一種探針卡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種探針卡，探針卡包括基板，于基板的表面設(shè)置有若干探針，基板的表面還設(shè)置有金屬觸點(diǎn)；于探針卡的內(nèi)部還設(shè)置有識(shí)別芯片，該識(shí)別芯片與金屬觸點(diǎn)電連接；讀寫裝置，讀寫裝置用于讀取探針卡上設(shè)置的識(shí)別芯片，其特征在于，讀寫裝置對(duì)應(yīng)金屬觸點(diǎn)位置設(shè)置有彈性觸針，讀寫裝置通過彈性觸針與識(shí)別芯片電連接；通過本發(fā)明的使用，將識(shí)別芯片直接制作或鑲嵌在探針卡內(nèi)部，這樣可以避免由于識(shí)別芯片安裝偏離導(dǎo)致的測(cè)試頭與探針卡之間的針腳連接異常，同時(shí)新的接觸式設(shè)計(jì)排除信號(hào)干擾對(duì)探針卡信息讀寫的影響，用接觸式連接還可以省去每次探針卡識(shí)別芯片從探針卡表面脫落后需要再次用膠將其粘回探針卡表面的繁瑣動(dòng)作。
【專利說明】一種探針卡
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種微電子電性能測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種探針卡。
【背景技術(shù)】
[0002]在日常的晶圓電性測(cè)試中會(huì)用到探針卡，而每次進(jìn)行測(cè)試前，測(cè)量?jī)x器會(huì)先確認(rèn)探針卡的基本信息，這些信息均儲(chǔ)存在探針卡識(shí)別芯片內(nèi)，讀卡器通過無線信號(hào)對(duì)識(shí)別芯片進(jìn)行讀寫操作，但這樣的設(shè)計(jì)存在安全隱患，若識(shí)別芯片安裝的位置稍有偏離，就會(huì)影響到測(cè)試頭與探針卡之間的針腳連接，會(huì)影響識(shí)別芯片的正常讀寫能力，無線信號(hào)傳輸還會(huì)受到信號(hào)干擾，這也會(huì)對(duì)探針卡信息讀寫的影響。
[0003]專利(
【發(fā)明者】許一峰, 莫保章 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司