時空相干性可調(diào)式干涉儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種改善照明條件的擴展光源的干涉系統(tǒng),尤其涉及一種用于光學(xué)平面檢測,屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前商用干涉儀使用的光源多數(shù)是單橫模激光,它具有很強的空間相干性和時間相干性,所以在干涉成像系統(tǒng)里,光學(xué)元件表面的反射或散射都很容易產(chǎn)生雜散條紋,尤其是平行光學(xué)元件(如CCD前面的保護玻璃蓋、偏振分光棱鏡、被測平形平板等)表面反射會引起多表面干涉,將嚴重影響波前測量結(jié)果。為了抑制相干噪聲,常規(guī)的做法就是在成像光路中,設(shè)置光闌或擋板,濾除一部份的雜散光;對系統(tǒng)里的平行光學(xué)元件鍍增透膜以減小反射;在測量平行平板的反射波前時,在平板后表面涂抹凡士林等。但這些方法既不方便也并不能很好的達到濾除相干噪聲的目的。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題,彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實用新型提供了一種時空相干性可調(diào)式干涉儀,時空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器、親合系統(tǒng)、空間光調(diào)器、第一透鏡、第二透鏡、旋轉(zhuǎn)毛玻璃、第三透鏡、分光鏡、反射鏡和準直鏡,被測鏡設(shè)置在分光鏡的后側(cè)。
[0005]優(yōu)選的,上述激光器為He-Ne激光器,出射的光束波長為632.8nm。
[0006]優(yōu)選的,上述反射鏡與準直鏡的法線與激光發(fā)射方向垂直。
[0007]優(yōu)選的,上述反射鏡與準直鏡分別設(shè)置在分光鏡的兩側(cè)。
[0008]優(yōu)選的,上述干涉系統(tǒng)還包括(XD,所述(XD設(shè)置在準直鏡的后側(cè)。
[0009]本實用新型提供的時空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強分布原理,通過改進照明系統(tǒng),實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào),使干涉儀的相干性曲線基本符合理論計算的結(jié)果。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標記:1_激光器;2_親合系統(tǒng);3_空間光調(diào)器;4_第一透鏡;5_第二透鏡;6-旋轉(zhuǎn)毛玻璃;7_第三透鏡;8_分光鏡;9_反射鏡;10_準直鏡;11-C⑶;12_被測鏡。
【具體實施方式】
[0012]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實施本實用新型,下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0013]如圖1所示,本實用新型提供的時空相干性可調(diào)式干涉儀,時空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器1、耦合系統(tǒng)2、空間光調(diào)器3、第一透鏡4、第二透鏡5、旋轉(zhuǎn)毛玻璃6、第三透鏡7、分光鏡8、反射鏡9和準直鏡10,被測鏡12設(shè)置在分光鏡8的后側(cè)。
[0014]其中,激光器1為He-Ne激光器,出射的光束波長為632.8nm。反射鏡9與準直鏡10的法線與激光發(fā)射方向垂直。反射鏡9與準直鏡10分別設(shè)置在分光鏡8的兩側(cè)。此外,干涉儀還包括(XD11,(XD11設(shè)置在準直鏡10的后側(cè)。
[0015]He-Ne激光器1出射632.8nm的光束經(jīng)擴束鏡照射在空間光調(diào)器3上,經(jīng)空間光調(diào)器3空間強度調(diào)制后的光束依次經(jīng)過第一透鏡4和第二透鏡5,再度聚焦于一點??臻g光調(diào)器3上的環(huán)狀光強分布經(jīng)透鏡組第一透鏡4和第二透鏡5成像在旋轉(zhuǎn)毛玻璃6上,被照亮部分就構(gòu)成了可調(diào)的擴展光源。旋轉(zhuǎn)毛玻璃6位于準直鏡7的焦面上,其任意被照明點出射的光都將經(jīng)準直鏡7準直后進入干涉腔,再經(jīng)第三透鏡7成像后于(XD11像面處發(fā)生干涉。調(diào)整被測鏡12的距離,使被測鏡12經(jīng)分光鏡8所形成的虛像位置和參考鏡的距離從_4mm變化到4_,分析CCD11采集到的干涉條紋。可見,該系統(tǒng)可以通過改善照明條件來有效實現(xiàn)空間相干長度的良好可調(diào)。本實用新型提供的時空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強分布原理,通過改進照明系統(tǒng),實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào),使干涉儀的相干性曲線基本符合理論計算的結(jié)果。
[0016]以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式,并非以此限定本實用新型的具體實施范圍,本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】,凡依照本實用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種時空相干性可調(diào)式干涉儀,其特征在于:所述時空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器(1)、耦合系統(tǒng)(2)、空間光調(diào)器(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(5)、旋轉(zhuǎn)毛玻璃(6)、第三透鏡(7)、分光鏡(8)、反射鏡(9)和準直鏡(10),被測鏡(12)設(shè)置在分光鏡(8)的后側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時空相干性可調(diào)式干涉儀,其特征在于:所述激光器(1)為He-Ne激光器,出射的光束波長為632.8nm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時空相干性可調(diào)式干涉儀,其特征在于:所述反射鏡(9)與準直鏡(10)的法線與激光發(fā)射方向垂直。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的時空相干性可調(diào)式干涉儀,其特征在于:所述反射鏡(9)與準直鏡(10)分別設(shè)置在分光鏡(8)的兩側(cè)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時空相干性可調(diào)式干涉儀,其特征在于:所述干涉儀還包括0:0(11),所述0:0(11)設(shè)置在準直鏡(10)的后側(cè)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種時空相干性可調(diào)式干涉儀,主要包括激光器(1)、耦合系統(tǒng)(2)、空間光調(diào)器(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(5)、旋轉(zhuǎn)毛玻璃(6)、第三透鏡(7)、分光鏡(8)、反射鏡(9)和準直鏡(10),被測鏡(12)設(shè)置在分光鏡(8)的后側(cè)。激光器(1)為He-Ne激光器,出射的光束波長為632.8nm。本實用新型提供的時空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強分布原理,通過改進照明系統(tǒng),實現(xiàn)干涉儀時間相干性的保持和空間相干性的可調(diào),使干涉儀的相干性曲線基本符合理論計算的結(jié)果。
【IPC分類】G01B9/02
【公開號】CN204963782
【申請?zhí)枴緾N201520261943
【發(fā)明人】林燕彬
【申請人】林燕彬
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年4月25日