用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法
【專(zhuān)利摘要】用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，涉及光學(xué)材料，解決測(cè)試光學(xué)元件的使用壽命時(shí)，存在的耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)，且浪費(fèi)人力物力等問(wèn)題，同時(shí)采用加速實(shí)驗(yàn)方法時(shí)無(wú)法確定加速比的問(wèn)題，本發(fā)明方法將材料加工成符合激光量熱吸收測(cè)試所需的形狀及尺寸；將樣品表面進(jìn)行拋光處理對(duì)材料進(jìn)行預(yù)輻照及激光輻照，獲得不同能量密度下的激光輻照吸收老化系數(shù)；利用該吸收老化系數(shù)，擬合出材料隨能量密度變化的吸收老化加速比曲線；按照實(shí)際工況條件，利用吸收老化加速比曲線，計(jì)算激光輻照實(shí)驗(yàn)所需進(jìn)行的時(shí)間。采用本方法可在相對(duì)較短的時(shí)間內(nèi)，通過(guò)提高輻照能量密度實(shí)現(xiàn)激光輻照老化壽命的合理加速評(píng)估，達(dá)到節(jié)省評(píng)估時(shí)間及人力、物力等資源的目的。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)材料，具體涉及一種用于確定光學(xué)材料激光輻照吸收老化加速比 的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)實(shí)需求與應(yīng)用技術(shù)的不斷進(jìn)步，各種光學(xué)或光電系統(tǒng)目前已日益成為人們 日常生活中必不可少的工具。尤其是激光出現(xiàn)之后，以其亮度高、單色性好、方向性強(qiáng)及相 干性能優(yōu)異等優(yōu)勢(shì)，成為眾多光學(xué)、光電系統(tǒng)的首選光源。隨著以激光作為光源的儀器使用 逐步廣?之，性能也日益提1?，對(duì)系統(tǒng)中的兀器件也提出了越來(lái)越苛刻的要求。
[0003]以微細(xì)加工技術(shù)所采用的核心設(shè)備一紫外光刻系統(tǒng)為例：為使系統(tǒng)能夠刻劃出線 寬更窄的線條，必須使用盡量短的工作波長(zhǎng)，如工作波長(zhǎng)為248nm的KrF準(zhǔn)分子激光，或工 作波長(zhǎng)為193nm的ArF準(zhǔn)分子激光作為光源；為確保光刻機(jī)能夠具有每小時(shí)加工超過(guò)2〇〇 片硅片的吞吐量，系統(tǒng)中的所有光學(xué)元件必須長(zhǎng)時(shí)間工作于重復(fù)頻率最高可達(dá)幾千赫茲的 激光輻照環(huán)境下，其壽命必須維持?jǐn)?shù)年。
[0004]如此苛刻的使用環(huán)境，給光學(xué)元件所采用的光學(xué)材料提出了各種嚴(yán)格要求，其中 很重要的一項(xiàng)就是光學(xué)材料的激光輻照老化壽命要求。制作光學(xué)元件的材料（通常是高純 度的熔石英或氟化鈣）必須具有長(zhǎng)期激光輻照穩(wěn)定性。具體來(lái)說(shuō)，在設(shè)備使用壽命周期內(nèi)， 光學(xué)材料吸收率A(在樣品中被吸收能量I A占入射光總能量I。的比值，即A = Ia/Ici)的增 加值ΔΑ，或稱(chēng)吸收老化值，不能超過(guò)預(yù)定的指標(biāo)要求。
[0005]對(duì)于此類(lèi)評(píng)估，最自然的思路是采用與實(shí)際工況相同的情況進(jìn)行測(cè)試。然而在實(shí) 際應(yīng)用中，由于測(cè)試所需進(jìn)行的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，這種工況條件下的測(cè)試通常在現(xiàn)實(shí)上不可行：在 設(shè)備使用壽命周期內(nèi)，材料需承受的激光脈沖數(shù)達(dá)到了近10 11的量級(jí)，在這種情況下，即使 采用重復(fù)頻率為1kHz的激光器對(duì)材料進(jìn)行不間斷輻照，完成老化實(shí)驗(yàn)也需三年多的時(shí)間。 顯而易見(jiàn)，這種時(shí)間和人力、物力成本是無(wú)法承受的，必須采用增加激光輻照密度的加速老 化實(shí)驗(yàn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明為解決測(cè)試光學(xué)元件的使用壽命時(shí)，存在的耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)，且浪費(fèi)人力物力 等問(wèn)題，同時(shí)采用加速實(shí)驗(yàn)方法時(shí)無(wú)法確定加速比的問(wèn)題，提供一種用于確定光學(xué)材料激 光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法。
[0007] 用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，該方法由以下步驟實(shí)現(xiàn)：
[0008] 步驟一、對(duì)光學(xué)材料進(jìn)行加工，獲得符合要求的測(cè)試樣品，然后對(duì)所述測(cè)試樣品進(jìn) 行雙表面拋光處理；
[0009] 步驟二、對(duì)步驟一進(jìn)行拋光處理后的測(cè)試樣品進(jìn)行預(yù)輻照測(cè)試，完成對(duì)測(cè)試樣品 的激光輻照劑量效應(yīng)的釋放；
[0010] 步驟三、對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行激光輻照，獲得不同能量密度下的激光輻照吸收老化系 數(shù)k(H) ;H為固定激光輻照能量密度，根據(jù)所述激光輻照吸收老化系數(shù)k(H)計(jì)算測(cè)試樣品 的激光輻照加速比ROl· :H。)，用公式表示為：
[0011] R(H1：H〇) = kiH^/kiHo)
[0012] 式中，氏、Η。為測(cè)試樣品的不同輻照能量密度，并根據(jù)所述激光輻照吸收老化系數(shù) k(H)，擬合出測(cè)試樣品隨能量密度變化的吸收老化加速比曲線，實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試樣品激光輻照 老化壽命的測(cè)試。
[0013] 本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明針對(duì)光學(xué)材料激光輻照老化壽命評(píng)估問(wèn)題，用于確定 在光學(xué)材料的激光輻照老化過(guò)程中，在不同激光能量密度條件下的吸收老化加速比，并由 吸收老化加速比確定加速輻照過(guò)程所需進(jìn)行的時(shí)間，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料在激光輻照條件下使 用壽命的合理評(píng)估。與通常所采用的基于工況條件、能量密度較低的長(zhǎng)期激光輻照老化實(shí) 驗(yàn)方法相比，采用本方法可在相對(duì)較短的時(shí)間內(nèi)，通過(guò)提高輻照能量密度實(shí)現(xiàn)激光輻照老 化壽命的合理加速評(píng)估，從而達(dá)到節(jié)省評(píng)估時(shí)間及人力、物力等資源的目的。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014] 圖1為采用本發(fā)明所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法 在激光量熱儀測(cè)試過(guò)程中，光束垂直輻照樣品的示意圖；
[0015] 圖2為本發(fā)明所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法中，激 光輻照樣品時(shí)，劑量效應(yīng)釋放過(guò)程中的吸收率與輻照劑量關(guān)系曲線圖；
[0016] 圖3為本發(fā)明所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法中，樣 品在激光輻照條件下的吸收率隨能量密度變化關(guān)系曲線圖；
[0017] 圖4為本發(fā)明所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法中，不 同能量密度下的吸收老化系數(shù)數(shù)值的示意圖；
[0018] 圖5為本發(fā)明所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法中，激 光輻照吸收老化系數(shù)隨能量密度變化曲線圖。

【具體實(shí)施方式】

【具體實(shí)施方式】 [0019] 一、結(jié)合圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，用于確定光學(xué)材料激光輻照老 化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，該方法由以下步驟實(shí)現(xiàn)：
[0020] 本實(shí)施方式中，更確切地說(shuō)，是激光輻照吸收老化系數(shù)的確定，過(guò)程如下：
[0021]第一步：將材料加工成符合激光量熱吸收測(cè)試所需的形狀及尺寸；
[0022]這一步驟是為準(zhǔn)確獲得材料的激光輻照吸收老化值Λ A而設(shè)定的。為獲得Λ A的 準(zhǔn)確數(shù)值，需要采用激光量熱法對(duì)樣品的吸收率進(jìn)行測(cè)試。激光量熱法基于光熱轉(zhuǎn)化原理， 在激光輻照過(guò)程中，通過(guò)測(cè)量樣品因激光輻射而產(chǎn)生的溫度變化曲線，從而獲得激光被樣 品吸收的百分比。由于該方法對(duì)吸收率的計(jì)算通過(guò)對(duì)升溫降溫曲線的擬合獲得，而擬合過(guò) 程建立在對(duì)圓形薄樣品的傳熱方程基礎(chǔ)上。為確保擬合方法的有效性，對(duì)樣品的形狀、尺寸 必須具有嚴(yán)格的限制。根據(jù)IS011551國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，為準(zhǔn)確測(cè)量材料的吸收率，在激光量熱法 中對(duì)樣品的形狀與尺寸有明確的要求，需選擇直徑25mm、厚1mm的樣品。
[0023]第二步，將樣品表面進(jìn)行拋光處理；
[0024]這一步驟也是為準(zhǔn)確獲得材料的激光輻照吸收老化值Λ A而設(shè)定的。當(dāng)進(jìn)行樣品 直射_表面'_1所示。如果樣品表面未拋光，則會(huì)產(chǎn) 構(gòu)引起的表面吸收，成為影響材料吸收測(cè)試的一項(xiàng)誤差源。為消除表面 吸收所引起的k差，獲得材料本身的吸收率，需要對(duì)樣品進(jìn)行雙面拋光處理。
[0025]第三步對(duì)材料進(jìn)行預(yù)輻照以釋放激光輻照的劑量效應(yīng)；
[0026]細(xì)光_條件下，尤其是在波長(zhǎng)為248醜的KrF準(zhǔn)分子激光或工作波長(zhǎng)為 193咖 的ArF準(zhǔn)分子激光對(duì)材料的福照過(guò)程中，由于光子能量較高，會(huì)導(dǎo)致色心的形成和消除這 兩種互逆的競(jìng)爭(zhēng)過(guò)程。色心的形成導(dǎo)致吸收增加，而色心的消除則使吸收降低，這兩種過(guò)程 在經(jīng)過(guò)段時(shí)間的激光福照后達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡，具體表現(xiàn)在吸收率的測(cè)量數(shù)值隨時(shí)間逐漸收 ^到固定值，如圖2所示。這一平衡需要在經(jīng)過(guò)一定激光輻照時(shí)間，或達(dá)到一定激光輻照劑 量后才能實(shí)現(xiàn)，被稱(chēng)為激光輻照劑量效應(yīng)的釋放過(guò)程。對(duì)材料進(jìn)行預(yù)輻照的目的在于釋放 其激光輻照劑量效應(yīng)，獲得真實(shí)的材料吸收率測(cè)量結(jié)果。
[0027]第四步：對(duì)材料進(jìn)行激光輻照，獲得不同能量密度下的激光輻照吸收老化系數(shù)； [0028]-在本實(shí)施方式中，在固定輻照能量密度11下的吸收老化系數(shù)k(H)通過(guò)對(duì)樣品進(jìn) 行連續(xù)輻照測(cè)試，計(jì)算測(cè)試樣品的激光輻照加速比R( Hi :H。)，用公式（1)R(Hi:H〇) = k(Hi)/ kOl·);式中，H^H。為測(cè)試樣品的不同輻照能量密度，
[0029]并對(duì)測(cè)試結(jié)果應(yīng)用公式（3)獲得。具體做法為在連續(xù)進(jìn)行的激光輻照過(guò)程中，記 錄吸收率Α隨輻照劑量Φ的變化曲線，對(duì)該曲線進(jìn)行線性擬合，所得到的斜率即為激光輻 照吸收老化系數(shù)k(H)。對(duì)于實(shí)際測(cè)試過(guò)程中所需獲得的不同輻照密度下的激光輻照吸收老 化系數(shù)，均采用上述方法逐一獲得。
[0030]第五步：利用不同能量密度下材料的激光輻照吸收老化系數(shù)，擬合出材料隨能量 密度變化的吸收老化加速比曲線；
[0031] 利用第四步中獲得的各能量密度下的吸收老化系數(shù)，畫(huà)出激光輻照吸收老化系數(shù) 隨能量密度變化曲線，對(duì)兩者的函數(shù)關(guān)系進(jìn)行多項(xiàng)式擬合。
[0032] 第六步：按照實(shí)際應(yīng)用中的工況條件，利用吸收老化加速比曲線，計(jì)算激光輻照實(shí) 驗(yàn)所需持續(xù)的時(shí)間；
[0033] 利用吸收老化加速比曲線，確定在提高激光輻照密度，進(jìn)行加速實(shí)驗(yàn)的情況 下，為獲得相同的吸收老化值ΛΑ時(shí)，所需采取的激光加速輻照時(shí)間。具體計(jì)算公式為
[J ] 4 = /υχ7Γχ^77ΓΤ7ΓΤ (2)。這樣，在加速實(shí)驗(yàn)所采用的功率密度及輻照時(shí)間都已經(jīng)確 定的情況下，就可以對(duì)待測(cè)材料的激光輻照老化壽命進(jìn)行加速評(píng)估。
[0034] 本實(shí)施方式中，當(dāng)測(cè)試樣品處于長(zhǎng)時(shí)間的激光輻照時(shí)，其吸收率Α會(huì)產(chǎn)生不可逆 的變化，變化值ΔΑ由輻照能量密度Η和輻照劑量φ決定，在經(jīng)過(guò)單位輻照劑量Φυ (單位 為kj/cm2)的激光輻照后，吸收老化系數(shù)為：
[0035] ΔΑυ = ΔΑ^υΟΗ) = k(；H) X Φυ (3)
[0036] 因此，只要給定激光輻照能量密度，就可利用公式（3)確定系數(shù)k(H)。由于k(H) 的物理意義是每經(jīng)過(guò)單位輻照劑量Φυ的激光輻照后吸收率 A的變化量ΔΑυ，因此可以在 對(duì)樣品的連續(xù)激光輻照過(guò)程中，利用輻照劑量Φ和吸收率Α的關(guān)系就可擬合出k(H)的數(shù) 值。具體來(lái)說(shuō)，以Φ為自變量、以A為因變量進(jìn)行線性擬合，得到的斜率即為k(H)。
[0037] 進(jìn)一步，在k(H)已知的基礎(chǔ)上，對(duì)于兩個(gè)不同的能量密度值H1和H〇，由公式⑶可 知：
[0038] R(H!：H〇) = ΛΑ?Φ^/ΔΑ?Φ^Ηο) =k(H1)/k(H0) (4)
[0039] 這樣就獲得了激光輻照的吸收老化加速比。將吸收老化加速比帶入公式（2)，就可 得到在兩種能量密度下，為獲得相同的吸收老化值所需采用的輻照時(shí)間比值，從而實(shí)現(xiàn)對(duì) 材料在激光福照條件下使用壽命的合理評(píng)估。
[0040]【具體實(shí)施方式】二、本實(shí)施方式為【具體實(shí)施方式】一所述的用于確定光學(xué)材料激光輻 照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法的具體實(shí)施例：
[0041] 現(xiàn)以熔石英材料為例，說(shuō)明在波長(zhǎng)為193nm的ArF脈沖激光輻照條件下，吸收老化 加速比曲線以及老化壽命加速實(shí)驗(yàn)所需時(shí)間的確定過(guò)程。
[0042] 第一步：
[0043]將熔石英材料切割成直徑為25mm、厚度為1mm的樣品。
[0044]第二步：
[0045] 對(duì)樣品表面進(jìn)行雙面拋光處理。
[0046] 第三步：
[0047]將樣品放入激光量熱儀，按照IS011551的測(cè)量方法，在5mJ/cm2/pul se的能量密 度、1kHz的重復(fù)頻率下對(duì)樣品進(jìn)行激光輻照，對(duì)樣品的吸收率進(jìn)行連續(xù)記錄，當(dāng)連續(xù)兩次測(cè) 量結(jié)果的差值小于0· 01 %時(shí)，為釋放劑量效應(yīng)而進(jìn)行的預(yù)輻照過(guò)程結(jié)束，如圖2所示。 [0048] 第四步：
[0049] 在測(cè)量能量密度為5mJ/cm2/pulse?40mJ/cm2/pulse范圍內(nèi)選取若干點(diǎn)的激光福 照吸收老化系數(shù)。以37mJ/cm2/pulse為例，在1kHz的重復(fù)頻率下對(duì)樣品進(jìn)行連續(xù)輻照，連 續(xù)進(jìn)行3次測(cè)試，對(duì)樣品的吸收率隨能量密度的變化進(jìn)行線性擬合，結(jié)果如圖3所示。通過(guò) 上述方法，測(cè)出各輻照能量密度下的吸收老化系數(shù)數(shù)值。
[0050] 第五步：
[0051]利用第四步中獲得的各能量密度下的吸收老化系數(shù)，計(jì)算激光輻照加速比R(Hl : H。)。具體做法如下：首先幽出激光福照吸收老化系數(shù)隨能量密度的變化曲線，并對(duì)兩者的 函數(shù)關(guān)系進(jìn)行多項(xiàng)式擬合，如圖4所示；然后對(duì)圖4中的結(jié)果按照5mJ/cm 2/pulse的數(shù)值進(jìn) 行歸一化處理，得到吸收老化加速比隨輻照能量密度變化的關(guān)系曲線，結(jié)果如圖5所示。 [0052] 第六步：
[0053]對(duì)樣品的激光輻照老化壽命進(jìn)行計(jì)算。在實(shí)驗(yàn)中，樣品如進(jìn)行正常的老化實(shí)驗(yàn)，需 在5mJ/cm2/pulse的能量密度下承受1011個(gè)激光脈沖。按照1kHz的激光重復(fù)頻率計(jì)算，gp 使每天24小時(shí)連續(xù)輻照，總輻照時(shí)間也需超過(guò)3年（1157· 4天）才能完成老化實(shí)驗(yàn)。毫無(wú) 疑問(wèn)，在絕大多數(shù)情況下，如此慢長(zhǎng)的老化實(shí)驗(yàn)基本不具可行性，材料的激光輻照壽命評(píng)估 必須通過(guò)加速輻照進(jìn)行。
[0054]當(dāng)激光輻照功率密度提高時(shí)，需要采用的輻照時(shí)間可利用第五步中獲得的吸收老 化加速比曲線進(jìn)行計(jì)算。以5mJ/cm2/pulse為基準(zhǔn)，50mJ/cm2/pulse對(duì)其吸收老化加速比為 17. 6倍。如再考慮到二者的輻照功率密度比值為10倍，按照公式（2)式可得到，在50mJ/ cm2/pulse的福照密度下，實(shí)現(xiàn)1011個(gè)5mJ/cm2/pulse的激光脈沖等效劑量的時(shí)間變?yōu)樵瓉?lái) 的ΙΛΙΟΧ 17. 6)倍，即6.58天。與通常所采用的基于工況條件、能量密度較低的長(zhǎng)期激光 輻照老化實(shí)驗(yàn)方法相比，采用本方法可在相對(duì)較短的時(shí)間內(nèi)，通過(guò)提高輻照能量密度實(shí)現(xiàn) 激光輻照老化壽命的合理加速評(píng)估，從而達(dá)到了節(jié)省評(píng)估時(shí)間及人力、物力等資源的目的。
【權(quán)利要求】
1. 用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，其特征是，該方法由以下步 驟實(shí)現(xiàn)： 步驟一、對(duì)光學(xué)材料進(jìn)行加工，獲得符合要求的測(cè)試樣品，然后對(duì)所述測(cè)試樣品進(jìn)行雙 表面拋光處理； 步驟二、對(duì)步驟一進(jìn)行拋光處理后的測(cè)試樣品進(jìn)行預(yù)輻照測(cè)試，完成對(duì)測(cè)試樣品的激 光輻照劑量效應(yīng)的釋放； 步驟三、對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行激光輻照，獲得不同能量密度下的激光輻照吸收老化系數(shù) k(H) ;H為固定激光輻照能量密度，根據(jù)所述激光輻照吸收老化系數(shù)k(H)計(jì)算測(cè)試樣品的 激光輻照加速比ROl· :?)，用公式表示為： R(H1:H〇) = kOg/kOlo) 式中，1?為測(cè)試樣品的不同輻照能量密度， 并根據(jù)所述激光輻照吸收老化系數(shù)k (Η)，擬合出測(cè)試樣品隨能量密度變化的吸收老化 加速比曲線，實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試樣品激光輻照老化壽命的測(cè)試。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，其特 征在于，步驟三中，還包括根據(jù)吸收老化加速比曲線，計(jì)算對(duì)測(cè)試樣品激光加速輻照實(shí)驗(yàn)所 需的時(shí)間； 具體為：利用吸收老化加速比曲線，確定激光輻照密度為氏時(shí)進(jìn)行加速實(shí)驗(yàn)，為獲得相 同的吸收老化值ΛΑ時(shí)，所需的激光加速輻照時(shí)間h，即h用公式表示為： //" 1 t, = tr. - χ - II, /?(//,：//,)) 式中h為在輻照能量密度為％的條件下，進(jìn)行激光輻照吸收老化實(shí)驗(yàn)的時(shí)間山為在 輻照能量密度為氏的條件下，進(jìn)行加速激光輻照吸收老化實(shí)驗(yàn)的時(shí)間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，其特 征在于，步驟二的具體過(guò)程為：在固定激光輻照能量密度為Η時(shí)，對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行連續(xù)的預(yù) 輻照測(cè)試，直到測(cè)試結(jié)果收斂到連續(xù)兩次測(cè)量結(jié)果的差值小于〇. 01 %時(shí)，完成材料激光輻 照劑量效應(yīng)的釋放。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于確定光學(xué)材料激光輻照老化壽命的加速實(shí)驗(yàn)方法，其特 征在于，步驟三中對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行激光輻照，獲得不同能量密度下的激光輻照吸收老化系 數(shù)k(H)的具體過(guò)程為：根據(jù)設(shè)定的固定激光照射能量密度Η，對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行連續(xù)輻照測(cè) 試，并記錄吸收率A隨輻照劑量Φ的變化曲線，對(duì)該曲線進(jìn)行線性擬合，獲得的斜率即為激 光輻照吸收老化系數(shù)k(H)。
【文檔編號(hào)】G01N21/00GK104297153SQ201410532062
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月10日
【發(fā)明者】張立超, 趙靈, 才璽坤, 武瀟野, 時(shí)光, 梅林 , 賀健康, 隋永新, 楊懷江 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所