專利名稱：半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體制造中生產(chǎn)線的 監(jiān)控方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中涉及到上百道工序和多臺(tái)設(shè)備，特別是隨著半 導(dǎo)體制造向高集成度方向發(fā)展，制造過(guò)程采用了高集成度的流水線作業(yè)，并 更多的依賴于高自動(dòng)化的設(shè)備。生產(chǎn)過(guò)程中，需要通過(guò)高效有序的生產(chǎn)調(diào)度 將制造工廠中的資源充分利用，以提高效率并降低成本。專利號(hào)為
200510026662.7的中國(guó)專利公開了一種生產(chǎn)線的動(dòng)態(tài)調(diào)度方法，通過(guò)該方法可 實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)的實(shí)時(shí)生產(chǎn)調(diào)度，較大限度的整個(gè)利用生產(chǎn)中的各種資源，降低成 本。然而，這需要實(shí)時(shí)有效的監(jiān)控生產(chǎn)線上各種半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)運(yùn)行狀態(tài)， 以減小設(shè)備空置時(shí)間及降低故障率。現(xiàn)有的一種對(duì)半導(dǎo)體制造工廠生產(chǎn)線的 監(jiān)控方法和系統(tǒng)如下
如圖l所示，所述監(jiān)控系統(tǒng)包括生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備IOO，郵件或消息服 務(wù)器108，終端106。生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備100通過(guò)局域網(wǎng)和所述服務(wù)器108連 接，所述終端106通過(guò)局域網(wǎng)或無(wú)線網(wǎng)絡(luò)和所述服務(wù)器108連接。上述監(jiān)控系 統(tǒng)在工作時(shí)，所述半導(dǎo)體設(shè)備100自身的控制計(jì)算機(jī)將狀態(tài)信息傳送至服務(wù)器 108，所述服務(wù)器108判斷所述狀態(tài)信息的類型，若是報(bào)警或出錯(cuò)信息，所述 服務(wù)器108觸發(fā)自身的發(fā)射單元將所述報(bào)警或出錯(cuò)信息發(fā)送至終端106。上述 監(jiān)控系統(tǒng)和方法存在如下缺陷設(shè)備狀態(tài)信息單一、滯后，無(wú)法及時(shí)全面的 反應(yīng)設(shè)備狀態(tài)信息。
圖2為現(xiàn)有另一種監(jiān)控系統(tǒng)示意圖。如圖2所示，該監(jiān)控系統(tǒng)包括生產(chǎn)線 上的半導(dǎo)體設(shè)備200,服務(wù)器202和終端計(jì)算機(jī)204,所述半導(dǎo)體設(shè)備200、服 務(wù)器202和終端計(jì)算機(jī)204通過(guò)局域網(wǎng)連接。半導(dǎo)體設(shè)備200中有多個(gè)傳感器， 所述傳感器監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體設(shè)備中各個(gè)單元(unit)狀態(tài)信息后發(fā)送至所述半導(dǎo)體 設(shè)備200自身的控制計(jì)算機(jī)201 ，所述控制計(jì)算機(jī)201通過(guò)制造執(zhí)行系統(tǒng)將所述 信息傳送至服務(wù)器202，并生成數(shù)據(jù)庫(kù)。通過(guò)所述終端計(jì)算機(jī)204訪問所述服
務(wù)器202，調(diào)出服務(wù)器202數(shù)據(jù)庫(kù)中相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，并傳送至終 端計(jì)算機(jī)204。
上述監(jiān)控方法及系統(tǒng)存在如下缺陷所述終端計(jì)算4幾204每一次只能訪問 調(diào)出 一臺(tái)設(shè)備或一個(gè)部門中相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，不能同時(shí)調(diào)用多臺(tái) 半導(dǎo)體設(shè)備或整個(gè)生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，使得對(duì)生產(chǎn)線中設(shè)備的 監(jiān)控和管理處于一種分立的狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法及系統(tǒng)，以 解決現(xiàn)有生產(chǎn)監(jiān)控方法和系統(tǒng)無(wú)法同時(shí)監(jiān)測(cè)整個(gè)生產(chǎn)線的各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的 狀態(tài)信息的問題。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，包括 獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；生成與所述狀態(tài)信息的相應(yīng) 的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息及其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接；通過(guò)對(duì) 所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲得所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；其中，通過(guò)所述 鏈接將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)。
所述獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的步驟如下將生產(chǎn)線中 各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息發(fā)送至制造執(zhí)行系統(tǒng)；所述制造執(zhí)行系統(tǒng)在服務(wù)
器中生成半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)庫(kù)。
所述信息標(biāo)識(shí)為數(shù)字、符號(hào)、文字、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息
載體并能夠被識(shí)別的標(biāo)記。
所述圖標(biāo)用特定的顏色信息反應(yīng)相應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備不同的狀態(tài)信息。 所述半導(dǎo)體設(shè)備包括多個(gè)腔室或部件單元、監(jiān)控所述腔室或部件單元狀
態(tài)信息的傳感裝置及用于將所述傳感裝置監(jiān)測(cè)的狀態(tài)信息反饋至服務(wù)器的控
制計(jì)算機(jī)。
所述狀態(tài)信息包括半導(dǎo)體設(shè)備的標(biāo)識(shí)名稱、各個(gè)腔室或部件單元的工作 狀態(tài)、參數(shù)設(shè)定及該半導(dǎo)體設(shè)備中正在運(yùn)行和將要運(yùn)行的產(chǎn)品的工藝參數(shù)。
本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，包括獲取生產(chǎn)線中各個(gè) 半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；生成與所述狀態(tài)信息的相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并在所述 狀態(tài)信息及其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接；通過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲
得所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；其中，通過(guò)所述鏈接將所述狀態(tài)信息更
新至相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并將所述對(duì)信息標(biāo)識(shí)識(shí)別后所采取的操作反饋至相應(yīng) 的半導(dǎo)體設(shè)備。
相應(yīng)的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)獲取裝 置，用于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；數(shù)據(jù)處理裝置，用于生 成所述狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建 立鏈接，所述鏈接用于將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)。
所述信息標(biāo)識(shí)為數(shù)字、符號(hào)、文字、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息 載體并能夠被識(shí)別的標(biāo)記。
所述圖標(biāo)用特定的顏色信息反應(yīng)相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備不同的狀態(tài)信息。
所述監(jiān)控系統(tǒng)還包括輸入輸出系統(tǒng)，用以輸出所述信息標(biāo)識(shí)并輸入對(duì)所 述信息標(biāo)識(shí)識(shí)別后所采取的操作信息。
所述半導(dǎo)體設(shè)備包括多個(gè)腔室或部件單元、監(jiān)控所述腔室或部件單元狀 態(tài)信息的傳感裝置及用于將所述傳感裝置監(jiān)測(cè)的狀態(tài)信息反饋至服務(wù)器的控 制計(jì)算機(jī)。
所述狀態(tài)信息包括半導(dǎo)體設(shè)備的標(biāo)識(shí)名稱、各個(gè)腔室或部件單元的工作 狀態(tài)、參數(shù)設(shè)定及該半導(dǎo)體設(shè)備中正在運(yùn)行和將要運(yùn)行的產(chǎn)品的工藝參數(shù)。 本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)獲取裝置，用
于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；數(shù)據(jù)處理裝置，用于生成所述
生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng) 的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接，所述鏈接用于將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新 至所述信息標(biāo)識(shí)，并將所述對(duì)信息標(biāo)識(shí)識(shí)別后所采取的操作反饋至相應(yīng)的半 導(dǎo)體設(shè)備。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明生產(chǎn)線監(jiān)控方法首先獲取半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，然后通過(guò)數(shù)據(jù) 處理裝置生成與所述半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，所述信息標(biāo)識(shí)可 以是數(shù)字、文字、符號(hào)、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息載體并能夠被識(shí) 別的標(biāo)記。接著建立所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息和其相應(yīng)狀態(tài)信息的鏈接。 通過(guò)所述鏈接實(shí)時(shí)的將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)。通 過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別可獲得生產(chǎn)線上各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息。本發(fā)
明的生產(chǎn)線的監(jiān)控方法能夠同時(shí)獲取生產(chǎn)線上半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，從而 可以全面的監(jiān)控整個(gè)生產(chǎn)線的狀況，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高效率的生產(chǎn)資源和人力的調(diào) 度，提高效率，減少設(shè)備空置及等待時(shí)間，降低成本。
另外，本發(fā)明監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和方法也可以查看每一個(gè)與所述信息標(biāo)識(shí)相應(yīng)的 半導(dǎo)體設(shè)備的詳細(xì)信息、產(chǎn)品的工藝參數(shù)以及該半導(dǎo)體設(shè)備將要進(jìn)行的產(chǎn)品 名稱、工藝參數(shù)步驟等信息，還可以對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)進(jìn)行分類、重組，根據(jù) 不同的組合來(lái)監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，使得能夠?qū)崟r(shí)全面的監(jiān)控整個(gè)生 產(chǎn)線的狀況。


圖1和圖2為現(xiàn)有生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)示意圖3為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法流程圖4為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法示意圖5為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的光刻工藝半導(dǎo)體設(shè)備示意圖6為應(yīng)用本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法監(jiān)控圖5所示的光刻工藝半 導(dǎo)體設(shè)備而輸出的圖標(biāo)示意圖7為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)示意圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖 對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。
圖3為所述半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法的流程圖。如圖3所示，首先，獲 取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息(S300 );在生產(chǎn)線的各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備 中有控制計(jì)算機(jī)，所述控制計(jì)算機(jī)將半導(dǎo)體設(shè)備中各個(gè)部件單元的狀態(tài)信息 傳送至制造執(zhí)行系統(tǒng)，通過(guò)制造執(zhí)行系統(tǒng)在服務(wù)器生成設(shè)備半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài) 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)。
生成與所述生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并在所 述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接(S310)。通過(guò)所
述鏈接可將生產(chǎn)線上各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息實(shí)時(shí)的更新至其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)。
通過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲悉所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信,t-(S320 )。所述信息標(biāo)識(shí)可以是數(shù)字、符號(hào)、文字、圖標(biāo)或其它可以記錄于信息載體并能夠被識(shí)別的標(biāo)記。
下面根據(jù)實(shí)施例對(duì)所述半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法進(jìn)行詳細(xì)描述。半導(dǎo)體
生產(chǎn)要經(jīng)過(guò)光刻(lithography )、刻蝕(etch)、離子注入(implant )、擴(kuò)散 (diffusion),化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)等一系列的工藝，每一道工藝都有相應(yīng) 的半導(dǎo)體設(shè)備，例如光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備等，將上述各個(gè)工藝中的半導(dǎo)體設(shè) 備通過(guò)局域網(wǎng)連接至服務(wù)器，通過(guò)服務(wù)器及半導(dǎo)體設(shè)備中的控制計(jì)算機(jī)中的 制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)，各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備按一定的順序自動(dòng)的調(diào)用或執(zhí)行已經(jīng) 設(shè)定好的各種工藝步驟集合或工藝參數(shù)。同時(shí)各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備通過(guò)傳感器監(jiān) 測(cè)自身的參數(shù)和狀態(tài)信息并反饋至MES， MES根據(jù)參數(shù)設(shè)定范圍判斷收到的來(lái) 自各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的參數(shù)和狀態(tài)信息是否正常，連同產(chǎn)品在各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備 中運(yùn)行的參數(shù)在服務(wù)器中生成設(shè)備狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)庫(kù)。如圖4所示，光刻設(shè) 備600,刻蝕設(shè)備602,離子注入設(shè)備604，擴(kuò)散設(shè)備606和化學(xué)機(jī)械研磨設(shè) 備608通過(guò)局域網(wǎng)連至服務(wù)器610,每一道工藝中具有多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備，例如 在光刻工藝中，根據(jù)產(chǎn)量的不同可能有多臺(tái)涂膠和曝光設(shè)備，曝光設(shè)備根據(jù) 線寬的不同有I線曝光機(jī)，深紫外曝光機(jī)，套準(zhǔn)量測(cè)設(shè)備(Overlay),線寬 量測(cè)設(shè)備(CDSEM)等，將所述設(shè)備均通過(guò)局域網(wǎng)連至服務(wù)器610，在每一臺(tái) 半導(dǎo)體設(shè)備中都有多個(gè)傳感裝置可以監(jiān)測(cè)其各自設(shè)備的工作狀態(tài)。通過(guò)MES 系統(tǒng)每一 臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備可調(diào)用已經(jīng)設(shè)定好的程式或參數(shù)來(lái)執(zhí)行對(duì)產(chǎn)品的制造 或量測(cè)，并將結(jié)果反饋至服務(wù)器610生成設(shè)備狀態(tài)信息數(shù)據(jù)庫(kù)。數(shù)據(jù)處理裝 置620與所述服務(wù)器610連接，在所述數(shù)據(jù)處理裝置620中首先生成與所述 半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，所述信息標(biāo)識(shí)可以是數(shù)字、文字、符 號(hào)、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息載體并能夠被識(shí)別的標(biāo)記。然后建立 所述數(shù)據(jù)庫(kù)中半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息和其相應(yīng)狀態(tài)信息的鏈接。通過(guò)所述鏈 接實(shí)時(shí)的將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)。通過(guò)對(duì)所述信 息標(biāo)識(shí)的識(shí)別可獲得生產(chǎn)線上各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息。本實(shí)施例中所述 信息標(biāo)識(shí)為圖標(biāo)，通過(guò)數(shù)據(jù)處理裝置生成多個(gè)圖標(biāo)，每一圖標(biāo)與生產(chǎn)線中的 半導(dǎo)體設(shè)備相對(duì)應(yīng)。數(shù)據(jù)處理裝置訪問所述備狀態(tài)信息數(shù)據(jù)庫(kù)，并將來(lái)自同 一半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息封裝到一個(gè)模塊之中，并給予該模塊一訪問地址。 通過(guò)半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息生成的模塊的地址訪問該模塊中的狀態(tài)信息，將其 傳送至相應(yīng)的圖標(biāo)，并將其轉(zhuǎn)換為特定的可區(qū)別不同狀態(tài)信息的特征信息，
例如，顏色信息，圖標(biāo)不同的顏色信息反應(yīng)其相應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備的不同狀態(tài)信 息。通過(guò)實(shí)時(shí)的調(diào)用所述多個(gè)模塊并傳送至相應(yīng)的圖標(biāo)，可實(shí)時(shí)的獲悉半導(dǎo) 體設(shè)備的狀態(tài)信息?？梢姡鰣D標(biāo)與生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備不同的狀態(tài)信息 相對(duì)應(yīng)并實(shí)時(shí)反應(yīng)該狀態(tài)信息，例如，當(dāng)某一半導(dǎo)體設(shè)備中的某一個(gè)腔室中 的參數(shù)發(fā)生了漂移，傳感裝置會(huì)發(fā)出報(bào)警信息，該報(bào)警信息被傳送至服務(wù)器
610的數(shù)據(jù)庫(kù)，數(shù)據(jù)處理裝置620訪問所述數(shù)據(jù)庫(kù)并將該^R警信息連同該半導(dǎo) 體設(shè)備的其它信息封裝成一模塊，賦予所述模塊一訪問地址，訪問調(diào)用所述 模塊中的信息并將其轉(zhuǎn)換成特定的顏色信息傳送至所述半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)應(yīng)的圖 標(biāo)，將所述圖標(biāo)通過(guò)輸入輸出裝置被輸出，通過(guò)識(shí)別不同的顏色信息獲悉相 應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備的報(bào)警信息。從宏觀上講，整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的所述設(shè)備
的狀態(tài)信息都可以和其相應(yīng)的圖標(biāo)對(duì)應(yīng)起來(lái)。通過(guò)對(duì)所述圖標(biāo)的識(shí)別監(jiān)測(cè)整 個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的狀況。所述圖標(biāo)可以按生產(chǎn)線上不同部門、不同設(shè)備的 實(shí)際位置在輸出裝置進(jìn)行擺放，使得可以一目了然監(jiān)測(cè)整個(gè)生產(chǎn)線的狀況， 從而進(jìn)行產(chǎn)品和人力的合理調(diào)度。提高資源利用率。以光刻工藝為例，如圖5 所示，光刻工藝中有多臺(tái)設(shè)備I線曝光設(shè)備(I-Line) 700, 702， 704, 706， 708;深紫外曝光設(shè)備(DUV)710, 712， 714， 716， 718;套刻量測(cè)設(shè)備(OVL) 720， 722;線寬量測(cè)設(shè)備(CDSEM) 724， 726;顯影后監(jiān)測(cè)設(shè)備(ADI ) 730, 732， 734。上述設(shè)備在光刻區(qū)域按圖5所示的位置擺放，每一臺(tái)設(shè)備上有多 個(gè)產(chǎn)品在運(yùn)行。I線曝光設(shè)備700有涂膠設(shè)備700a和曝光機(jī)700b組成，所述 涂膠設(shè)備700a具有四個(gè)SMIF: 701a， 701b， 701c， 701d。通過(guò)如圖4描述的半 導(dǎo)體生產(chǎn)線監(jiān)控方法將上述光刻工藝的半導(dǎo)體設(shè)備連至服務(wù)器并通過(guò)數(shù)據(jù)處 理裝置將所述光刻工藝的半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息及產(chǎn)品的工藝參數(shù)信息鏈接至 相應(yīng)的圖標(biāo)，然后通過(guò)輸出裝置將所述圖標(biāo)輸出。圖6為所述輸出裝置輸出 的半導(dǎo)體設(shè)備相應(yīng)的圖標(biāo)的示意圖，如圖6所示，每一個(gè)圖標(biāo)對(duì)于其相應(yīng)的 半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息，每一個(gè)圖標(biāo)的不同部分還對(duì)應(yīng)于其相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè) 備部件單元，例如701a，對(duì)應(yīng)于SMIF 701a。輸出的圖標(biāo)按照其各自對(duì)應(yīng)的半 導(dǎo)體設(shè)備的實(shí)際位置擺放。整個(gè)光刻區(qū)域的半導(dǎo)體設(shè)備各個(gè)部件單元的狀態(tài) 信息均可通過(guò)其對(duì)應(yīng)的圖標(biāo)的不同顏色信息顯示。也可以通過(guò)輸出裝置對(duì)所 述圖標(biāo)進(jìn)行操作，例如通過(guò)放大可以查看每一個(gè)圖標(biāo)相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備的詳 細(xì)信息、產(chǎn)品的工藝參數(shù)以及該半導(dǎo)體設(shè)備將要進(jìn)行的產(chǎn)品批號(hào)、工藝參數(shù)、
步驟等信息，上述半導(dǎo)體設(shè)備的監(jiān)控方法可同時(shí)應(yīng)用于整個(gè)生產(chǎn)線，同時(shí)監(jiān)
控整個(gè)生產(chǎn)線的狀況，并能夠以20至120秒的周期進(jìn)行刷新，使得能夠?qū)崟r(shí) 全面的監(jiān)控整個(gè)生產(chǎn)線的狀況，從而進(jìn)行高效率的生產(chǎn)資源和人力的調(diào)度， 提高效率，減少設(shè)備空置及等待時(shí)間，降低成本。另外，通過(guò)所述的鏈接， 可將對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)識(shí)別后所采取的操作反饋至相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備。
相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)。本發(fā)明的半導(dǎo)體 生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)獲取裝置和數(shù)據(jù)處理裝置，所述數(shù)據(jù)獲取裝置 用于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；所述數(shù)據(jù)處理裝置用于生成 所述生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其 相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接。生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備具有多個(gè)腔室或部件 單元、監(jiān)控所述腔室或部件單元狀態(tài)信息的傳感裝置以及控制計(jì)算機(jī)。當(dāng)所 述半導(dǎo)體設(shè)備上有產(chǎn)品在運(yùn)行時(shí)，所述傳感裝置將該設(shè)備中各個(gè)腔室或部件
單元的工作狀態(tài)信息反饋至控制計(jì)算機(jī)，控制計(jì)算機(jī)將所述狀態(tài)信息以及所 述半導(dǎo)體設(shè)備的參數(shù)設(shè)置、產(chǎn)品的工藝參數(shù)等信息傳送至服務(wù)器。數(shù)據(jù)處理 裝置生成半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息 標(biāo)識(shí)之間建立鏈接，通過(guò)所述鏈接可將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至相 應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)。
圖7為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)示意圖。如圖7所 示，半導(dǎo)體生產(chǎn)線上有半導(dǎo)體i殳備400, 410和420，所述半導(dǎo)體設(shè)備400中 有四個(gè)腔室402, 404， 406和408,每一個(gè)腔室具有相同的構(gòu)造和功能，所述 腔室402有傳感裝置402a,所述傳感器402a用來(lái)探測(cè)腔室402的工作狀態(tài)、 參數(shù)設(shè)定，以及該腔室中的產(chǎn)品的批號(hào)等信息，然后將所述信息傳送至控制 計(jì)算機(jī)405。相應(yīng)的，腔室404， 406和408也具有相應(yīng)的傳感裝置用來(lái)監(jiān)控 狀態(tài)信息，并將所述狀態(tài)信息傳送至相應(yīng)的控制計(jì)算機(jī)。每一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備 中的控制計(jì)算機(jī)將各自半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息傳送至服務(wù)器430，在所述服務(wù) 器430中生成半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息數(shù)據(jù)庫(kù)。所述服務(wù)器430和半導(dǎo)體設(shè)備400， 420和430通過(guò)局域網(wǎng)連接。數(shù)據(jù)處理裝置500通過(guò)局域網(wǎng)與服務(wù)器430連接， 在所述數(shù)據(jù)處理裝置500中生成與半導(dǎo)體設(shè)備400， 410和420中各個(gè)腔室的 工作狀態(tài)、參數(shù)設(shè)置等信息相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，所述信息標(biāo)識(shí)可以是數(shù)字、文 字、符號(hào)、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息載體并能夠被識(shí)別的標(biāo)記。然
后建立所述數(shù)據(jù)庫(kù)中半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息和其相應(yīng)狀態(tài)信息的鏈接。通過(guò) 所述鏈接實(shí)時(shí)的將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)。通過(guò)對(duì) 所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別可獲得生產(chǎn)線上各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息。本實(shí)施例
中所述信息標(biāo)識(shí)為圖標(biāo)，通過(guò)所述數(shù)據(jù)處理裝置500生成多個(gè)圖標(biāo)，每一圖 標(biāo)與生產(chǎn)線中的半導(dǎo)體設(shè)備相對(duì)應(yīng)。所述數(shù)據(jù)處理裝置500訪問所述備狀態(tài) 信息數(shù)據(jù)庫(kù)，并將來(lái)自同一半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息封裝到一個(gè)模塊之中，并 給予該模塊一訪問地址。通過(guò)半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息生成的模塊的地址訪問該 模塊中的狀態(tài)信息，將其傳送至相應(yīng)的圖標(biāo)，并將其轉(zhuǎn)換為特定的可區(qū)別不 同狀態(tài)信息的特征信息，例如，顏色信息，圖標(biāo)不同的顏色信息反應(yīng)其相應(yīng) 半導(dǎo)體設(shè)備的不同狀態(tài)信息。通過(guò)實(shí)時(shí)的調(diào)用所述多個(gè)模塊并傳送至相應(yīng)的 圖標(biāo)，可實(shí)時(shí)的獲悉半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息。本發(fā)明的監(jiān)控系統(tǒng)還包括一輸 出輸入裝置530，所述輸入輸出裝置530用于輸出所述圖標(biāo)并輸入對(duì)所述圖標(biāo) 信息識(shí)別后所采取的操作信息，該操作信息可通過(guò)所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信 息和相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間的鏈接傳送至所述半導(dǎo)體設(shè)備。如圖IO所示的輸入 輸出裝置530，所述圖標(biāo)400a， 410a, 420a分別對(duì)應(yīng)于生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備 400， 410， 420的狀態(tài)信息;圖標(biāo)400a中的402b， 404b， 406b， 408b分別對(duì)應(yīng) 于半導(dǎo)體設(shè)備400中的腔室402， 404, 406， 408。通過(guò)圖標(biāo)400a中的
腔室的工作狀態(tài)信息，例如，閑置(idle)、跑貨(run)、維護(hù)(maintenance) 等狀態(tài)。通過(guò)輸入操作可對(duì)所述圖標(biāo)進(jìn)行放大縮小等操作，還可以查看該圖 標(biāo)對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備中腔室的產(chǎn)品的工藝參數(shù)設(shè)置等。相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備 410， 420中的腔室也對(duì)應(yīng)于圖標(biāo)410a，420a中。通過(guò)輸入輸出裝置530可一 目了然的監(jiān)控到所有設(shè)備的狀態(tài)，便于從宏觀上進(jìn)行生產(chǎn)調(diào)度。
本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來(lái)限定本發(fā)明，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和 修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1、一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，包括獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；生成與所述狀態(tài)信息的相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息及其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接；通過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲得所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；其中，通過(guò)所述鏈接將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)。
2、 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，其特征在于所述獲 取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的步驟如下將生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息發(fā)送至制造執(zhí)行系統(tǒng)；所述制造執(zhí)行系統(tǒng)在服務(wù)器中生成半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)信息的數(shù)據(jù)庫(kù)。
3、 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，其特征在于所述信 息標(biāo)識(shí)為數(shù)字、符號(hào)、文字、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息載體并能夠 被識(shí)別的標(biāo)記。
4、 如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，其特征在于所述圖 標(biāo)用特定的顏色信息反應(yīng)相應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備不同的狀態(tài)信息。
5、 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，其特征在于所述半 導(dǎo)體設(shè)備包括多個(gè)腔室或部件單元、監(jiān)控所述腔室或部件單元狀態(tài)信息的傳 感裝置及用于將所述傳感裝置監(jiān)測(cè)的狀態(tài)信息反饋至服務(wù)器的控制計(jì)算機(jī)。
6、 如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，其特征在于所 述狀態(tài)信息包括半導(dǎo)體設(shè)備的標(biāo)識(shí)名稱、各個(gè)腔室或部件單元的工作狀態(tài)、
7、 一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，包括 獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；生成與所述狀態(tài)信息的相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息及其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接；通過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲得所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；' 其中，通過(guò)所述鏈接將所述狀態(tài)信息更新至相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)，并將所述對(duì)信息標(biāo)識(shí)識(shí)別后所采取的操作反饋至相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備。
8、 一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，包括 數(shù)據(jù)獲取裝置，用于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息； 數(shù)據(jù)處理裝置，用于生成所述狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接，所述鏈接用于將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)。
9、 如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述信 息標(biāo)識(shí)為數(shù)字、符號(hào)、文字、圖標(biāo)中的一種或其它可記錄于信息載體并能夠 -陂識(shí)別的標(biāo)記。
10、 如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 圖標(biāo)用特定的顏色信息反應(yīng)相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備不同的狀態(tài)信息。
11、 如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 監(jiān)控系統(tǒng)還包括輸入輸出系統(tǒng)，用以輸出所述信息標(biāo)識(shí)并輸入對(duì)所述信息標(biāo) 識(shí)識(shí)別后所采取的操作信息。
12、 如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 半導(dǎo)體設(shè)備包括多個(gè)腔室或部件單元、監(jiān)控所述腔室或部件單元狀態(tài)信息的 傳感裝置及用于將所述傳感裝置監(jiān)測(cè)的狀態(tài)信息反饋至服務(wù)器的控制計(jì)算 機(jī)。
13、 如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于所述 狀態(tài)信息包括半導(dǎo)體設(shè)備的標(biāo)識(shí)名稱、各個(gè)腔室或部件單元的工作狀態(tài)、參 數(shù)設(shè)定及該半導(dǎo)體設(shè)備中正在運(yùn)行和將要運(yùn)行的產(chǎn)品的工藝參數(shù)。
14、 一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)，包括 數(shù)據(jù)獲取裝置，用于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息； 數(shù)據(jù)處理裝置，用于生成所述生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接，所述鏈接用于 將所述半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息更新至所述信息標(biāo)識(shí)，并將所述對(duì)信息標(biāo)識(shí)識(shí) 別后所采取的操作反饋至相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備。
全文摘要
一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的監(jiān)控方法，包括獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；建立所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)的鏈接；通過(guò)對(duì)所述信息標(biāo)識(shí)的識(shí)別獲得所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線得監(jiān)控系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)獲取裝置，用于獲取生產(chǎn)線中各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息；數(shù)據(jù)處理裝置，用于生成所述生產(chǎn)線上的半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)信息的信息標(biāo)識(shí)，并在所述狀態(tài)信息和其相應(yīng)的信息標(biāo)識(shí)之間建立鏈接。本發(fā)明生產(chǎn)線的監(jiān)控方法和系統(tǒng)可監(jiān)測(cè)整個(gè)生產(chǎn)線的各個(gè)設(shè)備的狀態(tài)信息的問題。
文檔編號(hào)G05B19/04GK101196732SQ20061011913
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2006年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月5日
發(fā)明者伊德爾, 洪啟德, 陳泰祥 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司