(cè)量出來(lái)。整個(gè)檢驗(yàn)過(guò)程只需要一到兩個(gè)小時(shí)，大大縮短了檢驗(yàn)時(shí)間，節(jié)約了資源成本。本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。當(dāng)前第1頁(yè)12