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用于測(cè)試壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端的制作方法

文檔序號(hào):39729196發(fā)布日期:2024-10-22 13:33閱讀:45來(lái)源:國(guó)知局
用于測(cè)試壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端的制作方法

本發(fā)明涉及壓電材料檢測(cè),特別涉及一種用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端。


背景技術(shù):

1、壓電系數(shù)是壓電材料最重要的物理參數(shù),壓電系數(shù)越高,壓電材料的能量轉(zhuǎn)換的效率越高。現(xiàn)在壓電材料的應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越多,也從塊狀材料發(fā)展到了薄膜材料,但是壓電系數(shù)的測(cè)試裝置和方法并沒(méi)有明顯的改進(jìn),不能滿足技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用拓展的測(cè)試需求。

2、壓電材料的壓電系數(shù)測(cè)量方法有:直接法、準(zhǔn)靜態(tài)法(berlincourt?method),諧振法、激光干涉法(laser?interferometer),激光多普勒測(cè)振儀(laser?scanningvibrometers)和壓電力顯微鏡(piezoelectric?force?microscopes)。其中,激光干涉法,激光多普勒測(cè)振儀和壓電力顯微鏡法都是通過(guò)逆壓電效應(yīng),即通過(guò)加脈沖電壓信號(hào)使材料產(chǎn)生形變,測(cè)量壓電系數(shù)。這類方法需要精度高的微小形變的量測(cè),設(shè)備昂貴,測(cè)試效率也低,不能應(yīng)用到壓電材料和器件的產(chǎn)業(yè)化測(cè)試。直接法、準(zhǔn)靜態(tài)法和諧振法利用正壓電效應(yīng),測(cè)試應(yīng)力作用下材料產(chǎn)生的電荷,簡(jiǎn)單方便。其中諧振法是精度最高,但對(duì)測(cè)試樣品形狀有許多要求,以保證樣品工作在基模狀態(tài),不能應(yīng)用到許多實(shí)際的材料產(chǎn)品和壓電器件的壓電測(cè)量。直接法存在零點(diǎn)漂移問(wèn)題。

3、準(zhǔn)靜態(tài)裝置在傳統(tǒng)的塊狀壓電材料測(cè)試上應(yīng)用廣泛,但應(yīng)用到薄膜壓電材料測(cè)試存在嚴(yán)重局限。準(zhǔn)靜態(tài)法的測(cè)試原理是依據(jù)正壓電效應(yīng),在壓電材料上施加一個(gè)低頻交變力,壓電材料兩端面產(chǎn)生交變電荷,測(cè)量交變電荷方均值,可得應(yīng)力與電荷比值——壓電系數(shù)。準(zhǔn)靜態(tài)法中交變力由底座上的電磁驅(qū)動(dòng)器提供,因此交變力頻率低,作用時(shí)間長(zhǎng),力度大,容易損壞薄膜的物理特性,也會(huì)使得壓電薄膜去極化,失去其壓電性能。其測(cè)量時(shí)間也可能遠(yuǎn)大于壓電薄膜的時(shí)間常數(shù)。從空間設(shè)置上講,交變了力產(chǎn)生于下方,無(wú)法應(yīng)用于原位測(cè)試。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端,以解決現(xiàn)有技術(shù)中壓電系數(shù)測(cè)試中的各種缺陷和不足。

2、本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭,其包括:

3、檢測(cè)探針,配置為當(dāng)接觸壓電材料時(shí)向所述壓電材料施加應(yīng)力,以及輸出所述壓電材料響應(yīng)于所述應(yīng)力產(chǎn)生的電荷的電荷信號(hào);

4、應(yīng)力測(cè)試元件,配置為測(cè)量并輸出表示施加到所述壓電材料的所述應(yīng)力的應(yīng)力信號(hào);

5、振動(dòng)機(jī)構(gòu),位于所述檢測(cè)探針上方,配置為響應(yīng)于接收到的驅(qū)動(dòng)信號(hào)振動(dòng)所述檢測(cè)探針以向所述壓電材料施加所述應(yīng)力;以及

6、驅(qū)動(dòng)單元,配置為向所述振動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)送所述驅(qū)動(dòng)信號(hào),以驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)單元振動(dòng)。

7、可選地,所述應(yīng)力測(cè)試元件為壓力傳感器,所述壓力傳感器為壓電式壓力傳感器。

8、可選地,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以是脈沖信號(hào)和/或交變信號(hào)。

9、可選地,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)與所述壓電材料的工作驅(qū)動(dòng)信號(hào)一致。

10、可選地,還包括第一輸出端和第二輸出端,

11、所述第一輸出端與所述檢測(cè)探針連通,以輸出所述電荷信號(hào);

12、所述第二輸出端與所述應(yīng)力測(cè)試元件連通,以輸出所述應(yīng)力信號(hào)。

13、本發(fā)明的另一方面提供一種測(cè)試系統(tǒng),用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù),其包括:

14、至少一個(gè)測(cè)試探頭,所述測(cè)試探頭向壓電材料施加應(yīng)力,并輸出所述應(yīng)力的應(yīng)力信號(hào)以及所述壓電材料響應(yīng)于所述應(yīng)力產(chǎn)生的電荷的電荷信號(hào);

15、承載裝置,用于承載待測(cè)試的所述壓電材料,所述承載裝置位于所述測(cè)試探頭的下方,使得位于所述承載裝置上的所述壓電材料位于所述測(cè)試探頭的下方;

16、處理單元,接收并根據(jù)所述應(yīng)力信號(hào)及所述電荷信號(hào),獲得所述壓電材料的壓電系數(shù)。

17、本發(fā)明的又一方面提供一種采用本發(fā)明所述的測(cè)試探頭測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的方法,其包括以下步驟:

18、通過(guò)將測(cè)試探針接觸壓電材料對(duì)壓電材料施加應(yīng)力;

19、測(cè)試對(duì)應(yīng)于所述應(yīng)力的應(yīng)力信號(hào);

20、測(cè)試所述壓電材料響應(yīng)于所述應(yīng)力產(chǎn)生的電荷的電荷信號(hào);

21、根據(jù)測(cè)試的所述應(yīng)力信號(hào)及電荷信號(hào)獲得所述壓電材料的壓電系數(shù)。

22、本發(fā)明還提供一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)內(nèi)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明所述的方法。

23、本發(fā)明還提供一種電子設(shè)備,其包括處理器、通信接口、存儲(chǔ)器和通信總線,其中,處理器,通信接口,存儲(chǔ)器通過(guò)通信總線完成相互間的通信;存儲(chǔ)器,用于存放計(jì)算機(jī)程序;處理器,用于執(zhí)行存儲(chǔ)器上所存放的程序時(shí),實(shí)現(xiàn)本發(fā)明所述的方法。

24、如上所述,本發(fā)明的用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端,至少具有以下有益效果:

25、本發(fā)明測(cè)試探頭位于待測(cè)試的壓電材料的上方,自壓電材料上方向下向壓電材料施加應(yīng)力,壓電材料響應(yīng)于該應(yīng)力產(chǎn)生的電荷有測(cè)試探測(cè)探測(cè),同時(shí)由壓電式應(yīng)力傳感器測(cè)試施加的應(yīng)力。上述應(yīng)力的驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以是脈沖信號(hào)和/或交變信號(hào),更進(jìn)一步地,驅(qū)動(dòng)信號(hào)與壓電材料的工作激勵(lì)信號(hào)一致。另外,本發(fā)明的測(cè)試探頭可以在不靠近待測(cè)試的壓電材料的基膜諧振頻率的前提下,高頻工作,由此對(duì)壓電材料測(cè)試得到的壓電系數(shù)更加接近壓電材料實(shí)際工作中的壓電系數(shù)。同時(shí)測(cè)試探頭在高頻下工作,作用在壓電材料上的時(shí)間就相應(yīng)變短,施加的應(yīng)力的力度也相應(yīng)減小,因此不會(huì)對(duì)壓電材料產(chǎn)生物理?yè)p壞,也不會(huì)出現(xiàn)壓電材料去極化的風(fēng)險(xiǎn)。

26、本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)中,用于承載待測(cè)試的壓電材料的承載裝置可以是壓電材料薄膜生長(zhǎng)的成膜腔室,即測(cè)試探頭可以集成至壓電材料成膜設(shè)備中,由此可以在成膜腔室中實(shí)現(xiàn)壓電材料的原位測(cè)試。該測(cè)試過(guò)程中不會(huì)改變壓電材料所處的環(huán)境,相應(yīng)地其性能能夠更加完整的保持,使得測(cè)試得到的壓電系數(shù)更加接近壓電材料的實(shí)際壓電系數(shù)。同時(shí),還可以在壓電材料成膜過(guò)程的任意階段進(jìn)行壓電系數(shù)測(cè)試,以表征壓電材料成膜的良率,有利于提高最終形成的壓電材料薄膜的良率。



技術(shù)特征:

1.一種用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試探頭,其特征在于,所述應(yīng)力測(cè)試元件為壓力傳感器,所述壓力傳感器為壓電式壓力傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試探頭,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以是脈沖信號(hào)和/或交變信號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試探頭,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)與所述壓電材料的工作驅(qū)動(dòng)信號(hào)一致。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試探頭,其特征在于,還包括第一輸出端和第二輸出端,所述第一輸出端與所述檢測(cè)探針連通,以輸出所述電荷信號(hào);

6.一種測(cè)試系統(tǒng),用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù),其特征在于,包括:

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述測(cè)試探頭包括:

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述應(yīng)力測(cè)試元件為壓力傳感器,所述壓力傳感器為壓電式壓力傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以是脈沖信號(hào)和/或交變信號(hào)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)與所述壓電材料的工作激勵(lì)信號(hào)一致。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述檢測(cè)探頭還包括第一輸出端和第二輸出端,

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述處理單元與所述第一輸出端和所述第二輸出端連通,根據(jù)所述電荷信號(hào)和應(yīng)力信號(hào)的峰峰值和/或積分值獲得所述壓電系數(shù)。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述包括一個(gè)所述測(cè)試探頭,所述測(cè)試探頭時(shí)序地移動(dòng)以對(duì)所述壓電材料進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)試。

14.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述包括多個(gè)所述測(cè)試探頭,多個(gè)所述測(cè)試探頭間隔分布在所述壓電材料上方,以對(duì)所述壓電材料進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)試。

15.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,還包括運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),與所述測(cè)試探頭連接,以控制所述測(cè)試探頭實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)。

16.根據(jù)權(quán)利要求6~15中任意一項(xiàng)所述的測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述承載裝置為壓電材料成膜腔室中的承載臺(tái),所述檢測(cè)探頭設(shè)置在所述成膜腔室中,以在所述成膜腔室中對(duì)形成的所述壓電材料進(jìn)行測(cè)試。

17.一種采用權(quán)利要求6~16中任意一項(xiàng)所述的測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的方法,其特征在于,包括以下步驟:

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其特征在于,根據(jù)測(cè)試的所述應(yīng)力信號(hào)及電荷信號(hào)獲得所述壓電材料的壓電系數(shù)包括:

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其特征在于,根據(jù)測(cè)試的所述應(yīng)力信號(hào)及電荷信號(hào)獲得所述壓電材料的壓電系數(shù)包括:

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法,其特征在于,所述壓電系數(shù)包括壓電材料的壓電系數(shù)d33。

21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,其特征在于,通過(guò)將測(cè)試探針接觸壓電材料對(duì)壓電材料施加應(yīng)力還包括:

22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)與所述材料的工作激勵(lì)信號(hào)一致。

23.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其特征在于,所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)內(nèi)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求17~22中任意一所述的方法。

24.一種電子設(shè)備,其特征在于,包括處理器、通信接口、存儲(chǔ)器和通信總線,其中,處理器,通信接口,存儲(chǔ)器通過(guò)通信總線完成相互間的通信;存儲(chǔ)器,用于存放計(jì)算機(jī)程序;處理器,用于執(zhí)行存儲(chǔ)器上所存放的程序時(shí),實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求17~22中任意一所述的方法。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了用于測(cè)試壓電材料的壓電系數(shù)的測(cè)試探頭、系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及終端,測(cè)試探頭位于待測(cè)試的壓電材料的上方,自壓電材料上方向下向壓電材料施加應(yīng)力,壓電材料響應(yīng)于該應(yīng)力產(chǎn)生的電荷有測(cè)試探測(cè)探測(cè),同時(shí)由壓電式應(yīng)力傳感器測(cè)試施加的應(yīng)力。上述應(yīng)力的驅(qū)動(dòng)信號(hào)可以是脈沖信號(hào)和/或交變信號(hào),更進(jìn)一步地,驅(qū)動(dòng)信號(hào)與壓電材料的工作激勵(lì)信號(hào)一致。另外,本發(fā)明的測(cè)試探頭可以在不靠近待測(cè)試的壓電材料的基膜諧振頻率的前提下,高頻工作,由此對(duì)壓電材料測(cè)試得到的壓電系數(shù)更加接近壓電材料實(shí)際工作中的壓電系數(shù)。同時(shí)測(cè)試探頭在高頻下工作,作用在壓電材料上的時(shí)間就相應(yīng)變短,施加的應(yīng)力的力度也相應(yīng)減小,因此不會(huì)對(duì)壓電材料產(chǎn)生物理?yè)p壞,也不會(huì)出現(xiàn)壓電材料去極化的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:陳昱,楊記冬,王開(kāi)安
受保護(hù)的技術(shù)使用者:科銳昇微系統(tǒng)(蘇州)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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