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等厚干涉儀擴(kuò)展光源的制作方法

文檔序號(hào):10156319閱讀:569來源:國知局
等厚干涉儀擴(kuò)展光源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種干涉儀尤其是等厚干涉儀中的光源或擴(kuò)展光源,屬于干涉儀配套設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]干涉圖樣的亮度除與所用光源的輻射強(qiáng)度/功率有關(guān)外,還在很大程度上取決于有效利用光源的幾何尺寸,而光源的幾何尺寸大小會(huì)對(duì)各類干涉圖樣的對(duì)比度有著不同的影響。對(duì)于平行平板產(chǎn)生的等傾干涉,無論多么寬的光源尺寸,其干涉圖樣都有很好的對(duì)比度;而楊氏雙縫干涉只能在限制狹縫寬度的情況下才能看清干涉圖樣;由楔形板產(chǎn)生的等厚干涉圖樣則介于以上兩種情況之間。傳統(tǒng)的如干涉中的光源在光闌直徑變化時(shí),干涉條紋的對(duì)比對(duì)較差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題,彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實(shí)用新型提供了一種等厚干涉儀擴(kuò)展光源,主要包括激光發(fā)射器、光闌和準(zhǔn)直透鏡,所述光闌設(shè)置在激光發(fā)射器和準(zhǔn)直透鏡之間,光闌與準(zhǔn)直透鏡的距離為準(zhǔn)直透鏡的焦距,光闌設(shè)置在準(zhǔn)直透鏡的前焦平面上。
[0005]優(yōu)選的,上述光闌為圓孔光闌。
[0006]優(yōu)選的,上述激光發(fā)射器發(fā)射的光源經(jīng)過光闌和準(zhǔn)直透鏡后變成與光軸成不同夾角的平行光束。
[0007]優(yōu)選的,上述激光發(fā)射器為均勾激光發(fā)射器。
[0008]優(yōu)選的,上述光闌的小孔中心與準(zhǔn)直透鏡的中心都處在激光發(fā)射器的激光光軸上。
[0009]本實(shí)用新型提供的等厚干涉儀擴(kuò)展光源運(yùn)用了環(huán)形光源技術(shù),可進(jìn)行波紋抑制,消除了因干涉腔內(nèi)存在細(xì)小顆粒所引起的寄生條紋,提高了干涉儀的測(cè)量精度。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記:1_激光發(fā)射器;2_光闌;3_準(zhǔn)直透鏡;4_光源點(diǎn)S ;5_光闌中央點(diǎn)S。。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型,下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0013]本實(shí)用新型提供的等厚干涉儀擴(kuò)展光源,主要包括激光發(fā)射器1、光闌2和準(zhǔn)直透鏡3,光闌2設(shè)置在激光發(fā)射器1和準(zhǔn)直透鏡3之間,光闌2與準(zhǔn)直透鏡3的距離為準(zhǔn)直透鏡3的焦距,光闌2設(shè)置在準(zhǔn)直透鏡3的前焦平面上。光闌2為圓孔光闌。激光發(fā)射器1發(fā)射的光源經(jīng)過光闌2和準(zhǔn)直透鏡3后變成與光軸成不同夾角的平行光束。激光發(fā)射器1為均勻激光發(fā)射器。光闌2的小孔中心與準(zhǔn)直透鏡3的中心都處在激光發(fā)射器1的激光光軸上。
[0014]當(dāng)激光發(fā)射器1發(fā)出的光源為被均勻照明的直徑為D的光闌2的圓形光闌孔時(shí),光闌孔上的不同光源點(diǎn)S4經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡3后就變成與光軸成不同夾角Θ的平行光束,如圖1所示。若準(zhǔn)直透鏡3焦距為f,光闌2中央點(diǎn)為&5,則Θ = SS0/f ο不同Θ角的平行光束經(jīng)干涉儀被分成兩束相干光后,到達(dá)干涉場(chǎng)同一點(diǎn)的光程差各不相同,所以各自形成的干涉條紋便彼此錯(cuò)位而不重合,所有干涉條紋的強(qiáng)度疊加,就形成了視場(chǎng)上所見到的合干涉條紋。當(dāng)光闌2的直徑D較小時(shí),干涉條紋的對(duì)比度較好。隨著光闌2開孔增大,合干涉條紋的對(duì)比度就逐漸下降。當(dāng)光闌2的直徑D達(dá)到一定程度時(shí),對(duì)比度趨近于零。
[0015]本實(shí)用新型提供的等厚干涉儀擴(kuò)展光源運(yùn)用了環(huán)形光源技術(shù),可進(jìn)行波紋抑制,消除了因干涉腔內(nèi)存在細(xì)小顆粒所引起的寄生條紋,提高了干涉儀的測(cè)量精度。
[0016]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式,并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍,本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】,凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種等厚干涉儀擴(kuò)展光源,其特征在于:所述擴(kuò)展光源主要包括激光發(fā)射器(1)、光闌(2)和準(zhǔn)直透鏡(3),所述光闌(2)設(shè)置在激光發(fā)射器(1)和準(zhǔn)直透鏡(3)之間,光闌(2)與準(zhǔn)直透鏡(3)的距離為準(zhǔn)直透鏡(3)的焦距,光闌(2)設(shè)置在準(zhǔn)直透鏡(3)的前焦平面上;所述光闌(2)為圓孔光闌;所述激光發(fā)射器(1)發(fā)射的光源經(jīng)過光闌(2)和準(zhǔn)直透鏡(3)后變成與光軸成不同夾角的平行光束;所述激光發(fā)射器(1)為均勻激光發(fā)射器;所述光闌(2)的小孔中心與準(zhǔn)直透鏡(3)的中心都處在激光發(fā)射器(1)的激光光軸上。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種等厚干涉儀擴(kuò)展光源,主要包括激光發(fā)射器(1)、光闌(2)和準(zhǔn)直透鏡(3),所述光闌(2)設(shè)置在激光發(fā)射器(1)和準(zhǔn)直透鏡(3)之間,光闌(2)與準(zhǔn)直透鏡(3)的距離為準(zhǔn)直透鏡(3)的焦距,光闌(2)設(shè)置在準(zhǔn)直透鏡(3)的前焦平面上。光闌(2)為圓孔光闌。激光發(fā)射器(1)發(fā)射的光源經(jīng)過光闌(2)和準(zhǔn)直透鏡(3)后變成與光軸成不同夾角的平行光束。本實(shí)用新型提供的等厚干涉儀擴(kuò)展光源運(yùn)用了環(huán)形光源技術(shù),可進(jìn)行波紋抑制,消除了因干涉腔內(nèi)存在細(xì)小顆粒所引起的寄生條紋,提高了干涉儀的測(cè)量精度。
【IPC分類】G01B9/02
【公開號(hào)】CN205066679
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520271270
【發(fā)明人】林永東
【申請(qǐng)人】林永東
【公開日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年4月27日
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