氣體泄漏檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及氣體泄漏檢測(cè)裝置，更具體地，涉及一種在設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備中的氣箱的閥門(mén)處設(shè)置捕集部，分別檢測(cè)從閥門(mén)泄漏的氣體，從而找出破損的閥門(mén)的氣體泄漏檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]—般，半導(dǎo)體制造設(shè)備在各種環(huán)境和工序下對(duì)晶片進(jìn)行處理和加工，這些設(shè)備對(duì)晶片反復(fù)進(jìn)行光刻、擴(kuò)散、蝕刻、化學(xué)氣相沉積、金屬沉積等各種工序，從而制造成半導(dǎo)體芯片，而各個(gè)工序在各種有毒氣體以及溶液下進(jìn)行。
[0003]因此，制造半導(dǎo)體的各個(gè)設(shè)備暴露在各種惡劣的環(huán)境下，各種有毒氣體引起設(shè)備腐蝕或者變形，從而縮短設(shè)備的壽命。由此縮短設(shè)備的替換周期，使得維護(hù)管理費(fèi)用增加，而且還導(dǎo)致設(shè)備的工序中斷因而拖延產(chǎn)品生產(chǎn)。
[0004]其中，閥門(mén)使用氣壓閥，氣壓閥有栗(Diaphragm VaI ve:隔膜閥)或者氣動(dòng)閥(Pneumatic Valve)等。
[0005]關(guān)于栗或者氣動(dòng)閥，氣體流入管和氣體排出管分別連接于兩側(cè)，其利用從空氣供給部供給的高壓空氣的氣壓來(lái)控制從氣體流入管流向氣體排出管的氣體的流動(dòng)。
[0006]栗或者氣動(dòng)閥的結(jié)構(gòu)為，隨著向位于從氣體流入管流入的氣體的流入部的隔膜(diaphragm)施加氣壓或者基于氣壓的壓力，由隔膜開(kāi)閉流入部。
[0007]并且，注入到栗或者氣動(dòng)閥的高壓空氣被排出到外部。
[0008]此時(shí)，如果持續(xù)的閥門(mén)動(dòng)作使隔膜因疲勞現(xiàn)象而破裂，則從氣體流入管流入的有毒氣體會(huì)通過(guò)破裂的隔膜從形成在閥門(mén)的閥帽螺母處的排出孔排出，從而泄漏到外部。
[0009]為了解決這種以往的缺點(diǎn)，通過(guò)氣箱來(lái)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)設(shè)置供給有毒氣體的多個(gè)閥門(mén)的部分進(jìn)行隔離，同時(shí)設(shè)置用于排出有可能從閥門(mén)泄漏的有毒氣體的排氣口。并且，在排氣口處設(shè)置用于檢測(cè)有毒氣體的有毒氣體檢測(cè)器。
[0010]然而，因排氣口的負(fù)壓而使大量的外部空氣流入氣箱的內(nèi)部，因此當(dāng)有毒氣體從閥門(mén)泄漏時(shí)會(huì)與流入氣箱內(nèi)部的外部空氣混合，從而降低所泄漏的有毒氣體的濃度，導(dǎo)致有毒氣體檢測(cè)器不工作。即，即便在排氣口處設(shè)置有毒氣體檢測(cè)器，也因隨著流入外部空氣而降低了有毒氣體濃度，從而不容易檢測(cè)出有毒氣體的泄漏，因此難以在早期發(fā)現(xiàn)有毒氣體的泄漏，對(duì)半導(dǎo)體工序造成異常。
[0011]此外，即便有毒氣體檢測(cè)器檢測(cè)到有毒氣體而通知使用者有毒氣體泄漏，也需要對(duì)一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備上的多個(gè)閥門(mén)一一進(jìn)行分解，以確認(rèn)閥門(mén)的隔膜有無(wú)受損。因此，找出受損閥門(mén)的耗時(shí)長(zhǎng)，而且還中斷操作因而減少產(chǎn)量。
[0012]與此同時(shí)，現(xiàn)有的氣箱內(nèi)除了有毒氣體之外還設(shè)置有控制氧氣、氮?dú)?、氬氣等的流?dòng)的多個(gè)閥門(mén)，而設(shè)置于氣箱排氣口處的有毒氣體檢測(cè)器只能檢測(cè)特定的有毒氣體，因此難以同時(shí)檢測(cè)諸如氧氣、氮?dú)?、氬氣等氣體的泄漏和有毒氣體的泄漏，未檢測(cè)到的有毒氣體或者其它氣體會(huì)對(duì)半導(dǎo)體工序造成異常。
[0013]此外，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上，栗或者氣動(dòng)閥雖然也會(huì)隔著規(guī)定間隔設(shè)置，然而在特定區(qū)域緊密地排列。
[0014]此時(shí)，對(duì)于緊密排列的氣動(dòng)閥來(lái)說(shuō)，當(dāng)持續(xù)的閥門(mén)動(dòng)作使隔膜因疲勞現(xiàn)象而破裂時(shí)，如果用于向外部泄漏氣體的排出孔面向相鄰的氣動(dòng)閥，則難以設(shè)置用于捕集氣體的結(jié)構(gòu)。因此，需要開(kāi)發(fā)這種氣動(dòng)閥以及排出孔的位置不一定的氣動(dòng)閥上都能夠適用的氣體捕集結(jié)構(gòu)。
[0015]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0016](專(zhuān)利文獻(xiàn)I)日本公開(kāi)專(zhuān)利公報(bào)特開(kāi)2011-107034號(hào)
[0017](專(zhuān)利文獻(xiàn)2)韓國(guó)實(shí)用新型公開(kāi)公報(bào)第2008-0004184號(hào)
[0018](專(zhuān)利文獻(xiàn)3)韓國(guó)授權(quán)專(zhuān)利公報(bào)第1326766號(hào)
[0019](專(zhuān)利文獻(xiàn)4)韓國(guó)授權(quán)專(zhuān)利公報(bào)第0857235號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0020]所要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0021]為了解決如上所述的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，通過(guò)在排氣管路連接捕集部和能夠檢測(cè)氣體的檢測(cè)部，所述捕集部中收容有控制氣體流動(dòng)的各個(gè)氣壓閥并捕集從氣壓閥泄漏的氣體，由此防止從各個(gè)氣壓閥泄漏的氣體與從其它氣壓閥泄漏的氣體混合，從而能夠提高穩(wěn)定性并且預(yù)防設(shè)備的損傷，同時(shí)通過(guò)檢測(cè)部實(shí)時(shí)檢測(cè)氣體泄漏，因此能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
[0022]此外，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，在設(shè)置于半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)上的氣壓閥上設(shè)置捕集部時(shí)，利用翼形部嵌合于氣壓閥的上側(cè)乃至側(cè)面并將捕集部的捕集口和氣壓閥的排出孔相互對(duì)齊，或者將與吐出口連通并向另一側(cè)延伸的延伸部的末端插入結(jié)合于因氣壓閥破損而泄漏氣體的排出孔中，從而無(wú)需停止半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)，不影響半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的工作，而且能夠避免停止半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)引起的產(chǎn)量減少以及由此造成的費(fèi)用損失等。
[0023]此外，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，當(dāng)氣壓閥緊密排列時(shí)，與氣壓閥上泄漏空氣或氣體的排出孔的位置無(wú)關(guān)，能夠容易地將形成在捕集部和翼形部上的捕集口的位置移動(dòng)到排出孔處，或者將軟質(zhì)的捕集部拉伸或彎曲，從而能夠容易地將捕集口的位置移動(dòng)到排出孔處，并且能夠通過(guò)固定構(gòu)件的每個(gè)線(xiàn)圈的撐開(kāi)的縫隙容易地嵌入捕集部并將其緊密固定在氣壓閥的外周面。
[0024]此外，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，因翼形件具有彈性力，不需要將捕集部緊密固定于氣壓閥上的額外結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)單純的結(jié)合即可相向地設(shè)置捕集部和泄漏孔，從而能夠容易地捕集從氣壓閥泄漏的空氣或者氣體，同時(shí)捕集口通過(guò)彈性力緊密結(jié)合于氣壓閥上，只捕集從氣壓閥泄漏的空氣或者氣體，從而能夠提高可靠性。
[0025]此外，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，通過(guò)端口電磁閥控制連接于端口電磁閥的多個(gè)排氣管路的排出與否，以便通過(guò)連接管路只將從連接于端口電磁閥的多個(gè)排氣管路中的某一個(gè)排氣管路排出的氣體排出到檢測(cè)部，從而防止從各個(gè)氣壓閥泄漏的氣體與從其它氣壓閥泄漏的氣體混合，由此提高穩(wěn)定性并且預(yù)防設(shè)備的損傷，同時(shí)當(dāng)檢測(cè)部檢測(cè)到氣體時(shí)控制端口電磁閥，從而迅速地自動(dòng)找出檢測(cè)出氣體泄漏的氣壓閥，因此能夠進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)測(cè)并且使設(shè)備迅速進(jìn)行工作。
[0026]此外，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測(cè)裝置，當(dāng)檢測(cè)部檢測(cè)到氣體時(shí)，控制器控制端口電磁閥以確定破損的氣壓閥，并將所確定的氣壓閥的固有信息顯示在顯示部上，從而使管理者容易地確定破損的氣壓閥，并且迅速地對(duì)所確定的氣壓閥進(jìn)行管理，因此能夠提高設(shè)備的工作效率。
[0027]解決技術(shù)問(wèn)題的方案
[0028]為了達(dá)成如上所述的目的，本發(fā)明涉及的氣體泄漏檢測(cè)裝置，包括:捕集部，在下端形成有開(kāi)口部以便插入氣壓閥，在其一側(cè)形成有插入孔以及貫通孔，所述插入孔中貫穿有與氣壓閥結(jié)合的供氣管路，所述貫通孔用于向外部排出所述氣壓閥破損時(shí)泄漏的氣體；蓋子部，與形成在所述捕集部下端的開(kāi)口部結(jié)合，用于防止從所述氣壓閥泄漏的氣體通過(guò)開(kāi)口部排出；排氣管路，其一端與所述捕集部的貫通孔連接，用于將從所述氣壓閥泄漏的氣體排出到外部；以及檢測(cè)部，連接于所述排氣管路的另一端，用于檢測(cè)通過(guò)所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述蓋子部包括一對(duì)蓋子構(gòu)件，所述一對(duì)蓋子構(gòu)件上形成有槽，以包圍所述氣壓閥的外周面。
[0029]本發(fā)明的另一實(shí)施例涉及的氣體泄漏檢測(cè)裝置，包括:捕集部，上下貫通以便插入氣壓閥，在上下端形成有開(kāi)口部以及向外部排出所述氣壓閥破損時(shí)泄漏的氣體的貫通孔；蓋子部，與形成在所述捕集部上下端的開(kāi)口部結(jié)合，以防止從所述氣壓閥泄漏的氣體通過(guò)開(kāi)口部排出；排氣管路，其一端與所述捕集部的貫通孔連接，以將從所述氣壓閥泄漏的氣體排出到外部；以及檢測(cè)部，連接于所述排氣管路的另一端，用于檢測(cè)通過(guò)所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述蓋子部包括一對(duì)蓋子構(gòu)件，所述一對(duì)蓋子構(gòu)件上形成有槽，以包圍所述氣壓閥的外周面。
[0030]本發(fā)明的另一實(shí)施例涉及的氣體泄漏檢測(cè)裝置，包括:捕集部，用于捕集因氣壓閥破損而泄漏的氣體;排氣管路，其一端與所述捕集部的吐出口結(jié)合，用于將從所述捕集部的吐出口排出的排氣排出到外部;檢測(cè)部，結(jié)合于所述排氣管路的另一端，用于檢測(cè)通過(guò)所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述捕集部具有捕集口，所述捕集口緊密固定于所述氣壓閥破損時(shí)泄漏氣體的排出孔處以捕集所述氣體，所述捕集部還包括翼形部，所述翼形部由分別突出于兩側(cè)并包圍所述氣壓閥外周面的一對(duì)翼形件構(gòu)成，所述一對(duì)翼形件具有相向的彈性力。
[0031]此外，其特征在于，泄漏氣體的排出孔形成在所述氣壓閥的上下，所述捕集部朝上部延伸形成，并且在上部還形成有用于捕集所述氣壓閥破損時(shí)泄漏的氣體的捕集口。
[0032]此外，其特征在于，所述翼形件彎曲或者折彎形成，并且通過(guò)朝向所述氣壓閥的彈性力來(lái)彈性支撐所述氣壓閥的外周面，并將所述捕集口緊密結(jié)合于所述排出孔處。
[0033]此外，其特征在于，所述捕集口沿著所述翼形件的長(zhǎng)度方向呈長(zhǎng)孔狀。
[0034]此外，其特征在于，在所述捕集口的外周面涂布可剝離性粘接劑，從而將所述捕集部可拆裝地緊密固定于所述氣壓閥的外周面，以防止所述氣體泄漏。
[0035]本發(fā)明的另一實(shí)施例涉及的氣體泄漏檢測(cè)裝置，其特征在于，包括:捕集部，用于捕集因氣壓閥破損而泄漏的氣體，在所述捕集部中的形成有吐出所捕集的氣體的吐出口的一側(cè)設(shè)置有套入孔;排氣管路，其一端插入結(jié)合于所述套入孔中，以便將從所述捕集部的吐出口排出的排氣排