一種pind檢測設(shè)備用合成傳感器的制造方法
【專利摘要】一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，它涉及一種合成傳感器。本發(fā)明為了解決現(xiàn)有多余物檢測試驗效率低、效果差，聲發(fā)射傳感器壽命短，電磁屏蔽線易損壞等問題。其包括聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、質(zhì)量塊6、加速度敏感元件7、固定底蓋9、連接件10、柔性電路板11、接線柱固定臺12和接線柱固定座13；聲發(fā)射敏感元件1粘貼在耦合載物臺3的背面且位于敏感件腔體2內(nèi)部，敏感件腔體2與耦合載物臺3為一體成形，連接件10將固定底蓋9和柔性電路板11的一端緊固在敏感件腔體2上，接線柱13與柔性電路板11的另一端焊接。本發(fā)明用于PIND檢測設(shè)備。
【專利說明】一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于PIND檢測【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]PIND (微粒碰撞噪聲檢測技術(shù))檢測設(shè)備是基于微粒碰撞噪聲檢測技術(shù)，用于航空航天、國防電子等領(lǐng)域，對電子元器件、電子設(shè)備等進行多余物微粒檢測、判別的設(shè)備。由于受國內(nèi)機械、材料的制造工藝，加工、組裝的生產(chǎn)水平等影響，電子元器件或集成電路腔體內(nèi)容易存留一些導(dǎo)線碎屑、金屬顆粒、毛發(fā)等多余物，這使得整個電子系統(tǒng)存在著嚴重的安全隱患。PIND檢測設(shè)備可以高效、快速、方便的對電子元器件腔體進行多余物檢測，又因其具有成本低、靈敏度高等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用。
[0003]PIND檢測設(shè)備通常由振動臺、傳感器和自動檢測系統(tǒng)三部分組成。其中，傳感器包含加速度傳感器和聲發(fā)射傳感器。加速度傳感器用于檢測振動臺電樞沿垂直軸的直線振動，聲發(fā)射傳感器用于檢測多余物微粒碰撞待測器件壁而產(chǎn)生的聲發(fā)射應(yīng)力波。如圖14所示，為方便測試進行，一般將聲發(fā)射傳感器、加速度傳感器和待測器件粘貼在傳感器卡具上，再將傳感器卡具用螺紋固定在振動臺電樞頂面。因此，每進行一次多余物檢測，需進行以下步驟:
[0004]1、將加速度傳感器粘貼在傳感器卡具上的合適位置，一般為邊緣位置，為待測件挪出中心位置；
[0005]2、將待測件粘貼在傳感器卡具上的中心位置，方便更好的接收振動臺振動能量；
[0006]3、在傳感器卡具的適當(dāng)位置粘貼聲發(fā)射傳感器。
[0007]此方式存在以下不足:(I)由于電樞頂面不平，在相同振動條件下不同區(qū)域的振動強度不同，而加速度傳感器粘貼于邊緣位置，并且粘貼位置具有隨機性，每個位置的系統(tǒng)誤差不同，使得試驗數(shù)據(jù)不準確。(2)每次測試，都需要將待測器件和傳感器粘貼在傳感器卡具上，工作效率低，而且很容易發(fā)生由于粘貼不當(dāng)引起的待測件掉落、傳感器損壞等問題。(3)由于聲發(fā)射傳感器經(jīng)常性的粘貼，很容易造成傳感器耦合面的破壞，降低使用壽命。
(4)多余物碰撞器件壁產(chǎn)生的聲發(fā)射波經(jīng)過待測器件壁、傳感器卡具載物臺和聲發(fā)射傳感器耦合面才最終傳遞給聲發(fā)射敏感元件，使得聲發(fā)射波傳遞能量損失大，傳遞效率低。(5)在試驗進行中，加速度傳感器和聲發(fā)射傳感器的屏蔽線會隨振動臺振動而振動，長此以往，對屏蔽線的造成損傷，引入噪音，甚至導(dǎo)致屏蔽線斷裂。(6)加速度傳感器和聲發(fā)射傳感器分開使用，增加了 PIND檢測試驗的容量和難度，降低了試驗效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有多余物檢測試驗效率低、效果差、聲發(fā)射傳感器壽命短、電磁屏蔽線易損壞等問題，進而提供一種固定在卡具內(nèi)、易于接收加速度信號和聲發(fā)射波、同時具有加速度傳感器和聲發(fā)射傳感器功能、靈敏度高的合成傳感器。
[0009]本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，包括聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、質(zhì)量塊6、加速度敏感元件7、固定底蓋9、連接件10、柔性電路板11、接線柱固定臺12和接線柱固定座13 ;聲發(fā)射敏感元件I粘貼在耦合載物臺3的背面且位于敏感件腔體2內(nèi)部，敏感件腔體2與耦合載物臺3為一體成形，連接件10將固定底蓋9和柔性電路板11的一端緊固在敏感件腔體2上，接線柱13與柔性電路板11的另一端焊接，接線柱固定座13和柔性電路板11固定在接線柱固定臺12上，加速度敏感元件7和質(zhì)量塊6固定在固定底蓋9上，質(zhì)量塊6在加速度敏感元件I上部，固定底蓋9底部設(shè)有用于固定合成傳感器的螺紋孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過敏感件腔體2的開孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線二 24與加速度敏感元件7信號輸出端相連以傳導(dǎo)輸出信號；加速度敏感元件7通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過固定底蓋9的開孔。
[0010]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果:
[0011]1、通過敏感件腔體和固定底蓋，將聲發(fā)射敏感元件和加速度敏感元件集中在一個腔體內(nèi)，同時實現(xiàn)了聲發(fā)射傳感器和加速度傳感器功能，減少了試驗容量和難度，單次檢測時間縮短了 3分鐘。
[0012]2、通過固定底蓋底面的螺紋，將合成傳感器信號采集部分牢靠的固定在振動臺的中心位置，使得加速度敏感元件能最大程度的接收振動臺的振動能量，以完成信號采集任務(wù)。
[0013]3、聲發(fā)射敏感元件由軟質(zhì)橡膠固定在敏感件腔體內(nèi)，和耦合載物臺組合構(gòu)成一個聲發(fā)射傳感器，省去了粘貼聲發(fā)射傳感器的流程，減小了試驗強度，提高了聲發(fā)射傳感器的使用壽命。傳感器使用壽命，在正常情況下可以達到4-5年，但由于多次的粘貼而發(fā)生的偶然事件(例如磕碰、掉落等)，使其壽命降到I年以內(nèi)。而本發(fā)明省去了上述粘貼流程，通過固定傳感器，使得偶然事件發(fā)生概率降低，從而可達到正常傳感器的使用壽命。
[0014]4、由于耦合載物臺的設(shè)計，只需將待測件粘貼在耦合載物臺的正面就能完成待測件與聲發(fā)射傳感器的接觸，達到可試驗狀態(tài)，轉(zhuǎn)變了試驗測試思路，避免了聲發(fā)射傳感器的損壞與噪聲的引入。
[0015]5、聲發(fā)射敏感元件粘貼在耦合載物臺背面的中心位置，是聲發(fā)射波接收的最佳位置，有選擇性的將待測件放置在耦合載物臺的中心位置將有利于信號的采集。
[0016]6、由于采用柔性電路板連接敏感元件和接線柱,敏感元件隨振動臺電樞一起振動而接線柱與電樞振動無關(guān)，使得接線柱所接高頻屏蔽線避免了振動，增加了高頻屏蔽線的使用壽命，保證了其穩(wěn)定性；而柔性電路板柔軟耐用，保證了合成傳感器數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性與精確度。接線柱與敏感元件間用SMA頭連接，機械壽命為I萬次以上；柔性電路板的機械壽命可達到7-20萬次，使用壽命得到提高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明PIND檢測設(shè)備用合成傳感器的總裝剖視圖；圖2是柔性電路板的結(jié)構(gòu)圖；圖3是聲發(fā)射敏感元件及其載體結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖4是敏感件腔體與固定底蓋連接部分的俯視圖；圖5是固定底蓋側(cè)面的側(cè)視圖；圖6是固定底蓋的剖視圖；圖7是固定底蓋的俯視圖；圖8是接線柱固定座的剖視圖；圖9是接線柱固定座的正視圖；圖10是連接件的剖視圖；圖11是接線柱固定臺的剖視圖；圖12是接線柱固定臺的正視圖；圖13是本發(fā)明PIND檢測設(shè)備用合成傳感器的使用簡化示意圖；圖14是現(xiàn)有技術(shù)中PIND檢測設(shè)備用合成傳感器的卡具使用簡圖。
[0018]本發(fā)明裝置中各部件名稱以及標(biāo)號如下:
[0019]聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、圓管柱體4、固定螺釘5、質(zhì)量塊
6、加速度敏感元件7、正六邊形柱體8、固定底蓋9、連接件10、柔性電路板11、接線柱固定臺12、接線柱固定座13、橡膠件16、扁圓柱體23、導(dǎo)線二 24、通孔一 29、通孔二 30、通孔三31、螺紋孔一 33、螺紋孔二 34、螺紋孔三35、螺紋孔四37、空腔40、螺釘孔47、螺釘孔二 49、螺釘孔三51、螺釘孔四52、空腔53、螺釘孔五54、輸出端55、輸入端57、加速度傳感器70、待測器件71、多余物72、振動臺73、聲發(fā)射傳感器74、合成傳感器信號采集部分75、合成傳感器信號輸出部分76、接線柱77、待測器件79、傳感器卡具81、振動臺82、臺階面83、凹槽84。
【具體實施方式】
[0020]【具體實施方式】一:結(jié)合圖1至圖12說明本實施方式，本實施方式包括一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，該合成傳感器包括聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、質(zhì)量塊6、加速度敏感元件7、固定底蓋9、連接件10、柔性電路板11、接線柱固定臺12和接線柱固定座13 ;聲發(fā)射敏感元件I粘貼在耦合載物臺3的背面且位于敏感件腔體2內(nèi)部，敏感件腔體2與耦合載物臺3為一體成形，連接件10將固定底蓋9和柔性電路板11的一端緊固在敏感件腔體2上，接線柱13與柔性電路板11的另一端焊接，接線柱固定座13和柔性電路板11固定在接線柱固定臺12上，加速度敏感元件7和質(zhì)量塊6固定在固定底蓋9上，質(zhì)量塊6在加速度敏感元件I上部，固定底蓋9底部設(shè)有用于固定合成傳感器的螺紋孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過敏感件腔體2的開孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線二 24與加速度敏感元件7信號輸出端相連以傳導(dǎo)輸出信號；加速度敏感元件7通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過固定底蓋9的開孔。
[0021]如圖1所示，將本發(fā)明的合成傳感器固定于振動臺上，進行試驗時合成傳感器固定不動，只需對待測元器件進行粘貼測試，提高了檢測效率，提高了傳感器的使用壽命和減小了噪聲引入的途徑。合成傳感器將聲發(fā)射敏感元件I和加速度敏感元件7集成在敏感件腔體2內(nèi)，同時具有聲發(fā)射傳感器和加速度傳感器的功能，提高了試驗效率。合成傳感器在結(jié)構(gòu)上將聲發(fā)射敏感元件和加速度敏感元件固定于振動臺的中心軸上，提高了檢測效果和效率。合成傳感器應(yīng)用柔性電路板傳輸聲發(fā)射信號和加速度信號，提高了電磁屏蔽線和所述合成傳感器的使用壽命。
[0022]聲發(fā)射敏感元件I的一面電極用橡膠件粘貼在敏感件腔體2內(nèi)耦合載物臺3的背面。一方面防止所述聲發(fā)射敏感元件松動脫落，另一方面防止粘膠過軟對聲發(fā)射波起到阻尼作用；聲發(fā)射敏感元件I的另一面電極分別焊接導(dǎo)線一 18和導(dǎo)線二 24，導(dǎo)線優(yōu)選為單股細導(dǎo)線。橡膠件的材料采用軟質(zhì)橡膠，具有質(zhì)輕、柔軟、有彈性等特點，具有防震、防沖擊、絕緣、隔熱等作用。
[0023]【具體實施方式】二:結(jié)合圖1說明本實施方式，所述聲發(fā)射敏感元件I的材質(zhì)為壓電陶瓷且通過橡膠件16與耦合載物臺3相粘貼，壓電陶瓷為圓柱形，所述壓電陶瓷的電極的材質(zhì)為銀，所述加速度敏感元件7的材質(zhì)為壓電陶瓷。。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0024]【具體實施方式】三:結(jié)合圖2說明本實施方式，本實施方式的所述柔性電路板11的輸入端57為圓盤狀且中心設(shè)有孔，柔性電路板11的輸出端55為長方形且兩端設(shè)有孔。柔性電路板11的輸入端57為圓盤狀且中心有孔，用于內(nèi)六角螺釘通過，孔外圍設(shè)有三個焊盤，分別用于連接載有聲發(fā)射信號、加速度信號和地信號的導(dǎo)線；柔性電路板11的輸出端55為長方形且兩端有孔，用于螺釘固定用，孔中間部分設(shè)有五個焊盤，分別用于連接載有聲發(fā)射信號、加速度信號和地信號的導(dǎo)線。柔性電路板11的材料優(yōu)選柔軟、有韌性的、耐沖擊，能良好導(dǎo)電、確保穩(wěn)定性的材料，確保在振動臺振動和沖擊的情況下能可靠連接和導(dǎo)電。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0025]【具體實施方式】四:結(jié)合圖5、圖6和圖7說明本實施方式，本實施方式的所述固定底蓋9為正六邊形柱體且中心處分別設(shè)有螺紋孔一 33和螺紋孔二 34，所述固定底蓋9的側(cè)壁沿垂直于9的側(cè)壁方向開設(shè)有通孔一 29、通孔二 30和通孔三31。螺紋孔一 33結(jié)合固定螺釘將質(zhì)量塊6和加速度敏感元件7固定在固定底蓋9上，螺紋孔二 34用于將合成傳感器信號采集結(jié)構(gòu)固定在振動臺上。固定底蓋9的側(cè)面還開有通孔一 29、通孔二 30和通孔三31。通孔一 29用來固定連接件和柔性電路板；通孔二 30和通孔三31便于加速度敏感元件信號輸出導(dǎo)線的內(nèi)外連通。固定底蓋9在正面加工去除一個外直徑20.5mm、內(nèi)直徑10mm、高度8mm、共中心線的柱體，便于加速度敏感元件的安裝，減輕機械的重量。固定底蓋9的材料優(yōu)選為不銹鋼材料。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0026]【具體實施方式】五:結(jié)合圖10說明本實施方式，本實施方式的所述連接件10呈錐形且中間開有螺釘孔47。連接件10的作用是將柔性電路板11固定在固定底蓋9上。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0027]【具體實施方式】六:結(jié)合圖11和圖12說明本實施方式，本實施方式的所述接線柱固定臺12的上半部分設(shè)有一臺階面83，用于放置接線柱并固定；所述接線柱固定臺12的下半部分設(shè)有一凹槽84，可結(jié)合正面的緊定螺釘，將接線柱固定臺12固定在振動臺上。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0028]【具體實施方式】七:結(jié)合圖8和圖9說明本實施方式，本實施方式的所述接線柱固定座13的形狀為長方體，其上端設(shè)有兩個螺紋孔三35，所述接線柱固定座13的底端設(shè)有兩個螺紋孔四37，接線柱固定座13上位于兩個螺紋孔四37之間設(shè)有一空腔40。兩個螺紋孔三35用于固定接線柱，兩個螺紋孔四37用于將接線柱固定座13固定在接線柱固定臺12上，空腔40用于提供接線柱與柔性電路板11連接的空間。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0029]【具體實施方式】八:結(jié)合圖1說明本實施方式，本實施方式的敏感件腔體2與耦合載物臺3為一體成形的金屬構(gòu)件。固定底蓋9和金屬結(jié)構(gòu)的底部凸起扣合，然后用膠粘的方式將兩部分結(jié)合在一起。金屬結(jié)構(gòu)材料為招合金。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】一相同。
[0030]【具體實施方式】九:結(jié)合圖1說明本實施方式，本實施方式的所述所述耦合載物臺3包括一扁圓柱體23、一圓管柱體4和一正六邊形柱體8，耦合載物臺3的頂層部分為扁圓柱體23，耦合載物臺3的中間部分為圓管柱體4，耦合載物臺3的底層部分為正六邊形柱體8且均共中心線。在正六邊形柱體8—個側(cè)面開有一個小孔，便于導(dǎo)線穿過，傳導(dǎo)信號。扁圓柱體23與圓管柱體4在連接處為圓角連接，圓管柱體4與正六邊柱體8在連接處為倒角連接。圓管柱體4外徑稍小于扁圓柱體23的半徑，大于扁圓柱體23的直徑的1/3，正六邊形柱體8的對邊距離等于或稍大于扁圓柱體23的半徑。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】八相同。
[0031]【具體實施方式】十:結(jié)合圖1說明本實施方式，本實施方式的所述圓管柱體4的內(nèi)腔深入所述扁圓柱體23內(nèi)部且圓管柱體4深入所述扁圓柱體23內(nèi)部的深度為2-3mm，所述正六邊形柱體8的上下底面為正六邊形，正六邊形柱體8底面位于圓管柱體4底面上部且與圓管柱體4相距2-3mm。所述圓管柱體4的內(nèi)腔深入扁圓柱體23內(nèi)部的深度為2_3mm，可減少聲發(fā)射敏感元件I到耦合載物臺3的厚度，減少聲發(fā)射波傳播距離，減少能量損失，有利于信號的采集。所述正六邊形柱體8的上下底面為正六邊形，正六邊形柱體8底面位于圓管柱體4底面上部且相距2-3mm，這樣有利于聲發(fā)射敏感元件I。其它組成和連接關(guān)系與【具體實施方式】九相同。
[0032]本發(fā)明PIND檢測設(shè)備用合成傳感器的原理如下:
[0033]結(jié)合圖1和圖13，本發(fā)明一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其功能上由聲發(fā)射傳感器74、加速度傳感器70和信號輸出部分76組成。
[0034]其中，聲發(fā)射傳感器74由聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、導(dǎo)線和橡膠件16組成；加速度傳感器由加速度敏感元件7、固定底蓋9、質(zhì)量塊6、固定螺釘5和分別穿過穿過通孔一 29和通孔二 31的導(dǎo)線組成。信號輸出部分76由接線柱固定座13和接線柱固定臺12組成。
[0035]進行PIND檢測試驗時，合成傳感器75通過螺紋孔二 34固定在振動臺73上，待測器件71粘貼在耦合載物臺3上。振動臺啟動后，按一定方式振動，帶動合成傳感器信號采集部分75沿垂直軸振動，從而帶動待測器件71振動。當(dāng)振動臺73的激勵足夠大時，待測器件71內(nèi)的多余物72被激活，碰撞器件壁產(chǎn)生聲發(fā)射波。聲發(fā)射傳感器74采集相應(yīng)聲發(fā)射波，由聲發(fā)射敏感元件I將力學(xué)信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡姾尚盘?，然后通過導(dǎo)線傳輸給柔性電路板11。加速度傳感器70采集振動臺73上電樞的振動信號，并轉(zhuǎn)變?yōu)殡姾尚盘杺鬏斀o柔性電路板
11。柔性電路板11將聲發(fā)射信號和加速度信號傳輸給接線柱77。信號經(jīng)由接線柱77傳輸給PIND自動檢測系統(tǒng)，來對多余物微粒進行判別和對振動臺施加的激勵進行控制。
[0036]結(jié)合合成傳感器75相應(yīng)軍標(biāo)的規(guī)定以及現(xiàn)役PIND檢測設(shè)備的現(xiàn)狀，確定本實施方式的主要技術(shù)指標(biāo)如下:
[0037]I)聲發(fā)射傳感器74峰值靈敏度為60dB_70dB
[0038]2)聲發(fā)射傳感器74峰值頻率范圍為145KHz-155KHz
[0039]3)加速度傳感器70參考靈敏度1.87pC/g-2.33pC/g
[0040]4)加速度傳感器70頻率范圍0.5-lOOOOHz[0041 ] 5)加速度傳感器70最大允許加速度20000m/s2
[0042]以上可通過聲發(fā)射敏感元I件和加速度敏感元件7的形狀、尺寸、材質(zhì)及其安裝方法實現(xiàn)上述技術(shù)指標(biāo)。
[0043]結(jié)合圖13和圖14,在方式上,將原來的分開獨立的聲發(fā)射傳感器74和加速度傳感器70，合成到一個機械機構(gòu)中；在方式上將兩個傳感器安裝在振動臺73的電樞的中心軸上，使加速度傳感器70最大程度的接收振動臺73能量，提高了檢測效果；在方式上應(yīng)用柔性電路板11輸出聲發(fā)射信號和加速度信號，提高了電磁屏蔽線和所述合成傳感器的使用壽命；在方式上將所述合成傳感器75固定，將待測器件71粘貼在傳感器上，提高了檢測效率，提高了傳感器的使用壽命和減小了噪聲引入的途徑。
[0044]上述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用于限制本發(fā)明的實施方案，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的主要構(gòu)思和精神，可以十分方便地進行相應(yīng)的變通或修改，故本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1.一種PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，包括聲發(fā)射敏感元件1、敏感件腔體2、耦合載物臺3、質(zhì)量塊6、加速度敏感元件7、固定底蓋9、連接件10、柔性電路板11、接線柱固定臺12和接線柱固定座13 ;聲發(fā)射敏感元件I粘貼在耦合載物臺3的背面且位于敏感件腔體2內(nèi)部，敏感件腔體2與耦合載物臺3為一體成形，連接件10將固定底蓋9和柔性電路板11的一端緊固在敏感件腔體2上，接線柱13與柔性電路板11的另一端焊接，接線柱固定座13和柔性電路板11固定在接線柱固定臺12上，加速度敏感元件7和質(zhì)量塊6固定在固定底蓋9上，質(zhì)量塊6設(shè)在加速度敏感元件I上部，固定底蓋9底部設(shè)有用于固定合成傳感器的螺紋孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過敏感件腔體2的開孔；聲發(fā)射敏感元件I通過導(dǎo)線二 24與加速度敏感元件7信號輸出端相連以傳導(dǎo)輸出信號；加速度敏感元件7通過導(dǎo)線與柔性電路板11相連以傳導(dǎo)輸出信號，導(dǎo)線穿過固定底蓋9的開孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述聲發(fā)射敏感元件I的材質(zhì)為壓電陶瓷且通過橡膠件16與耦合載物臺3相粘貼，壓電陶瓷為圓柱形，所述壓電陶瓷的電極的材質(zhì)為銀，所述加速度敏感元件7的材質(zhì)為壓電陶瓷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述柔性電路板11的輸入端57為圓盤狀且中心設(shè)有孔，柔性電路板11的輸出端55為長方形且兩端設(shè)有孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述固定底蓋9為正六邊形柱體且中心處分別設(shè)有螺紋孔一 33和螺紋孔二 34，所述固定底蓋9的側(cè)壁沿垂直于9的側(cè)壁方向開設(shè)有通孔一 29、通孔二 30和通孔三31。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述連接件10呈錐形且中間開有螺釘孔47。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述接線柱固定臺12的上半部分設(shè)有一臺階面83，所述接線柱固定臺12的下半部分設(shè)有一凹槽84。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述接線柱固定座13的形狀為長方體，其上端設(shè)有兩個螺紋孔三35，所述接線柱固定座13的底端設(shè)有兩個螺紋孔四37，接線柱固定座13上位于兩個螺紋孔四37之間設(shè)有一空腔40。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，敏感件腔體2與耦合載物臺3為金屬構(gòu)件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述耦合載物臺3包括一扁圓柱體23、一圓管柱體4和一正六邊形柱體8，耦合載物臺3的頂層部分為扁圓柱體23，耦合載物臺3的中間部分為圓管柱體4，耦合載物臺3的底層部分為正六邊形柱體8且均共中心線。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的PIND檢測設(shè)備用合成傳感器，其特征在于，所述圓管柱體4的內(nèi)腔深入所述扁圓柱體23內(nèi)部且圓管柱體4深入所述扁圓柱體23內(nèi)部的深度為2-3mm，所述正六邊形柱體8的上下底面為正六邊形，正六邊形柱體8底面位于圓管柱體4底面上部且與圓管柱體4相距2-3mm。
【文檔編號】G01H11/08GK103728656SQ201410014123
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月13日
【發(fā)明者】陳金豹, 趙國強, 戚樂, 牛鵬飛, 李超, 郭亮, 梁安生, 姜楠, 錢鑫, 翟國富 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)