揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)及檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)及檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-LCD(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)制造車間內(nèi)，用于制作液晶屏的玻璃采用卡匣(Cassette)進(jìn)行裝載，每個(gè)卡匣可裝載幾十片玻璃。通過計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)(MES)設(shè)置搬送指令，卡匣由自動化物料搬送系統(tǒng)(AMHS)運(yùn)送到相應(yīng)制程機(jī)臺附近的倉儲(Stocker)內(nèi)儲存?zhèn)淞?，然后通過分片裝置將玻璃從卡匣中一片一片取出送到制程機(jī)臺處理，處理完成后，分片裝置再將玻璃一片一片送回卡匣，自動化物料搬送系統(tǒng)再將卡匣運(yùn)送到下一制程附近的倉儲內(nèi)儲存?zhèn)淞?。倉儲以及連接倉儲之間的卡匣通道屬于自動化物料搬送系統(tǒng)的一部分。
[0003]由于TFT-1XD的各制程中可能存在揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)，比如彩膜制程中的光阻，當(dāng)這些揮發(fā)性有機(jī)化合氣體進(jìn)入到特定制程(比如CVD制程)的倉儲時(shí)會直接影響液晶屏的生產(chǎn)良率，由于液晶屏報(bào)廢成本很高，因此各生產(chǎn)制程對VOC都有嚴(yán)格的要求。自動化物料搬送系統(tǒng)作為液晶面板生產(chǎn)過程中產(chǎn)品停留時(shí)間最長的設(shè)備，對環(huán)境中的VOC濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)快速監(jiān)測尤其重要。通過實(shí)時(shí)快速監(jiān)測，及時(shí)報(bào)警，以便快速改善VOC揮發(fā)源，達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)VOC濃度要求，以減少產(chǎn)品不良損失，這對TFT-1XD制程來說極為重要。
[0004]目前自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)VOC濃度監(jiān)測主要采用人工手持式測量儀量測。此種方式存在以下缺點(diǎn):
[0005]1、測量作業(yè)時(shí)，設(shè)備需停止運(yùn)行，無法生產(chǎn)，造成產(chǎn)能損失；
[0006]2、測量時(shí)間長，設(shè)備數(shù)量多，人力需求多；
[0007]3、人作為污染源影響環(huán)境潔凈度，影響測量結(jié)果的精確度；
[0008]4、車間內(nèi)監(jiān)控范圍大，人工測量覆蓋率底，測量數(shù)據(jù)少；
[0009]5、人工測量具有滯后性，反映時(shí)間長。
[0010]因此，有必要提供一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)及檢測方法，以解決上述冋題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的在于提供一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)，能夠自動對自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定異常警報(bào)值，并發(fā)出警報(bào)，通知相關(guān)人員及時(shí)處理異常。
[0012]本發(fā)明的目的還在于提供一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測方法，通過設(shè)置檢測路徑，沿自動沿檢測路徑對自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定異常警報(bào)值，并發(fā)出警報(bào)，通知相關(guān)人員及時(shí)處理異常。
[0013]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)，包括自動化物料搬送系統(tǒng)、檢測單元、服務(wù)器、及反饋單元；
[0014]所述檢測單元包括載體、設(shè)于所述載體內(nèi)部的測量模塊、與所述測量模塊相連接的取樣模塊、與所述測量模塊電性連接的電源模塊、及與所述電源模塊電性連接的通訊模塊，所述載體呈敞開式設(shè)置以使取樣模塊能取得待測區(qū)域的樣本；
[0015]利用服務(wù)器設(shè)定檢測單元的檢測路徑，自動化物料搬送系統(tǒng)運(yùn)送檢測單元沿該檢測路徑對自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，同時(shí)向服務(wù)器發(fā)送實(shí)時(shí)檢測數(shù)據(jù)；服務(wù)器自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定異常警報(bào)值，并控制反饋單元發(fā)出警報(bào)，以通知相關(guān)人員處理異常。
[0016]所述載體為鏤空式卡匣。
[0017]所述自動化物料搬送系統(tǒng)包括制程機(jī)臺附近的倉儲、及連接于不同倉儲之間的卡匣通道；所述檢測路徑為，通過自動化物料搬送系統(tǒng)將所述檢測單元搬運(yùn)至相應(yīng)制程機(jī)臺附近的倉儲的空儲位，檢測完成后再通過自動化物料搬送系統(tǒng)將所述檢測單元經(jīng)由卡匣通道搬運(yùn)至下一制程機(jī)臺附近的倉儲的空儲位繼續(xù)進(jìn)行檢測。
[0018]所述測量模塊為VOC濃度計(jì)；所述取樣模塊為空氣泵。
[0019]所述電源模塊為鋰離子充電電池；所述通訊模塊為無線收發(fā)器。
[0020]所述反饋單元包括發(fā)光模塊、及發(fā)聲模塊，通過所述發(fā)光模塊發(fā)出警報(bào)光、所述發(fā)聲模塊發(fā)出警報(bào)音向相關(guān)人員反饋?zhàn)詣踊锪习崴拖到y(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度異常。
[0021]所述揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)用于TFT-1XD的制程。
[0022]本發(fā)明還提供一種揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測方法，包括如下步驟:
[0023]步驟1、提供自動化物料搬送系統(tǒng)、檢測單元、服務(wù)器、及反饋單元；
[0024]所述檢測單元包括載體、設(shè)于所述載體內(nèi)部的測量模塊、與所述測量模塊相連接的取樣模塊、與所述測量模塊電性連接的電源模塊、及與所述電源模塊電性連接的通訊模塊，所述載體呈敞開式設(shè)置以使取樣模塊能取得待測區(qū)域的樣本；
[0025]步驟2、通過服務(wù)器設(shè)定檢測單元的檢測路徑；
[0026]步驟3、通過自動化物料搬送系統(tǒng)運(yùn)送檢測單元沿該檢測路徑移動，檢測單元通過取樣模塊沿檢測路徑進(jìn)行取樣，并通過測量模塊對所采集的樣本中揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，同時(shí)通過通訊模塊向服務(wù)器發(fā)送實(shí)時(shí)檢測數(shù)據(jù)；
[0027]步驟4、通過服務(wù)器自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定；
[0028]步驟5、服務(wù)器判定檢測數(shù)據(jù)正常，通過自動化物料搬送系統(tǒng)運(yùn)送檢測單元沿該檢測路徑繼續(xù)進(jìn)行檢測；
[0029]步驟6、服務(wù)器判定檢測數(shù)據(jù)異常，通過服務(wù)器控制反饋單元發(fā)出警報(bào)，以通知相關(guān)人員處理異常。
[0030]所述載體為鏤空式卡匣，所述測量模塊為VOC濃度計(jì)，所述取樣模塊為空氣泵，所述電源模塊為鋰離子充電電池，所述通訊模塊為無線收發(fā)器，所述反饋單元包括發(fā)光模塊、及發(fā)聲模塊，通過所述發(fā)光模塊發(fā)出警報(bào)光、所述發(fā)聲模塊發(fā)出警報(bào)音向相關(guān)人員反饋?zhàn)詣踊锪习崴拖到y(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度異常。
[0031]所述揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測方法用于TFT-1XD的制程。
[0032]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測系統(tǒng)，設(shè)有自動化物料搬送系統(tǒng)、檢測單元、服務(wù)器、及反饋單元，利用服務(wù)器設(shè)定檢測單元的檢測路徑，通過自動化物料搬送系統(tǒng)運(yùn)送檢測單元沿該檢測路徑對自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，同時(shí)向服務(wù)器發(fā)送實(shí)時(shí)檢測數(shù)據(jù)，服務(wù)器自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定異常警報(bào)值，并控制反饋單元發(fā)出警報(bào)，以通知相關(guān)人員處理異常，減少了倉儲停機(jī)時(shí)間，有助于保障生產(chǎn)正常進(jìn)行。本發(fā)明的揮發(fā)性有機(jī)化合物自動檢測方法，通過設(shè)置自動化物料搬送系統(tǒng)、檢測單元、服務(wù)器、及反饋單元，利用服務(wù)器設(shè)定檢測單元的檢測路徑，通過自動化物料搬送系統(tǒng)運(yùn)送檢測單元沿該檢測路徑對自動化物料搬送系統(tǒng)內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度進(jìn)行檢測，同時(shí)向服務(wù)器發(fā)送實(shí)時(shí)檢測數(shù)據(jù)，服務(wù)器自動對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、判定異常警報(bào)值，并控制反饋單元發(fā)出警報(bào)，以通知相關(guān)人員處理異常，替代了人工測量，減少了倉儲停機(jī)時(shí)間，有助于保障生產(chǎn)正常進(jìn)行，提高了測量效率，有效降低了人力成本，提高了倉儲的測量覆蓋率，增加了測量數(shù)據(jù)，并可以及時(shí)反饋現(xiàn)場倉儲的揮發(fā)性有機(jī)化合物濃度，以便相關(guān)人員能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并改善異常問題，同時(shí)也保障現(xiàn)場人員工作的安全性。
[0033]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】