技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的基于硅基懸臂梁T型結(jié)間接加熱在線式毫米波相位檢測(cè)器，主要由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、T型結(jié)和間接加熱式微波功率傳感器構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)中，兩個(gè)懸臂梁在CPW中央信號(hào)線上方，結(jié)構(gòu)相同，用于耦合部分待測(cè)信號(hào)，通過錨區(qū)與T型結(jié)相連，兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號(hào)線上覆蓋了一層Si3N4介電層，用于防止電學(xué)短路。參考信號(hào)通過T型結(jié)分成兩路信號(hào)，分別與兩路懸臂梁耦合的信號(hào)通過T型結(jié)合成，T型結(jié)的輸出端連接到間接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功率檢測(cè)。最后根據(jù)兩個(gè)間接加熱式微波功率傳感器的熱電式輸出得到待測(cè)信號(hào)的相位信息，可實(shí)現(xiàn)整個(gè)周期內(nèi)的相位角測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：廖小平;嚴(yán)嘉彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東南大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710062640
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.24
技術(shù)公布日：2017.06.13