一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于激光檢測技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種表面微缺陷檢測裝置，尤其涉及一種基于激光散射的表面微缺陷檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在對較大面積光滑表面的微缺陷檢測方面缺乏快速有效地方法?，F(xiàn)有的基于機器視覺的檢測方法存在檢測速度慢，對微小缺陷靈敏度低等的缺點，無法滿足工業(yè)生產(chǎn)中對微小缺陷的在線檢測需求；而采用激光散射方法可非常靈敏及快速地檢測光滑表面的微小瑕疵。采用遠(yuǎn)心掃描鏡將一束激光束以正入射的方法聚焦到被測表面，可有效檢測由表面瑕瘋產(chǎn)生的散射光。
[0003]在實際應(yīng)用中，如不借助于外加方法，要將掃描激光束最佳地聚集在被測表面是有一定困難的，一種方法是將一個表面有細(xì)小劃痕的被測面放置掃描激光束的光路中，通過觀察激光束掃描后的光強輪廓圖中對應(yīng)的細(xì)小劃痕產(chǎn)生的峰值的變化來確定，當(dāng)峰值達(dá)到最高時，即為最佳聚焦位置，見圖一，但這種方法在實際應(yīng)用中比較麻煩，有待改進(jìn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種可非常方便和快捷地將激光散射掃描系統(tǒng)聚焦在被測表面上，同時，與該掃描系統(tǒng)連接的顯微鏡還可用來對激光散射檢測到的表面瑕疵進(jìn)行定量觀察的利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置。
[0005]為實現(xiàn)本實用新型目的，提供了以下技術(shù)方案:一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置，包括激光散射瑕疵檢測儀，其特征在于激光散射瑕疵檢測儀上設(shè)置有干涉顯微鏡，干涉顯微鏡固定于一連接裝置上，連接裝置與激光散射瑕疵檢測儀固定連接，所述連接裝置包括支架，支架一端固定有旋轉(zhuǎn)套筒，另一端設(shè)置有套筒，套接于設(shè)置于光散射瑕疵檢測儀殼體的凸塊上，所述干涉顯微鏡與旋轉(zhuǎn)套筒旋接，所述支架由3段桿體組成，3段桿體相互鉸接，可折疊旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)干涉顯微鏡高度和角度，使其位于檢測物體表面。
[0006]作為優(yōu)選，所述干涉顯微鏡包括筒體，筒體內(nèi)依次設(shè)置的起偏器、放大鏡、分束器、顯微鏡和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成的干涉棱鏡，光源依次經(jīng)過所述放大鏡和起偏器形成線偏振光，并經(jīng)所述分束器反射后再通過干涉棱鏡，將入射線偏振光分成兩束具有0.05~0.12°夾角并且振動方向互相垂直的線偏振光，該兩束光投射到被測量樣品上，從被測量樣品表面反射回的兩束正交線偏振光經(jīng)原路返回，由所述干涉棱鏡重新復(fù)合共線。
[0007]本實用新型有益效果:安裝一套聚集位置與掃描系統(tǒng)一致，視場中心位置與掃描系統(tǒng)的中心位置有固定關(guān)系的顯微鏡系統(tǒng)。通過事先將顯微系統(tǒng)的聚焦位置與激光散射掃描的聚集位置校正好，在檢測新的被測表面時，可通過顯微鏡先觀察被測表面上的微細(xì)缺陷或被測表面的邊緣，當(dāng)顯微鏡中的圖像清晰時，激光散射掃描系統(tǒng)就在其最佳聚焦位置。通過放置一個表面有微小劃痕的被測樣品，并將劃痕放置在激光掃描的光路中，觀察激光散射掃描產(chǎn)生的光強輪廓圖，調(diào)整激光散射的焦距位置，是劃痕產(chǎn)生的散射光強達(dá)到最大，鎖定激光散射的焦距位置，然后將該劃痕移動到顯微鏡視場中，調(diào)節(jié)顯微鏡焦距位置，是視場中的劃痕圖像最清晰，鎖定顯微鏡的焦距位置，此時，激光散射掃描系統(tǒng)與顯微鏡系統(tǒng)的焦距一致。滿足工業(yè)生產(chǎn)中對微小缺陷的在線檢測需求。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2為圖1中連接裝置示意圖。
【具體實施方式】
[0010]實施例1: 一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置，包括激光散射瑕疵檢測儀1，激光散射瑕疵檢測儀I上設(shè)置有干涉顯微鏡2，干涉顯微鏡2固定于一連接裝置上，連接裝置與激光散射瑕疵檢測儀I固定連接，所述連接裝置包括支架3.1，支架3.1一端固定有旋轉(zhuǎn)套筒3.2，另一端設(shè)置有套筒3.3，套接于設(shè)置于光散射瑕疵檢測儀I殼體的凸塊1.1上，所述干涉顯微鏡2與旋轉(zhuǎn)套筒3.2旋接，所述支架3.1由3段桿體3.1.1組成，3段桿體3.1.1相互鉸接，可折疊旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)干涉顯微鏡2高度和角度，使其位于檢測物體表面。所述干涉顯微鏡2包括筒體，筒體內(nèi)依次設(shè)置的起偏器2.1、放大鏡2.2、分束器2.3、顯微鏡2.4和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成的干涉棱鏡2.5，光源依次經(jīng)過所述放大鏡2.2和起偏器2.1形成線偏振光，并經(jīng)所述分束器2.3反射后再通過干涉棱鏡2.5，將入射線偏振光分成兩束具有0.05-0.12°夾角并且振動方向互相垂直的線偏振光，該兩束光投射到被測量樣品上，從被測量樣品表面反射回的兩束正交線偏振光經(jīng)原路返回，由所述干涉棱鏡2.5重新復(fù)合共線。
[0011]這里本實用新型的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上述實施例中。這里所披露的實施例的變形和改變是可能的，對于那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說實施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是，在不脫離本實用新型的精神或本質(zhì)特征的情況下，本實用新型可以以其它形式、結(jié)構(gòu)、布置、比例，以及用其它組件、材料和部件來實現(xiàn)。在不脫離本實用新型范圍和精神的情況下，可以對這里所披露的實施例進(jìn)行其它變形和改變。
【主權(quán)項】
1.一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置，包括激光散射瑕疵檢測儀，其特征在于激光散射瑕疵檢測儀上設(shè)置有干涉顯微鏡，干涉顯微鏡固定于一連接裝置上，連接裝置與激光散射瑕疵檢測儀固定連接，所述連接裝置包括支架，支架一端固定有旋轉(zhuǎn)套筒，另一端設(shè)置有套筒，套接于設(shè)置于光散射瑕疵檢測儀殼體的凸塊上，所述干涉顯微鏡與旋轉(zhuǎn)套筒旋接，所述支架由3段桿體組成，3段桿體相互鉸接，可折疊旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)干涉顯微鏡高度和角度，使其位于檢測物體表面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置，其特征在于所述干涉顯微鏡包括筒體，筒體內(nèi)依次設(shè)置的起偏器、放大鏡、分束器、顯微鏡和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成的干涉棱鏡，光源依次經(jīng)過所述放大鏡和起偏器形成線偏振光，并經(jīng)所述分束器反射后再通過干涉棱鏡，將入射線偏振光分成兩束具有0.05~0.12°夾角并且振動方向互相垂直的線偏振光，該兩束光投射到被測量樣品上，從被測量樣品表面反射回的兩束正交線偏振光經(jīng)原路返回，由所述干涉棱鏡重新復(fù)合共線。
【專利摘要】一種利用內(nèi)置顯微鏡自動聚焦激光散射瑕疵檢測裝置，包括激光散射瑕疵檢測儀，激光散射瑕疵檢測儀上設(shè)置有干涉顯微鏡，干涉顯微鏡固定于一連接裝置上，連接裝置與激光散射瑕疵檢測儀固定連接，所述連接裝置包括支架，支架一端固定有旋轉(zhuǎn)套筒，另一端設(shè)置有套筒，套接于設(shè)置于光散射瑕疵檢測儀殼體的凸塊上，所述干涉顯微鏡與旋轉(zhuǎn)套筒旋接，所述支架由3段桿體組成，3段桿體相互鉸接，可折疊旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)干涉顯微鏡高度和角度，使其位于檢測物體表面。滿足工業(yè)生產(chǎn)中對微小缺陷的在線檢測需求。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號】CN204855399
【申請?zhí)枴緾N201520548564
【發(fā)明人】陸惠宗
【申請人】無錫邁福光學(xué)科技有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月27日