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擴(kuò)散片pn面認(rèn)向儀的制作方法

文檔序號:5931970閱讀:367來源:國知局
專利名稱:擴(kuò)散片pn面認(rèn)向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀。
背景技術(shù)
擴(kuò)散片是半導(dǎo)體制造過程中的半成品,其生產(chǎn)過程中需要進(jìn)行PN面的判定。傳統(tǒng)的檢測方法一是觀察法,通過區(qū)分P面和N面條紋或擴(kuò)散片的凹凸方向來判別,此方法認(rèn)向效率低且會造成一定程度的誤判。二是化學(xué)方法,取出部分?jǐn)U散片,放置于混酸測試溶液中,根據(jù)擴(kuò)散片PN面的不同腐蝕速率來判斷PN面,判別效率低且具有破壞性。

實(shí)用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀,包括底座以及固定在底座上的支撐桿,所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架,所述的第一擺臂的一端與支架連接,另一端與第一鋼針連接,所述的第二擺臂的一端與支架連接,另一端與第二鋼針連接,在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表,所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接。所述的電加熱裝置為電烙鐵。上述方案中當(dāng)電加熱裝置接通電源后,第一鋼針就會受熱,將第一鋼針和第二鋼針的針頭部同時抵于待認(rèn)向擴(kuò)散片的同一面上,通過鋼針溫差激發(fā)電子流,電子流通過微電流放大器放大后,由接在放大器輸出端的電流表上體現(xiàn)出來。本實(shí)用新型的有益效果在于該設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單,判斷準(zhǔn)確快捷,并且不具有破壞性,可廣泛應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)和批量作業(yè)。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中1為底座,2為支架,3為托臺,4為第一鋼針,5為第二鋼針,6電烙鐵,41為第一擺臂,51為第二擺臂,7為微電流放大器,8為電流表,9為支撐桿,10為擴(kuò)散片;
具體實(shí)施方式
實(shí)施例I擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀,包括底座I以及固定在底座I上的支撐桿9,所述的支撐桿9 上固定連接有用于放置擴(kuò)散片10的托臺3,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針4、 第二鋼針5、第一擺臂41、第二擺臂51和支架2,所述的第一擺臂41的一端與支架2連接, 另一端與第一鋼針4連接,所述的第二擺臂51的一端與支架2連接,另一端與第二鋼針5連接,在所述的第一鋼針4的端部固定設(shè)置有一電烙鐵6,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器7和與微電流放大器7導(dǎo)線連接的電流表8,所述的微電流放大器7的另一端與支架2導(dǎo)線連接。使用時,將電烙鐵6接上電源,對其接觸的第一鋼針4加熱,將第二鋼針5和受熱的第一熱鋼針4同時抵在擴(kuò)散片10的同一面,利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流,該電子流經(jīng)微電流放大器7放大后,由電流表8讀出。
權(quán)利要求1.擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀,包括底座以及固定在底座上的支撐桿,其特征在于,所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架,所述的第一擺臂的一端與支架連接,另一端與第一鋼針連接,所述的第二擺臂的一端與支架連接,另一端與第二鋼針連接,在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表,所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀,其特征在于所述的電加熱裝置為電烙鐵。
專利摘要擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀,包括底座以及固定在底座上的支撐桿,所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架,所述的第一擺臂的一端與支架連接,另一端與第一鋼針連接,所述的第二擺臂的一端與支架連接,另一端與第二鋼針連接,在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置,所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表,所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接,本實(shí)用新型設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單,判斷準(zhǔn)確快捷,并且不具有破壞性,可廣泛應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)和批量作業(yè)。
文檔編號G01R31/26GK202351390SQ201120489368
公開日2012年7月25日 申請日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月30日
發(fā)明者宣玉龍 申請人:常州星海電子有限公司
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