專(zhuān)利名稱(chēng)：顯影機(jī)及其加顯影液的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯影技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于半導(dǎo)體工藝中的顯影機(jī)及其加顯影液的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
顯影機(jī)是半導(dǎo)體工藝中的一種常用設(shè)備，用于將顯影液噴在涂覆有光刻膠的基板上，以進(jìn)行顯影。顯然，為保證顯影機(jī)的連續(xù)生產(chǎn)，需對(duì)顯影機(jī)的顯影液罐中的顯影液進(jìn)行及時(shí)補(bǔ)充。如圖1所示，在現(xiàn)有的顯影機(jī)(例如SVG 90S涂膠顯影機(jī))的加顯影液的系統(tǒng)中，帶有控制11閥的輸液管道1連接顯影液供液系統(tǒng)3 (例如場(chǎng)務(wù)供液系統(tǒng))和顯影機(jī)的顯影液罐2，顯影液罐2中設(shè)有與報(bào)警裝置5相連的液位傳感器4，當(dāng)顯影液罐2中顯影液的液位降到低液位21時(shí)，液位傳感器4向報(bào)警裝置5發(fā)出信號(hào)，報(bào)警裝置5發(fā)出蜂鳴報(bào)警， 并顯示TANK LOW，操作人員聽(tīng)到報(bào)警后手動(dòng)打開(kāi)控制閥11，通過(guò)輸液管道1向顯影液罐2 加顯影液，待顯影液罐2中的液位達(dá)到高液位22時(shí)，報(bào)警裝置5停止報(bào)警，顯示TANK HIGH, 操作人員再手動(dòng)關(guān)閉控制閥11。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問(wèn)題由于現(xiàn)有的顯影機(jī)的加顯影液操作要靠操作人員手動(dòng)進(jìn)行，受人為因素影響大，容易誤操作，可靠性差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其可靠性好。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一種顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，包括帶有控制閥的輸液管道，連接在顯影液供液系統(tǒng)和顯影機(jī)的顯影液罐間，用于從所述顯影液供液系統(tǒng)向所述顯影液罐輸送顯影液；液位傳感器，用于測(cè)量所述顯影液罐中顯影液的液位；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述控制閥的開(kāi)閉；控制器，用于接收所述液位傳感器的測(cè)量結(jié)果，并根據(jù)所述測(cè)量結(jié)果向所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)出控制信號(hào)從而控制所述控制閥的開(kāi)閉。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)中通過(guò)控制器自動(dòng)開(kāi)閉控制閥，不受人為因素的影響，故可靠性好。本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種顯影機(jī)，其可靠性好。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一種顯影機(jī)，包括用于儲(chǔ)存顯影液的顯影液罐以及上述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)具有上述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，故其可自動(dòng)開(kāi)閉控制閥，不受人為因素的影響，可靠性好。本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種顯影機(jī)加顯影液的方法，其可靠性好。
3
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一種顯影機(jī)加顯影液的方法，包括用液位傳感器測(cè)量顯影機(jī)的顯影液罐中顯影液的液位，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送給控制器；當(dāng)所述顯影液的液位為第一液位時(shí)，所述控制器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)打開(kāi)輸液管道上的控制閥，通過(guò)所述輸液管道向所述顯影液罐輸送顯影液。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)加顯影液的方法中，控制閥在控制器的控制下自動(dòng)開(kāi)閉，不受人為因素的影響，故可靠性好。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。圖1為現(xiàn)有的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例一的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例二的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例四的顯影機(jī)加顯影液的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。實(shí)施例一本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，如圖2所示，其包括帶有控制閥11的輸液管道1，連接在顯影液供液系統(tǒng)3和顯影機(jī)的顯影液罐2間， 用于從所述顯影液供液系統(tǒng)3向所述顯影液罐2輸送顯影液；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)111，用于驅(qū)動(dòng)所述控制閥11的開(kāi)閉；液位傳感器4，用于測(cè)量所述顯影液罐2中顯影液的液位；控制器6，用于接收所述液位傳感器4的測(cè)量結(jié)果，并根據(jù)所述測(cè)量結(jié)果向所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)111發(fā)出控制信號(hào)從而控制所述控制閥2的開(kāi)閉。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)中通過(guò)控制器自動(dòng)開(kāi)閉控制閥，不受人為因素的影響，故可靠性好；其不會(huì)因操作人員忘記打開(kāi)控制閥而造成顯影液耗干，從而避免了因顯影機(jī)在無(wú)顯影液的情況下工作而造成產(chǎn)品返工或報(bào)廢的現(xiàn)象，也不會(huì)因操作人員忘記關(guān)閉控制閥而導(dǎo)致顯影液溢出顯影液罐。實(shí)施例二本發(fā)明實(shí)施例提供一種涂膠顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，如圖3所示，其包括帶有電磁閥11 (控制閥)的輸液管道1，其連接在顯影液供液系統(tǒng)3和顯影機(jī)顯影液罐2間，用于從顯影液供液系統(tǒng)3向顯影液罐2輸送顯影液；液位傳感器4，用于測(cè)量顯影液罐2中顯影液的液位，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送給可編程序控制器6和報(bào)警裝置5 ；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)111，用于驅(qū)動(dòng)控制閥11的開(kāi)閉；本實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)111為控制電磁閥11通斷電的電路，難以分開(kāi)，因此在圖3中其與電磁閥11顯示為一個(gè)部件；可編程序控制器(控制器)6，用于根據(jù)液位傳感器4的測(cè)量結(jié)果向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)111 發(fā)出控制信號(hào)，從而控制電磁閥11的開(kāi)閉(實(shí)際為控制電磁閥11的通斷電)。其中，當(dāng)顯影液罐2中顯影液的液位降到低液位21 (第一液位)時(shí)，可編程序控制器6控制電磁閥11 打開(kāi)以通過(guò)輸液管道1從顯影液供液系統(tǒng)3向顯影液罐2輸送顯影液；而當(dāng)顯影液的液位上升到高液位22 (第二液位)時(shí)，可編程序控制器6控制電磁閥11關(guān)閉，停止顯影液供應(yīng)； 而假如因顯影液供液系統(tǒng)3故障等原因，顯影液的液位在經(jīng)過(guò)低液位21后繼續(xù)降低到最低液位23(第三液位)，可編程序控制器6則向涂膠顯影機(jī)發(fā)出終止工作的命令，以防止涂膠顯影機(jī)在沒(méi)有顯影液的情況下繼續(xù)工作而造成產(chǎn)品報(bào)廢或返工。報(bào)警裝置5，用于根據(jù)液位傳感器4的測(cè)量結(jié)果發(fā)出報(bào)警信號(hào)，以提醒操作人員注意。例如，當(dāng)顯影液的液位降到低液位21時(shí)，報(bào)警裝置5可發(fā)出蜂鳴報(bào)警；當(dāng)顯影液的液位上升到高液位22可停止報(bào)警；而若顯影液的液位降低到最低液位23，報(bào)警裝置5可發(fā)出另一種不同聲音的報(bào)警。顯然，上述實(shí)施例的涂膠顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)可進(jìn)行許多變化，例如液位傳感器、報(bào)警裝置、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、可編程序控制器之間可如圖3所示通過(guò)電線連接，也可不連接而通過(guò)無(wú)線方式傳遞信號(hào)；液位傳感器可為超聲波液位傳感器、磁翻板液位傳感器、靜壓式液位傳感器、浮球液位傳感器等多種類(lèi)型，可為一個(gè)也可為多個(gè)；電磁閥可為其它形式的閥門(mén) (如機(jī)械閥、氣閥等)，其所對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也可為其它類(lèi)型(如氣動(dòng)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))；可編程序控制器也可為電腦、電控柜等；可編程序控制器可不根據(jù)高液位信號(hào)關(guān)閉電磁閥，而是在打開(kāi)電磁閥后經(jīng)過(guò)特定的時(shí)間或特定的顯影液流量(需增設(shè)流量監(jiān)控裝置)即關(guān)閉電磁閥；還可設(shè)置第二控制裝置，以方便操作人員直接對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行操作。實(shí)施例三本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影機(jī)，其包括用于儲(chǔ)存顯影液的顯影液罐以及上述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)。可選地，該顯影機(jī)為涂膠顯影機(jī)。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)具有上述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，故其可自動(dòng)開(kāi)閉控制閥，不受人為因素的影響，可靠性好。實(shí)施例四本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影機(jī)加顯影液的方法，其包括S01、用液位傳感器測(cè)量顯影機(jī)的顯影液罐中顯影液的液位，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送給控制器。S02、當(dāng)所述顯影液的液位為第一液位時(shí)，所述控制器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)打開(kāi)輸液管道上的控制閥，通過(guò)所述輸液管道向所述顯影液罐輸送顯影液。 可選地，所述方法還包括 S03、當(dāng)所述顯影液的液位為第二液位時(shí)，所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)關(guān)閉輸液管道上的控制閥，停止輸送顯影液，其中所述第一液位低于所述第二液位。由于本發(fā)明的實(shí)施例的顯影機(jī)加顯影液的方法中，控制閥在控制器的控制下自動(dòng)開(kāi)閉，不受人為因素的影響，故可靠性好。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，包括帶有控制閥的輸液管道，連接在顯影液供液系統(tǒng)和顯影機(jī)的顯影液罐間，用于從所述顯影液供液系統(tǒng)向所述顯影液罐輸送顯影液；液位傳感器，用于測(cè)量所述顯影液罐中顯影液的液位；其特征在于，所述顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述控制閥的開(kāi)閉；控制器，用于接收所述液位傳感器的測(cè)量結(jié)果，并根據(jù)所述測(cè)量結(jié)果向所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)出控制信號(hào)從而控制所述控制閥的開(kāi)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器為可編程序控制器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器用于在所述顯影液的液位為第一液位時(shí)打開(kāi)所述控制閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器還用于在所述顯影液的液位為第二液位時(shí)關(guān)閉所述控制閥，其中所述第一液位低于所述第二液位。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器還用于在所述顯影液的液位為第三液位時(shí)停止顯影機(jī)的工作，其中所述第三液位低于所述第二液位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)，其特征在于，還包括報(bào)警裝置， 所述報(bào)警裝置用于接收所述液位傳感器的測(cè)量結(jié)果，并根據(jù)所述測(cè)量結(jié)果發(fā)出報(bào)警。
7.—種顯影機(jī)，包括用于儲(chǔ)存顯影液的顯影液罐，其特征在于，所述顯影機(jī)還包括上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯影機(jī)，其特征在于，所述顯影機(jī)為涂膠顯影機(jī)。
9.一種顯影機(jī)加顯影液的方法，其特征在于，包括用液位傳感器測(cè)量顯影機(jī)的顯影液罐中顯影液的液位，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送給控制器；當(dāng)所述顯影液的液位為第一液位時(shí)，所述控制器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)打開(kāi)輸液管道上的控制閥，通過(guò)所述輸液管道向所述顯影液罐輸送顯影液。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顯影機(jī)加顯影液的方法，其特征在于，在所述控制器打開(kāi)輸液管道上的控制閥，通過(guò)輸液管道向所述顯影液罐輸送顯影液后，還包括當(dāng)所述顯影液的液位為第二液位時(shí)，所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)關(guān)閉輸液管道上的控制閥，停止輸送顯影液，其中所述第一液位低于所述第二液位。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯影機(jī)及其加顯影液的系統(tǒng)和方法，屬于顯影技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的加顯影的工藝可靠性差的問(wèn)題。本發(fā)明的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)包括帶有控制閥的輸液管道；液位傳感器；用于驅(qū)動(dòng)該控制閥開(kāi)閉的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；控制器，用于接收液位傳感器的測(cè)量結(jié)果，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)出控制信號(hào)從而控制該控制閥的開(kāi)閉。本發(fā)明的顯影機(jī)包括顯影液罐和上述的顯影機(jī)加顯影液的系統(tǒng)。本發(fā)明的顯影機(jī)加顯影液的方法包括用液位傳感器測(cè)量顯影液罐中顯影液的液位，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送給控制器；當(dāng)液位為第一液位時(shí)，控制器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)打開(kāi)輸液管道上的控制閥，通過(guò)輸液管道向顯影液罐輸送顯影液。本發(fā)明可用于半導(dǎo)體制造工藝中。
文檔編號(hào)G05D9/12GK102419518SQ20101029317
公開(kāi)日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2010年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月27日
發(fā)明者吳鑄偉, 趙迎春, 陳振剛 申請(qǐng)人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司