專利名稱：一種x射線自動測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種單晶材料的監(jiān)測裝置，特別是涉及一種X射線自動測量儀。
背景技術(shù)：
單晶材料生產(chǎn)過程中需要對晶棒及晶片進行檢驗，檢驗其內(nèi)部晶格的排列角度。傳動檢驗設(shè)備需要人工檢測，對操作者的要求比較高，同時誤差比較大，在長時間的檢測工作中不僅檢驗誤差大而且還對操作者身體帶來了 X射線輻射。同時生產(chǎn)效率低下，對檢驗的數(shù)據(jù)不能及時記錄和儲存。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷和不足，而提供一種測量范圍大、能滿足0° -80°測量，并且自動化程度高的X射線自動測量儀。 采用的技術(shù)方案是一種X射線自動測量儀，包括機體，機體內(nèi)設(shè)置有變壓器、整流器及氣泵，機體上端固定有工作臺，工作臺中間通過螺栓安裝固定X射線發(fā)生器。工作臺的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有蝸輪蝸桿副，且蝸桿上安裝步進電機，測角儀上裝設(shè)有一主軸，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，主軸的上端固定有樣品臺，樣品臺連接一氣泵吸管，氣泵吸管與設(shè)置在機體內(nèi)的氣泵相連接。樣品臺上固定有閃爍探測器和編碼器，X光射發(fā)生器上安裝單晶反射器，并配有電動光閘，實現(xiàn)自動控制。工作臺上還設(shè)置有顯示被測晶體峰值角度的顯不器。本實用新型實現(xiàn)了單晶體在生產(chǎn)過程中對晶體的檢測實現(xiàn)自動化，減少X光對操作者的輻射，提高測量精度，便于數(shù)據(jù)的記錄以及提高了生產(chǎn)效率。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
一種X射線自動測量儀，包括機體3，機體內(nèi)設(shè)置有變壓器I、整流器2及氣泵16，機體3上端固定有工作臺4，工作臺中間通過螺栓安裝固定X射線發(fā)生器10。工作臺的兩偵扮別固定有測角儀6，測角儀6內(nèi)裝設(shè)有蝸輪蝸桿副7，且蝸桿上安裝步進電機5，測角儀6上裝設(shè)有一主軸8，主軸8的上部穿出測角儀6的殼體外，主軸8的上端固定有樣品臺13，樣品臺13連接一氣泵吸管9，氣泵吸管9與設(shè)置在機體3內(nèi)的氣泵相連接。樣品臺上固定有閃爍探測器15和編碼器14，X光射發(fā)生器10上安裝單晶反射器12，并配有電動光閘，實現(xiàn)自動控制。工作臺4上還設(shè)置有顯示被測晶體峰值角度的顯示器11。
權(quán)利要求1.一種X射線自動測量儀，包括機體，機體內(nèi)設(shè)置有變壓器、整流器及氣泵，機體上端固定有工作臺，其特征在于所述的工作臺的中部固定有X射線發(fā)生器，工作臺的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有蝸輪蝸桿副，且蝸桿上安裝步進電機，測角儀上裝設(shè)有一主軸，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，主軸的上端固定有樣品臺，樣品臺連接一氣泵吸管，氣泵吸管與設(shè)置在機體內(nèi)的氣泵相連接，樣品臺上固定有閃爍探測器和編碼器，X光射發(fā)生器上安裝單晶反射器，工作臺上設(shè)置有顯示被測晶體峰值角度的顯示器。
專利摘要一種X射線自動測量儀，包括機體，機體內(nèi)設(shè)置有變壓器、整流器及氣泵，機體上端固定有工作臺，工作臺中間通過螺栓安裝固定X射線發(fā)生器。工作臺的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有蝸輪蝸桿副，且蝸桿上安裝步進電機，測角儀上裝設(shè)有一主軸，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，主軸的上端固定有樣品臺，樣品臺連接一氣泵吸管，氣泵吸管與設(shè)置在機體內(nèi)的氣泵相連接。本實用新型實現(xiàn)了單晶體在生產(chǎn)過程中對晶體的檢測實現(xiàn)自動化，減少X光對操作者的輻射，提高測量精度，便于數(shù)據(jù)的記錄以及提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號G01N23/20GK202661412SQ201220319218
公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月4日
發(fā)明者甄偉, 趙松彬 申請人:丹東新東方晶體儀器有限公司