專利名稱：密閉取樣器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及多晶硅的取樣用生產(chǎn)設(shè)備，特別是一種多晶硅氯硅烷的密閉取樣
O
背景技術(shù)：
在多晶硅的生產(chǎn)過程中，傳統(tǒng)的取樣器是以取樣瓶或取樣針的方式來進行，因為 沒有一體化設(shè)計的取樣器，對取樣殘留物的處理比較困難，閥門和管路既容易堵塞又污染 環(huán)境，也不安全、不環(huán)保、不節(jié)能，非常不方便。如果能夠在安全、環(huán)保、節(jié)能的狀態(tài)下完成取樣，特別是氯硅烷的殘留物難以處理 的問題，通過一種設(shè)備一體化實現(xiàn)，那么將是多晶硅生產(chǎn)取樣中的一個重要突破，也是氯硅 烷取樣方式的一個重要突破。

實用新型內(nèi)容本實用新型為解決上述問題提供了一種多晶硅氯硅烷的密閉取樣器，能夠?qū)崿F(xiàn)現(xiàn) 場取樣及實驗室分析取樣，以及對殘留物的吹掃處理，并且安全、環(huán)保、節(jié)能。本實用新型的技術(shù)方案如下密閉取樣器，其特征在于包括相互連接的存液彎管和旁通彎管，存液彎管的兩個 管口與對應(yīng)的旁通彎管的兩個管口之間分別通過三通管件的兩個管口連接，三通管件上設(shè) 置有二通換向閥或者三通換向閥；存液彎管上設(shè)置有取樣接口。位于存液彎管和旁通彎管之間的兩個三通管件的空閑管口，一個三通管件的空閑 管口為進氣/進液口，另一個三通管件的空閑管口為出氣/出液口。二通換向閥或者三通換向閥上設(shè)置有閥門支架。本實用新型的工作原理是打開一個二通換向閥或者三通換向閥，介質(zhì)(或吹掃氣體)通過三通管件的進氣 /進液口進入彎管存儲器；或者介質(zhì)(或吹掃氣體)通過三通管件的進氣/進液口進入彎 管存儲器。介質(zhì)現(xiàn)場取樣后，實驗室取樣時通過取樣接口來完成實驗分析取樣。本實用新型的有益效果如下本實用新型使用安全、環(huán)保、節(jié)能，外觀簡潔、美觀，工作效率高，并將現(xiàn)場取樣和 實驗室用取樣接口一體化設(shè)計，達到安全、環(huán)保、節(jié)能、方便、高效的效果，且便于操作與維 護，使用壽命長等特點，同時本實用新型可以廣泛應(yīng)用于各種有毒有害液體和氣體的取樣 要求和高壓、高低溫要求，是其他取樣器難以實現(xiàn)的取樣方式。

圖1為本實用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖圖2為本實用新型的后視結(jié)構(gòu)示意圖[0016]圖3為本實用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖附圖標記為1-進氣/進液口，2-出氣/出液口，3-取樣接口，4-旁通彎管，5-存 液彎管，6-三通換向閥，7-閥門支架，8-三通管件。
具體實施方式
如圖1-3所示，密閉取樣器，包括相互連接的存液彎管5和旁通彎管4，存液彎管5 的兩個管口與對應(yīng)的旁通彎管4的兩個管口之間分別通過三通管件8的兩個管口連接，三 通管件8上設(shè)置有二通換向閥或者三通換向閥6 ；存液彎管5上設(shè)置有取樣接口 3。位于存液彎管5和旁通彎管4之間的兩個三通管件8的空閑管口，一個三通管件 8的空閑管口為進氣/進液口 1，另一個三通管件8的空閑管口為出氣/出液口 2。二通換向閥或者三通換向閥6上設(shè)置有一體的閥門支架7。例如打開一個二通換向閥或者三通換向閥，吹掃用氮氣通過三通管件的進氣/ 進液口進入彎管存儲器；或者吹掃用氮氣通過三通管件的進氣/進液口進入彎管存儲器。介質(zhì)現(xiàn)場取樣后，實驗室取樣時通過取樣接口 3來完成實驗分析取樣。分析用的介質(zhì)殘留物由三通換向閥6通過旁通管4和三通換向閥6來實現(xiàn)氮氣吹 掃，從而使密閉取樣器達到潔凈的作用，避免因氯硅烷與空氣接觸生產(chǎn)二氧化硅造成閥門 和管路堵塞和污染。當將存儲介質(zhì)用彎管材料更換為軟性材料時，本實用新型將可以用于氣體的取 樣，從而代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球膽取樣方式。
權(quán)利要求密閉取樣器，其特征在于包括相互連接的存液彎管(5)和旁通彎管(4)，存液彎管(5)的兩個管口與對應(yīng)的旁通彎管(4)的兩個管口之間分別通過三通管件(8)的兩個管口連接，三通管件(8)上設(shè)置有二通換向閥或者三通換向閥(6)；存液彎管(5)上設(shè)置有取樣接口(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密閉取樣器，其特征在于位于存液彎管(5)和旁通彎管(4) 之間的兩個三通管件(8)的空閑管口，一個三通管件(8)的空閑管口為進氣/進液口(1)， 另一個三通管件(8)的空閑管口為出氣/出液口(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的密閉取樣器，其特征在于所述二通換向閥或者三通換 向閥(6)上設(shè)置有一體的閥門支架(7)。
專利摘要本實用新型公開了密閉取樣器，包括相互連接的存液彎管和旁通彎管，存液彎管的兩個管口與對應(yīng)的旁通彎管的兩個管口之間分別通過三通管件的兩個管口連接，三通管件上設(shè)置有二通換向閥或者三通換向閥；存液彎管上設(shè)置有取樣接口；本實用新型使用安全、環(huán)保、節(jié)能，外觀簡潔、美觀，工作效率高，并將現(xiàn)場取樣和實驗室用取樣接口一體化設(shè)計，達到安全、環(huán)保、節(jié)能、方便、高效的效果，且便于操作與維護，使用壽命長等特點，同時本實用新型可以廣泛應(yīng)用于各種有毒有害液體和氣體的取樣要求和高壓、高低溫要求，是其他取樣器難以實現(xiàn)的取樣方式。
文檔編號G01N1/02GK201740661SQ20102026747
公開日2011年2月9日 申請日期2010年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月22日
發(fā)明者汪付祧, 許躍勇 申請人:樂山市永晟儀表閥門制造有限公司