一種移相干涉檢測振動抑制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種移相干涉檢測振動抑制方法，屬于光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，可有效抑 制振動對移相干涉檢測精度的影響，明顯提高移相激光干涉儀的重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性和精度，該 方法可以應(yīng)用于光學(xué)面形和系統(tǒng)波像差干涉檢測、全息干涉檢測等領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著光學(xué)成像系統(tǒng)的質(zhì)量提高，光學(xué)元件面形精度要求越來越高，尤其是光刻領(lǐng) 域，為實(shí)現(xiàn)曝光光學(xué)系統(tǒng)滿足衍射極限，要求光學(xué)元件面形精度達(dá)到亞納米級別，這就對光 學(xué)波前檢測提出了極為苛刻的要求。
[0003] 在移相干涉檢測中，振動會引入一個(gè)周期性的位置變化，改變干涉腔長，從在干涉 圖中引入一個(gè)周期性的相位變化。振動是由各種不同頻率的振動分量（可以用簡諧振動表 示）組成，當(dāng)存在振動時(shí)，干涉圖的光強(qiáng)分布可以用下式表示，
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種移相干涉檢測振動抑制方法，其特征是，該方法包括如下步驟： 步驟1，利用移相干涉儀米集一組N幅移相干涉圖，N大于等于3,米用N步移相相位提 取算法計(jì)算相位分布O1，移相干涉圖的移相間隔需要滿足算法要求，算法滿足下式：
式中，N為總的移相干涉圖幀數(shù)，In為第η幀移相干涉圖，Sn和Cn均為移相算法的系 數(shù)； 步驟2,利用移相干涉儀自身的移相器，調(diào)整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8,待干 涉儀穩(wěn)定后采集一組干涉圖，干涉圖的數(shù)量與移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相 同的算法計(jì)算出被測相位Φ2 ; 步驟3,利用移相干涉儀自身的移相器，調(diào)整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8,腔長 的變化方向與步驟2的變化方向相同，待干涉儀穩(wěn)定后采集一組干涉圖，干涉圖的數(shù)量與 移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相同的算法計(jì)算出被測相位Φ3 ; 步驟4,調(diào)整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8,腔長的變化方向與步驟2、步驟3的變 化方向相同，待干涉儀穩(wěn)定后采集一組干涉圖，干涉圖的數(shù)量與移相間隔與步驟1中的一 致，采用與步驟1相同的算法計(jì)算出被測相位Φ4 ; 步驟5,對步驟1、2、3和4獲得的四次測量結(jié)果進(jìn)行像素對像素的波面平均，計(jì)算得到 平均相位 Oave = (Φ1+Φ2+Φ3+Φ4)/4〇 步驟6,利用公式
>計(jì)算得到平均波面W，完成整個(gè)測量。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種移相干涉檢測振動抑制方法，其特征在于，步驟1-4中所 述腔長變化λ/8為各步驟中同為增長λ/8或同為減小λ/8,其中，λ為檢測用光源的波 長。
【專利摘要】一種移相干涉檢測振動抑制方法，屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域，為了提高干涉檢測的重復(fù)性、復(fù)現(xiàn)性和精度，該方法為：步驟1，利用移相干涉儀采集一組N幅移相干涉圖，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法計(jì)算相位分布Ф1；步驟2，利用移相干涉儀自身的移相器，調(diào)整干涉腔的腔長，使得腔長變化λ/8，待干涉儀穩(wěn)定后采集一組干涉圖，干涉圖的數(shù)量與移相間隔與步驟1中的一致，采用與步驟1相同的算法計(jì)算出被測相位Ф2；同樣步驟3和步驟4分別計(jì)算出被測相位Ф3和被測相位Ф4；步驟5，對步驟1、2、3和4獲得的4次測量結(jié)果進(jìn)行像素對像素的相位平均，計(jì)算得到平均相位；步驟6，利用公式計(jì)算得到平均波面W，完成整個(gè)測量。
【IPC分類】G01B9-02, G01J9-02
【公開號】CN104534978
【申請?zhí)枴緾N201410838076
【發(fā)明人】于杰, 張海濤, 馬冬梅, 金春水
【申請人】中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月29日