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熱釋電傳感器陣列以及熱釋電型紅外線檢測裝置的制作方法

文檔序號:5939750閱讀:429來源:國知局
專利名稱:熱釋電傳感器陣列以及熱釋電型紅外線檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及根據(jù)熱釋電體表面所感應(yīng)的電位來檢測入射至熱釋電體的紅外線的熱釋電傳感器陣列以及熱釋電型紅外線檢測裝置。
背景技術(shù)
這樣類型的熱釋電型紅外線檢測裝置一般具備電路基板、搭載于電路基板的熱釋電傳感器陣列。熱釋電傳感器陣列由熱釋電體板、形成于熱釋電體板的多個熱釋電傳感器(熱釋電元件)構(gòu)成。在這樣構(gòu)成的熱釋電型紅外線檢測裝置中,存在因熱釋電元件的配置而導(dǎo)致熱釋電元件的紅外線檢測靈敏度(檢測靈敏度)出現(xiàn)偏差的情形。例如,根據(jù)專 利文獻(xiàn)1,配置于熱釋電體板中央附近的紅外線傳感器元件(熱釋電元件)與配置于熱釋電體板端部附近的紅外線傳感器元件相比,由于因紅外線產(chǎn)生的熱容易流失(即,熱阻容易變小),由此而導(dǎo)致紅外線傳感器元件的檢測靈敏度出現(xiàn)偏差。根據(jù)專利文獻(xiàn)1,能通過在熱釋電體板的端部附近與中央附近將紅外線傳感器元件與電路基板進(jìn)行連接的焊接凸塊的橫截面的大小設(shè)為不同,來調(diào)整熱阻的偏差,由此能夠使檢測靈敏度的偏差變小。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I JP實開平7-34334號公報發(fā)明概要發(fā)明所要解決的課題但是,專利文獻(xiàn)I所公開的熱釋電型紅外線檢測裝置是通過有損于熱釋電體板與電路基板的熱絕緣來減小檢測靈敏度的偏差。更具體而言,熱釋電體板產(chǎn)生的熱主要從端部附近向電路基板流失,來減小檢測靈敏度的偏差。因此,熱釋電體板整體的檢測靈敏度降低。另外,熱釋電元件的檢測靈敏度也較大地受到電路基板中的靜電電容的影響。詳細(xì)而言,電路基板具備:形成于熱釋電體板的外側(cè)的電位檢測電路、將熱釋電元件的連接電極與電位檢測電路分別進(jìn)行連接的導(dǎo)體圖案。將熱釋電體板的中央附近的熱釋電元件與電位檢測電路進(jìn)行連接的中央部的導(dǎo)體圖案的長度比將熱釋電體板的端部附近的熱釋電元件與電位檢測電路進(jìn)行連接的端部的導(dǎo)體圖案的長度要長。由此,在中央部的導(dǎo)體圖案產(chǎn)生的靜電電容比在端部的導(dǎo)體圖案產(chǎn)生的靜電電容大。換言之,熱釋電體板的端部附近的熱釋電元件與中央附近的熱釋電元件產(chǎn)生相互不同的靜電電容,由此,熱釋電元件的檢測靈敏度出現(xiàn)偏差。而且,由于上述的靜電電容的偏差,熱釋電元件的連接電極的電位達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)為止的時間響應(yīng)特性也發(fā)生偏差。即便能夠通過獨立設(shè)定電位檢測電路的放大率的復(fù)雜的操作來調(diào)整上述的檢測靈敏度的偏差,卻不能調(diào)整時間響應(yīng)特性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供不損害熱釋電體板和電路基板的熱絕緣,能夠使因熱釋電體板中的熱釋電元件的配置而引起的檢測靈敏度以及時間響應(yīng)特性的偏差減小的熱釋電傳感器陣列以及熱釋電型紅外線檢測裝置。解決課題的手段本發(fā)明的一側(cè)面提供一種熱釋電傳感器陣列,其能夠安裝于電路基板,且具備熱釋電體板、形成于所述熱釋電體板的多個熱釋電元件,其中,所述熱釋電體板具有用于設(shè)置到所述電路基板上的連接面,所述多個熱釋電元件由在規(guī)定的配置方向上配置于所述熱釋電體板的端緣部的端緣部熱釋電元件和配置于所述熱釋電體板的中央部的中央部熱釋電元件構(gòu)成,所述多個熱釋電元件的各熱釋電元件具備形成在所述連接面上的相鄰的2個連接電極,所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極間的靜電電容比所述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極間的靜電電容大。另外,根據(jù)本發(fā)明的其他的側(cè)面,可獲得一種熱釋電型紅外線檢測裝置,其具備所述熱釋電傳感器陣列、用于安裝所述熱釋電傳感器陣列的電路基板,其中,所述電路基板具備:用于設(shè)置所述熱釋電傳感器陣列的所述連接面的搭載部;設(shè)于所述搭載部的外側(cè)的多個電位檢測電路;接地部;多個導(dǎo)體圖案;和多個接地導(dǎo)體圖案,所述導(dǎo)體圖案將所述2個連接電極中的一方與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接,所述接地導(dǎo)體圖案將所述2個連接電極中的另一方與所述接地部進(jìn)行電連接。發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明,通過將配置于熱釋電體板的端緣部的熱釋電元件的2個連接電極間的靜電電容設(shè)定得比配置于熱釋電體板的中央部的熱釋電元件的2個連接電極間的靜電電容大,能夠不損害熱釋電體板與電路基板的熱絕緣地,使熱釋電元件的檢測靈敏度以及時間響應(yīng)特性的偏差變小。通過參照添加的附圖對下述的最佳實施方式說明進(jìn)行研討,能夠正確地理解本發(fā)明的目的,并且能夠更完全地理解其構(gòu)成。


圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置的分解立體圖。其中,以雙點劃線表示用于搭載熱釋電傳感器陣列的電路基板的搭載部。圖2是表示圖1的熱釋電傳感器陣列的受光面的俯視圖。圖3是表示圖1的熱釋電傳感器陣列的連接面的俯視圖。圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式的熱釋電傳感器陣列的連接面的俯視圖。圖5是表示本發(fā)明的第3實施方式的熱釋電傳感器陣列的受光面的俯視圖。圖6是表示圖5的熱釋電傳感器陣列的連接面的俯視圖。圖7是表示圖5的熱釋電傳感器陣列的電極與電路基板的電極的對應(yīng)的模式圖。圖8是表示與圖7中示意性表示的配置于熱釋電型紅外線檢測裝置的端緣部的熱釋電兀件相關(guān)的電路圖。圖9是表示本發(fā)明的第4實施方式的熱釋電傳感器陣列的連接面的俯視圖。圖10是表示本發(fā)明的第5實施方式的電路基板的頂面圖。其中,以雙點劃線表示搭載于電路基板的熱釋電傳感器陣列的外形。圖11是表示本發(fā)明的第6實施方式的熱釋電傳感器陣列的連接面的俯視圖。圖12是表示圖11的連接面的一部分的放大俯視圖。圖12(a)中表示配置于中央部(圖11的虛線A的部分)的連接電極群。圖12(b)中表示配置于端緣部(圖11的虛線B的部分)的連接電極群。
具體實施例方式關(guān)于本發(fā)明,能夠以多種多樣的變形、各種的方式來實現(xiàn),作為一個示例,以下,對附圖所示的特定的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。附圖以及實施方式并不是將本發(fā)明限定于在此公開的特定的方式,在添加的權(quán)利要求書中明示的范圍內(nèi)所進(jìn)行的所有變形例、均等物、代替例均包含其中。(第I實施方式)如圖1所示,本發(fā)明的第I實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具備熱釋電傳感器陣列1、用于安裝熱釋電傳感器陣列I的電路基板4。換言之,熱釋電傳感器陣列I構(gòu)成為可安裝于電路基板4。如圖1至圖3所示,熱釋電傳感器陣列I具備:由熱釋電體構(gòu)成的熱釋電體板10、形成于熱釋電體板10的多個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)20以及多個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)30。本實施方式的熱釋電體板10按照成為向相互正交的2方向(第I方向以及第2方向)進(jìn)行延伸的平板狀的方式形成。詳細(xì)而言,熱釋電體板10具有用于接收紅外線的矩形形狀的受光面11、設(shè)置于電路基板4上的矩形形狀的連接面12,受光面11與連接面12沿著第I方向以及第2方向相互平行地延伸。本實施方式的熱釋電體板10在圖2以及圖3的上下方向(第2方向)上的兩端具有端部13。如圖1所示,根據(jù)本實施方式,熱釋電元件20配置在第2方向(配置方向)上的端部13附近,熱釋電元件30配置在配置方向上的中間部分。換言之,在規(guī)定的配置方向(第2方向)上,熱釋電元件20配置在熱釋電體板10的端緣部,熱釋電元件30配置在熱釋電體板10的中央部。根據(jù)本實施方式,各端部13的附近形成有2個熱釋電元件20,2個端部13的中間部分形成有4個熱釋電元件30。如圖1至圖3所示,熱釋電元件20以及熱釋電元件30分別由形成于熱釋電體板10的受光面11的受光電極群25、形成于連接面12的連接電極群21、以及被受光電極群25與連接電極群21所夾持的熱釋電體板10的一部分來形成,由此,作為熱釋電傳感器而發(fā)揮功能。如圖2所示,本實施方式的受光電極群25具備2個矩形形狀的受光電極26、由導(dǎo)體構(gòu)成且將2個受光電極26相互進(jìn)行連接的連接圖案28。換言之,受光電極群25的2個受光電極26通過連接圖案28進(jìn)行電連接。如圖3所示,連接電極群21具備矩形 形狀的第I連接電極(連接電極)22、矩形形狀的第2連接電極(連接電極)23。根據(jù)本實施方式,連接電極22與連接電極23在與連接面12平行的第I方向(圖3的左右方向)上對置。詳細(xì)而言,連接電極22與連接電極23分別具有沿著第2方向延伸的對置邊221、對置邊231,對置邊221與對置邊231在第I方向上相互對置。換言之,熱釋電元件20以及熱釋電元件30分別具備形成在連接面12上的相鄰的連接電極22以及23 (即,2個連接電極)。基于圖1至圖3理解可知,連接電極22與受光電極26夾著熱釋電體板10相對地形成。相同地,連接電極23與受光電極26夾著熱釋電體板10相對地形成?;谏鲜稣f明理解可知,本實施方式的熱釋電元件20以及30分別作為所謂雙重型的熱釋電傳感器而發(fā)揮功能。因此,在對受光電極26的I個電極照射紅外線時,在連接電極22與連接電極23之間將產(chǎn)生電位。此時,對置邊221與對置邊231作為連接電極22和連接電極23之間的電容器而發(fā)揮功能。換言之,對置邊221以及231是在連接電極22以及23 ( S卩,2個連接電極)中使其產(chǎn)生靜電電容的部位。 如圖3所示,熱釋電元件20的連接電極22以及23 ( S卩,端緣部的連接電極)的面積比熱釋電元件30的連接電極22以及23( S卩,中央部的連接電極)的面積大。更具體而言,根據(jù)本實施方式,熱釋電元件20的對置邊221 (或者對置邊231)的長度比熱釋電元件30的對置邊221 (或者對置邊231)的長度長。換言之,在與第I方向正交、且與連接面12平行的第2方向上,熱釋電元件20的連接電極22以及23的長度比熱釋電元件30的連接電極22以及23的長度長。因此,熱釋電元件20的連接電極22和連接電極23之間的靜電電容比熱釋電元件30的連接電極22和連接電極23之間的靜電電容大。如圖1所示,電路基板4具備與熱釋電傳感器陣列I的連接面12對置的基板側(cè)連接面42。在基板側(cè)連接面42設(shè)有用于設(shè)置連接面12的搭載部44。電路基板4還具備多個電位檢測電路80、接地部(未圖示)、多個電路側(cè)第I電極(電路側(cè)電極)52、多個電路側(cè)第2電極(電路側(cè)電極)56、多個導(dǎo)體圖案60、多個接地導(dǎo)體圖案62。電位檢測電路80是用于對熱釋電元件20以及30各自產(chǎn)生的電位進(jìn)行檢測的電路,設(shè)于搭載部44的外側(cè)。熱釋電傳感器陣列I安裝于電位檢測電路80時,電位檢測電路80位于熱釋電傳感器陣列I的外側(cè)。根據(jù)本實施方式,熱釋電傳感器陣列I的2個端部13的各端部附近配置有4個電位檢測電路80。

基于圖1以及圖3理解可知,電路側(cè)電極52以及56分別形成在與連接面12的連接電極22以及23對應(yīng)的位置。更具體而言,根據(jù)本實施方式,由電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56構(gòu)成的電路側(cè)電極群(電極對)50形成有8個,電極對50分別與熱釋電元件20或者熱釋電元件30對應(yīng)。在連接面12設(shè)置于搭載部44時,連接電極22位于對應(yīng)的電路側(cè)電極52上,連接電極23位于對應(yīng)的電路側(cè)電極56上?;趫D1理解可知,導(dǎo)體圖案60將電路側(cè)電極52與電位檢測電路80電連接,接地導(dǎo)體圖案62將電路側(cè)電極56與接地部(未圖示)電連接。與位于電路基板4的中央部的(即,與熱釋電元件30對應(yīng)的)電路側(cè)電極52連接的導(dǎo)體圖案60比位于電路基板4的電位檢測電路80附近的(S卩,與熱釋電元件20對應(yīng)的)電路側(cè)電極52連接的導(dǎo)體圖案60要較長地引繞。將以上那樣構(gòu)成的熱釋電傳感器陣列I安裝到電路基板4時,在電路側(cè)電極52以及56上涂覆粘接劑(例如,焊接膏或者主要含有導(dǎo)電粉末與結(jié)合材的導(dǎo)電粘接劑)。其次,按照連接面12與搭載部44隔開規(guī)定的間隔并平行地延伸的方式,將連接面12設(shè)置到搭載部44上。詳細(xì)而言,連接電極22以及23按照位于對應(yīng)的電路側(cè)電極52以及56的正上方的方式進(jìn)行位置對準(zhǔn)后暫時固定。其次,將連接電極22以及23與對應(yīng)的電路側(cè)電極52以及56進(jìn)行電連接/固定。例如,作為粘接劑而使用焊接膏的情況下,能夠通過回流焊來進(jìn)行連接/固定。作為粘接劑而使用導(dǎo)電粘接劑的情況下,例如能通過硬化處理來進(jìn)行連接/固定。通過以上的操作,能夠?qū)後岆妭鞲衅麝嚵蠭與電路基板4電連接。基于圖1以及圖3理解可知,在熱釋電傳感器陣列I與電路基板4進(jìn)行了電連接的連接狀態(tài)下,導(dǎo)體圖案60將連接電極22 ( S卩,連接電極22以及23中的一方)與電位檢測電路80電連接,接地導(dǎo)體圖案62將連接電極23 ( S卩,連接電極22以及23中的另一方)與接地部(未圖示)電連接。由此,在對熱釋電元件20(或者熱釋電元件30)的受光電極26照射紅外線時,導(dǎo)體圖案60與接地導(dǎo)體圖案62作為電容器發(fā)揮功能,在電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56之間,產(chǎn)生由導(dǎo)體圖案60與接地導(dǎo)體圖案62引起的第I靜電電容。換言之,電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56構(gòu)成的電極對50在連接狀態(tài)下具有第I靜電電容。將熱釋電元件20的連接電極22與電位檢測電路80電連接的導(dǎo)體圖案60的長度比將熱釋電元件30的連接電極22與電位檢測電路80電連接的導(dǎo)體圖案60的長度短。因此,與熱釋電元件20對應(yīng)的電極對50的第I靜電電容比與熱釋電元件30對應(yīng)的電極對50的第I靜電電容小。S卩,第I靜電電容有偏差。如上所述,連接電極22和連接電極23之間也產(chǎn)生靜電電容。因此,連接狀態(tài)下,在電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56之間產(chǎn)生由連接電極22與連接電極23引起的第2靜電電容。
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基于以上的說明理解可知,連接狀態(tài)下,電極對50具有由第I靜電電容以及第2靜電電容的雙方所得到的合計靜電電容。通過調(diào)整第2靜電電容,能夠抵消第I靜電電容的偏差。更具體而言,根據(jù)本實施方式,通過使熱釋電元件30的對置邊221以及231的長度變短(即,減小連接電極22以及23的面積),減輕或抵消電極對50的合計靜電電容的偏差,由此能夠減小熱釋電元件20以及30的紅外線檢測靈敏度(檢測靈敏度)以及時間響應(yīng)特性的偏差。另外,在由于熱釋電元件20以及30的熱阻不同而引起的檢測靈敏度的偏差較大而無法忽視的情況下,通過有意地使合計靜電電容發(fā)生偏差來使檢測靈敏度均衡化。更具體而言,連接狀態(tài)下,按照與熱釋電元件20對應(yīng)的電極對50的合計靜電電容比與熱釋電元件30對應(yīng)的電極對50的合計靜電電容大的方式進(jìn)行調(diào)整即可。其中,通過進(jìn)行這樣的調(diào)整的情況下,需要考慮對時間響應(yīng)特性的影響。而且,通過利用導(dǎo)電粘接劑將連接電極22以及23和電路側(cè)電極52以及56進(jìn)行連接,能夠提聞熱釋電傳感器陣列I與電路基板4的熱絕緣性。因此,能夠進(jìn)一步提聞檢測靈敏度。(第2實施方式)基于圖4理解可知,本發(fā)明的第2實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具備與第I實施方式的電路基板4相同地構(gòu)成的電路基板(未圖示)、搭載于電路基板的熱釋電傳感器陣列l(wèi)a。本實施方式的熱釋電傳感器陣列Ia與熱釋電傳感器陣列I相同地呈平板狀地形成。詳細(xì)而言,熱釋電傳感器陣列Ia具備與第I實施方式相同地構(gòu)成的熱釋電體板10。在熱釋電體板10形成8個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)20a、4個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)30a,熱釋電元件20a以及30a沿規(guī)定的配置方向(第2方向)而配置。詳細(xì)而言,熱釋電元件20a在配置方向上配置于熱釋電體板10的端部13附近(B卩,熱釋電體板10的端緣部),熱釋電元件30a在配置方向上配置在熱釋電元件20a之間(即,熱釋電體板10的中央部)。熱釋電元件20a以及30a分別與第I實施方式的熱釋電元件20以及30相同地,按照由形成于受光面11的受光電極群(未圖示)、形成于連接面12的連接電極群21a夾持熱釋電體板10的一部分的方式來形成。連接電極群21a具有在第I方向上對置的第I連接電極(連接電極)22a和第2連接電極(連接電極)23a。詳細(xì)而言,連接電極22a與連接電極23a分別具有沿第2方向相互平行地進(jìn)行延伸的對置邊221a和對置邊231a。在熱釋電傳感器陣列Ia與電路基板(未圖示)相連接的連接狀態(tài)下,連接電極22a是與形成于電路基板的電位檢測電路(未圖示)進(jìn)行電連接的部位,在連接狀態(tài)下,連接電極23a是與形成于電路基板的接地部(未圖示)電連接的部位?;谝陨系恼f明理解可知,連接狀態(tài)下,對置邊221a和對置邊231a之間產(chǎn)生靜電電容。根據(jù)本實施方式,與第I實施方式相同地,熱釋電元件20的對置邊221a(對置邊231a)比熱釋電元件30的對置邊221a(對置邊231a)長。而且,熱釋電元件20的對置邊221a和對置邊231a之間的距離(D20a)比熱釋電元件30的對置邊221a和對置邊231a之間的距離(D30a)短。換言之,在第I方向上,熱釋電體板10的端緣部附近的連接電極22a與連接電極23a之間的距離(間隔)比熱釋電體板10的中央部的連接電極22a和連接電極23a之間的距離(間隔)短。連接電極22a以及23a的間隔變小時靜電電容變大。因此,在配置于熱釋電體板10的端緣部附近的熱釋電元件20a所產(chǎn)生的靜電電容比在配置于熱釋電體板10的中央部的熱釋電元件30a所產(chǎn)生的靜電電容大?;谝陨系恼f明理解可知,通過調(diào)整熱釋電元件20a以及30a的連接電極22a以及23a中使靜電電容產(chǎn)生的部位(對置邊221a以及231a)之間的距離,與第I實施方式相同地,能夠減輕或抵消合計靜電電容的偏差。 (第3實施方式)如圖5至圖7所示,本發(fā)明的第3實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具備電路基板4b、搭載于電路基板4b的熱釋電傳感器陣列l(wèi)b。熱釋電傳感器陣列Ib與熱釋電傳感器陣列I以及Ia相同地,呈平板狀地形成。在熱釋電體板10形成4個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)20b、2個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)30b。熱釋電元件20b以及30b沿規(guī)定的配置方向(第2方向)進(jìn)行配置。詳細(xì)而言,根據(jù)本實施方式,在熱釋電體板10的配置方向上的端部13附近,2個熱釋電元件20b在第I方向上相鄰地配置,在熱釋電體板10的配置方向上的中央部,按照2個熱釋電元件30b在第I方向上相鄰的方式配置。熱釋電元件20b以及30b分別由形成在受光面11的受光電極群25b、形成在連接面12的連接電極群21b、和在受光電極群25b與連接電極群21b之間被夾持的熱釋電體板10的一部分構(gòu)成。如圖5所示,本實施方式的受光電極群25b具有分別位于假設(shè)的矩形的4角部的4個受光電極26、由導(dǎo)體構(gòu)成的4個連接圖案28。連接圖案28將相鄰的2個受光電極26相互地連接。換言之,受光電極群25的4個受光電極26通過連接圖案28而進(jìn)行電連接。
如圖6所示,本實施方式的連接電極群21b具有2個第I連接電極(連接電極)22b、2個第2連接電極(連接電極)23b。在熱釋電傳感器陣列Ib和電路基板4b連接的連接狀態(tài)下,連接電極22b是與形成于電路基板4b的電位檢測電路(未圖示)進(jìn)行電連接的部位,在連接狀態(tài)下,連接電極23b是與形成于電路基板4b的接地部(未圖示)電連接的部位。連接電極22b以及23b分別經(jīng)由熱釋電體板10而與受光電極26相對地配置,連接電極22b與連接電極23b在與連接面12平行的第2方向上進(jìn)行對置。詳細(xì)而言,連接電極22b與連接電極23b分別具有沿第I方向相互平行地延伸的對置邊221b和對置邊231b。熱釋電元件20b的連接電極22b具有從對置邊221b沿著第2方向延伸的梳齒圖案222b。相同地,熱釋電元件20b的連接電極23b具有從對置邊231b沿著第2方向延伸的梳齒圖案232b。換言之,熱釋電元件20b的連接電極22b以及23b分別具有朝著對置的連接電極23b或者22b沿著第2方向進(jìn)行延伸的梳齒圖案222b或者232b。另一方面,在熱釋電元件30b的連接電極22b以及23b未設(shè)梳齒圖案222b以及232b。本實施方式的梳齒圖案222b以及232b分別由3根導(dǎo)體圖案(梳齒)形成,梳齒圖案222b與梳齒圖案232b按照在一方的梳齒之間插入另一方的梳齒的方式進(jìn)行組合。換言之,連接電極22b的(即,2個連接電極22b以及23b的一方的)梳齒圖案222b和連接電極23b的(即,2個連接電極22b以及23b的另一方的)梳齒圖案232b與第2方向正交、且在與連接面12平行的第I方向上對置。

如基于以上的說明理解可知,連接狀態(tài)下,對置邊221b和對置邊231b之間產(chǎn)生靜電電容,并且,梳齒圖案222b與梳齒圖案232b之間產(chǎn)生更大的靜電電容。梳齒圖案222b與梳齒圖案232b是連接電極22b以及連接電極23b中最接近的部位。因此,通過增大由梳齒圖案222b與梳齒圖案232b規(guī)定的區(qū)域,能夠進(jìn)一步增大靜電電容。更具體而言,例如,通過增加梳齒的根數(shù),或者增長梳齒的長度,能夠進(jìn)一步增大靜電電容。如上所述,通過僅在熱釋電元件20b設(shè)置梳齒圖案222b以及232b,與第I實施方式相同地,能夠減輕或抵消合計靜電電容的偏差。如基于圖5至圖7理解可知,在本實施方式的電路基板4b形成有分別與熱釋電元件20b以及30b對應(yīng)的電路側(cè)電極群50b。電路側(cè)電極群50b具有2個電路側(cè)第I電極(電路側(cè)電極)52以及53、2個電路側(cè)第2電極(電路側(cè)電極)56以及57。電路側(cè)電極52以及53分別與2個電位檢測電路(未圖示)電連接,連接狀態(tài)下,分別與2個連接電極22b電連接。另一方面,電路側(cè)電極56以及57與接地部(未圖示)電連接,在連接狀態(tài)下,分別與2個連接電極23b電連接。如基于以上的說明理解可知,根據(jù)本實施方式,通過熱釋電元件20b以及30b,分別形成所謂的四重型的熱釋電傳感器。具體來說,例如關(guān)于熱釋電元件20b,如圖8(a)所示,電路側(cè)電極52以及53與高電阻Rl的一端、以及由FET (Field effect transistor:場效應(yīng)晶體管)構(gòu)成的FETl的柵極進(jìn)行連接,電路側(cè)電極56以及57與高電阻Rl的另一端、以及接地部連接。而且,在熱釋電元件20b的電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56之間,主要產(chǎn)生與在梳齒圖案222b與梳齒圖案232b之間的間隙所相應(yīng)的較大的靜電電容Cl。相同地,在熱釋電元件20b的電路側(cè)電極53與電路側(cè)電極57之間也產(chǎn)生靜電電容Cl。通過上述的電路配置,熱釋電元件20將在受光電極26中作為電連接的2個雙重型熱釋電傳感器發(fā)揮功能。在這樣地進(jìn)行電路配置的情況下,只要對4個受光電極26的任意一個電極入射紅外線,則能夠通過FETl檢測出。
如圖8(b)所示的電路是在圖8(a)的電路中追加了高電阻R2與FET2的電路。電路側(cè)電極57與高電阻R2的一端、以及FET2的柵極進(jìn)行連接,高電阻R2的另一端與電路側(cè)電極56連接。而且,在電路側(cè)電極56與電路側(cè)電極57之間產(chǎn)生靜電電容C2 (參照圖7的配置)。在這樣地進(jìn)行電路配置的情況下,能夠增大紅外線入射范圍。更具體而言,例如即使對與電路側(cè)電極53對應(yīng)的受光電極26和與電路側(cè)電極57對應(yīng)的受光電極26的雙方同時入射了紅外線的情況下,也能夠通過FET2檢測出。而且,通過略微對圖5所示的受光電極群25b的構(gòu)成進(jìn)行變更(詳細(xì)而言,通過在第I方向上將用于連接相鄰的2個受光電極26的連接圖案28進(jìn)行切斷),能夠構(gòu)成圖8 (c)所不的電路。圖8(c)所不的電路是對圖8(a)的電路追加了聞電阻R3與FET3的電路。電路側(cè)電極53與高電阻R3的一端、以及FET3的柵極進(jìn)行連接,高電阻R3的另一端與電路側(cè)電極56連接。而且,在電路側(cè)電極53與電路側(cè)電極56之間產(chǎn)生靜電電容C3。在這樣地進(jìn)行電路配置的情況下,能夠增大紅外線入射范圍。更具體而言,例如即使對與電路側(cè)電極53對應(yīng)的受光電極26、與電路側(cè)電極56對應(yīng)的受光電極26的雙方同時入射紅外線的情況下,也能夠通過FET3來檢測出。即使在圖8(a) (C)的任意一種電路中,使用FET以外的電子部件也能夠?qū)後岆妭鞲衅鞯碾娢贿M(jìn)行檢測。例如,能夠使用其中利用了 OP放大器的高輸入阻抗的電位檢測元件來檢測出電位。(第4實施方式)根據(jù)圖9理解可知,本發(fā)明的第4實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置與已經(jīng)說明的實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置相同地構(gòu)成。更具體而言,第4實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具有:平板狀的熱釋電傳感器陣列l(wèi)c、用于搭載熱釋電傳感器陣列Ic的電路基板(未圖示)。第4實施方式的熱釋電體板10具有以圖9的假想線(IL)為邊界線的第I區(qū)域和第2區(qū)域。如圖9所示,在熱釋電體板10`的第I區(qū)域中形成2個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)20c、I個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)30c,熱釋電元件30c在規(guī)定的配置方向(第2方向)上配置于2個熱釋電元件20c之間。熱釋電元件20c以及30c分別與已經(jīng)說明的實施方式相同地,具備形成在受光面11的受光電極群(未圖示)、形成在連接面12的連接電極群21c。連接電極群2Ic與3實施方式相同地,具有2個第I連接電極(連接電極)22c與第2連接電極(連接電極)23c的對。連接電極22c及連接電極23c與第I以及第2實施方式相同地,在與連接面12平行的第I方向上進(jìn)行對置。在熱釋電傳感器陣列Ic和電路基板(未圖示)進(jìn)行連接的連接狀態(tài)下,連接電極22c是與形成于電路基板的電位檢測電路(未圖示)進(jìn)行電連接的部位,在連接狀態(tài)下,連接電極23c是與形成于電路基板的接地部(未圖示)進(jìn)行電連接的部位。連接電極22c以及23c分別具有延長圖案223c以及233c。延長圖案223c (延長圖案233c)從連接電極22c (連接電極23c)導(dǎo)出,沿著連接電極22c (連接電極23c)的外周而延伸,由此,第I方向上形成在接近的位置相互平行地延伸的對置部224c (對置部234c)。換言之,延長圖案223c (延長圖案233c)從連接電極22c (連接電極23c)起圍繞連接電極22c (連接電極23c)的方式進(jìn)行延伸,在第I方向上部分地進(jìn)行對置?;谝陨系恼f明理解可知,連接狀態(tài)下,延長圖案223c的對置部224c與延長圖案233c的對置部234c之間將產(chǎn)生靜電電容。熱釋電元件20c的(即,形成于熱釋電體板10的端部13的附近的)連接電極22c (連接電極23c)的延長圖案223c (延長圖案233c)按照沿著連接電極22c (連接電極23c)的外周而折返的方式進(jìn)行延伸。另一方面,關(guān)于熱釋電元件30c的(S卩,形成于熱釋電體板10的中央部的)連接電極22c (連接電極23c)的延長圖案223c (延長圖案233c),通過對按照沿著連接電極22c (連接電極23c)的外周而折返的方式進(jìn)行延伸的導(dǎo)體圖案在中途進(jìn)行切斷來形成。由此,熱釋電元件30c的延長圖案223c(延長圖案233c)的附近形成有切斷片225c (切斷片235c)。根據(jù)圖9理解可知,熱釋電元件20c的延長圖案223c以及233c的面積比熱釋電元件30c的延長圖案223c以及233c的面積大。詳細(xì)而言,熱釋電元件20c的對置部224c以及234c的長度比熱釋電元件30c的對置部224c以及234c的長度長。換言之,熱釋電元件20c的延長圖案223c以及233c中的相對置的部分的長度比熱釋電元件30c的延長圖案223c以及233c中的相對置的部分的長度長。而且,熱釋電元件20c的連接電極22c與連接電極23c之間的距離比熱釋電元件30c的連接電極22c與連接電極23c之間的距離小。詳細(xì)而言,熱釋電元件20的對置部224c與對置部234c之間的距離(D20c)比熱釋電元件30的對置部224c與對置部234c之間的距離(D30c)短。換言之,在第I方向上,熱釋電元件20的延長圖案223c以及233c中的相對置的部分之間的距離比熱釋電元件30的延長圖案223c以及233c中的相對置的部分之間的距離短。因此,能夠?qū)⑴渲糜跓後岆婓w板10的端緣部附近的熱釋電元件20c所產(chǎn)生的靜電電容設(shè)為比配置在熱釋電體板10的中央部的熱釋電元件30c所產(chǎn)生的靜電電容大?;谝陨系恼f明理解可知,即使根據(jù)本實施方式,也能夠取得與第I至第3實施方式相同的效果。而且,根據(jù)本實施方式,熱釋電元件30c的連接電極22c以及23c中的相互的電場干擾通過與任意一連接電極22c以及23c都絕緣的切斷片225c以及235c而進(jìn)行屏蔽,由此能夠抑制電位的相互 干擾(電位干擾)。本實施方式的切斷片225c以及235c在熱釋電元件30c的連接電極22c (連接電極23c)形成與熱釋電元件20c的延長圖案223c (延長圖案233c)相同長度的導(dǎo)體圖案,能夠通過將其前端部分由諸如激光修整器來實施切斷,進(jìn)而形成。通過上述那樣地形成,能夠同時形成熱釋電元件30c的延長圖案223c (延長圖案233c)與切斷片225c (切斷片235c)。在切斷長的導(dǎo)體圖案的前端部分時,首先,關(guān)于連接電極22c以及23c的各連接電極,在使熱釋電體板10整體均一地發(fā)生溫度變化時獲得在受光電極(未圖示)之間發(fā)生的電位差。其次,基于取得的電位差,獲得配置于熱釋電體板10的熱釋電元件20c以及30c的檢測靈敏度分布(即,熱釋電體板10自身的檢測靈敏度分布)。其次,獲得熱釋電型紅外線檢測裝置整體的檢測靈敏度的偏差變小的切斷位置。更具體而言,考慮電路基板(未圖示)中的靜電電容同時調(diào)整熱釋電體板10自身的材料特性分布(即,檢測靈敏度分布),由此獲得切斷位置。切斷片225c以及235c也可以通過將導(dǎo)體圖案進(jìn)行局部切斷以外的方法來形成。例如,也可以形成為延長圖案223c、延長圖案233c、切斷片225c以及切斷片235c分別相分離的圖案。這樣,能夠以更單純的工序來形成切斷片225c以及235c。在此,通過對導(dǎo)體圖案局部地切斷的方法形成的情況更能使檢測靈敏度分布變得均勻。根據(jù)圖9理解可知,在熱釋電體板10的第2區(qū)域配置有與第I區(qū)域相同地形成的2個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)、I個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)。在連接面12的第2區(qū)域形成與上述的3個熱釋電元件對應(yīng)的3個連接電極群21d。如圖9所示,連接電極群21d與連接電極群21c相同地構(gòu)成。更具體而言,連接電極群21d具備在第I方向上對置的2個第I連接電極(連接電極)22d和2個第2連接電極(連接電極)23d。連接電極22d以及23d分別具備按照圍繞連接電極22d以及23d的方式導(dǎo)出的延長圖案223d以及233d。另外,在形成于熱釋電體板10的配置方向(第2方向)上的中央部的連接電極22d以及23d的附近,形成與延長圖案223d以及233d分別切斷的切斷片225d以及235d。根據(jù)圖9理解可知,形成于熱釋電體板10的端部13附近的延長圖案223d以及233d的面積比形成于熱釋電體板10的中央部的延長圖案223d以及233d的面積要大。詳細(xì)而言,形成于熱釋電體板10的端部13附近的延長圖案223d以及233d的相對置的部位的長度比形成于熱釋電體板10的中央部的延長圖案223d以及233d的相對置的部位的長度要長。而且,形成于熱釋電體板10的端部13附近的連接電極22d與連接電極23d之間的距離比形成于熱釋電體板10的中央部的連接電極22d和連接電極23d之間的距離要小?;谝陨系恼f明理解可知,通過第2區(qū)域的構(gòu)成,也能夠獲得與第I區(qū)域的構(gòu)成相同的效果O如圖9所示,連接電極22d與連接電極23d之間,設(shè)有屏蔽圖案(電場屏蔽物)16d。電場屏蔽物16d按照圍繞連接電極22d以及連接電極23d的各個電極的方式形成。詳細(xì)而言,電場屏蔽物16d具備:圍繞延長圖案223d以及233d的外側(cè)(即,連接電極群21d的外側(cè))的部位、在延長圖案223d與延長圖案233d之間延伸的部位、在2個延長圖案223d (延長圖案233d)之間延伸的部位。通過形成上述 的電場屏蔽物16d,與形成切斷片225c以及235c的情況相同地,能夠抑制在連接電極22d與連接電極23d之間以及2個連接電極22d(連接電極23d)之間所產(chǎn)生的電位干擾。在連接面12形成有諸如與電路基板的接地部(未圖示)連接的接地電極14d。通過將電場屏蔽物16d與接地電極14d進(jìn)行連接,能夠使電場屏蔽物16d接地,由此能夠防止由外部電場所產(chǎn)生的連接電極22d以及23d的噪聲。本實施方式中,在連接面12的第I區(qū)域與第2區(qū)域形成相互不同的導(dǎo)體圖案。但是,也可以將第I區(qū)域與第2區(qū)域相同地形成。(第5實施方式)根據(jù)圖10理解可知,本發(fā)明的第5實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具備:具有熱釋電體板10的熱釋電傳感器陣列(未圖示)、用于搭載熱釋電傳感器陣列的電路基板4c。如圖10所示,本實施方式的電路基板4c具備:用于搭載熱釋電體板10的搭載部44、12個電位檢測電路80、接地部(未圖示)、8個電路側(cè)第I電極(電路側(cè)電極)52、4個電路側(cè)第I電極(電路側(cè)電極)52c、8個電路側(cè)第2電極(電路側(cè)電極)56、4個電路側(cè)第2電極(電路側(cè)電極)56c、8根導(dǎo)體圖案60、4根導(dǎo)體圖案60c、I根接地導(dǎo)體圖案62。本實施方式的電路基板4c相對于接地導(dǎo)體圖案62而呈鏡對稱地構(gòu)成。
根據(jù)圖10理解可知,電路側(cè)電極52、52c、56以及56c形成在與形成于熱釋電體板10的連接面的連接電極(未圖示)分別對應(yīng)的位置,在熱釋電傳感器陣列和電路基板4c的連接狀態(tài)下,將與對應(yīng)的連接電極進(jìn)行電連接。根據(jù)本實施方式,形成有由電路側(cè)電極52與電路側(cè)電極56構(gòu)成的8個電極對。該電極對與形成于熱釋電體板10的端部13附近的熱釋電元件(未圖示)對應(yīng)。另外,形成有由電路側(cè)電極52c和電路側(cè)電極56c構(gòu)成的4個電極對。該電極對與形成于熱釋電體板10的中央部的熱釋電元件(未圖示)對應(yīng)。電路側(cè)電極52以及52c通過導(dǎo)體圖案60以及60c分別與對應(yīng)的電位檢測電路80電連接。詳細(xì)而言,導(dǎo)體圖案60c與熱釋電體板10的中央部熱釋電元件(未圖示)的連接電極(未圖示)、電位檢測電路80進(jìn)行電連接,導(dǎo)體圖案60與熱釋電體板10的端緣部熱釋電元件(未圖示)的連接電極(未圖示)、電位檢測電路80進(jìn)行電連接。另一方面,電路側(cè)電極56以及56c通過接地導(dǎo)體圖案62與接地部(未圖示)進(jìn)行電連接。如圖10所示,從I個導(dǎo)體圖案60c至其他的導(dǎo)體圖案60c、導(dǎo)體圖案60以及接地導(dǎo)體圖案62為止之間的距離比從I個導(dǎo)體圖案60至其他的導(dǎo)體圖案60、導(dǎo)體圖案60c以及接地導(dǎo)體圖案62為止之間的距離長。詳細(xì)而言,根據(jù)本實施方式,在矩形形狀的電路基板的4角部分別配置3個電位檢測電路80,I根導(dǎo)體圖案60c、2根導(dǎo)體圖案60分別朝著3個電位檢測電路80進(jìn)行并列延伸。根據(jù)本實施方式,上述的導(dǎo)體圖案60c被設(shè)計成在電路基板4c的端緣部附近延伸,與相鄰的導(dǎo)體圖案60之間的距離變長。更具體而言,通過減小彼此相鄰的2根導(dǎo)體圖 案60之間的距離,來擴大導(dǎo)體圖案60c與導(dǎo)體圖案60之間的距離。通過上述那樣地構(gòu)成,能夠減小連接狀態(tài)下在電路側(cè)電極52c產(chǎn)生的靜電電容。如已經(jīng)說明的那樣,熱釋電傳感器的靜電電容不僅因熱釋電體板10的連接電極而產(chǎn)生,而且在電路基板4c的導(dǎo)體圖案60以及60c較長引繞的情況下也將產(chǎn)生。通過將與熱釋電體板10的中央部的連接電極(未圖示)電連接的導(dǎo)體圖案60c,與電路基板4c上的其他的導(dǎo)體相分離,能夠減小靜電電容。如圖10所示,在與接地導(dǎo)體圖案62連接的8個電路側(cè)電極56中的4個電路側(cè)電極56具有電路側(cè)屏蔽圖案66c。電路側(cè)屏蔽圖案66c從電路側(cè)電極56導(dǎo)出,I根電路側(cè)屏蔽圖案66c位于導(dǎo)體圖案60c和導(dǎo)體圖案60之間,另外的I根電路側(cè)屏蔽圖案66c位于2根導(dǎo)體圖案60之間。由于具備上述的電路側(cè)屏蔽圖案66c,能夠防止導(dǎo)體圖案60以及60c的相互的電位干擾。(第6實施方式)根據(jù)圖11理解可知,本發(fā)明的第6實施方式的熱釋電型紅外線檢測裝置具備呈半球形狀地形成的熱釋電傳感器陣列l(wèi)e、用于搭載熱釋電傳感器陣列Ie的電路基板(未圖示)。如圖11所示,熱釋電傳感器陣列Ie具備:由熱釋電體構(gòu)成的熱釋電體板10e、形成于熱釋電體板IOe的多個端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)20e以及多個中央部熱釋電元件(熱釋電元件)30e。本實施方式的熱釋電體板IOe形成為中央部隆起的半球形狀。詳細(xì)而言,熱釋電體板10具有接收紅外線的諸如凸面狀的受光面He、在受光面lie的相反側(cè)的面即電路基板(未圖示)上設(shè)置的連接面12e。熱釋電體板IOe在徑向上的周緣具有端部(周緣部)13e。
熱釋電元件20e配置于徑向上的端部13e附近,熱釋電元件30e配置于徑向上的中心部附近。換言之,根據(jù)本實施方式,熱釋電元件20e以及30e的配置方向是熱釋電體板IOe的徑向。根據(jù)圖11以及圖12理解可知,本實施方式的熱釋電元件20e以及30e分別具備連接電極群21e。連接電極群21e具有2個在與連接面12實質(zhì)平行的第I方向上相對置的第I連接電極(連接電極)22e和第2連接電極(連接電極)23e的電極對。與已經(jīng)說明的實施方式相同地,連接電極22e是在熱釋電傳感器陣列Ie和電路基板(未圖示)進(jìn)行了連接的連接狀態(tài)下,與形成于電路基板的電位檢測電路(未圖示)電連接的部位,連接電極23e是在連接狀態(tài)下與形成于電路基板的接地部(未圖示)電連接的部位。在連接電極22e以及23e分別形成有延長圖案223e以及233e。在熱釋電體板IOe的周緣部的連接電極群21e所形成的延長圖案223e以及233e的長度比在熱釋電體板IOe的中央部的連接電極群21e所形成的延長圖案223e以及233e的長度長。因此,能夠使配置于熱釋電體板IOe的周緣部的連接電極群21e的靜電電容比配置于熱釋電體板IOe的中央部的連接電極群21e的靜電電容要大。

基于以上的說明理解可知,根據(jù)本實施方式,與已經(jīng)說明的實施方式相同地,不會使得熱釋電傳感器陣列Ie和電路基板(未圖示)之間的熱絕緣受損,減輕或抵消靜電電容的偏差,由此,能夠減小熱釋電元件20e以及30e的紅外線檢測靈敏度(檢測靈敏度)以及時間響應(yīng)特性的偏差。本發(fā)明基于2010年10月25日向日本國特許廳提出的日本專利申請第2010-238221號,參照其內(nèi)容而得到本說明書的一部分。關(guān)于本發(fā)明的最佳實施方式進(jìn)行了說明,如本領(lǐng)域技術(shù)人員如所知那樣,在未脫離本發(fā)明的精神的范圍能夠?qū)嵤┓绞竭M(jìn)行變形,這樣的實施方式也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。標(biāo)號說明1、la、lb、lc、le 熱釋電傳感器陣列IOUOe 熱釋電體板IlUle 受光面12、12e 連接面13 端部13e 端部(周緣部)14d 接地電極16d 屏蔽圖案(電場屏蔽物)20、20a、20b、20c、20e 端緣部熱釋電元件(熱釋電元件)21、21a、21b、21c、21d、21e 連接電極群22、22a、22b、22c、22d、22e 第 I 連接電極(連接電極)23、23a、23b、23c、23d、23e 第 2 連接電極(連接電極)221、221a、221b (第I連接電極的)對置邊231、231a、231b (第2連接電極的)對置邊222b、232b 梳齒圖案
223c、223d、223e (第I連接電極的)延長圖案233c、233d、233e (第2連接電極的)延長圖案224c,234c 對置部225c、225d、235c、235d 切斷片25、25b 受:光電極群26 受光電極28 連接圖案30、30a、30b、30c、30e 中央部熱釋電元件(熱釋電元件)4、4b、4c 電路基板42 基板側(cè)連接面44 搭載部50 電路側(cè)電極群(電極對)50b 電路側(cè)電極群52、52c、53 電 路側(cè)第I電極(電路側(cè)電極)56、56c、57 電路側(cè)第2電極(電路側(cè)電極)60、60c 導(dǎo)體圖案62 接地導(dǎo)體圖案66c 電路側(cè)屏蔽圖案80 電位檢測電路
權(quán)利要求
1.一種熱釋電傳感器陣列,能夠安裝于電路基板,具備熱釋電體板、和形成于所述熱釋電體板的多個熱釋電元件,所述熱釋電傳感器陣列的特征在于, 所述熱釋電體板具有放置在所述電路基板之上的連接面, 所述多個熱釋電元件由在規(guī)定的配置方向上配置于所述熱釋電體板的端緣部的端緣部熱釋電元件和配置于所述熱釋電體板的中央部的中央部熱釋電元件構(gòu)成,所述多個熱釋電元件的各熱釋電元件具備形成在所述連接面上的相鄰的2個連接電極, 所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極間的靜電電容比所述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極間的靜電電容大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 在所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極中使所述靜電電容產(chǎn)生的部位的長度比在所述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極中使所述靜電電容產(chǎn)生的部位的長度長。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 在所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極中使所述靜電電容產(chǎn)生的部位之間的距離比在所述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極中使所述靜電電容產(chǎn)生的部位之間的距離短。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 所述2個連接電極在與所述連接面平行的第I方向上對置, 在與所述第I方向正交且與所述連接面平行的第2方向上,所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極的長度比所 述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極的長度長。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 在所述第I方向上,所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極的距離比所述中央部熱釋電元件的所述2個連接電極的距離短。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 所述2個連接電極在與所述連接面平行的第2方向上對置, 所述端緣部熱釋電元件的所述2個連接電極各自具備朝向相對置的連接電極沿著所述第2方向延伸的梳齒圖案,所述2個連接電極的一方的梳齒圖案與所述2個連接電極的另一方的梳齒圖案在與所述第2方向正交且與所述連接面平行的第I方向上對置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 所述2個連接電極在與所述連接面平行的第I方向上對置, 所述2個連接電極各自具備按照從所述連接電極起圍繞所述連接電極的方式進(jìn)行延伸并在所述第I方向上部分地對置的延長圖案, 所述端緣部熱釋電元件的所述延長圖案中的相對置的部分的長度比所述中央部熱釋電元件的所述延長圖案中的相對置的部分的長度長。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 在所述第I方向上,所述端緣部熱釋電元件的所述延長圖案中的相對置的部分之間的距離比所述中央部熱釋電元件的所述延長圖案中的相對置的部分之間的距離短。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 在所述2個連接電極之間設(shè)置有電場屏蔽物。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于,所述電場屏蔽物按照圍繞所述2個連接電極的各連接電極的方式形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 所述熱釋電體板形成為在相互正交的2方向上延伸的平板狀, 所述配置方向是所述2方向中的一個方向, 所述端緣部熱釋電元件配置于所述配置方向上的端部附近,所述中央部熱釋電元件配置于所述配置方向上的中間部附近。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列,其特征在于, 所述熱釋電體板形成為半球形狀, 所述配置方向是所述熱釋電體板的徑向, 所述端緣部熱釋電元件配置于所述配置方向上的周緣部附近,所述中央部熱釋電元件配置于所述配置方向上的中心部附近。
13.一種熱釋電型紅外線檢測裝置,其特征在于,具備權(quán)利要求1至12中任意一項所述的熱釋電傳感器陣列、用于安裝所述熱釋電傳感器陣列的電路基板, 所述電路基板具備用于 放置所述熱釋電傳感器陣列的所述連接面的搭載部、在所述搭載部的外側(cè)設(shè)置的多個電位檢測電路、接地部、多個導(dǎo)體圖案、和多個接地導(dǎo)體圖案, 所述導(dǎo)體圖案將所述2個連接電極中的一方與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接,所述接地導(dǎo)體圖案將所述2個連接電極中的另一方與所述接地部進(jìn)行電連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的熱釋電型紅外線檢測裝置,其特征在于, 將所述端緣部熱釋電元件的所述連接電極與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接的導(dǎo)體圖案的長度比將所述中央部熱釋電元件的所述連接電極與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接的導(dǎo)體圖案的長度短。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或者14所述的熱釋電型紅外線檢測裝置,其特征在于, 從將所述中央部熱釋電元件的所述連接電極與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接的導(dǎo)體圖案至其他的所述導(dǎo)體圖案以及所述接地導(dǎo)體圖案之間的距離比從將所述端緣部熱釋電元件的所述連接電極與所述電位檢測電路進(jìn)行電連接的導(dǎo)體圖案至其他的所述導(dǎo)體圖案以及所述接地導(dǎo)體圖案之間的距離長。
全文摘要
熱釋電傳感器陣列可安裝于電路基板,具備熱釋電體板、形成于所述熱釋電體板的多個熱釋電元件。熱釋電體板具有用于設(shè)置到電路基板上的連接面。多個熱釋電元件由在規(guī)定的配置方向上配置于熱釋電體板的端緣部的端緣部熱釋電元件與配置于熱釋電體板中央部的中央部熱釋電元件構(gòu)成。多個熱釋電元件的各熱釋電元件分別具備形成在連接面上的相鄰的2個連接電極。端緣部熱釋電元件的2個連接電極間的靜電電容比中央部熱釋電元件的2個連接電極間的靜電電容大。
文檔編號G01J1/02GK103229028SQ201180050560
公開日2013年7月31日 申請日期2011年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月25日
發(fā)明者藤原茂美 申請人:Nec東金株式會社
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