一種電壓檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于一種電壓檢測裝置，尤其涉及一種用于導(dǎo)電元件的電壓檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體技術(shù)中，通常使用多層金屬互連線結(jié)構(gòu)使得各種器件電學(xué)連接，所述金屬互連線之間利用絕緣性能良好的介質(zhì)材料電隔離。多層金屬互連結(jié)構(gòu)的可靠性對(duì)于整個(gè)IC制造工藝良率、產(chǎn)品性能和可靠性而言都是至關(guān)重要的，通過可靠性測試可以獲得不同金屬互連線的間距、形狀和不同介質(zhì)材料對(duì)金屬互連結(jié)構(gòu)擊穿特性的影響。為了獲得擊穿特性較好的金屬互連結(jié)構(gòu)，通常需要檢測多組具有不同金屬互連線間距、形狀或不同介質(zhì)材料的金屬互連結(jié)構(gòu)，如果采用現(xiàn)有的檢測方法，只能一組一組地進(jìn)行檢測對(duì)應(yīng)的擊穿電壓或擊穿時(shí)間，以獲得不同金屬互連線間距、形狀或不同介質(zhì)材料對(duì)金屬互連結(jié)構(gòu)擊穿特性的影響，檢測時(shí)間較長，檢測成本較高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種簡單結(jié)構(gòu)的回彈裝置的電壓檢測裝置，在短時(shí)間內(nèi)可達(dá)到鎖緊的作用。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種電壓檢測裝置，包括:檢測元件、感應(yīng)裝置、檢測裝置、處理裝置和輸出裝置，所述檢測元件還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件，所述感應(yīng)裝置的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負(fù)極一端，所述感應(yīng)裝置還包括第三端子連接所述檢測裝置的電路，所述檢測裝置還包括阻尼電路和用于檢測電勢(shì)能的電容器，由所述檢測裝置輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置輸出，所述輸出裝置還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。
[0006]進(jìn)一步地，所述感應(yīng)裝置包括殼體、線圈和傳感電路。
[0007]進(jìn)一步地，所述處理裝置主要包括運(yùn)算放大器，其反相輸入端子與所述檢測裝置的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接；連接在所述運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間。
[0008]進(jìn)一步地，所述輸出裝置可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種，由所述輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
[0009]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:采用本實(shí)用新型所述的一種電壓檢測裝置，能夠在短時(shí)間內(nèi)獲得可讀可視的電子信號(hào)輸出信息，既方便又節(jié)約成本，檢測裝置簡易，容易實(shí)現(xiàn)檢測電壓的功能。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的示意圖
[0011]圖中:
[0012]1-檢測元件 2-感應(yīng)裝置 3-檢測裝置 4-處理裝置
[0013]5-輸出裝置
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明。
[0015]如圖1所示，一種電壓檢測裝置，包括:檢測元件1、感應(yīng)裝置2、檢測裝置3、處理裝置4和輸出裝置5，檢測元件I還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件，感應(yīng)裝置2的兩端串聯(lián)連接檢測元件的正極一端和負(fù)極一端，感應(yīng)裝置2還包括第三端子連接檢測裝置3的電路，檢測裝置3還包括阻尼電路和用于檢測電勢(shì)能的電容器，由檢測裝置3輸出的信號(hào)進(jìn)入處理裝置4進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由輸出裝置5輸出，輸出裝置5還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。感應(yīng)裝置2包括殼體、線圈和傳感電路；處理裝置4主要包括運(yùn)算放大器，其反相輸入端子與檢測裝置3的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接；連接在運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間；輸出裝置5可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種，由輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
[0016]本實(shí)用新型的工作過程如下:
[0017]初始狀態(tài)檢測元件I與感應(yīng)裝置2處于斷開狀態(tài)，電壓檢測開始時(shí)，將檢測元件I串聯(lián)連接感應(yīng)裝置2，再由感應(yīng)裝置2感應(yīng)的電壓信息傳送至檢測裝置3的電容器，再由阻尼電路將信號(hào)通過處理裝置4傳至輸出裝置5，最后獲得可讀可視的信息。
[0018]以上對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電壓檢測裝置，其特征在于:包括檢測元件(I)、感應(yīng)裝置(2)、檢測裝置(3)、處理裝置(4)和輸出裝置(5)，所述檢測元件(I)還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件，所述感應(yīng)裝置(2)的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負(fù)極一端，所述感應(yīng)裝置(2)還包括第三端子連接所述檢測裝置(3)的電路，所述檢測裝置(3)還包括阻尼電路和用于檢測電勢(shì)能的電容器，由所述檢測裝置(3)輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置(4)進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置(5)輸出，所述輸出裝置(5)還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測裝置，其特征在于:所述感應(yīng)裝置(2)包括殼體、線圈和傳感電路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測裝置，其特征在于:所述處理裝置(4)主要包括運(yùn)算放大器，其反相輸入端子與所述檢測裝置(3)的電容器連接且非反相輸入端子與規(guī)定的電壓源連接；連接在所述運(yùn)算放大器的反相輸入端子與輸出端子之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電壓檢測裝置，其特征在于:所述輸出裝置(5)可以是顯示器、屏幕、打印機(jī)的一種或兩種，由所述輸出裝置輸出的信號(hào)為數(shù)字或曲線形式輸出。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種電壓檢測裝置，包括檢測元件、感應(yīng)裝置、檢測裝置、處理裝置和輸出裝置，所述檢測元件還包括半導(dǎo)體元件、電勢(shì)元器件和感應(yīng)元器件，所述感應(yīng)裝置的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負(fù)極一端，所述感應(yīng)裝置還包括第三端子連接所述檢測裝置的電路，所述檢測裝置還包括阻尼電路和用于檢測電勢(shì)能的電容器，由所述檢測裝置輸出的信號(hào)進(jìn)入所述處理裝置進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換后的可讀信號(hào)由所述輸出裝置輸出,所述輸出裝置還包括驅(qū)動(dòng)單元和信號(hào)切換裝置。本實(shí)用新型能夠在短時(shí)間內(nèi)獲得可讀可視的電子信號(hào)輸出信息，既方便又節(jié)約成本，檢測裝置簡易，容易實(shí)現(xiàn)檢測電壓的功能。
【IPC分類】G01R19-00
【公開號(hào)】CN204302349
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420697037
【發(fā)明人】馬強(qiáng), 田磊
【申請(qǐng)人】天津天維移動(dòng)通訊終端檢測有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年11月19日