亚洲狠狠干,亚洲国产福利精品一区二区,国产八区,激情文学亚洲色图

一種x射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法

文檔序號:6173247閱讀:166來源:國知局
一種x射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法
【專利摘要】一種X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,包括以下步驟:(1)首先調(diào)整雙鏡鏡筒,將第一X射線組合折射透鏡移入光路,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一X射線組合折射透鏡的入射口徑處;接著,從第一X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線探測器進(jìn)行探測分析,得到初步檢測分析結(jié)果;(2)經(jīng)步驟(1)得到初級檢測分析結(jié)果;(3)調(diào)整雙鏡鏡筒,將第一X射線組合折射透鏡移出光路,同時將一個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,重復(fù)步驟(1)針對第一X射線組合折射透鏡的操作,得到二級檢測結(jié)果。本發(fā)明獲得高微區(qū)分辨率的同時、分辨率在線調(diào)節(jié)。
【專利說明】ー種X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及X射線探測和成像領(lǐng)域,尤其是ー種X射線探測和成像系統(tǒng)的探測分析方法。
【背景技術(shù)】
[0002]自從1895年倫琴發(fā)現(xiàn)X射線以來,X射線所具有的獨特的特性就使得它在醫(yī)學(xué)和エ業(yè)探傷領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。X射線所具有的獨特的特性是指:x射線輻射光子能量越高,波長就越短,而其相應(yīng)的X射線診斷系統(tǒng)的分辨率就越高;同時X射線所具有的大穿透深度,可以無損地觀測各種樣本的不透明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。近年來,隨著X射線輻射源和X射線光學(xué)元器件的發(fā)展,X射線探測和成像技術(shù)向著更高的分辨率和更好的無損性的方向發(fā)展,比如,用于樣本中元素分布測量的X射線熒光微層析實驗系統(tǒng)(C.u Schroer, Reconstructing x-ray fluorescence microtomograms, App1.Phys.Lett.,79 (2001): 1912-1914),以及用于單細(xì)胞檢測的X射線實驗系統(tǒng)(S.Bohic, etal.,ynchrontron hard x-ray microprobe: Fluorescence imaging 01 singlecells, App1.Phys.Lett.,78 (2001): 3544-3546)等。X射線探測和成像裝置主要包括X射線顯微鏡、X射線微探針、X射線衍射儀、X射線散射儀、X射線反射儀、X射線層析術(shù)、X射線投影光刻裝置等等。要進(jìn)ー步提高上述探測和成像系統(tǒng)的分辨率,使其達(dá)到微米、亞微米甚至納米量級,能實現(xiàn)亞微米甚至納米量級X射線探測聚焦微束的光學(xué)結(jié)構(gòu)是核心技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服已有X射線探測和成像系統(tǒng)的探測分析技術(shù)的微區(qū)分辨率較低、分辨率不能在線調(diào)節(jié)、不能實現(xiàn)分級檢測的不足,本發(fā)明提供ー種獲得高微區(qū)分辨率的同時、分辨率在線調(diào)節(jié)的X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]ー種X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,實現(xiàn)該方法的雙鏡式探測光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒、X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡,所述X射線跨接式組合折射透鏡包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡,所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑,所述第二 X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接;所述X射線跨接式組合折射透鏡、第一 X射線組合折射透鏡位于所述雙鏡鏡筒內(nèi),所述X射線跨接式組合折射透鏡的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸平行,所述X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸?。凰鲭p鏡式探測分析方法包括以下步驟:[0006]( I)首先調(diào)整雙鏡鏡筒,將所述第一 X射線組合折射透鏡移入光路,使得X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸重合,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡的入射口徑處;
[0007]接著,從所述第一 X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線探測器進(jìn)行探測分析,得到初步檢測分析結(jié)果;
[0008](2)經(jīng)步驟(I)得到初級檢測分析結(jié)果,判斷是否需要對目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測分析,如果需要,進(jìn)入步驟(3);
[0009](3)調(diào)整雙鏡鏡筒,將所述第一 X射線組合折射透鏡移出光路,同時將ー個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,使得X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與X射線跨接式組合折射透鏡的光軸重合,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到X射線跨接式組合折射透鏡的入射口徑處;
[0010]接著,從所述X射線跨接式組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線探測器進(jìn)行探測分析,得到ニ級檢測結(jié)果。
[0011]進(jìn)ー步,所述雙鏡鏡筒內(nèi)安裝至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡和I個第一 X射線組合折射透鏡,至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸由大到小分級;所述雙鏡式探測分析方法還包括以下步驟:
[0012](4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級檢測結(jié)果,對結(jié)果進(jìn)行分析,判斷是否需要調(diào)整不同的探測分辨率,對被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析,如果需要,進(jìn)入步驟(5);
[0013](5)調(diào)整雙鏡鏡筒,另ー個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸小,將所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡移出光路,同時將所述另ー個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,重復(fù)步驟(3)針對所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡的操作,得到三級檢測結(jié)果;
[0014](6)依次類推逐級增加探測分辨率,直到檢測得到針對被檢目標(biāo)的滿意的檢測結(jié)果。
[0015]所述步驟(I)中,對于X射線熒光分析系統(tǒng)而言,所述第一 X射線組合折射透鏡對X射線光管發(fā)射的X射線光束聚焦,形成探測光斑對被檢樣品進(jìn)行分析。
[0016]所述步驟(I)中,對于X射線顯微系統(tǒng)而言,須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管與X射線組合折射透鏡之間,利用所述第一 X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
[0017]所述雙鏡式探測光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu),所述雙鏡鏡筒安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡移出或移入X射線探測和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)上;所述步驟(3)中,移出移入動作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定。
[0018]本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思為-X射線組合折射透鏡是ー種基于折射效應(yīng)的新型X射線聚焦器件,其理論聚焦光斑尺寸可達(dá)納米量級,實際測試所得聚焦光斑尺寸通常在幾個微米,并具有尺寸小、制作エ藝簡單、魯棒性好、可批量加工的優(yōu)點,適合高探測分辨率的X射線探測和成像系統(tǒng);其次,X射線組合折射透鏡覆蓋的光子能量非常寬,因此基于它構(gòu)架X射線探測和成像系統(tǒng),適用于多種應(yīng)用場合;最后由于其基于折射效應(yīng),因此在對X射線束聚焦時不需要折轉(zhuǎn)光路,因此所形成的探測裝置結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小、重量輕。
[0019]本發(fā)明的有益效果主要表現(xiàn)在:1、采用X射線組合折射透鏡作為聚焦和成像器件,本身就可以達(dá)到更高的探測分辨率,再與X射線跨接式組合折射透鏡相結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)對被檢目標(biāo)的更高精度的精細(xì)結(jié)構(gòu)分析;2、通過發(fā)明雙鏡式光學(xué)結(jié)構(gòu),X射線探測和成像系統(tǒng)可以實現(xiàn)對被檢目標(biāo)宏觀和細(xì)節(jié)同時檢測的目的;3、實現(xiàn)了探測分辨率在線實時調(diào)節(jié);4、探測雙鏡基于折射效應(yīng)工作,在對X射線束聚焦時不需要折轉(zhuǎn)光路,因此所形成的探測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小、重量輕。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1-1是本發(fā)明一種用于X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測光學(xué)部件的正視圖,其中,I是X射線組合折射透鏡,2是X射線跨接式組合折射透鏡,3是雙鏡鏡筒,4是雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0021]圖1-2是本發(fā)明一種用于X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測光學(xué)部件的俯視圖。
[0022]圖2是X射線跨接式組合折射透鏡的示意圖。
[0023]圖3是本發(fā)明一種基于雙鏡式探測光學(xué)結(jié)構(gòu)的X射線探測和成像系統(tǒng)的示意圖,其中,5是X射線光管,6是X射線探測器。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)ー步描述。
[0025]參照圖1?圖3,ー種X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,實現(xiàn)該方法的雙鏡式探測光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒3、X射線跨接式組合折射透鏡2和第一 X射線組合折射透鏡1,所述X射線跨接式組合折射透鏡2包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡,所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑,所述第二X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接;所述X射線跨接式組合折射透鏡2、第一 X射線組合折射透鏡I位于所述雙鏡鏡筒3內(nèi),所述X射線跨接式組合折射透鏡2的光軸與第一 X射線組合折射透鏡I的光軸平行,所述X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡I的聚焦光斑尺寸??;所述雙鏡式探測分析方法,包括以下步驟:
[0026]( I)從X射線光管5發(fā)出的X射線光有比較大的發(fā)散角,因此首先調(diào)整雙鏡鏡筒,將所述第一 X射線組合折射透鏡I移入光路,使得X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡I的光軸重合,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡I的入射口徑處。從所述第一X射線組合折射透鏡I出射的X射線光束傳輸入X射線探測器6進(jìn)行探測分析。對于X射線熒光分析系統(tǒng)而言,第一 X射線組合折射透鏡I對X射線光管5發(fā)射的X射線光束聚焦,形成探測光斑對被檢樣品進(jìn)行分析;對于X射線顯微系統(tǒng)而言,須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管5與第一 X射線組合折射透鏡I之間,利用X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
[0027](2)經(jīng)步驟(I)得到初級檢測分析結(jié)果,判斷是否需要對目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測分析,如果需要,進(jìn)入步驟(3)。
[0028](3)調(diào)整雙鏡鏡筒3,將所述第一 X射線組合折射透鏡I移出光路,同時將所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡2移入光路,移出移入動作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定,重復(fù)步驟(I)針對所述第一 X射線組合折射透鏡I的操作。
[0029](4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級檢測結(jié)果,對結(jié)果進(jìn)行分析,判斷是否需要調(diào)整不同的探測分辨率,對被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析,如果需要,進(jìn)入步驟(5)。
[0030](5)調(diào)整雙鏡鏡筒3,將所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡2移出光路,同時將所述另ー個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,移出移入動作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定,重復(fù)步驟(I)針對所述X射線組合折射透鏡的操作,直到利用不同的探測分辨率檢測得到針對被檢目標(biāo)的滿意的檢測結(jié)果。
[0031]所述探測分析過程,需要使用標(biāo)準(zhǔn)X射線信號和信息處理系統(tǒng)進(jìn)行分析處理。
[0032]所述ー種用于X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測光學(xué)結(jié)構(gòu),沿光軸方向可以進(jìn)行調(diào)節(jié),形成多種物象關(guān)系,以適應(yīng)對被檢目標(biāo)不同區(qū)域的探測和成像。
[0033]所述雙鏡式探測光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4,所述雙鏡鏡筒3安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡2或第一 X射線組合折射透鏡I移出或移入X射線探測和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4上。
[0034]進(jìn)ー步,所述第二 X射線組合折射透鏡出射端制作有微結(jié)構(gòu)連接銷,所述第三X射線組合折射透鏡的入射口徑與所述第二X射線組合折射透鏡的出射口徑匹配,所述第三X射線組合折射透鏡的入射端制作有與所述微結(jié)構(gòu)連接銷適配的銷孔,以便于將所述第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)起來。
[0035]再進(jìn)ー步,所述雙鏡鏡筒3內(nèi)安裝至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡2和ー個第一 X射線組合折射透鏡I。例如可以配置為ー個第一 X射線組合折射透鏡I和三個X射線跨接式組合折射透鏡2,三個X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸處于不同等級,當(dāng)然,也可以采用其他組合。至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸由大到小分級。
[0036]更進(jìn)一歩,至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡和ー個第一 X射線組合折射透鏡的光軸位于所述雙鏡鏡筒3的同心圓上,所述機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4與雙鏡鏡筒3的中心軸聯(lián)動。由于X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡位于同心圓上,通過轉(zhuǎn)動,可以調(diào)節(jié)相互的位置,通過雙鏡鏡筒將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡雙鏡移出或移入X射線探測和成像系統(tǒng)光路;當(dāng)然,也可以采用其他的調(diào)節(jié)方式。
[0037]本實施例中,采用第一 X射線組合折射透鏡I和X射線跨接式組合折射透鏡2組成雙鏡,所述第一 X射線組合折射透鏡I作為初級X射線聚焦和成像器件,對從X射線光源(包括同步輻射線束和X射線光管)出射的X射線光束進(jìn)行一次聚焦;所述X射線跨接式組合折射透鏡2,由第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)構(gòu)成,所述第ニ X射線組合折射透鏡與所述X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑,出射口徑端制作有微結(jié)構(gòu)連接銷,所述第三X射線組合折射透鏡的入射口徑與所述第二 X射線組合折射透鏡的出射口徑匹配,入射端ロ制作有與所述微結(jié)構(gòu)連接銷適配的銷孔,以便于將所述第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)起來。
[0038]所述雙鏡鏡筒3是用于裝配所述第一 X射線組合折射透鏡I和X射線跨接式組合折射透鏡2的機(jī)械器件。
[0039]所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4,與所述雙鏡鏡筒3連接,用于通過機(jī)械旋轉(zhuǎn)將所述第一X射線組合折射透鏡I或者X射線跨接式組合折射透鏡2移出或者移入X射線探測和成像系統(tǒng)光路。
[0040]所述第一 X射線組合折射透鏡I的聚焦光斑尺寸大于所述X射線跨接式組合折射透鏡2,即對于X射線熒光分析系統(tǒng)而言,X射線跨接式組合折射透鏡2能夠分析比所述第一 X射線組合折射透鏡I更加微小的樣品微區(qū);對于X射線顯微系統(tǒng)而言,X射線跨接式組合折射透鏡2能夠?qū)Ω〕叽绲奈矬w進(jìn)行顯微成像。
[0041]所述第一 X射線組合折射透鏡I和所述X射線跨接式組合折射透鏡2之間的光學(xué)參數(shù)必須匹配,以便使二者相結(jié)合對被測目標(biāo)進(jìn)行宏觀和細(xì)節(jié)的分級檢測,所述第一 X射線組合折射透鏡I實現(xiàn)初級檢測,分辨率較低,所述X射線跨接式組合折射透鏡2實現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)檢測,具有更高的分辨率;同時二者的結(jié)合可以實現(xiàn)探測分辨率的在線動態(tài)調(diào)節(jié)。
[0042]所述光學(xué)參數(shù)的匹配通過下列理論公式進(jìn)行設(shè)計計算實現(xiàn):
[0043]焦距
【權(quán)利要求】
1.ー種X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,其特征在于:實現(xiàn)該方法的雙鏡式探測光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒、X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡,所述X射線跨接式組合折射透鏡包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡,所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑,所述第二 X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接;所述X射線跨接式組合折射透鏡、第一 X射線組合折射透鏡位于所述雙鏡鏡筒內(nèi),所述X射線跨接式組合折射透鏡的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸平行,所述X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸?。凰鲭p鏡式探測分析方法包括以下步驟: (1)首先調(diào)整雙鏡鏡筒,將所述第一X射線組合折射透鏡移入光路,使得X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸重合,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡的入射口徑處; 接著,從所述第一 X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線探測器進(jìn)行探測分析,得到初步檢測分析結(jié)果; (2)經(jīng)步驟(I)得到初級檢測分析結(jié)果,判斷是否需要對目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測分析,如果需要,進(jìn)入步驟(3); (3)調(diào)整雙鏡鏡筒,將所述第一X射線組合折射透鏡移出光路,同時將ー個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,使得 X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與X射線跨接式組合折射透鏡的光軸重合,讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到X射線跨接式組合折射透鏡的入射口徑處; 接著,從所述X射線跨接式組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測和成像系統(tǒng)的X射線探測器進(jìn)行探測分析,得到ニ級檢測結(jié)果。
2.如權(quán)利要求1所述的X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,其特征在于:所述雙鏡鏡筒內(nèi)安裝至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡和I個第一X射線組合折射透鏡,至少兩個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸由大到小分級;所述雙鏡式探測分析方法還包括以下步驟: (4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級檢測結(jié)果,對結(jié)果進(jìn)行分析,判斷是否需要調(diào)整不同的探測分辨率,對被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析,如果需要,進(jìn)入步驟(5); (5)調(diào)整雙鏡鏡筒,另ー個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸小,將所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡移出光路,同時將所述另ー個X射線跨接式組合折射透鏡移入光路,重復(fù)步驟(3)針對所述ー個X射線跨接式組合折射透鏡的操作,得到三級檢測結(jié)果; (6)依次類推,逐級增加探測分辨率,直到檢測得到針對被檢目標(biāo)的滿意的檢測結(jié)果。
3.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,其特征在于:所述步驟(I)中,對于X射線熒光分析系統(tǒng)而言,所述第一 X射線組合折射透鏡對X射線光管發(fā)射的X射線光束聚焦,形成探測光斑對被檢樣品進(jìn)行分析。
4.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,其特征在于:所述步驟(I)中,對于X射線顯微系統(tǒng)而言,須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管與X射線組合折射透鏡之間,利用所述第一 X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
5.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測分析方法,其特征在于:所述雙鏡式探測光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu),所述雙鏡鏡筒安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡移出或移入X射線探測和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu) 上;所述步驟(3)中,移出移入動作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定。
【文檔編號】G01N23/223GK103454290SQ201310361429
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月19日
【發(fā)明者】樂孜純, 董文 申請人:浙江工業(yè)大學(xué)
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1