專利名稱：基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，屬于光學(xué)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
基于調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)干涉測量技術(shù)的光路如

圖1，激光由可調(diào)諧激光器發(fā)出，經(jīng)PBS (偏振分束器)準(zhǔn)直后被分為兩路:一路為參考光經(jīng)反射進(jìn)入探測器ro，令一路為測量光，經(jīng)孔徑后照射到目標(biāo)的角錐棱鏡出，經(jīng)反射進(jìn)入探測器ro。測量光與參考光在探測器ro上干涉，形成拍頻信號，拍頻信號為電信號。測量時，對輸出激光頻率進(jìn)行線性啁啾調(diào)制，調(diào)制曲線如圖2所示。由于測量光相對于參考光有時間延遲，則它們干涉形成的拍頻信號中值頻率如圖3所示。探測器ro獲得的電信號i(t)可以表示為:
權(quán)利要求
1.于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，其特征在于，它包括調(diào)頻激光器(I)、準(zhǔn)直透鏡(2)、分光棱鏡(3)、第一角錐棱鏡(4)、第二角錐棱鏡(5)、第三角錐棱鏡￠)、聚焦透鏡(7)和點(diǎn)探測器⑶， 第二角錐棱鏡(5)設(shè)置在待測量目標(biāo)處； 調(diào)頻激光器(I)輸出啁啾調(diào)制的激光束，該激光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡(2)準(zhǔn)直后輸出準(zhǔn)直平行光束，所述準(zhǔn)直平行光束入射至分光棱鏡(3)，經(jīng)分光棱鏡(3)反射的光束入射至第一角錐棱鏡(4)，經(jīng)第一角錐棱鏡(4)反射的光束返回入射至分光棱鏡(3)，并從分光棱鏡(3)透射出去形成參考光束，該參考光束經(jīng)聚焦透鏡(7)匯聚在點(diǎn)探測器(8)的光敏面上； 經(jīng)分光棱鏡(3)透射的光束入射至第二角錐棱鏡(5);第二角錐棱鏡(5)反射后形成的向上偏移光束入射至第三角錐棱鏡<；6)，經(jīng)第三角錐棱鏡<；6)、第二角錐棱鏡(5)和分光棱鏡(3)依次反射后形成測量光束，該測量光束經(jīng)聚焦透鏡(7)匯聚在點(diǎn)探測器(8)的光敏面上； 所述參考光束和測量光束在點(diǎn)探測器(8)上進(jìn)行干涉形成拍頻信號，進(jìn)而獲得待測量目標(biāo)的距離。
2.據(jù)權(quán)利要求1所述的基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，其特征在于，準(zhǔn)直透鏡(2)的光軸軸線與分光棱鏡(3)的光軸軸線重合。
3.據(jù)權(quán)利要求1所述的基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，其特征在于，第一角錐棱鏡(4)和聚焦透鏡(7)的光軸軸線與分光棱鏡(3)的反射光光軸軸線重合。
4.據(jù)權(quán)利要求1所 述的基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，其特征在于，第三角錐棱鏡￠)與分光棱鏡(3)的距離和第一角錐棱鏡(4)與分光棱鏡(3)的距離相等。
全文摘要
基于重反射技術(shù)的調(diào)頻連續(xù)波干涉儀，屬于光學(xué)領(lǐng)域。本發(fā)明為解決現(xiàn)有采用線性調(diào)頻激光干涉技術(shù)的干涉儀不能達(dá)到很高的精度問題。它的調(diào)頻激光器輸出的激光束經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后輸出準(zhǔn)直平行光束，并入射至分光棱鏡，經(jīng)分光棱鏡反射的光束入射至第一角錐棱鏡，再返回入射至分光棱鏡，再透射出去形成參考光束，該參考光束經(jīng)聚焦透鏡匯聚在點(diǎn)探測器的光敏面上；經(jīng)分光棱鏡透射的光束入射至第二角錐棱鏡；第二角錐棱鏡反射后形成的向上偏移光束入射至第三角錐棱鏡，經(jīng)第三角錐棱鏡、第二角錐棱鏡和分光棱鏡依次反射后形成測量光束，該測量光束經(jīng)聚焦透鏡匯聚在點(diǎn)探測器的光敏面上。本發(fā)明作為一種干涉儀。
文檔編號G01S17/36GK103091681SQ20131005097
公開日2013年5月8日 申請日期2013年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月16日
發(fā)明者甘雨, 陳鳳東, 劉國棟, 劉炳國, 莊志濤, 路程 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)