電渦流傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種電渦流傳感器，包括：殼體；探頭，探頭為多個(gè)，多個(gè)探頭均設(shè)置在殼體的內(nèi)部，且探頭的探測(cè)端均處于殼體的外表面的內(nèi)側(cè)，以避免探頭的探測(cè)端突出于殼體的外表面。由于多個(gè)探頭的探測(cè)端均處于殼體的外表面的內(nèi)側(cè)，因而外力撞擊電渦流傳感器時(shí)，殼體會(huì)對(duì)探頭起到保護(hù)作用，從而避免探頭因撞擊被損壞，降低了探頭的故障率，提高了電渦流傳感器的使用可靠性、延長了電渦流傳感器的使用壽命。
【專利說明】電渦流傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及測(cè)試傳感器【技術(shù)領(lǐng)域】，具體而言，涉及一種電渦流傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的電渦流傳感器，特別是集成式電渦流傳感器，可應(yīng)用于磁懸浮電機(jī)主軸運(yùn)動(dòng)狀態(tài)監(jiān)測(cè)中。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)磁懸浮電機(jī)主軸運(yùn)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)時(shí)，主要采用電渦流位移傳感器進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，因此，電渦流傳感器的精度與穩(wěn)定性直接影響到磁懸浮電機(jī)的效率與可靠性。
[0004]目前市場上應(yīng)用于磁懸浮電機(jī)的電渦流傳感器普遍存在以下問題:
[0005]1.探頭多凸出與電渦流傳感器的殼體之外，因此電渦流傳感器的殼體對(duì)探頭的保護(hù)作用較小，容易導(dǎo)致探頭損壞；
[0006]2.電渦流傳感器上未設(shè)置有補(bǔ)償探頭，電渦流傳感器受環(huán)境溫度影響較大，不能適用于高溫、高壓等惡劣環(huán)境的場所；
[0007]3.前置器(傳感器的控制、處理電路)多集成到電渦流傳感器的殼體內(nèi)，對(duì)控制電路元器件的溫度穩(wěn)定性、壓力穩(wěn)定性提出更高的要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種電渦流傳感器，以解決現(xiàn)有技術(shù)中探頭因凸出殼體外表面設(shè)置而導(dǎo)致探頭易損壞、傳感器使用壽命短的問題。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種電渦流傳感器，包括:殼體；探頭，探頭為多個(gè)，多個(gè)探頭均設(shè)置在殼體的內(nèi)部，且探頭的探測(cè)端均處于殼體的外表面的內(nèi)側(cè)，以避免探頭的探測(cè)端突出于殼體的外表面。
[0010]進(jìn)一步地，多個(gè)探頭包括多個(gè)徑向探頭，殼體具有內(nèi)環(huán)面，內(nèi)環(huán)面具有避讓徑向探頭的徑向探測(cè)孔，徑向探頭的探測(cè)端與徑向探測(cè)孔對(duì)應(yīng)設(shè)置，且徑向探頭的探測(cè)端與內(nèi)環(huán)面相切。
[0011]進(jìn)一步地，殼體為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且殼體的內(nèi)部具有環(huán)形槽，環(huán)形槽的內(nèi)側(cè)槽壁與殼體的內(nèi)環(huán)面之間形成殼體的內(nèi)側(cè)壁，內(nèi)側(cè)壁具有沿殼體的徑向方向貫通設(shè)置的徑向探測(cè)孔。
[0012]進(jìn)一步地，環(huán)形槽的外側(cè)槽壁與殼體的外環(huán)面之間形成殼體的外側(cè)壁，外側(cè)壁具有沿徑向探測(cè)孔的軸向貫通設(shè)置的過線孔。
[0013]進(jìn)一步地，環(huán)形槽的外側(cè)槽壁與殼體的外環(huán)面之間形成殼體的外側(cè)壁，外側(cè)壁還具有與環(huán)形槽連通的過線開口。
[0014]進(jìn)一步地，電渦流傳感器還包括封裝部，封裝部填充殼體內(nèi)的空隙以使殼體形成實(shí)心環(huán)形圓柱體。
[0015]進(jìn)一步地，多個(gè)探頭包括至少一個(gè)軸向探頭，殼體具有內(nèi)環(huán)面和與內(nèi)環(huán)面相垂直的徑向端面，軸向探頭的探測(cè)端與殼體的徑向端面平齊。
[0016]進(jìn)一步地，多個(gè)探頭包括:徑向探頭，徑向探頭為多個(gè)，多個(gè)徑向探頭繞殼體的周向等間隔地設(shè)置；軸向探頭，軸向探頭為一個(gè)，軸向探頭位于相鄰設(shè)置的兩個(gè)徑向探頭的連線的中垂線上。
[0017]進(jìn)一步地，電渦流傳感器還包括前置器，前置器與探頭電連接，且前置器位于殼體的外部且與殼體獨(dú)立設(shè)置。
[0018]進(jìn)一步地，多個(gè)探頭還包括:金屬件，金屬件設(shè)置在殼體上且與外界環(huán)境接觸；補(bǔ)償探頭，補(bǔ)償探頭的探測(cè)端設(shè)置在金屬件上。
[0019]進(jìn)一步地，電渦流傳感器還包括量程調(diào)節(jié)部，補(bǔ)償探頭的探測(cè)端通過量程調(diào)節(jié)部與金屬件接觸。
[0020]進(jìn)一步地，殼體為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且殼體的內(nèi)部具有環(huán)形槽，殼體還具有貫通環(huán)形槽的槽底設(shè)置的階梯孔，且階梯孔內(nèi)靠近環(huán)形槽一側(cè)的孔徑大于遠(yuǎn)離環(huán)形槽一側(cè)的孔徑，補(bǔ)償探頭和金屬件設(shè)置在階梯孔內(nèi)，且金屬件止擋在階梯孔的階梯面處。
[0021]進(jìn)一步地，金屬件與被檢測(cè)的轉(zhuǎn)軸的材料相同。
[0022]應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，多個(gè)探頭均設(shè)置在殼體的內(nèi)部，且探頭的探測(cè)端均處于殼體的外表面的內(nèi)側(cè)。由于多個(gè)探頭的探測(cè)端均處于殼體的外表面的內(nèi)側(cè)，因而外力撞擊電渦流傳感器時(shí)，殼體會(huì)對(duì)探頭起到保護(hù)作用，從而避免探頭因撞擊被損壞，降低了探頭的故障率，提高了電渦流傳感器的使用可靠性、延長了電渦流傳感器的使用壽命。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說明書附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0024]圖1示出了本實(shí)用新型中的電渦流傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2示出了本實(shí)用新型中的殼體和探頭的安裝關(guān)系示意圖；
[0026]圖3示出了本實(shí)用新型中的殼體與徑向探頭的安裝關(guān)系示意圖；
[0027]圖4示出了本實(shí)用新型中的殼體與軸向探頭的安裝關(guān)系示意圖；
[0028]圖5示出了本實(shí)用新型中的殼體與補(bǔ)償探頭的安裝關(guān)系示意圖；以及
[0029]圖6示出了本實(shí)用新型中的補(bǔ)償探頭的補(bǔ)償原理圖。
[0030]其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:
[0031]10、殼體；11、內(nèi)環(huán)面；lla、徑向探測(cè)孔；12、環(huán)形槽；12a、內(nèi)側(cè)槽壁；12b、外側(cè)槽壁；12c、槽底；13、內(nèi)側(cè)壁；14、外環(huán)面；15、外側(cè)壁；15a、過線孔；15b、過線開口 ；16、徑向端面；17、階梯孔；17a、階梯面；20、徑向探頭；30、封裝部；40、軸向探頭；50、金屬件；60、補(bǔ)償探頭；70、量程調(diào)節(jié)部；80、轉(zhuǎn)軸。

【具體實(shí)施方式】
[0032]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。
[0033]本實(shí)用新型提供了一種電渦流傳感器。如圖1至圖6所示，電渦流傳感器包括殼體10和探頭，探頭為多個(gè)，多個(gè)探頭均設(shè)置在殼體10的內(nèi)部，且探頭的探測(cè)端均處于殼體10的外表面的內(nèi)側(cè)。由于多個(gè)探頭的探測(cè)端均處于殼體10的外表面的內(nèi)側(cè)，因而外力撞擊電渦流傳感器時(shí)，殼體10會(huì)對(duì)探頭起到保護(hù)作用，從而避免探頭因撞擊被損壞，降低了探頭的故障率，提高了電渦流傳感器的使用可靠性、延長了電渦流傳感器的使用壽命。
[0034]優(yōu)選地，殼體10采用弱導(dǎo)磁的鋁合金或不銹鋼制造。采用弱導(dǎo)磁的鋁合金或不銹鋼制造的殼體10，可有效降低強(qiáng)導(dǎo)磁金屬殼體對(duì)探頭渦流場的干擾，提高測(cè)試精度。
[0035]本實(shí)用新型中的多個(gè)探頭包括多個(gè)徑向探頭20，殼體10具有內(nèi)環(huán)面11，內(nèi)環(huán)面11具有避讓徑向探頭20的徑向探測(cè)孔11a，徑向探頭20的探測(cè)端與徑向探測(cè)孔Ila對(duì)應(yīng)設(shè)置，且徑向探頭20的探測(cè)端與內(nèi)環(huán)面11相切(請(qǐng)參考圖2和圖3)。由于徑向探頭20的探測(cè)端與內(nèi)環(huán)面11相切，因而在保證徑向探頭20受到內(nèi)環(huán)面11的保護(hù)的同時(shí)，還保證了徑向探頭20的測(cè)試精度，避免因徑向探頭20過于陷入殼體10內(nèi)而造成測(cè)試精度降低的問題。
[0036]如圖1至圖3所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，殼體10為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且殼體10的內(nèi)部具有環(huán)形槽12，環(huán)形槽12的內(nèi)側(cè)槽壁12a與殼體10的內(nèi)環(huán)面11之間形成殼體10的內(nèi)側(cè)壁13，內(nèi)側(cè)壁13具有沿殼體10的徑向方向貫通設(shè)置的徑向探測(cè)孔11a。由于殼體10的內(nèi)側(cè)壁13具有沿殼體10的徑向方向貫通設(shè)置的徑向探測(cè)孔11a，因而當(dāng)徑向探頭20安裝在徑向探測(cè)孔Ila內(nèi)后，能夠保證徑向探頭20的安裝穩(wěn)定性，從而保證了電渦流傳感器的測(cè)試準(zhǔn)確性。
[0037]如圖1至圖3所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，環(huán)形槽12的外側(cè)槽壁12b與殼體10的外環(huán)面14之間形成殼體10的外側(cè)壁15，外側(cè)壁15具有沿徑向探測(cè)孔Ila的軸向貫通設(shè)置的過線孔15a。由于在殼體10的外側(cè)壁15設(shè)置過線孔15a，因而與徑向探頭20連接的信號(hào)線可通過過線孔15a穿出至殼體10的外部。由于過線孔15a與徑向探測(cè)孔Ila同軸設(shè)置，因而可以保證信號(hào)線以最短的距離穿出至殼體10的外部，從而有效減少了信號(hào)線的用料，降低了電渦流傳感器的制造成本。
[0038]本實(shí)用新型中的環(huán)形槽12的外側(cè)槽壁12b與殼體10的外環(huán)面14之間形成殼體10的外側(cè)壁15，外側(cè)壁15還具有與環(huán)形槽12連通的過線開口 15b(請(qǐng)參考圖2和圖3)。由于設(shè)置有過線開口 15b，因而與探頭連接的信號(hào)線也可以通過該過線開口 15b穿出至殼體10的外部，從而保證了電渦流傳感器的信號(hào)傳輸可靠性。
[0039]如圖1所示，電渦流傳感器還包括封裝部30，封裝部30填充殼體10內(nèi)的空隙以使殼體10形成實(shí)心環(huán)形圓柱體。優(yōu)選地，可通過塑封的方法將殼體10與探頭整體塑封。由于采用封裝部30填充殼體10內(nèi)的空隙，因而可以將探頭固定在殼體10內(nèi)，從而保證了探頭的安裝穩(wěn)定性，且保證了電渦流傳感器的檢測(cè)穩(wěn)定性。優(yōu)選地，封裝部30為塑料。殼體10的內(nèi)部空氣及探頭上各個(gè)焊點(diǎn)均用塑料配合模具進(jìn)行整體灌封。采用灌封可以將殼體10內(nèi)的縫隙等全部填滿，從而提高電渦流傳感器的使用可靠性。由于塑封后的電渦流傳感器的殼體10、各個(gè)探頭、線纜、接頭等成為一體式，因而可大大提高了電渦流感器的測(cè)試穩(wěn)定性及信號(hào)傳輸穩(wěn)定性。
[0040]本實(shí)用新型中的多個(gè)探頭包括至少一個(gè)軸向探頭40，殼體10具有內(nèi)環(huán)面11和與內(nèi)環(huán)面11相垂直的徑向端面16，軸向探頭40的探測(cè)端與殼體10的徑向端面16平齊。由于設(shè)置有軸向探頭40，因而可以實(shí)時(shí)檢測(cè)被檢測(cè)轉(zhuǎn)軸80的軸向運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，從而保證了電渦流傳感器的檢測(cè)多樣性和全面性。
[0041]如圖4所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，軸向探頭40的探測(cè)端與殼體10的徑向端面16平齊，這樣能夠有效保證軸向探頭40的測(cè)試精度。在該具體實(shí)施例中，軸向探頭40設(shè)置在環(huán)形槽12內(nèi)，且環(huán)形槽12的槽底12c具有貫通設(shè)置的軸向安裝孔，軸向探頭40設(shè)置在該軸向安裝孔內(nèi)。
[0042]本實(shí)用新型中的多個(gè)探頭包括徑向探頭20和軸向探頭40，徑向探頭20為多個(gè)，多個(gè)徑向探頭20繞殼體10的周向等間隔地設(shè)置；軸向探頭40為一個(gè)，軸向探頭40位于相鄰設(shè)置的兩個(gè)徑向探頭20的連線的中垂線上。也就是該軸向探頭40與相鄰設(shè)置的兩個(gè)徑向探頭20中的一個(gè)徑向探頭20之間的距離等于該軸向探頭40與另一個(gè)徑向探頭20之間的距離。由于多個(gè)徑向探頭20繞殼體10的周向等間隔地設(shè)置，因而能夠有效保證徑向檢測(cè)的可靠性。由于軸向探頭40位于相鄰設(shè)置的兩個(gè)徑向探頭20的連線的中垂線上，因而能夠有效消除兩個(gè)徑向探頭20之間的相鄰干擾，避免軸向探頭40偏置引起的測(cè)試誤差，從而保證了電渦流傳感器的檢測(cè)精度。
[0043]優(yōu)選地，一個(gè)軸向探頭40即可滿足測(cè)試要求，當(dāng)然，也可以設(shè)置多個(gè)軸向探頭40。
[0044]如圖4所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，徑向探頭20為四個(gè)，相鄰兩個(gè)徑向探頭20之間呈90度。也就是四個(gè)徑向探頭20彼此垂直。當(dāng)然，還可以選用6個(gè)或8個(gè)徑向探頭20。
[0045]本實(shí)用新型中的電渦流傳感器還包括前置器，前置器與探頭電連接，且前置器位于殼體10的外部且與殼體10獨(dú)立設(shè)置。由于前置器與殼體10獨(dú)立設(shè)置且位于殼體10的外部，因而能使前置器盡可能地遠(yuǎn)離測(cè)試環(huán)境，避免前置器各元器件受使用環(huán)境(壓力場、溫度場、電磁場、振動(dòng)場等)的影響，從而提高了電渦流傳感器的檢測(cè)精度和可靠性。同時(shí)，還可降低電渦流傳感器的體積。
[0046]優(yōu)選地，前置器包括傳感器的控制、處理電路。進(jìn)一步地，前置器安裝于主控板上或單獨(dú)放置。
[0047]優(yōu)選地，多個(gè)探頭還包括金屬件50和補(bǔ)償探頭60，金屬件50設(shè)置在殼體10上且與外界環(huán)境接觸，補(bǔ)償探頭60的探測(cè)端設(shè)置在金屬件50上(請(qǐng)參考圖5)。由于金屬件50與外界環(huán)境接觸，因而金屬件能夠感知外界環(huán)境的溫度變化而產(chǎn)生自身的形變，而補(bǔ)償探頭60檢測(cè)該種形變以作為徑向探頭20和軸向探頭40的補(bǔ)償修正量。利用補(bǔ)償探頭60可實(shí)時(shí)檢測(cè)溫度、壓力變化對(duì)探頭輸出信號(hào)的影響，從而對(duì)其它探頭的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行補(bǔ)償，降低環(huán)境因素對(duì)電渦流傳感器測(cè)試的影響，有效提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。
[0048]優(yōu)選地，補(bǔ)償探頭60也是電渦流探頭。
[0049]進(jìn)一步地，金屬件50為金屬墊片。
[0050]優(yōu)選地，金屬件50與被檢測(cè)的轉(zhuǎn)軸80的材料相同。
[0051]本實(shí)用新型中的電渦流傳感器還包括量程調(diào)節(jié)部70，補(bǔ)償探頭60的探測(cè)端通過量程調(diào)節(jié)部70與金屬件50接觸。由于設(shè)置有量程調(diào)節(jié)部70，因而能夠?qū)ρa(bǔ)償探頭60的測(cè)試量程進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其與其他探頭的量程相一致。
[0052]優(yōu)選地，量程調(diào)節(jié)部70為塑料墊片。塑料墊片主要是使補(bǔ)償探頭60處在中間量程位置，因?yàn)闄C(jī)組實(shí)際工作中，其它所有探頭都主要工作在中間量程位置，相當(dāng)于將補(bǔ)償探頭60墊起來。
[0053]如圖5所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，殼體10為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且殼體10的內(nèi)部具有環(huán)形槽12，殼體10還具有貫通環(huán)形槽12的槽底12c設(shè)置的階梯孔17，且階梯孔17內(nèi)靠近環(huán)形槽12 一側(cè)的孔徑大于遠(yuǎn)離環(huán)形槽12 —側(cè)的孔徑，補(bǔ)償探頭60和金屬件50設(shè)置在階梯孔17內(nèi)，且金屬件50止擋在階梯孔17的階梯面17a處。由于補(bǔ)償探頭60和金屬件50設(shè)置在階梯孔17內(nèi)，且金屬件50止擋在階梯孔17的階梯面17a處，因而保證了補(bǔ)償探頭60和金屬件50的安裝穩(wěn)固性，從而保證了電渦流傳感器的測(cè)試可靠性。
[0054]如圖2和圖6所示的優(yōu)選實(shí)施方式中，四個(gè)徑向探頭20分別標(biāo)記為Tl、T2、T4、T5。其中，180度對(duì)稱放置的T1、T4可測(cè)試轉(zhuǎn)軸80Χ方向位移，而另一對(duì)180度對(duì)稱放置的Τ2、Τ5可測(cè)試轉(zhuǎn)軸80Υ方向位移。軸向探頭40標(biāo)記為Τ3，且位于相鄰兩個(gè)徑向探頭20的中間位置，也就是Τ2和Τ4之間。補(bǔ)償探頭60標(biāo)記為Τ6且位于相鄰兩個(gè)徑向探頭20的中間位置，也就是Tl和Τ5之間。在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)中，補(bǔ)償探頭60檢測(cè)的是一個(gè)恒定位移，理論上輸出的是一個(gè)恒定值VI，當(dāng)電渦流傳感器周圍的溫度、壓力發(fā)生變化時(shí)，補(bǔ)償探頭60的輸出值會(huì)出現(xiàn)漂移，補(bǔ)償探頭60實(shí)時(shí)輸出的值V2減去之前的恒定值Vl即為漂移量V3，用此漂移量即可對(duì)該環(huán)境下的其它探頭的輸出進(jìn)行實(shí)時(shí)補(bǔ)償修正。
[0055]從以上的描述中，可以看出，本實(shí)用新型上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:
[0056]1.本實(shí)用新型中的電渦流傳感器具有測(cè)試可靠性高、測(cè)試精度高的特點(diǎn)。
[0057]2.本實(shí)用新型中的電渦流傳感器具有溫度漂移補(bǔ)償、壓力漂移補(bǔ)償?shù)墓δ埽蚨軌驊?yīng)用在高溫、高壓等復(fù)雜的測(cè)試環(huán)境中。
[0058]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種電渦流傳感器，其特征在于，包括: 殼體(10)； 探頭，所述探頭為多個(gè)，多個(gè)所述探頭均設(shè)置在所述殼體(10)的內(nèi)部，且所述探頭的探測(cè)端均處于所述殼體(10)的外表面的內(nèi)側(cè)，以避免所述探頭的探測(cè)端突出于所述殼體(10)的外表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，多個(gè)所述探頭包括多個(gè)徑向探頭(20)，所述殼體(10)具有內(nèi)環(huán)面(11)，所述內(nèi)環(huán)面(11)具有避讓所述徑向探頭(20)的徑向探測(cè)孔(11a)，所述徑向探頭(20)的探測(cè)端與所述徑向探測(cè)孔(Ila)對(duì)應(yīng)設(shè)置，且所述徑向探頭(20)的探測(cè)端與所述內(nèi)環(huán)面(11)相切。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述殼體(10)為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且所述殼體(10)的內(nèi)部具有環(huán)形槽(12)，所述環(huán)形槽(12)的內(nèi)側(cè)槽壁(12a)與所述殼體(10)的內(nèi)環(huán)面(11)之間形成所述殼體(10)的內(nèi)側(cè)壁(13)，所述內(nèi)側(cè)壁(13)具有沿所述殼體(10)的徑向方向貫通設(shè)置的徑向探測(cè)孔(11a)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述環(huán)形槽(12)的外側(cè)槽壁(12b)與所述殼體(10)的外環(huán)面(14)之間形成所述殼體(10)的外側(cè)壁(15)，所述外側(cè)壁(15)具有沿所述徑向探測(cè)孔(Ila)的軸向貫通設(shè)置的過線孔(15a)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述環(huán)形槽(12)的外側(cè)槽壁(12b)與所述殼體(10)的外環(huán)面(14)之間形成所述殼體(10)的外側(cè)壁(15)，所述外側(cè)壁(15)還具有與所述環(huán)形槽(12)連通的過線開口(15b)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述電渦流傳感器還包括封裝部(30)，所述封裝部(30)填充所述殼體(10)內(nèi)的空隙以使所述殼體(10)形成實(shí)心環(huán)形圓柱體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，多個(gè)所述探頭包括至少一個(gè)軸向探頭(40)，所述殼體(10)具有內(nèi)環(huán)面(11)和與所述內(nèi)環(huán)面(11)相垂直的徑向端面(16)，所述軸向探頭(40)的探測(cè)端與所述殼體(10)的所述徑向端面(16)平齊。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，多個(gè)所述探頭包括: 徑向探頭(20)，所述徑向探頭(20)為多個(gè)，多個(gè)所述徑向探頭(20)繞所述殼體(10)的周向等間隔地設(shè)置； 軸向探頭(40)，所述軸向探頭(40)為一個(gè)，所述軸向探頭(40)位于相鄰設(shè)置的兩個(gè)所述徑向探頭(20)的連線的中垂線上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述電渦流傳感器還包括前置器，所述前置器與所述探頭電連接，且所述前置器位于所述殼體(10)的外部且與所述殼體(10)獨(dú)立設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電渦流傳感器，其特征在于，多個(gè)所述探頭還包括: 金屬件(50)，所述金屬件(50)設(shè)置在所述殼體(10)上且與外界環(huán)境接觸； 補(bǔ)償探頭(60)，所述補(bǔ)償探頭(60)的探測(cè)端設(shè)置在所述金屬件(50)上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述電渦流傳感器還包括量程調(diào)節(jié)部(70)，所述補(bǔ)償探頭(60)的探測(cè)端通過所述量程調(diào)節(jié)部(70)與所述金屬件(50)接觸。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述殼體(10)為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且所述殼體(10)的內(nèi)部具有環(huán)形槽(12)，所述殼體(10)還具有貫通所述環(huán)形槽(12)的槽底(12c)設(shè)置的階梯孔(17)，且所述階梯孔(17)內(nèi)靠近所述環(huán)形槽(12) —側(cè)的孔徑大于遠(yuǎn)離所述環(huán)形槽(12) —側(cè)的孔徑，所述補(bǔ)償探頭(60)和所述金屬件(50)設(shè)置在所述階梯孔(17)內(nèi)，且所述金屬件(50)止擋在所述階梯孔(17)的階梯面(17a)處。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電渦流傳感器，其特征在于，所述金屬件(50)與被檢測(cè)的轉(zhuǎn)軸(80)的材料相同。
【文檔編號(hào)】G01B7/02GK204240938SQ201420761663
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月4日
【發(fā)明者】胡余生, 黃偉才, 耿繼青, 劉志昌 申請(qǐng)人:珠海格力節(jié)能環(huán)保制冷技術(shù)研究中心有限公司