二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法。該裝置包括具有步進(jìn)掃描功能的傅立葉變換紅外光譜儀、作為激發(fā)光源的泵浦光系統(tǒng)、用于精確定位的五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位控制平臺及平行校正系統(tǒng)、聯(lián)接傅立葉變換紅外光譜儀中探測器和電路控制板的鎖相放大器和泵浦激光源之間光路上的斬波器。本發(fā)明還基于上述設(shè)備，提出實(shí)現(xiàn)波段覆蓋4-20μm寬波段的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光光譜測試方法。本發(fā)明是一種檢測窄半導(dǎo)體材料光學(xué)性質(zhì)和能帶結(jié)構(gòu)空間均勻度的光譜學(xué)測試裝置和方法，具有無損高靈敏優(yōu)點(diǎn)，非常適合于大面積紅外探測器面陣材料的平面空間均勻性檢測。
【專利說明】二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】:
[0001]本發(fā)明涉及一種紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜實(shí)驗(yàn)裝置和測試方法。具體涉及一種二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法，其主要是基于步進(jìn)掃描傅立葉變換紅外光譜儀與相敏檢測技術(shù)相融合的工作模式，結(jié)合等距強(qiáng)聚焦、激發(fā)光方向與強(qiáng)度長時(shí)間穩(wěn)定控制、共軸可見激發(fā)與紅外探測等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置和測試方法，可用于對大面陣紅外探測器材料平面內(nèi)空間分辨與掃描成像光致發(fā)光光譜測試，從而對決定光致發(fā)光性能的材料參數(shù)(如合金組份、雜質(zhì)與缺陷分布、輻射與非輻射復(fù)合占比)均勻度進(jìn)行表征。
【背景技術(shù)】:
[0002]光致發(fā)光(也稱光突光,英文Photoluminescence,縮寫PL)光譜作為半導(dǎo)體材料無損檢測的經(jīng)典而又非常有效手段，廣泛應(yīng)用于II1-V族等寬禁帶半導(dǎo)體和碳納米管等納米材料的光學(xué)性質(zhì)研究，不但能揭示材料帶隙、帶邊態(tài)等電子能帶結(jié)構(gòu)方面的信息，還能用于研究雜質(zhì)、深能級缺陷等，極大地增進(jìn)了對相關(guān)材料光電特性和物理過程的認(rèn)識。針對二維空間分辨和平面成像的實(shí)際需求，基于單色分光和線列或面陣探測器的微區(qū)和成像PL光譜技術(shù)得到快速發(fā)展，在材料空間禁帶能量差異、雜質(zhì)與缺陷分布、輻射與非輻射復(fù)合機(jī)理、光電器件生產(chǎn)等方面取得重要應(yīng)用。
[0003]但是在4?20 μ m中長波紅外波段，由于單色儀自身根本性局限和室溫背景輻射的強(qiáng)干擾效應(yīng)，即便單點(diǎn)PL測試也存在嚴(yán)重困難。為了克服這一困難，國際上曾發(fā)展了基于快速掃描傅里葉變換紅外(Fourier transform infrared, FTIR)光譜儀的雙調(diào)制PL光譜方法，但是受制于傅立葉變換頻率與激發(fā)光調(diào)制頻率難于截然分開的機(jī)理局限，光譜探測靈敏度、分辨率、信噪比與測試速度均難以得到提高，一般長達(dá)數(shù)小時(shí)的測試也難以獲得信噪比足以保證定量分析需要的單點(diǎn)PL光譜，二維空間分辨和成像PL光譜測試更是無從談起。
[0004]針對已有PL光譜技術(shù)在紅外波段所面臨的嚴(yán)重局限，我們公開一種二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置和測試方法。具體地，基于步進(jìn)掃描FTIR光譜儀與相敏檢測相融合的工作模式，借助于等距強(qiáng)聚焦、激發(fā)光方向與強(qiáng)度長時(shí)間穩(wěn)定控制、共軸可見激發(fā)與大收集角紅外探測等技術(shù)，顯著提升單譜測試速度和信噪比，實(shí)現(xiàn)二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置和測試方法，可為中、遠(yuǎn)紅外大面陣探測器材料表征和性能優(yōu)化提供關(guān)鍵技術(shù)信息。

【發(fā)明內(nèi)容】
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[0005]本發(fā)明是基于步進(jìn)掃描FTIR光譜儀與相敏檢測相融合的工作模式實(shí)現(xiàn)二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置和測試方法，非常適用于大面積紅外探測器面陣材料的平面內(nèi)均勻性檢測。
[0006]建立基于FTIR光譜儀的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置的關(guān)鍵技術(shù)主要包括:光路設(shè)計(jì)與優(yōu)化設(shè)置、激發(fā)光長時(shí)穩(wěn)定控制、共軸等距強(qiáng)聚焦可見激發(fā)與紅外探測、高靈敏紅外探測與低噪聲前置放大、五維精細(xì)調(diào)節(jié)與復(fù)位機(jī)械平臺、電信號的耦合傳輸與系統(tǒng)組件時(shí)域整步等。該裝置主要部件包括:
[0007]FTIR光譜系統(tǒng)，其具有步進(jìn)掃描FTIR光譜儀和用于實(shí)現(xiàn)控制及光譜處理的控制臺計(jì)算機(jī)，該光譜儀包括光干涉部件、探測器、電路控制板和波段限制器；
[0008]調(diào)制與解調(diào)檢測系統(tǒng)，包含機(jī)械斬波器和鎖相放大器，機(jī)械斬波器由機(jī)械斬波輪、斬波控制器組成；
[0009]泵浦光與信號收集系統(tǒng)，包括激光器、激光聚焦、共軸紅外信號收集系統(tǒng)；
[0010]樣品定位系統(tǒng)，包括大負(fù)重微米級五軸機(jī)械調(diào)節(jié)與復(fù)位架、安裝于五軸調(diào)節(jié)架上的光學(xué)杜瓦、杜瓦內(nèi)的待測樣品和用于控制五軸調(diào)節(jié)架各軸之間獨(dú)立工作的控制器；
[0011]平行校正系統(tǒng)，包括分束器、光闌和激光定位單元。
[0012]所述的FTIR光譜儀應(yīng)具備步進(jìn)掃描工作模式,可以但不限于Bruker Vertex80型FTIR光譜儀。必須理解，此處涉及具體FTIR光譜儀廠家和型號僅僅為了后續(xù)描述方便，而非限制本專利權(quán)利保護(hù)范圍，實(shí)際上只要是具備步進(jìn)掃描工作模式的FTIR光譜儀，就可以用于實(shí)施本發(fā)明專利。
[0013]所述機(jī)械斬波器可以但不限于Stanford SR540型機(jī)械斬波器。需要理解，此處涉及具體斬波器廠家和型號僅僅為了便于后續(xù)描述，而非限制本專利權(quán)利保護(hù)范圍，實(shí)際上只要能夠?qū)崿F(xiàn)對激光施加音頻范圍內(nèi)周期性幅度調(diào)制并輸出調(diào)制頻率作為解調(diào)參考信號，就可以用于實(shí)施本發(fā)明專利。
[0014]所述鎖相放大器可以但不限于Stanford SR830DSP型鎖相放大器。需要理解，此處涉及具體鎖相放大器廠家和型號僅僅為了后續(xù)描述需要，而非限制本專利權(quán)利保護(hù)范圍，實(shí)際上只要能夠?qū)崿F(xiàn)對音頻范圍內(nèi)周期性幅度調(diào)制信號進(jìn)行鎖相放大，就可以用于實(shí)施本發(fā)明專利。
[0015]所述的激光器可以但不限于Spectra-Physics2017型氪離子激光器，波長為647nm。需要理解，此處涉及具體激光器廠家和型號僅僅為了后續(xù)描述需要，而非限制本專利權(quán)利保護(hù)范圍，實(shí)際上只要能夠提供515nm或以長(同時(shí)保證激光能量大于待測樣品的禁帶寬度)可見/近紅外激光輸出、功率穩(wěn)定且不低于10mW，就可以用于實(shí)施本發(fā)明專利。
[0016]大負(fù)重微米級五軸機(jī)械調(diào)節(jié)與復(fù)位架應(yīng)具備X、y、z三軸平移和左右、上下轉(zhuǎn)動數(shù)控電動微調(diào)功能，長時(shí)負(fù)重能力要求在10公斤以上，(等效)長度調(diào)節(jié)精度要求優(yōu)于0.5微米、空間復(fù)定位精度不低于I微米。需要理解，以上精度的降低不影響空間分辨與二維成像紅外PL光譜測試，卻會降低測試結(jié)果的可靠性。
[0017]本發(fā)明顯著優(yōu)點(diǎn)是:
[0018]I基于步進(jìn)掃描工作模式FTIR光譜儀可以方便實(shí)現(xiàn)紅外調(diào)制，結(jié)合等距強(qiáng)聚焦、激發(fā)光方向與強(qiáng)度長時(shí)間穩(wěn)定控制、共軸可見激發(fā)與大收集角紅外探測等技術(shù)，達(dá)到高速測試和高分辨率高信噪比效果，從而為二維面成像提供保障；
[0019]2共軸等距強(qiáng)聚焦可見激發(fā)與紅外探測可以保證PL信號激發(fā)光斑大小穩(wěn)定可控和最佳收集效果，配合激發(fā)光長時(shí)穩(wěn)定控制，可保證空間分辨PL光譜的強(qiáng)度成為可定量比較的性能參量；
[0020]3利用五維精細(xì)調(diào)節(jié)與復(fù)位機(jī)械平臺，配合平行校正系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)空間分辨與成像過程中激發(fā)光方向與功率密度的嚴(yán)格控制，保證不同PL特征強(qiáng)度比反映相關(guān)輻射復(fù)合過程態(tài)密度之比；
[0021]4基于前述優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明將使得紅外波段空間分辨與掃描成像PL光譜實(shí)際測試成為可能，根據(jù)樣品形狀與測試需要，可以實(shí)現(xiàn)激發(fā)光斑最小可達(dá)30微米(紅外探測器焦平面陣列線元的典型尺寸)、空間復(fù)定位精度可達(dá)I微米的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜測試。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0022]圖中給出了實(shí)現(xiàn)二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置示意圖。圖中I是FTIR測量系統(tǒng)，101是邁克爾遜干涉部件，102為單元探測器，
[0023]103為波段限制器，104為電路控制板，105為控制臺計(jì)算機(jī)；圖中2為調(diào)制與解調(diào)檢測系統(tǒng)，其中201為機(jī)械斬波輪，202為斬波控制器，203為鎖相放大器；圖中3是泵浦系統(tǒng)，其中301為激光器，302為光聚焦系統(tǒng)，303為共軸紅外光信號收集系統(tǒng)；圖中4是樣品定位系統(tǒng)，401為大負(fù)重微米級五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架、402為光學(xué)杜瓦、403為待測樣品，404為用于控制五軸調(diào)節(jié)架各軸之間獨(dú)立工作的控制器；圖中5為樣品平行校正系統(tǒng)，其中501為光學(xué)分束器、502為光闌和503為激光定位單元。
【具體實(shí)施方式】:
[0024]具體的實(shí)施方案如附圖所示。下面根據(jù)附圖對本發(fā)明予以詳細(xì)描述，能更好地說明本發(fā)明的技術(shù)特征和功能特點(diǎn)。
[0025]基于步進(jìn)掃描FTIR光譜儀的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制PL光譜實(shí)驗(yàn)裝置包括:
[0026]FTIR步進(jìn)掃描光譜系統(tǒng)I，其具有步進(jìn)功能的光干涉部件101，與光干涉部件相連接的單元探測器102和波段匹配的波段限制器103，用于探測信號處理的電路控制板104和控制臺計(jì)算機(jī)105 ；
[0027]調(diào)制與解調(diào)檢測系統(tǒng)2，其包括機(jī)械斬波輪201、斬波控制器202和鎖相放大器203，其中機(jī)械斬波輪201的頻率由斬波控制器202控制，同時(shí)斬波控制器202將頻率信號作為鎖相放大器203的參考信號饋入其的參考信號輸入端，
[0028]鎖相放大器203的輸入端和探測器102的輸出端相連接，鎖相放大器203的輸出端與電路控制板104的輸入端相連接；
[0029]泵浦光與信號收集系統(tǒng)3，其包括激光器301、光聚焦302、共軸紅外信號收集系統(tǒng)303，激光器301產(chǎn)生連續(xù)激光，經(jīng)過機(jī)械斬波輪201后再經(jīng)過組合透鏡組構(gòu)成的光聚焦系統(tǒng)302，以將激光在待測樣品位置的光斑縮小至30 μ m的尺度，所產(chǎn)生PL信號部分由共軸紅外信號收集系統(tǒng)303收集并實(shí)現(xiàn)向FTIR步進(jìn)掃描光譜系統(tǒng)I的饋送；
[0030]樣品定位系統(tǒng)4，包括大負(fù)重微米級五軸機(jī)械調(diào)節(jié)與復(fù)位架401、安裝于其上的光學(xué)杜瓦402、待測樣品403和控制五軸調(diào)節(jié)架各軸之間獨(dú)立工作的控制器404，控制器404與控制臺計(jì)算機(jī)105相連接，以光譜掃描結(jié)束信號作為待測樣品403平面內(nèi)移動的觸發(fā)信號;
[0031]樣品平行校正系統(tǒng)5，包括分束器501、光闌502和激光定位單元503，其中分束器5 一方面引導(dǎo)入射激光至待測樣品403，另一方面接受待測樣品403表面部分反射激光從而經(jīng)由光闌502進(jìn)入到激光定位單元503。
[0032]實(shí)際測量時(shí)，
[0033]首先將待測樣品403安裝在光學(xué)杜瓦402內(nèi)，然后將光學(xué)杜瓦402固定到大負(fù)重微米級五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架401上，設(shè)定杜瓦內(nèi)溫度為所需溫度并保持該溫度在測量過程中恒定。開啟激光器301，機(jī)械斬波輪201將入射激光調(diào)制成交變方波，再經(jīng)過聚焦系統(tǒng)302和分束器501照射到待測樣品403上產(chǎn)生PL光信號，斬波控制器202的頻率信號輸入到鎖相放大器203的參考端。
[0034]待測樣品403的光致發(fā)光信號通過共軸紅外信號收集系統(tǒng)303饋入FTIR光譜系統(tǒng)I干涉部件101，經(jīng)過波段限制器103輸出到探測器102，探測器102的輸出信號接入鎖相放大器203的輸入端，鎖相放大器203的輸出端接到電路控制板104，而后輸入控制臺計(jì)算機(jī)105。
[0035]在收集數(shù)據(jù)之前先根據(jù)待測樣品403的部分反射激光經(jīng)分束器501和光闌502后在激光定位單元503的光斑位置對五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架401進(jìn)行二維角度的調(diào)節(jié)，使得樣品表面垂直于入射激光，然后沿著激發(fā)光方向調(diào)節(jié)待測樣品403前后位置，使得樣品表面處于聚焦系統(tǒng)302的焦點(diǎn)處。
[0036]設(shè)定待測樣品403空間分辨的初始位置，基于共軸紅外信號收集系統(tǒng)303和FTIR步進(jìn)掃描光譜系統(tǒng)I獲取該樣品空間點(diǎn)的PL光譜，光譜掃描結(jié)束時(shí)控制臺計(jì)算機(jī)105輸出觸發(fā)信號至五軸調(diào)節(jié)架控制器404，使五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架401在樣品403平面內(nèi)移動至下一位置點(diǎn)，以實(shí)施下一空間點(diǎn)的PL光譜測量。光譜掃描過程和五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架401移動過程由控制臺計(jì)算機(jī)105輸出命令控制，這一過程反復(fù)進(jìn)行，從而獲取待測材料403的二維空間分辨紅外調(diào)制PL光譜圖像。
[0037]本發(fā)明是基于FTIR光譜儀的單點(diǎn)步進(jìn)掃描紅外調(diào)制PL光譜技術(shù)的原理，聯(lián)合共軸等距強(qiáng)聚焦可見激發(fā)與紅外探測、五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架401的定向可控移動功能而發(fā)明的。就FTIR光譜儀而言，單點(diǎn)紅外調(diào)制PL光譜測試過程主要包括:(I)當(dāng)FTIR光譜儀的干涉儀步進(jìn)掃描到具體某一光程差點(diǎn)的時(shí)候，F(xiàn)TIR光譜儀記錄下了該點(diǎn)對應(yīng)時(shí)間點(diǎn)的干涉圖1 ( S )，其中包含了照射到探測器上的所有光譜的信息；(2)干涉儀經(jīng)過一次覆蓋整個光程差的完整掃描之后，就獲得了所有時(shí)間點(diǎn)的干涉圖；(3)通過傅立葉變換獲得PL光譜Β( σ )。
[0038]I ( δ )和B (。)之間有如下的關(guān)系
[0039]
【權(quán)利要求】
1.一種二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置，它包括傅立葉紅外變換紅外光譜系統(tǒng)(I)、調(diào)制與解調(diào)檢測系統(tǒng)(2)、泵浦光與信號收集系統(tǒng)(3)、樣品定位系統(tǒng)(4)和樣品平行校正系統(tǒng)(5)，其特征在于: 所述的傅立葉紅外變換紅外光譜系統(tǒng)(I)具有步進(jìn)掃描功能的光干涉儀部件(101)，與干涉儀部件相聯(lián)用的單元探測器(102)和波段匹配的波段限制器(103)，用于探測信號采集與處理的電路控制板(104)和控制臺計(jì)算機(jī)(105)； 所述的調(diào)制與解調(diào)檢測系統(tǒng)(2)包含機(jī)械斬波輪(201)、斬波控制器(202)和鎖相放大器(203);機(jī)械斬波輪(201)的轉(zhuǎn)動頻率由斬波控制器(202)控制，同時(shí)斬波控制器(202)將頻率信號作為鎖相放大器(203)的參考信號饋入其參考信號輸入端，鎖相放大器(203)的輸入端和探測器(102)的輸出端相連接，鎖相放大器(203)的輸出端與電路控制板(104)的輸入端相連接； 所述的泵浦光與信號收集系統(tǒng)(3)包括激光器(301)、光聚焦(302)、共軸紅外信號收集(303)系統(tǒng)；激光器(301)產(chǎn)生光子能量大于待測樣品禁帶寬度的連續(xù)泵浦激光，該激光經(jīng)過機(jī)械斬波輪(201)后再經(jīng)過由組合透鏡組構(gòu)成的光聚焦系統(tǒng)(302)，其光斑可縮小至30微米的尺度，共軸紅外信號收集系統(tǒng)(303)實(shí)現(xiàn)PL部分信號的收集和向傅立葉紅外變換紅外光譜系統(tǒng)(I)的有效饋送； 所述的樣品定位 系統(tǒng)(4)包括大負(fù)重微米級五軸機(jī)械調(diào)節(jié)與復(fù)位架(401)、安裝于調(diào)節(jié)架(401)上的光學(xué)杜瓦(402)、杜瓦內(nèi)的待測樣品(403)、以及用于控制五軸調(diào)節(jié)架各軸之間獨(dú)立工作的控制器(404);控制器(404)與傅立葉紅外變換紅外光譜系統(tǒng)(I)的控制臺計(jì)算機(jī)(105)相連接，以光譜系統(tǒng)掃描結(jié)束信號作為待測樣品(403)平面內(nèi)移動的觸發(fā)信號，由控制臺計(jì)算機(jī)(105)饋入到調(diào)節(jié)架控制器(404)； 所述的樣品平行校正系統(tǒng)(5)包括分束器(501)、光闌(502)和激光定位單元(503)；一方面分束器(501)引導(dǎo)入射激光至待測樣品(403)，另一方面入射到待測樣品(403)表面激光部分反射并經(jīng)由分束器(501)和光闌(502)進(jìn)入到激光定位單元(503)，激光定位單元(503)與五軸調(diào)節(jié)架控制器(404)相連，依此確定五軸調(diào)節(jié)架(401)的二維角度控制，以保證掃描成像過程中激發(fā)光與樣品表面垂直、光斑大小以及相對于樣品表面前后位置恒定； 測試裝置通過泵浦光與信號收集系統(tǒng)(3)、樣品控溫與定位系統(tǒng)(4)、樣品平行校正系統(tǒng)(5)相結(jié)合工作模式，實(shí)現(xiàn)激發(fā)與共軸信號收集、激發(fā)光斑在樣品平面內(nèi)二維掃描、掃描過程中激發(fā)光斑位置精確到微米級可控、光斑大小與功率密度恒定等功能，保證空間分辨和二維掃描成像紅外光致發(fā)光光譜測量的能量、強(qiáng)度、空間等多參數(shù)可靠性。
2.一種基于權(quán)利要求1所述裝置的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測量方法，其特征在于包括以下步驟: [1].將載有待測樣品(403)的光學(xué)杜瓦(402)固定到大負(fù)重微米級五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位架(401)上，并設(shè)定杜瓦內(nèi)溫度為所需溫度； [2].激光器(301)輸出穩(wěn)定功率激光經(jīng)過斬波輪(201)調(diào)制和光聚焦系統(tǒng)(302)照射到待測樣品(403)上； [3],基于待測樣品(403)的部分反射激光在激光定位單元(503)的光斑位置，利用五維調(diào)節(jié)架的二維角度控制功能，調(diào)整待測樣品(403)表面的上下和左右傾角并根據(jù)樣品平行校正系統(tǒng)判斷，將樣品表面調(diào)整到恰好與入射激發(fā)光垂直；[4],利用五維調(diào)節(jié)架的三維空間位置調(diào)節(jié)功能，沿激發(fā)光方向前后調(diào)節(jié)樣品位置，保證激發(fā)光在樣品表面的光斑符合測試要求； [5],利用五維調(diào)節(jié)架的三維空間位置調(diào)節(jié)功能，設(shè)定待測樣品(403)表面空間分辨的初始位置，在每一光譜掃描結(jié)束時(shí)控制臺計(jì)算機(jī)(105)輸出信號至五軸調(diào)節(jié)架控制器(404)，利用調(diào)節(jié)架的樣品表面二維空間位置調(diào)節(jié)功能，改變待測樣品(403)的位置； [6],待測樣品(403)的光致發(fā)光信號經(jīng)由共軸紅外信號收集系統(tǒng)(303)饋送、傅立葉變換紅外光譜系統(tǒng)(I)及探測器(102)轉(zhuǎn)化為電信號，饋入鎖相放大器(203)的輸入端，同時(shí)斬波控制器(202)的頻率信號作為鎖相放大器(203)的參考信號對探測器(102)的電信號進(jìn)行相敏檢測解調(diào)，而后依次輸出到電路控制板(104)和控制臺計(jì)算機(jī)(105)，經(jīng)傅里葉變換，獲得該樣品空間點(diǎn)的PL光譜； [7],控制臺計(jì)算機(jī)(105)同時(shí)向五維調(diào)節(jié)架控 制器(404)發(fā)送樣品面空間位置改變指令，重復(fù)執(zhí)行[6]、[7]操作，直至全部完成設(shè)定的二維掃描成像紅外調(diào)制PL光譜測試。
【文檔編號】G01N21/63GK103913439SQ201410120925
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年3月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月28日
【發(fā)明者】邵軍, 陳熙仁 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所