專利名稱：基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種磁傳感器的測試方法及其系統(tǒng)，尤其涉及ー種基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著消費類電子功能的日益擴展，傳感器的應(yīng)用逐步普及，并且磁傳感器已經(jīng)成為ー些手持類電子產(chǎn)品的標(biāo)配。由于磁傳感器的特殊性，一般的生產(chǎn)商都采用特制的測試系統(tǒng)進行生產(chǎn)、測試。這樣不僅大大提高了磁傳感器的成本，而且不利于磁傳感器的推廣與運用。目前，為了測試磁傳感器，需要制作一個安裝磁傳感器的測試夾具(socket)。通 常的做法是，把三十ニ個測試夾具做成一塊測試板，將該測試板固定在一個轉(zhuǎn)動的平臺上，通過伺服電機控制平臺轉(zhuǎn)動，從而控制測試板轉(zhuǎn)動到與地球磁場合適的位置，進而實現(xiàn)對磁傳感器的信號量的測試。這種測試方法需要控制平臺來回轉(zhuǎn)動若干個位置以便找到與地球磁場合適的位置，測試時間比較長，而且測試精度、測試穩(wěn)定性均受到測試夾具的精度和整個動態(tài)系統(tǒng)的影響；另外，毎次測試都需要一個個把磁傳感器從測試夾具里放入、取出，測試效率低，再加上機器自動裝卸的不便，導(dǎo)致需要更多的人工操作，由此人工錯誤相應(yīng)更多，嚴(yán)重制約測試的品質(zhì)。因此，確有必要提供一種新的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)來克服現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)效率低、穩(wěn)定性差、成本高的缺陷。本發(fā)明提供一種基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)，其利用探針實現(xiàn)磁傳感器的測試，改變了傳統(tǒng)測試需要測試夾具的限制，大大提高測試效率，并有效降低測試成本，有利于磁傳感器的大規(guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所提出的技術(shù)方案是一種基于探針的磁傳感器測試方法，其包括以下步驟根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；在X軸上設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。進ー步的，在不同實施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法，還可以應(yīng)用于測試多軸磁傳感器，例如，兩軸磁傳感器、三軸磁傳感器。
進ー步的，在一個測試兩軸磁傳感器的實施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法，其包括以下步驟根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；在X、Y軸上分別設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制X、Y軸磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X、Y軸上的磁場方向及磁場強度；根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X、Y軸的偏置輸出和/或靈敏度；通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。進ー步的，在一個測試三軸磁傳感器的實施方式中，本發(fā)明涉及的基于探針的磁 傳感器測試方法，其包括以下步驟根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；在X、Y、Z軸上分別設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制X、Y、Z軸磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X、Y、Z軸上的磁場方向及磁場強度；根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X、Y、Z軸的偏置輸出和/或靈敏度；通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。其中，在不同實施方式中，通過控制X、Y或Z軸磁線圈的電流大小和方向來控制所述測試臺X、Y或Z軸上的磁場方向及磁場強度的步驟，具體為改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)正方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為Xl (或Y1，或 Zl)；改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流方向，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)反方向的磁場；改變通過X軸(或Y軸，或Z軸)磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸(或Y軸，或Z軸)反方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X2(或Y2，或 Z2)。進ー步的，本發(fā)明涉及的測試方法中，所涉及使用的計算磁傳感器各軸偏置輸出的公式為X偏置輸出=(Xl+X2)/2 ;Y偏置輸出=(Yl+Y2)/2 ;以及Z偏置輸出=(Zl+Z2)/2。進ー步的，本發(fā)明涉及的測試方法中，所涉及使用的計算磁傳感器各軸靈敏度的公式為X靈敏度=(Xl-X2)/2/該位置X補償系數(shù)；Y靈敏度=(Yl-Y2)/2/該位置Y補償系數(shù)；以及Z靈敏度=(Zl-Z2)/2/該位置Z補償系數(shù)。進ー步的，在不同實施方式中，其中待測磁傳感器陣列排布在所述測試臺上，毎次在測試臺上陣列排布的所有待測磁傳感器測試完畢之后，生成陣列圖。進ー步的，本發(fā)明的又ー個方面還提供了ー種基于探針的磁傳感器測試系統(tǒng)，其可操作實施本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法。其所使用的技術(shù)方案為ー種基于探針的磁傳感器測試系統(tǒng)包括測試臺，待測磁傳感器放置在所述測試臺上，所述測試臺可通過電機控制移動；包括探針的探針卡，所述探針卡根據(jù)待測磁傳感器的電路制作而成，通過電機控制探針卡移動進而控制探針與測試臺上的待測磁傳感器接觸；位于X軸上的至少ー個磁線圈,通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；和數(shù)據(jù)處理裝置，根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。
進ー步的，在不同實施方式中，其還包括位于Y軸上的至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Y軸上的磁場方向及磁場強度。進ー步的，在不同實施方式中，其還包括位于Z軸上的至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Z軸上的磁場方向及磁場強度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)，其利用探針實現(xiàn)對單軸或多軸磁傳感器的測試，改變了傳統(tǒng)測試需要測試夾具的限制，使得磁傳感器的測試更具靈活性，大大提高測試密度及測試效率，使得磁傳感器的測試更具靈活性，且有效降低測試成本，有利于磁傳感器的大規(guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用。


圖I為本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)中涉及的探針卡和探針的不意圖；和圖2為本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)的實施方式的示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實施方式
。在一個本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法的實施方式中，待測磁傳感器為三軸磁傳感器。請參閱圖1，，首先，根據(jù)待測三軸磁傳感器I的電路，制作包括探針2的探針卡21，探針卡21安裝于探針臺(未顯示)，其中，探針2、探針卡21和探針臺，皆可以是業(yè)界已知的探針、探針卡和探針臺。再將待測三軸磁傳感器I按照預(yù)定的陣列排布在測試臺11上，如圖I所示，本實施方式中的待測三軸磁傳感器陣列10。然后，模擬地球磁場在X、Y、Z軸上分別制作三組磁線圈31，32，33，如圖2所示，在本實施方式中，每組磁線圈分別有兩個磁線圈，也即X、Y、Z軸每個軸有兩個磁線圏。通過控制X、Y、Z軸磁線圈31，32，33的電流大小和方向，來控制測試臺11在X、Y、Z軸上的磁場方向及磁場強度，具體包括以下步驟改變通過X、Y、Z軸磁線圈的電流大小，在待測三軸磁傳感器陣列10周圍產(chǎn)生沿X、Y、Z軸正方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為XI，Yl，Zl ;
改變通過X、Y、Z軸磁線圈的電流方向，在待測三軸磁傳感器陣列10周圍產(chǎn)生沿X、Y、Z軸反方向的磁場；改變通過X、Y、Z軸磁線圈的電流大小，在待測三軸磁傳感器陣列10周圍產(chǎn)生沿X、Y、Z軸反方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X2，Y2，Z2。根據(jù)待測磁傳感器I的輸出XI，Yl，Zl和X2，Y2，12,計算出待測磁傳感器X、Y、Z軸的偏置輸出和/或靈敏度X 偏置輸出=(X1+X2) /2，Y 偏置輸出=(Y1+Y2) /2，Z 偏置輸出=(Z1+Z2) /2，X靈敏度=(X1-X2)/2/該位置X補償系數(shù)，Y靈敏度=(Y1-Y2)/2/該位置Y補償系數(shù)，Z靈敏度=(Zl-Z2)/2/該位置Z補償系數(shù)。通過電機(未顯示)控制探針卡21沿Z軸上下移動，從而控制探針2與待測 三軸磁傳感器I的接觸，以實現(xiàn)對待測三軸磁傳感器I的測試；通過電機(未顯示)控制測試臺11沿X軸和Y軸移動，并配合探針卡21的上下移動，直至探針2對待測三軸磁傳感器陣列10中所有磁傳感器I測試完畢。測試完畢之后，生成陣列圖，以便清楚得出待測磁傳感器陣列中哪些磁傳感器是良品，哪些是次品。實施上述本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法的實施方式的對應(yīng)的測試系統(tǒng)，其包括測試臺11，待測磁傳感器I放置在測試臺11上，測試臺11可通過電機(未顯示)控制沿X軸和Y軸移動；包括探針2的探針卡21，探針卡21根據(jù)待測磁傳感器I的電路制作而成，通過電機(未顯示)控制探針卡21沿Z軸上下移動，進而控制探針2與測試臺11上的待測磁傳感器I的接觸；分別位于X、Y、Z軸上的三組磁線圈31，32，33，通過控制磁線圈的電流大小和方向，來控制測試臺11在X、Y、Z軸上的磁場方向及磁場強度；知數(shù)據(jù)處理裝置，根據(jù)待測磁傳感器I的輸出，計算出待測磁傳感器I在X、Y、Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。以上所述X、Y、Z軸指代三維空間中三個不同的軸，并不局限于具體實施方式
及附圖中對X、Y、Z軸的定義。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施方式，本發(fā)明的保護范圍并不以上述實施方式為限，但凡本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明掲示內(nèi)容所作的等效修飾或變化，皆應(yīng)納入權(quán)利要求書中記載的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于其包括以下步驟 根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；在X軸上設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度； 根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度； 通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。
2.如權(quán)利要求I所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于所述通過控制X軸磁線圈的電流大小和方向來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度的步驟，具體為 改變通過X軸磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸正方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為Xl ； 改變通過X軸磁線圈的電流方向，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸反方向的磁場； 改變通過X軸磁線圈的電流大小，在待測磁傳感器周圍產(chǎn)生沿X軸反方向的預(yù)定磁場強度的磁場，此時待測磁傳感器的輸出為X2。
3.如權(quán)利要求2所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于所述計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出的方法為，X偏置輸出=(Xl+X2)/2。
4.如權(quán)利要求2所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于所述計算出待測磁傳感器X軸的靈敏度的方法為，X靈敏度=(X1-X2) /2/該位置X補償系數(shù)。
5.如權(quán)利要求I所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于其還包括在Y軸上設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Y軸上的磁場方向及磁場強度。
6.如權(quán)利要求5所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于其還包括在Z軸上設(shè)置至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Z軸上的磁場方向及磁場強度。
7.如權(quán)利要求I所述的基于探針的磁傳感器測試方法，其特征在于所述待測磁傳感器陣列排布在所述測試臺上，毎次在測試臺上陣列排布的所有待測磁傳感器測試完畢之后，生成陣列圖。
8.ー種用于實施如權(quán)利要求I所述的基于探針的磁傳感器測試方法的測試系統(tǒng)，其特征在于所述基于探針的磁傳感器測試系統(tǒng)包括 測試臺，待測磁傳感器放置在所述測試臺上，所述測試臺可通過電機控制移動； 包括探針的探針卡，所述探針卡根據(jù)待測磁傳感器的電路制作而成，通過電機控制探針卡移動進而控制探針與測試臺上的待測磁傳感器接觸； 位于X軸上的至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；和 數(shù)據(jù)處理裝置，根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。
9.如權(quán)利要求8所述的基于探針的磁傳感器測試系統(tǒng)，其特征在于其還包括位于Y軸上的至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Y軸上的磁場方向及磁場強度。
10.如權(quán)利要求9所述的基于探針的磁傳感器測試系統(tǒng)，其特征在于其還包括位于Z軸上的至少ー個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺Z軸上的磁場方向及磁場強度。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)，其中基于探針的磁傳感器測試方法，包括以下步驟根據(jù)待測磁傳感器的電路制作包括探針的探針卡，將待測磁傳感器放置在測試臺上；在X軸上設(shè)置至少一個磁線圈，通過控制所述磁線圈的電流大小和方向，來控制所述測試臺X軸上的磁場方向及磁場強度；根據(jù)待測磁傳感器的輸出，計算出待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；通過電機控制所述探針與測試臺上待測磁傳感器的接觸，直至測試臺上待測磁傳感器全部測試完畢。本發(fā)明涉及的基于探針的磁傳感器測試方法及其系統(tǒng)，大大提高測試密度及測試效率，使得磁傳感器的測試更具靈活性，且有效降低測試成本，有利于磁傳感器的大規(guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用。
文檔編號G01R35/00GK102866374SQ201110187030
公開日2013年1月9日 申請日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月5日
發(fā)明者劉海東, 顧浩琦, 丁雪龍 申請人:美新半導(dǎo)體(無錫)有限公司