光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光傳感器用半導(dǎo)體集成電路。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年，在便攜電話或智能手機(jī)等移動(dòng)設(shè)備中，為了進(jìn)行與環(huán)境光對(duì)應(yīng)的顯示畫面 的亮度調(diào)整W及視覺辨認(rèn)性提高、或者通話時(shí)的省電，搭載了安裝在1個(gè)小型封裝中的照 度傳感器W及接近傳感器。送些傳感器通常用大體上遮斷可見光的黑色系的遮蓋玻璃等遮 蓋部件覆蓋。
[0003] 關(guān)于照度傳感器用PD (Photodiode ;光電二極管）的分光特性，希望在人眼可W 識(shí)別亮度的區(qū)域（波長(zhǎng)400nm~波長(zhǎng)700nm左右）具有最大靈敏度，在紅外光區(qū)域（波長(zhǎng) 800nm~波長(zhǎng)lOOOnm左右）具有低的相對(duì)靈敏度。被遮蓋玻璃覆蓋的該P(yáng)D的分光特性，在 紅外光區(qū)域中的相對(duì)靈敏度升高。因此，已知通過利用在紅外光區(qū)域中具有最大靈敏度的 PD(能見度修正用PD)等，降低紅外光區(qū)域中的相對(duì)靈敏度（能見度修正），來維持照度傳 感器的檢測(cè)精度的技術(shù)。
[0004] 如圖10所示，照度傳感器用PD的分光特性，在用黑色系的玻璃等遮蓋部件覆蓋的 情況下，與不用黑色系的遮蓋玻璃等遮蓋部件覆蓋的情況相比，紅外光區(qū)域中的相對(duì)靈敏 度升高。
[0005] 公開了一種日照傳感器裝置，與對(duì)受光面入射的日照光的方向?qū)?yīng)地，對(duì)遮光板 W及光感應(yīng)部的配置或形狀等進(jìn)行研究，控制光感應(yīng)部的受光面積和被遮光板覆蓋的光感 應(yīng)部的遮光面積，由此高效率地檢測(cè)該日照光（例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
[0006] 另外，公開了在同一基板上隔著絕緣層分離配置帶隙能量不同的多個(gè)受光元件， 通過各受光元件接受具有大量的波長(zhǎng)成分的光，由此進(jìn)行高效率的光電變換的光電變換模 塊（例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
[0007] 在同一基板上形成具有不同分光特性的多個(gè)PD的情況下，即使對(duì)受光面入射的 光的方向變化，也難W在各PD間使受光光量均勻。
[0008]例如，將照度傳感器用PD和接近傳感器用PD相鄰配置（參照?qǐng)D11 (A))，對(duì)使入 射光的方向進(jìn)行了變化時(shí)的照射到各PD的光的面積的變化進(jìn)行比較（參照?qǐng)D11度)）。在 直進(jìn)光（圓101)的情況下當(dāng)從照射到各PD的光的面積為基準(zhǔn)時(shí)，在斜光（圓102)的情況 下，照射到照度傳感器用PD的光的面積增加，照射到接近傳感器用PD的光的面積減小。另 一方面，在斜光（圓103)的情況下，照射到照度傳感器用PD的光的面積減小，照射到接近 傳感器用PD的光的面積增加。
[0009] 特別是存在在照度傳感器用PD和能見度修正用PD之間，當(dāng)受光光量的波動(dòng)增大 時(shí)，根據(jù)該受光光量進(jìn)行的能見度修正的精度降低的問題。
[0010] 專利文獻(xiàn)1;日本特開平07-311084號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)2;日本特開平05-206500號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種進(jìn)行高精度的能見度修正 的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路。
[0013] 本實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路（1)經(jīng)由使可見光衰減，使紅外光透過 的遮蓋部件（3)和聚光透鏡（2)接受環(huán)境光，根據(jù)受光光量進(jìn)行能見度修正，檢測(cè)環(huán)境光 的照度，該光傳感器用半導(dǎo)體集成電路具有：第一受光元件（21)，其具有第一分光特性；第 二受光元件（22);能見度修正單元（30)，其對(duì)第一受光元件（21)的輸出和第二受光元件 (22)的輸出進(jìn)行減法運(yùn)算，第一受光元件（21)和第二受光元件（22)的平面形狀為近似中 空多邊形，第一受光元件（21)和第二受光元件（22)互相隔離并且同必配置。
[0014] 此外，上述括號(hào)內(nèi)的參照符號(hào)是為了容易理解而添加的，只不過是一個(gè)例子，并非 限定為圖示的形態(tài)。
[0015] 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，可W提供進(jìn)行高精度的能見度修正的光傳感器用半導(dǎo)體 集成電路。
【附圖說明】
[0016] 圖1是示意性地表示光入射到實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的情形的 一例的圖，其中實(shí)線表示光11，虛線表示光12。
[0017] 圖2是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0018] 圖3是表示實(shí)施方式的受光元件中的電壓和暗電流的關(guān)系的一例的曲線圖。
[0019] 圖4是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0020] 圖5是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0021] 圖6是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0022] 圖7是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0023] 圖8是表示實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0024] 圖9是表示實(shí)施方式的受光元件中的波長(zhǎng)和相對(duì)靈敏度的關(guān)系的一例的曲線圖。 [00巧]圖10是表示分光特性的一例的圖。
[0026] 圖11是表示現(xiàn)有的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例的圖。
[0027] 符號(hào)說明
[0028] 1 光傳感器用半導(dǎo)體集成電路
[002引 2 聚光透鏡
[0030] 3 遮蓋部件
[003U 10環(huán)境光
[0032] 21第一受光元件（照度傳感器用）
[003引 2化陽(yáng)極電極（P)
[0034] 21c陰極電極㈱
[0035] 22第二受光元件（修正用）
[003引 2化陽(yáng)極電極（P)
[0037] 22c陰極電極㈱
[0038] 23第Η受光元件（接近傳感器用）
[00測(cè)23b陽(yáng)極電極（P)
[0040] 23c陰極電極㈱
[0041] 30能見度修正單元
[004引313AD變換器
[004引316乘法器
[0044] 318加法器
[0045] 500紅外光截止濾光片（第一濾光片）
[0046] 501可見光截止濾光片（第二濾光片）
【具體實(shí)施方式】
[0047]W下，參照【附圖說明】發(fā)明的實(shí)施方式。在各圖中，有時(shí)對(duì)相同結(jié)構(gòu)部分賦予相同符 號(hào)，并省略重復(fù)的說明。
[0048] 在本說明書中，所謂"相對(duì)靈敏度"，是指將照度傳感器用受光元件的某波長(zhǎng)下的 靈敏度（最大靈敏度）設(shè)為100%而標(biāo)準(zhǔn)化的分光特性中的在各個(gè)波長(zhǎng)（波長(zhǎng)400nm~波 長(zhǎng)1150nm)下的靈敏度。另外，在本說明書中，所謂平面形狀，是指從受光部20的表面20s 的法線方向看對(duì)象物看到的形狀。
[0049][光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)]
[0050] 首先，使用圖1簡(jiǎn)單說明本實(shí)施方式的光傳感器用半導(dǎo)體集成電路的結(jié)構(gòu)的一例 和該光傳感器用半導(dǎo)體集成電路接受環(huán)境光后直到檢測(cè)出照度的流程。
[0051] 光傳感器用半導(dǎo)體集成電路1包含受光部20和能見度修正單元30。
[0052] 光10 (環(huán)境光）經(jīng)由遮蓋部件3和聚光透鏡2入射到受光部20。受光部20包含 在同一基板上形成的多個(gè)受光元件。各受光元件包含光電變換部、電極等，根據(jù)受光光量流 過電流。作為各受光元件，可W使用