專利名稱：擴(kuò)散片pn面認(rèn)向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散片是半導(dǎo)體制造過程中的半成品，其生產(chǎn)過程中需要進(jìn)行PN面的判定。傳統(tǒng)的檢測方法一是觀察法，通過區(qū)分P面和N面條紋或擴(kuò)散片的凹凸方向來判別，此方法認(rèn)向效率低且會造成一定程度的誤判。二是化學(xué)方法，取出部分?jǐn)U散片，放置于混酸測試溶液中，根據(jù)擴(kuò)散片PN面的不同腐蝕速率來判斷PN面，判別效率低且具有破壞性。

實(shí)用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀，包括底座以及固定在底座上的支撐桿，所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架，所述的第一擺臂的一端與支架連接，另一端與第一鋼針連接，所述的第二擺臂的一端與支架連接，另一端與第二鋼針連接，在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表，所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接。所述的電加熱裝置為電烙鐵。上述方案中當(dāng)電加熱裝置接通電源后，第一鋼針就會受熱，將第一鋼針和第二鋼針的針頭部同時抵于待認(rèn)向擴(kuò)散片的同一面上，通過鋼針溫差激發(fā)電子流，電子流通過微電流放大器放大后，由接在放大器輸出端的電流表上體現(xiàn)出來。本實(shí)用新型的有益效果在于該設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，判斷準(zhǔn)確快捷，并且不具有破壞性，可廣泛應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)和批量作業(yè)。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中1為底座,2為支架，3為托臺,4為第一鋼針,5為第二鋼針,6電烙鐵,41為第一擺臂，51為第二擺臂，7為微電流放大器，8為電流表，9為支撐桿，10為擴(kuò)散片；
具體實(shí)施方式
實(shí)施例I擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀，包括底座I以及固定在底座I上的支撐桿9，所述的支撐桿9 上固定連接有用于放置擴(kuò)散片10的托臺3，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針4、 第二鋼針5、第一擺臂41、第二擺臂51和支架2，所述的第一擺臂41的一端與支架2連接， 另一端與第一鋼針4連接，所述的第二擺臂51的一端與支架2連接，另一端與第二鋼針5連接，在所述的第一鋼針4的端部固定設(shè)置有一電烙鐵6，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器7和與微電流放大器7導(dǎo)線連接的電流表8，所述的微電流放大器7的另一端與支架2導(dǎo)線連接。使用時，將電烙鐵6接上電源，對其接觸的第一鋼針4加熱，將第二鋼針5和受熱的第一熱鋼針4同時抵在擴(kuò)散片10的同一面，利用同一面的鋼針溫差激發(fā)電子流，該電子流經(jīng)微電流放大器7放大后，由電流表8讀出。
權(quán)利要求1.擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀，包括底座以及固定在底座上的支撐桿，其特征在于，所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架，所述的第一擺臂的一端與支架連接，另一端與第一鋼針連接，所述的第二擺臂的一端與支架連接，另一端與第二鋼針連接，在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表，所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀，其特征在于所述的電加熱裝置為電烙鐵。
專利摘要擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀，包括底座以及固定在底座上的支撐桿，所述的支撐桿上固定連接有用于放置擴(kuò)散片的托臺，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括第一鋼針、第二鋼針、第一擺臂、第二擺臂和支架，所述的第一擺臂的一端與支架連接，另一端與第一鋼針連接，所述的第二擺臂的一端與支架連接，另一端與第二鋼針連接，在所述的第一鋼針的端部固定設(shè)置有一電加熱裝置，所述的擴(kuò)散片PN面認(rèn)向儀還包括微電流放大器和與微電流放大器導(dǎo)線連接的電流表，所述的微電流放大器的另一端與支架導(dǎo)線連接，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，判斷準(zhǔn)確快捷，并且不具有破壞性，可廣泛應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)和批量作業(yè)。
文檔編號G01R31/26GK202351390SQ201120489368
公開日2012年7月25日 申請日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月30日
發(fā)明者宣玉龍 申請人:常州星海電子有限公司