專利名稱:手動三維坐標(biāo)測量機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種坐標(biāo)測量機(jī)。具體地說,本發(fā)明涉及一種手動或浮動式坐標(biāo)測量機(jī),該坐標(biāo)測量機(jī)的探針是可沿三個直角坐標(biāo)軸,即X,Y和Z移動的,設(shè)置有探針的Z軸構(gòu)件可手動地沿三個坐標(biāo)軸移動,當(dāng)探針與工件接觸時,工件的尺寸和形狀是由三個軸的位移范圍確定的。
手動三維坐標(biāo)測量機(jī)已經(jīng)是眾所周知的了,其探針可沿三個直角坐標(biāo)軸X,Y和Z移動,一個操作者用手使設(shè)置有探針的Z軸構(gòu)件的尖端或底端移動,當(dāng)探針與一個工件接觸時,該工件的尺寸和形狀就由三個坐標(biāo)軸的位移范圍所確定。
在這種手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,它們的結(jié)構(gòu)要比自動驅(qū)動的坐標(biāo)測量機(jī)的結(jié)構(gòu)簡單,自動坐標(biāo)測量機(jī)是借助設(shè)置有三個坐標(biāo)軸的驅(qū)動機(jī)構(gòu)自動地沿這三個坐標(biāo)軸移動,操作者可用手使它們的探針迅速地朝給定的方向或位置移動。另一方面,這種手動操作有時會導(dǎo)致一些問題施加到Z軸構(gòu)件的尖端(一端)上的力會使Z軸構(gòu)件產(chǎn)生撓曲;在操作過程中施加到該尖端上的力會因不同的操作者而產(chǎn)生變化,使得精度減低,因?yàn)槊總€操作者是用他自身的速度或加速度來移動Z軸構(gòu)件。除此之外,在為三個坐標(biāo)軸設(shè)置空氣軸承作為滑動機(jī)構(gòu)的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,其精度會因空氣間隙的變化而減低。
在題為“一種用于將輔助移動力傳遞到一個坐標(biāo)測量機(jī)上的設(shè)備”的日本未審查專利公告54-107763中提出了減小Z軸構(gòu)件的撓曲的方法。該設(shè)備的特征如下所述在設(shè)置有一個探針或感應(yīng)元件的Z軸的底部處,設(shè)置有一對與Z軸平行的板簧,使得每個頂部可以固定到Z軸上,并且底部可以在X軸上位移;在平行的板簧的底部上設(shè)置有一個操作法蘭;垂直于Z軸設(shè)置有一個包括兩個分別與相應(yīng)的板簧對置的限制開關(guān)用于感應(yīng)板簧的移動的X軸移動傳感器和一個具有同樣構(gòu)形的Y軸移動傳感器;并且在兩個軸上提供有用于傳遞輔助力的設(shè)備,其中空氣在由這種位移傳感器測定的位移的方向上被噴出,以便傳遞比這個方向上的摩擦阻力小的推力。
當(dāng)夾持著操作法蘭的同時使探針在X軸和Y軸方向上移動時,板簧會朝這兩個方向位移,以便使空氣在此位移的反向方向上噴出。這樣,就可以消除因在X軸和Y軸上的撓曲導(dǎo)致的滯后誤差,從而改善了精度。
但是,由于前面所述的構(gòu)形需要各具有一對平行的板簧的X軸和Y軸位移傳感器和用于傳遞輔助力,即比相應(yīng)的摩擦力小的推力的裝置,該設(shè)備的結(jié)構(gòu)會變得復(fù)雜,并且撓曲會因每個軸所設(shè)置的設(shè)備的重量的增加而增加。而且,由于兩個帶有板簧的X軸和Y軸位移傳感器必須垂直于Z軸設(shè)置,該設(shè)備的結(jié)構(gòu)會變得更加復(fù)雜。
此外,由于上面所述的構(gòu)形傾向于消除因在Z軸移動時所形成的,換句話說,是由從靜止?fàn)顟B(tài)開始的位移所形成的X軸和Y軸撓曲所導(dǎo)致的滯后誤差,因此在Z軸在X軸或Y軸方向上移動之前必須測定移動方向。因此,必須用較小的力來使位移傳感器的平行的板簧產(chǎn)生位移。但是,Z軸在板簧產(chǎn)生較大的撓曲的情況下移動時,會使探針與工件接觸。因此,施加到Z軸構(gòu)件的尖端上的力會因不同的操作者而變化,從而降低了測量的精度。
本發(fā)明的目的是提供一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),該測量機(jī)的結(jié)構(gòu)簡單并且具有與操作者無關(guān)的改善的測量精度。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),該測量機(jī)能夠正好在探針與工件接觸之前將加速度減小到預(yù)定值或更小的同時,進(jìn)行手動操作來使探針與工件接觸。
本發(fā)明的又一個目的是提供一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),該測量機(jī)通過自動地消除從探針以較大的加速度與工件接觸得到的數(shù)據(jù)的方式獲得較高準(zhǔn)確性的測量值。
在根據(jù)本發(fā)明的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,設(shè)置有一個探針,以便沿三個直角坐標(biāo)軸X,Y和Z移動,一個設(shè)置有該探針的Z軸構(gòu)件通過手動操作沿這三個坐標(biāo)軸移動,一個工件的尺寸和形狀是由在探針與該工件接觸時這三個坐標(biāo)軸的位移范圍所決定的,該結(jié)構(gòu)包括一個滑動環(huán),該滑動環(huán)設(shè)置在Z軸構(gòu)件的底側(cè)以便能夠在垂直于Z軸的的平面上的一個任意的方向上移動;所述滑動環(huán)被夾持在所述平面上的一個預(yù)定的位置處;和一個彈性構(gòu)件,該彈性構(gòu)件設(shè)置來將滑動環(huán)夾持在該平面上的一個預(yù)定的位置上,以便使滑動環(huán)借助于由一個比一個預(yù)定值大的力導(dǎo)致的彈性變形而沿該平面在一個任意的方向上移動。
Z軸構(gòu)件的底側(cè)還包括一個較Z軸構(gòu)件的底端低的位置,例如,設(shè)置在Z軸構(gòu)件的底端處的一個探針調(diào)節(jié)器的位置,以及Z軸構(gòu)件的底段。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu),在夾持住滑動環(huán)并且將探針沿三個坐標(biāo)軸移動的同時,使探針與工件接觸。當(dāng)探針沿X軸和Y軸移動時,一個較預(yù)定值大的力沿著垂直于Z軸的平面(XY平面)作用在滑動環(huán)上,并且使彈性構(gòu)件產(chǎn)生彈性變形。這樣,夾持著滑動環(huán)的操作者可以感覺到滑動環(huán)的變形。由于在減小探針的速度使得彈性構(gòu)件產(chǎn)生彈性變形的同時,彈性件可以與工件接觸,換句話說,在使加速度減小到預(yù)定值或更小的同時,正好在探針與工件接觸之前,作用在滑動環(huán)上的力(或在垂直于Z軸的平面上力)可以很容易地保持在預(yù)定值或更小。借此,取決于操作者的測量誤差就可以減小。而且,通過將滑動環(huán)與彈性構(gòu)件結(jié)合還可以使結(jié)構(gòu)簡化。
在上面所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,滑動環(huán)最好設(shè)置在Z軸的底部和可拆卸地夾持著該探針的探針調(diào)節(jié)器的周邊上,彈性構(gòu)件設(shè)置在該滑動環(huán)和探針調(diào)節(jié)器之間。通過這種結(jié)構(gòu),該滑動環(huán)可以裝接到Z軸構(gòu)件上而不需要任何附加的工作,該探針可以可拆卸地夾持在現(xiàn)有的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)的Z軸構(gòu)件上,因此該測量機(jī)可以以較低的成本制造。
在上面所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,最好設(shè)置一個用于顯示滑動環(huán)的位移的預(yù)定量的顯示裝置。采用這種結(jié)構(gòu),在使用該顯示裝置觀察著該滑動環(huán)移動預(yù)定量的同時,可以使探針與工件接觸。
在上面所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)中,最好設(shè)置一個誤差防止裝置,以便取消輸入三個坐標(biāo)的位移值的程序,這些位移值基于在滑動環(huán)移動預(yù)定量時告知探針與工件接觸的接觸信號。采用這種結(jié)構(gòu),當(dāng)探針以實(shí)際的加速度與工件接觸時,就自動地消除了這些數(shù)據(jù),使精度得到改善。
本發(fā)明的較佳實(shí)施例將結(jié)合附圖進(jìn)行說明,其中
圖1是一幅等角圖,該圖示出了根據(jù)本發(fā)明的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)的外形;圖2是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例中的探針調(diào)節(jié)器部分的剖視圖;圖3是圖2所示探針調(diào)節(jié)器部分的平面圖;圖4是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例中的探針調(diào)節(jié)器部分的剖視圖;圖5是本發(fā)明的第二實(shí)施例中的顯示裝置和誤差防止裝置的方塊圖;圖6是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例中的探針調(diào)節(jié)器部分的剖視圖;圖7是圖6所示的探針調(diào)節(jié)器部分的平面圖;和圖8是用作本發(fā)明中的彈性構(gòu)件的另一個實(shí)施例的剖視圖。
根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例示出在圖1至3中。如圖1所示,該第一實(shí)施例的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)包括一個支架1,一個設(shè)置在該支架1上用于放置一個工件W的工作臺2,一個可沿工作臺2的前后或沿Y軸方向移動的門柱3,一個可沿門柱3的X軸梁3B的左右方向或X軸方向移動的X軸滑動件4,一個作為一個可沿X軸滑動件4或沿X坐標(biāo)軸豎向移動的Z軸構(gòu)件的Z軸心軸5,和一個通過一個探針調(diào)節(jié)器6可拆卸地設(shè)置在Z軸心軸的底部上的探針7。設(shè)置一個均衡件8來平衡Z軸心軸5的重量。
在工作臺2和門柱3的兩個支柱3A之間,在X軸梁3B和X軸滑動件4之間,以及在X軸滑動件4和Z軸心軸5之間設(shè)置有空氣軸承。借此,門柱3,X軸滑動件4和Z軸心軸5可以以很小的力手動地移動。當(dāng)在移動三個直角坐標(biāo)軸,即X,Y和Z軸,的同時使探針7與工件接觸時,這些坐標(biāo)軸的位移是從響應(yīng)接觸信號的位移探測器(在圖中未示出)輸入的,工件的尺寸和形狀就根據(jù)這些位移數(shù)據(jù)確定的。
如圖2和3所示,探針調(diào)節(jié)器6包括一個圓柱體11,和與圓柱體11整體地形成并具有較圓柱體11大的直徑的法蘭12和13,一個從法蘭12穿過圓柱體11的中心到達(dá)法蘭13并且可拆卸地夾持住探針7的夾持孔14。一個環(huán)狀滑動環(huán)15設(shè)置在Z軸心軸5的外側(cè)上,使得滑動環(huán)15可以在垂直于Z軸的平面(或XY平面)上的任意方向上和沿Z軸(或沿Z軸心軸5的軸線方向)上移動?;瑒迎h(huán)在XY平面上和在Z軸方向上的行程限制值設(shè)定為例如約2mm的數(shù)值,其中當(dāng)通過用手夾持著滑動環(huán)15使Z軸心軸移動時操作者可以通過手感覺到滑動環(huán)的移動。
在滑動環(huán)15的外側(cè)和圓柱體11的內(nèi)側(cè)以每90度的間隔設(shè)置有作為彈性構(gòu)件的壓縮螺旋彈簧16,用于將滑動環(huán)15夾持在XY平面上的預(yù)定位置處并且因由一個在XY平面上任意的方向上施加到滑動環(huán)15上的比預(yù)定值大的力所導(dǎo)致的彈性變形而使滑動環(huán)15在XY平面上移動。而且,作為彈性構(gòu)件的壓縮螺旋彈簧17以每間隔90度設(shè)置在頂端和法蘭12之間以及底端和法蘭13之間,用于將滑動環(huán)夾持在Z軸的預(yù)定位置處,并且因一個沿Z軸施加到滑動環(huán)15上的比預(yù)定值大的力所導(dǎo)致的彈性變形而使滑動環(huán)15沿Z軸移動。
在第一實(shí)施例中,操作者用一只手夾持住滑動環(huán)15并且用手動方式使探針7沿X軸移動以及使門柱3沿Y軸移動的同時,讓探針與工件W接觸。在探針7的移動過程中,當(dāng)探針的速度或加速度超過預(yù)定值時,比預(yù)定值大的力會作用在滑動環(huán)15上,因而使壓縮螺旋彈簧16和17產(chǎn)生彈性變形。例如,當(dāng)比預(yù)定值大的力在XY平面上的任意方向上作用在滑動環(huán)時,壓縮螺旋彈簧會彈性變形。
夾持著滑動環(huán)15的操作者可以感覺到滑動環(huán)15的移動。因此,操作者在探針與工件W接觸時可以通過減小速度的方式控制該力,使得壓縮螺旋彈簧16和17正好在探針與工件W接觸之前產(chǎn)生彈性變形。這樣就可以減小Z軸心軸5沿X和Y軸的撓曲和X軸梁3B沿Y軸的撓曲。而且,由于X軸滑動件4和門柱3的浮動變化,可以獲得高精度的測量值。
包括滑動環(huán)15和壓縮螺旋彈簧16和17的結(jié)構(gòu)已經(jīng)得到大大的簡化。具體地說,可沿XY平面和Z軸移動的滑動環(huán)15,與上面提及的具有兩個在Z軸方向上以每間隔90°設(shè)置有平行的板簧的位移傳感器的現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)相比,得到大大地簡化。而且,滑動環(huán)15設(shè)置在可拆卸地夾持著Z軸心軸5的探針調(diào)節(jié)器6的外側(cè)上,從而不需要將滑動環(huán)裝接到Z軸心軸5上的輔助工作,并且探針調(diào)節(jié)器可以以較小的成本用于現(xiàn)有的手動三維坐標(biāo)測量機(jī)。
圖4和5示出了根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例。與第一實(shí)施例不同之處是,第二實(shí)施例的設(shè)備還包括一個作為顯示滑動環(huán)15的預(yù)定移動的顯示裝置的顯示電路21,和一個作為一個用于取消將三個坐標(biāo)基于在探針與工件接觸時得到的接觸信號的位移輸入的程序的誤差防止裝置的誤差防止電路31。
如圖4所示,顯示電路21包括一個設(shè)置在探針調(diào)節(jié)器6的圓柱體11的周邊上的第一固定觸點(diǎn)22A,一個設(shè)置在法蘭12的底面處的第二固定觸點(diǎn)22B,一個設(shè)置在法蘭13的頂面處的第三固定觸點(diǎn)22C,一個第一移動觸點(diǎn)23A,一個第二移動觸點(diǎn)23B,和一個第三移動觸點(diǎn)23C,其中當(dāng)滑動環(huán)15在XY平面上和Z軸方向上移動預(yù)定量的位移時,每個移動觸點(diǎn)與相應(yīng)的固定觸點(diǎn)相接觸。顯示電路21還包括一個發(fā)光二極管驅(qū)動電路和一個發(fā)光二極管(LED)25,該發(fā)光二極管設(shè)置在Z軸心軸的底部處并且通過固定觸點(diǎn)和移動觸點(diǎn)的連接而發(fā)光。
如圖4所示,誤差防止裝置包括一個設(shè)置在探針調(diào)節(jié)器6的圓柱體11的周邊上的第一固定觸點(diǎn)32A,一個設(shè)置在法蘭12的底面上的第二固定觸點(diǎn)32B,一個設(shè)置在法蘭13的頂面上的第三固定觸點(diǎn)32C,一個第一移動觸點(diǎn)33A,一個第二移動觸點(diǎn)33B,和一個第三移動觸點(diǎn)33C,其中,當(dāng)滑動環(huán)15在XY平面上和Z軸上移動預(yù)定位移時每個移動觸點(diǎn)與其相應(yīng)的固定觸點(diǎn)接觸。誤差防止裝置還包括一個接觸信號接口電路34,其中取消了將鎖固命令發(fā)送給一個計算機(jī)35的程序,用于當(dāng)固定觸點(diǎn)和移動觸點(diǎn)相互接觸時顯示基于接觸信號的三個坐標(biāo)的位移。
在第二實(shí)施例中,當(dāng)滑動環(huán)15在探針7的移動過程中移動了預(yù)定值時,顯示電路21中的LED 25會發(fā)光。因此,操作者可以在控制滑動環(huán)的移動的同時讓探針7與工件W接觸,以便使LED 25不發(fā)光。用這種方法,作用在滑動環(huán)15上的力就減小到預(yù)定值或更小,并且因此可以使測量的精度得到可靠地改善。
即使當(dāng)LED 25在發(fā)光時探針7與工件W接觸,借助于誤差防止電路31也可以消除三個坐標(biāo)的位移,因而可以防止導(dǎo)致主要誤差測量。
顯示電路21和誤差防止電路31都具有一個上面所述的簡化的構(gòu)形。而且,顯示電路21的固定觸點(diǎn)和移動觸點(diǎn)組和誤差防止電路31的觸點(diǎn)組可以是公用的。例如,固定觸點(diǎn)22A,22B和22C和移動觸點(diǎn)23A,23B和23C連接到接觸信號的接口34上,以及連接到LED驅(qū)動電路上。因此可以取消固定觸點(diǎn)32A,32B和32C和移動觸點(diǎn)33A,33B和33C,得到簡化的電路構(gòu)形。
圖6和7示出了根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例。在此實(shí)施例中,滑動環(huán)15可以只在XY平面上移動。探針調(diào)節(jié)器6包括一個具有一個法蘭13和一個夾持孔14的探針夾持構(gòu)件43,并且用兩個螺栓42固定在具有一個本體11和一個法蘭12的環(huán)安裝構(gòu)件41的底面處。這些構(gòu)件用三個螺栓44安裝在Z軸心軸5的底面處。
環(huán)安裝構(gòu)件41具有四個用于將壓縮螺旋彈簧16固定住的彈簧夾持孔45。此外,將一個緊固螺釘46擰在探針夾持件43上以便將插在夾持孔14內(nèi)的探針7的針桿夾住,探針夾持件43設(shè)置有一個用于使電線從探針7朝Z軸心軸5穿過該心軸的連接殼47。
根據(jù)第三實(shí)施例,由于滑動環(huán)15只在XY平面上移動,因此可以減小Z軸心軸在X和Y軸方向上的撓曲和Z軸梁在Y軸方向上的撓曲。
雖然對本發(fā)明的較佳形式進(jìn)行了說明,但是,應(yīng)該理解到,本發(fā)明并不局限于該較佳形式,在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下可以作出各種變化和變更。
例如,滑動環(huán)15可以直接裝接到Z軸心軸5的底部上,這與上面所述的探針調(diào)節(jié)器6是設(shè)置在滑動環(huán)15和Z軸心軸5的底部之間的實(shí)施例不同。
滑動環(huán)15的平面圖可以是方形,而不是圓形的。作為彈性構(gòu)件的壓縮螺旋彈簧16和17都可以用一個板簧,橡膠,金屬絲等來代替。當(dāng)使用金屬絲時,該金屬絲51沿著探針調(diào)節(jié)器6的本體11的周邊螺旋地盤繞著,金屬絲的一端固定到探針調(diào)節(jié)器6上,另一端固定到滑動環(huán)15上。
權(quán)利要求
1.一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其中,設(shè)置有一個探針,以便沿三個直角坐標(biāo)軸X,Y和Z移動,一個設(shè)置有該探針的Z軸構(gòu)件通過手動操作沿這三個坐標(biāo)軸移動,一個工件的尺寸和形狀是由在該探針與該工件接觸時這三個坐標(biāo)軸的位移范圍所確定的,該結(jié)構(gòu)包括一個滑動環(huán),該滑動環(huán)設(shè)置在Z軸構(gòu)件的底側(cè)以便能夠在垂直于Z軸的的平面上的一個任意的方向上移動;所述滑動環(huán)被夾持在所述平面上的一個預(yù)定的位置處;和一個彈性構(gòu)件,該彈性構(gòu)件設(shè)置來將滑動環(huán)夾持在該平面上的一個預(yù)定的位置上,以便使滑動環(huán)借助于由一個比一個預(yù)定值大的力導(dǎo)致的彈性變形可以沿該平面在一個任意的方向上移動。
2.如權(quán)利要求1所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于所述滑動環(huán)設(shè)置在所述Z軸的底部和所述可拆卸地夾持住所述探針的所述探針調(diào)節(jié)器的周邊處,所述彈性構(gòu)件設(shè)置在所述滑動環(huán)和所述探針調(diào)節(jié)器之間。
3.如權(quán)利要求2所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于設(shè)置一個用于告知所述滑動環(huán)的移動預(yù)定量的顯示裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于所述顯示裝置包括設(shè)置在所述探針調(diào)節(jié)器處的固定觸點(diǎn),設(shè)置在所述滑動環(huán)處并且當(dāng)該滑動環(huán)移動一個預(yù)定量時與所述相應(yīng)的固定觸點(diǎn)接觸的移動觸點(diǎn),和一個當(dāng)所述觸點(diǎn)相互接觸時發(fā)光的發(fā)光二極管。
5.如權(quán)利要求3所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于設(shè)置有一個誤差防止裝置,用于取消輸入基于在所述滑動環(huán)移動一個預(yù)定量時告知所述探針與該工件接觸的接觸信號的三個坐標(biāo)軸的位移的程序。
6.如權(quán)利要求5所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于所述誤差防止裝置包括設(shè)置有所述探針調(diào)節(jié)器的固定觸點(diǎn),設(shè)置在所述滑動環(huán)處并且當(dāng)該滑動環(huán)移動一個預(yù)定量時與所述相應(yīng)固定觸點(diǎn)接觸的移動觸點(diǎn),和一個用于取消當(dāng)所述兩種觸點(diǎn)相互接觸時基于所述接觸信號的所述程序的接觸信號接口電路。
7.一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其中設(shè)置有一個探針,以便沿三個直角坐標(biāo)軸X,Y和Z移動,一個設(shè)置有所述探針的Z軸構(gòu)件通過手動操作沿這三個坐標(biāo)軸移動,一個工件的尺寸和形狀是由在該探針與該工件接觸時這三個坐標(biāo)軸的位移范圍所確定的,該結(jié)構(gòu)包括一個滑動環(huán),該滑動環(huán)設(shè)置在Z軸構(gòu)件的底側(cè)以便能夠在垂直于Z軸的的平面上的一個任意的方向上移動,同時所述滑動環(huán)的軸線保持與該Z軸近似地平行;所述滑動環(huán)相對于所述Z軸被夾持在所述平面上的一個預(yù)定的位置處;和一個彈性構(gòu)件,該彈性構(gòu)件設(shè)置來夾持住所述滑動環(huán),以便使所述滑動環(huán)借助于由一個比一個預(yù)定值大的力導(dǎo)致的彈性變形而在一個任意的方向上移動。
8.如權(quán)利要求7所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于所述滑動環(huán)安裝在所述Z軸構(gòu)件的底部處和一個可拆卸地夾持住所述探針的探針調(diào)節(jié)器的周邊處,并且所述彈性構(gòu)件被放置在所述滑動環(huán)和所述探針調(diào)節(jié)器之間。
9.如權(quán)利要求8所述的手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其特征在于設(shè)置一個用于告知所述滑動環(huán)移動一個預(yù)定量的顯示裝置。
全文摘要
一種手動三維坐標(biāo)測量機(jī),其中,設(shè)置有一個探針,以便沿三個直角坐標(biāo)軸X,Y和Z移動,一個設(shè)置有該探針的Z軸構(gòu)件通過手動操作沿這三個坐標(biāo)軸移動,一個工件的尺寸和形狀是由在該探針與該工件接觸時這三個坐標(biāo)軸的位移范圍所確定的,該結(jié)構(gòu)包括一個滑動環(huán),該滑動環(huán)設(shè)置在Z軸構(gòu)件的底側(cè)以便能夠在垂直于Z軸的平面上的一個任意的方向上移動;該滑動環(huán)被夾持在所述平面上的一個預(yù)定的位置處;和一個彈性構(gòu)件,該彈性構(gòu)件設(shè)置來將滑動環(huán)夾持在該平面上的一個預(yù)定的位置上,以便使滑動環(huán)借助于由一個比一個預(yù)定值大的力導(dǎo)致的彈性變形而沿該平面在一個任意的方向上移動。
文檔編號G01B21/00GK1158983SQ9612250
公開日1997年9月10日 申請日期1996年9月18日 優(yōu)先權(quán)日1995年9月18日
發(fā)明者手塚和作, 大根田隆男 申請人:株式會社三豐