專利名稱:熒光x射線分析用試樣室和試樣室組裝用具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于收容熒光X射線分析用試樣的試樣室和組裝試樣室的用具,更詳 細(xì)地說,涉及用于把揮發(fā)性試樣以密封狀態(tài)收容的熒光X射線分析用試樣室和組裝熒光X 射線分析用試樣室的試樣室組裝用具。
背景技術(shù):
熒光X射線分析是向試樣照射一次X射線,檢測從試樣產(chǎn)生的熒光X射線,根據(jù)熒 光X射線光譜對試樣中含有的元素進(jìn)行定性分析或定量分析的分析方法。進(jìn)行熒光X射線 分析的熒光X射線分析裝置包括χ射線管,產(chǎn)生一次X射線;X射線檢測器,使用半導(dǎo)體檢 測元件或比例計(jì)數(shù)管等;以及分析器,分析X射線檢測器檢測出的X射線的波長分布或能量 分布,等等。在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí),把X射線管產(chǎn)生的一次X射線向試樣照射,用X射 線檢測器檢測從被照射了一次X射線的試樣產(chǎn)生的熒光X射線,用分析器分析檢測出的熒 光X射線光譜。這樣的熒光X射線分析可以用于對液體試樣進(jìn)行元素分析。例如,以降低汽油等 液體燃料中含有的有害成分為目的,利用熒光X射線分析對液體燃料進(jìn)行元素分析。在日 本專利公開公報(bào)特開平9-1270 號中,記載了對液體試樣進(jìn)行熒光X射線分析的熒光X射 線分析裝置。在分析液體燃料等揮發(fā)性試樣時(shí),為了防止因揮發(fā)造成試樣減少和變質(zhì)等,把 試樣收容在密封的試樣室內(nèi)。在日本專利公開公報(bào)特開平9-1270 號中記載的技術(shù)是 用可以使X射線透過的X射線透射片,把試樣室的一個(gè)面密封,在該密封的試樣室內(nèi)收容液 體試樣,把X射線透射片作為試樣室的底面,使一次X射線透過X射線透射片照射到試樣室 內(nèi)的試樣,檢測透過X射線透射片發(fā)射出的熒光X射線。此外,在日本專利公開公報(bào)特開平 7-134082號中記載了把液體試樣封入兩層的薄片之間的試樣室。此外,在日本專利公開公報(bào)特開平9-257674號中公開了收容液體試樣的試樣室。 該試樣室包括試樣杯;X射線透射片,可以使X射線透過;以及外框,嵌在試樣杯外。在組 裝試樣室時(shí),在上面開口的試樣杯中注入液體試樣,在試樣杯的上面放置X射線透射片,把 外框從試樣杯的上側(cè)嵌入,使得以把X射線透射片夾在外框和試樣杯之間的方式把外框嵌 在試樣杯外。在把外框嵌入時(shí),X射線透射片被從中心向周圍方向牽拉,通過把X射線透射 片的周圍部分夾在試樣杯的外周和外框之間,將X射線透射片張緊設(shè)置成把試樣杯的開口 部密封。在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí),以X射線透射片作為試樣室的底面,使一次X射線透過 X射線透射片照射到試樣室內(nèi)的試樣上,檢測透過X射線透射片發(fā)射出的熒光X射線。如果用液體試樣把試樣室內(nèi)裝滿,則液體試樣會從試樣室溢出,所以不能裝滿,在 試樣室內(nèi)封入了液體試樣和一些空氣。在液體試樣是燃料等揮發(fā)性強(qiáng)的液體的情況下,液 體試樣隨時(shí)間的延長在試樣室內(nèi)揮發(fā),試樣室內(nèi)的壓力上升。在試樣室內(nèi)的壓力上升的情 況下,密封試樣室的片材膨脹。在透過來自試樣的熒光X射線的片材膨脹了的情況下,試樣 與檢測熒光X射線的檢測器的距離改變,用檢測器檢測到的熒光X射線的強(qiáng)度發(fā)生變化,存 在不能進(jìn)行高精度的元素分析的問題。
此外,以往在組裝試樣室時(shí),把X射線透射片放置在注入液體試樣后的試樣杯的 開口部,之后把外框嵌入,所以在試樣室組裝完成之前,有時(shí)液體試樣附著在X射線透射片 上。X射線透射片上附著了液體試樣的部分在接觸到試樣杯的邊緣時(shí)滑動惡化,成為在張緊 設(shè)置X射線透射片時(shí)X射線透射片產(chǎn)生褶皺的原因。由于在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí)把X射 線透射片作為試樣室的底面,所以在產(chǎn)生褶皺的情況下,存在液體試樣漏出的問題,此外, 因試樣與檢測器的距離改變,還存在不能進(jìn)行高精度的元素分析的問題。此外,在把外框嵌 入時(shí),把X射線透射片向周圍方向牽拉的張力容易變得不均勻,張力不均勻會成為在X射線 透射片上產(chǎn)生褶皺的原因。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況,本發(fā)明的目的是提供一種熒光X射線分析用試樣室,即使在內(nèi)部 壓力上升的情況下,也可以通過防止透過熒光X射線的片材膨脹,進(jìn)行高精度的元素分析。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種試樣室組裝用具,通過把試樣室組裝成使除了 X 射線透射片以外的部分可以變形,從而可以吸收試樣室內(nèi)上升的壓力,可以把試樣室組裝 成在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí)能夠防止X射線透射片膨脹。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種試樣室組裝用具,在組裝試樣室時(shí)可以防止在X 射線透射片上產(chǎn)生褶皺。本發(fā)明提供一種熒光X射線分析用試樣室,所述試樣室具有窗口部,該窗口部用 于把來自收容在所述試樣室內(nèi)部的試樣的熒光X射線向外部發(fā)射,所述試樣室收容試樣 后,在密封的狀態(tài)下使用,所述試樣室設(shè)置有變形部,在密封狀態(tài)下,在所述試樣室內(nèi)部壓 力上升的情況下,所述變形部能夠變形,使得在所述窗口部變形前使所述試樣室內(nèi)部的容 積增大。在本發(fā)明中,熒光X射線分析用試樣室具有窗口部,該窗口部用于發(fā)射出來自試 樣的熒光X射線,熒光X射線分析用試樣室在密封狀態(tài)下使用,熒光X射線分析用試樣室具 有變形部,該變形部在用χ射線透射片等密封的窗口部變形之前發(fā)生變形,使得伴隨壓力 的上升,試樣室內(nèi)部的容積增大。在收容有試樣且密封的熒光X射線分析用試樣室的內(nèi)部 壓力上升的情況下,變形部發(fā)生變形,使內(nèi)部容積增大,可以緩解壓力的上升。在上述的熒光X射線分析用試樣室中,通過被折疊成能向外側(cè)擴(kuò)展的片材來形成 所述窗口部以外的一部分壁,并將該一部分壁用作所述變形部。在本發(fā)明中,由于用折疊成可以向外側(cè)擴(kuò)展的片材形成窗口部以外的壁,所以在 內(nèi)部壓力上升的情況下,通過折疊著的片材伸展,可以在窗口部變形之前使內(nèi)部的容積增 大。在上述的熒光X射線分析用試樣室中,通過隨著壓力的上升而膨脹的片材來形成 所述窗口部以外的一部分壁,并將該一部分壁用作所述變形部。在本發(fā)明中,由于用可以膨脹的片材形成窗口部以外的壁,所以在內(nèi)部壓力上升 的情況下,利用伴隨壓力的上升,片材向外部膨脹,可以在窗口部變形之前使內(nèi)部的容積增 大。在上述的熒光X射線分析用試樣室中,在所述窗口部以外的部分設(shè)置有波紋部, 所述波紋部作為所述變形部,所述波紋部能夠向使所述試樣室的內(nèi)部容積增大的方向變形。在本發(fā)明中,由于在窗口部以外的部分上設(shè)置有可以向使試樣室的內(nèi)部容積增大 的方向變形的波紋部,所以在內(nèi)部壓力上升了的情況下,利用伴隨壓力的上升,波紋部變 形,可以在窗口部變形之前使內(nèi)部的容積增大。在上述的熒光X射線分析用試樣室中,利用變形自如的片材形成所述窗口部以外 的一部分壁,作為所述變形部使用的所述一部分壁被預(yù)先變形為朝內(nèi)側(cè)凸出。在本發(fā)明中,由于用變形自如的片材形成窗口部以外的壁,該壁預(yù)先變形成向內(nèi) 部凸出,在內(nèi)部壓力上升了的情況下,利用伴隨壓力的上升,片材向外部變形,可以在窗口 部變形之前使內(nèi)部的容積增大。對于本發(fā)明的熒光X射線分析用試樣室,即使當(dāng)正在進(jìn)行熒光X射線分析之時(shí),試 樣揮發(fā)使熒光X射線分析用試樣室的內(nèi)部壓力上升了的情況下,因變形部變形緩解了壓力 的上升,所以密閉狀態(tài)的窗口部不會發(fā)生變形。由于窗口部沒有變形,所以試樣與檢測熒光 X射線的檢測器的距離不變,檢測到的熒光X射線的強(qiáng)度也不變。因此,因試樣內(nèi)元素分布 以外的原因造成的熒光X射線的強(qiáng)度變化消失,可以用熒光X射線分析進(jìn)行高精度的試樣 元素分析。本發(fā)明還提供一種試樣室組裝用具,通過在試樣杯中收容試樣,利用X射線透射 片密封收容有所述試樣的所述試樣杯的開口部,并以把所述X射線透射片夾在所述試樣杯 與外框之間的方式把所述外框嵌合在所述試樣杯上,來組裝熒光X射線分析用的所述試樣 室,在組裝熒光X射線分析用的所述試樣室時(shí)使用所述試樣室組裝用具,所述試樣室組裝 用具包括試樣杯放置臺,該試樣杯放置臺用于放置所述試樣杯,所述試樣杯放置臺包括定 位部,在把開口部作為上側(cè)放置所述試樣杯時(shí),對所述試樣杯進(jìn)行定位;以及上推部,在把 所述外框從上側(cè)嵌合在放置的所述試樣杯上時(shí),向上推成為所述試樣杯下側(cè)的端面,使所 述端面朝向試樣杯內(nèi)側(cè)凸出地變形。在上述的試樣室組裝用具中,在所述試樣杯的所述端面?zhèn)惹度雸A筒形的內(nèi)框,并 且所述內(nèi)框的端部比所述端面更突出,所述定位部為在平面上隆起的圓柱,所述圓柱的外 徑為能夠內(nèi)嵌入所述內(nèi)框內(nèi)的大小,所述圓柱的高度比從所述內(nèi)框的端部到所述端面的距 離小,所述上推部是在所述圓柱的上表面中央部突出的凸起。在本發(fā)明中,在使試樣杯的開口部為上側(cè),進(jìn)行用X射線透射片密封開口部的作 業(yè)時(shí),通過把試樣杯放置在有凸起部的試樣杯放置臺上,試樣杯的端面變形成向內(nèi)側(cè)凸出。在上述的試樣室組裝用具中,所述試樣室組裝用具還包括片材放置用具,所述片 材放置用具與所述試樣杯放置臺是分開的用具,所述片材放置用具為筒形,所述片材放置 用具的兩個(gè)端面平行且與軸垂直,所述片材放置用具的內(nèi)徑比所述試樣室的外徑大,所述 片材放置用具放置在所述試樣杯放置臺上時(shí)的高度比所述試樣杯高,以包圍所述試樣杯的 方式把所述片材放置用具放置在所述試樣杯放置臺上,所述片材放置用具用于放置所述X 射線透射片。在本發(fā)明中,在收容有試樣的試樣杯上配置X射線透射片時(shí),通過把X射線透射片 放置在包圍試樣杯放置臺上的試樣杯、且比試樣杯高的片材放置用具上,可以不與試樣接 觸把X射線透射片配置在試樣杯上。在上述的試樣室組裝用具中,所述試樣室組裝用具還包括外框嵌合用具,所述外框嵌合用具與所述試樣杯放置臺及所述片材放置用具是分開的用具,所述外框嵌合用具為 筒形,所述外框嵌合用具的內(nèi)徑為能夠把所述外框嵌入所述外框嵌合用具內(nèi)部的大小,所 述外框嵌合用具的外徑比所述片材放置用具的內(nèi)徑小,所述外框嵌合用具的高度比所述外 框高,所述外框嵌合用具用于通過從放置在所述片材放置用具上的所述X射線透射片的上 側(cè),把內(nèi)嵌在所述外框嵌合用具內(nèi)的所述外框向所述試樣杯壓入,使所述外框與所述試樣 杯相嵌合。在本發(fā)明中,在為了固定X射線透射片,把外框嵌合在試樣杯上時(shí),使用外嵌在外 框上的筒形的外框嵌合用具,通過把外框從放置在片材放置用具上的X射線透射片之上插 入,來嵌合外框,所以外框嵌合用具被片材放置用具的內(nèi)壁引導(dǎo),把外框大體垂直地插入, 可以使X射線透射片均勻伸展。使用本發(fā)明的試樣室組裝用具組裝的試樣室,即使在流體試樣在內(nèi)部揮發(fā),內(nèi)部 壓力上升了的情況下,預(yù)先變形成向內(nèi)側(cè)凸起的試樣杯的端面向外側(cè)變形,透過一次X射 線和熒光X射線的X射線透射片不會膨脹。因此,因流體試樣內(nèi)的元素分布以外的原因造 成熒光X射線的強(qiáng)度變化的情況消失,所以可以用熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣 的元素分析。
圖1是表示實(shí)施方式1的熒光X射線分析裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示試樣室結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖3是表示試樣室結(jié)構(gòu)的分解立體圖。圖4A和圖4B是實(shí)施方式1第一例的試樣杯的示意立體圖。圖5A-圖5D是表示實(shí)施方式1第一例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖6A和圖6B是實(shí)施方式1第二例的試樣杯的示意立體圖。圖7A-圖7D是表示實(shí)施方式1第二例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖8A和圖8B是表示把波紋部設(shè)置在試樣杯端面內(nèi)側(cè)的方式的示意剖視圖。圖9A和圖9B是實(shí)施方式1第三例的試樣室的示意剖視圖。圖IOA-圖IOD是表示實(shí)施方式1第三例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖IlA和圖IlB是實(shí)施方式1第四例的試樣杯的示意剖視圖。圖12A-圖12D是表示實(shí)施方式1第四例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖13A和圖1 是實(shí)施方式1第五例的試樣杯的示意剖視圖。圖14A-圖14D是表示實(shí)施方式1第五例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖15A和圖15B是實(shí)施方式1第六例的試樣杯的示意剖視圖。圖16A-圖16C是表示實(shí)施方式1第六例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖17A和圖17B是實(shí)施方式1第七例的試樣杯的示意剖視圖。圖18A-圖18D是表示實(shí)施方式1第七例的試樣室的利用方式的示意剖視圖。圖19是表示實(shí)施方式2的熒光X射線分析裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。圖20是試樣室和試樣室托架(* ^夕')結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖21是表示試樣室結(jié)構(gòu)的分解立體圖。圖22是表示試樣室托架結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖23是表示本發(fā)明的試樣室組裝用具結(jié)構(gòu)的立體圖。圖24A和圖24B是通過正面視圖說明試樣室的組裝方法的說明圖。圖25A和圖25B是通過剖視圖說明試樣室的組裝方法的說明圖。圖26A和圖^B是通過正面視圖說明試樣室的組裝方法的說明圖。圖27A和圖27B是通過正面視圖說明試樣室的組裝方法的說明圖。圖28A和圖^B是通過剖視圖說明試樣室的組裝方法的說明圖。圖四是把試樣室支承部件翻過來的立體圖。圖30是表示用于組裝試樣室托架的試樣室托架組裝用具的立體圖。圖31是沿試樣室托架組裝用具的軸剖開的剖視圖。圖32A和圖32B是說明使用試樣室托架組裝用具的試樣室托架組裝方法的示意剖 視圖。圖33是表示組裝后的試樣室托架的剖視圖。圖34是表示放置在試樣室托架上的試樣室的剖視圖。圖35是表示伴隨壓力上升試樣杯端面變形后的試樣室的剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面參照表示本發(fā)明的實(shí)施方式的附圖對本發(fā)明進(jìn)行具體說明。實(shí)施方式1第一例圖1是表示實(shí)施方式1的熒光X射線分析裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。熒光X射線分析裝 置具有框體5,該框體5由可以屏蔽X射線的材料形成為箱形,框體5的上部構(gòu)成平面。在 框體5上部平面的中央形成有開口部,以內(nèi)嵌在該開口部內(nèi)的方式安裝有試樣室托架2。收 容有作為分析對象的試樣的試樣室(熒光X射線分析用試樣室)1放置在試樣室托架2上。 此外,熒光X射線分析裝置設(shè)置有蓋6,蓋6至少覆蓋包括開口部的框體5的上側(cè)的面的一 部分,試樣室托架2和放置在試樣室托架2上的試樣室1被蓋6覆蓋。試樣室1用于收容 粉末或液體燃料等流體試樣,形成為杯形。在試樣室托架2上設(shè)置有可以使X射線透過的 X射線透射片22,此外,由X射線透射片102構(gòu)成試樣室1的下側(cè)的面。在框體5內(nèi)部形成空洞形的測量室51,此外,在框體5上設(shè)置有向測量室51內(nèi)發(fā) 射一次X射線的X射線管3和X射線檢測器4。X射線管3配置在朝向框體5的開口部照 射一次X射線的位置。在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí),由于在框體5的開口部的位置上配置有 試樣室托架2和試樣室1,所以從X射線管3產(chǎn)生的一次X射線穿過試樣室托架2的X射 線透射片22和試樣室1的X射線透射片102,照射到試樣室1內(nèi)的試樣上。被照射到一次 X射線的試樣室1內(nèi)的試樣產(chǎn)生熒光X射線,熒光X射線穿透X射線透射片102和試樣室 托架2的X射線透射片22,向測量室51內(nèi)發(fā)射。X射線檢測器4配置在可以檢測到由試樣 室1內(nèi)的試樣產(chǎn)生的熒光X射線的位置上。X射線管3照射的一次X射線和X射線檢測器 4檢測的熒光X射線通過的路徑在圖1中用虛線箭頭表示。在X射線管3發(fā)射一次X射線的發(fā)射口上,設(shè)置有圖中沒有表示的、可以打開或關(guān) 閉的門。為了使一次X射線的輸出穩(wěn)定,X射線管3為總是產(chǎn)生X射線的結(jié)構(gòu),通過打開門, X射線管3發(fā)射一次X射線。X射線檢測器4作為檢測元件使用比例計(jì)數(shù)管,輸出與入射到 比例計(jì)數(shù)管中的熒光X射線的能量成比例的電信號。此外,X射線檢測器4作為檢測元件也可以是使用半導(dǎo)體檢測元件等比例計(jì)數(shù)管以外的檢測元件的方式。在X射線檢測器4上 連接有用個(gè)人計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的、圖中沒有表示的信號分析部。信號分析部接收X射線檢測 器4輸出的電信號,計(jì)數(shù)與熒光X射線的能量對應(yīng)的各電信號的強(qiáng)度和它的數(shù)量,并進(jìn)行熒 光X射線的能量與計(jì)數(shù)的數(shù)量的關(guān)系的處理,即進(jìn)行獲得熒光X射線光譜的處理。此外,信 號分析部可以根據(jù)獲得的熒光X射線光譜,再對產(chǎn)生熒光X射線的元素進(jìn)行定性分析或定 量分析。在把試樣室托架2安裝在框體5的開口部上的狀態(tài)下,利用試樣室托架2使框體5 內(nèi)的測量室51成為密封空間。在框體5上形成有供給口 52,供給口 52與測量室51相連, 用于向測量室51內(nèi)提供氣體。在供給口 52上連接有用于提供氣體的、圖中沒有表示的氣 體管道。在進(jìn)行熒光X射線分析時(shí),從供給口 52向測量室51內(nèi)提供氦氣或氮?dú)獾葰怏w,利 用該氣體置換測量室51內(nèi)的空氣。在圖1中用實(shí)線箭頭表示提供的氣體。隔著密封用的 金屬箔31把X射線管3安裝在框體5上,使得X射線管3不與置換了測量室51內(nèi)空氣的 氣體直接接觸。根據(jù)分析對象的試樣不同,有時(shí)為了降低熒光X射線各光譜的背景,使用一 次過濾器,使來自X射線管3的一次X射線通過一次過濾器后照射試樣。在這種情況下,也 可以使用一次過濾器來替代密封用的金屬箔31。此外,在把試樣室1放置在試樣室托架2上的狀態(tài)下,在試樣室托架2的X射線透 射片22和試樣室1的X射線透射片102之間形成空間。熒光X射線分析裝置裝備有圖中 沒有表示的供給機(jī)構(gòu),用于向X射線透射片22和X射線透射片102之間的空間提供氣體。 利用該供給機(jī)構(gòu)的作用,X射線透射片22和X射線透射片102之間的空間內(nèi)的空氣也被氦 氣或氮?dú)獾葰怏w置換。圖2是表示試樣室1結(jié)構(gòu)的剖視圖,圖3是表示試樣室1結(jié)構(gòu)的分解立體圖。試 樣室1包括試樣室內(nèi)框101、試樣杯11、試樣室外框103以及X射線透射片102。試樣室 內(nèi)框101為圓筒形,由聚乙烯等塑料或金屬等形成。在試樣室內(nèi)框101的上端部,沿外周面 的一周設(shè)置有凸緣部101a。此外,在試樣室內(nèi)框101的外周面上,在軸向的中央位置形成有 沿外周面的一周的槽101b,在試樣室內(nèi)框101的內(nèi)周面上設(shè)置有沿內(nèi)周面的一周的環(huán)形突 起部IOlc0試樣杯11是把性質(zhì)柔軟的塑料薄膜等片材彎曲成形的。試樣杯11包括圓筒形 的試樣收容部112,試樣收容部112的一端作為試樣杯端面111,另一端有開口部;圓筒形的 殼部113,與試樣收容部112的開口部連接,與試樣收容部112的外周面隔開規(guī)定的間隔,包 圍試樣收容部112的外周面;以及凸緣部114,在殼部113的端部沿外周面的一周設(shè)置。此 外,如后面敘述的那樣,試樣杯端面111通過把片材彎折構(gòu)成平面形。試樣收容部112的外徑比試樣室內(nèi)框101的內(nèi)徑小,殼部113的內(nèi)徑與試樣室內(nèi) 框101的外徑大體相等。此外,除去凸緣部IOla的試樣室內(nèi)框101的高度(在上下方向上 的長度)比試樣收容部112和殼部113之間的空間的高度稍小。因此,可以從上側(cè)把試樣 室內(nèi)框101插入試樣收容部112和殼部113之間的空間中,一直插入到試樣室內(nèi)框101的 凸緣部IOla與試樣杯11的凸緣部114抵接為止。在把試樣室內(nèi)框101插入到試樣杯11 中的情況下,試樣室內(nèi)框101內(nèi)嵌入試樣杯11的殼部113內(nèi),在試樣室內(nèi)框101的內(nèi)周面 和試樣杯11的試樣收容部112的外周面之間產(chǎn)生間隙。X射線透射片102是具有比試樣杯11的外徑足夠大的直徑的、大體為圓形的片材,由不能使液體燃料等流體試樣通過、但能使X射線透過的物質(zhì)制成。X射線透射片102例如 由聚酯片材形成。X射線透射片102通過覆蓋收容有試樣的試樣杯11的開口部,把試樣杯 11內(nèi)部密封,成為試樣杯11的(即試樣室1的)底面。試樣室外框103為圓筒形,由聚乙烯等塑料或金屬等形成。試樣室外框103的內(nèi) 徑比試樣杯11的外徑稍大,可以把試樣室內(nèi)框101插入到試樣收容部112和殼部113之間 的狀態(tài)下的試樣杯11,從開口部一側(cè)插入試樣室外框103中,與試樣室外框103嵌合。此 時(shí),在用X射線透射片102覆蓋試樣杯11的開口部的狀態(tài)下,通過把試樣杯11嵌合入試樣 室外框103內(nèi),把X射線透射片102的外邊緣一側(cè)的部分夾在試樣杯11的外周面與試樣室 外框103的內(nèi)周面之間。因此,X射線透射片102作為試樣室1的底面被牢固地固定,使得 試樣杯11內(nèi)的流體試樣不會從開口部灑出。在試樣室外框103的上端部沿試樣室外框103的外周面的一周設(shè)置有凸緣部 103a,凸緣部103a通過試樣室內(nèi)框101和試樣杯11各自的凸緣部IOla和114來支持嵌合 的試樣室內(nèi)框101和試樣杯11。此外,在試樣室外框103的內(nèi)周面上,在與設(shè)置在試樣室內(nèi) 框101的外周面上的槽IOlb對應(yīng)的位置上,沿試樣室外框103的一周設(shè)置有凸起部103b, 該凸起部10 在夾著試樣杯11的殼部113和X射線透射片102的狀態(tài)下,與內(nèi)嵌入試樣 室外框103內(nèi)的試樣室內(nèi)框101的槽部IOlb卡合。由此,把試樣杯11和X射線透射片102 牢固地夾持在試樣室內(nèi)框101和試樣室外框103之間。試樣室托架2是銅或鋁等金屬制成的,為在中央形成有開口部的圓環(huán)形。在試樣 室托架2的開口部設(shè)置有X射線透射片22,使得可以封閉開口部。通過以內(nèi)嵌入框體5的 開口部內(nèi)的方式安裝具有X射線透射片22的試樣室托架2,可以封閉框體5的開口部。以 使試樣室1的X射線透射片102和試樣室托架2的X射線透射片22相對的方式把試樣室 1放置在試樣室托架2上。來自X射線管3的一次X射線穿過試樣室托架2的X射線透射 片22和試樣室1的X射線透射片102,照射到試樣室1內(nèi)的試樣上。因此,試樣室1的X射 線透射片102起到作為本發(fā)明中的被密封的窗口部的功能。圖4A和4B是實(shí)施方式1第一例的試樣杯11的示意立體圖。通過把比試樣杯端 面111的面積大的片材折疊,試樣杯11的試樣杯端面111形成為平面形。圖4A表示把片 材彎折后的狀態(tài),圖4B表示使片材擴(kuò)展開的狀態(tài)。通過把越靠近中心越隆起的形狀的片材 折疊成同心圓形,形成試樣杯端面111。此外,把試樣杯端面111的片材折疊成在試樣杯 11內(nèi)側(cè)的壓力增大的情況下試樣杯端面111的片材能夠擴(kuò)展開。通過這樣形成試樣杯端 面111,在試樣杯11內(nèi)側(cè)的壓力為通常壓力的狀態(tài)下,如圖4A所示,試樣杯端面111為平 面形。在試樣杯11內(nèi)側(cè)的壓力增大了的狀態(tài)下,如圖4B所示,構(gòu)成試樣杯端面111的片材 擴(kuò)展開,試樣杯端面111變形成向試樣杯11外側(cè)鼓起的形狀。通過使試樣杯端面111向試 樣杯11外側(cè)變形成鼓起的形狀,從而增大試樣杯11內(nèi)部的容積,即增大收容有試樣的試樣 室1內(nèi)部的容積。試樣杯端面111起到作為本發(fā)明中的變形部的功能。此外,只要在試樣 杯11內(nèi)側(cè)的壓力增大的狀態(tài)下,試樣杯端面111是向試樣杯11外側(cè)鼓起擴(kuò)展開的形狀,試 樣杯端面111也可以是把其它形狀的片材折疊的方式。圖5A-圖5D是表示實(shí)施方式1第一例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖5A所示,把試樣杯11從上側(cè)套在使凸緣部IOla為下側(cè)的試樣室內(nèi)框101上,在試 樣杯端面111為下側(cè)的狀態(tài)下,從試樣杯11的開口部把流體試樣S注入試樣杯11內(nèi)。然后,通過用X射線透射片102覆蓋試樣杯11的開口部,并從上側(cè)把試樣室外框103嵌在外 側(cè),進(jìn)行試樣室1的組裝和裝入流體試樣S。如圖5B所示,在組裝完試樣室1的狀態(tài)下,利 用X射線透射片102密封試樣室1,在試樣室1內(nèi)部封入了流體試樣S和一些空氣。然后,把試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖5C所示,使X射線透射片102成為底面,使試樣 杯端面111成為上側(cè),把試樣室1放置在試樣室托架2上。在把試樣室1放置到試樣室托 架2上的狀態(tài)下,從X射線管3照射一次X射線,進(jìn)行熒光X射線分析。來自X射線管3的 一次X射線從圖5C所示的圖的下側(cè)照射,一次X射線透過X射線透射片102向試樣室1內(nèi) 的流體試樣S照射,從流體試樣S產(chǎn)生的熒光X射線透過X射線透射片102發(fā)射出來。在 進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓力上升的情 況下,構(gòu)成試樣杯端面111的、處于折疊狀態(tài)的片材伴隨壓力的增大而擴(kuò)展開。如圖5D所 示,試樣杯端面111以向試樣室1外側(cè)鼓起的方式變形,因此試樣室1內(nèi)部的容積增大。因 試樣室1內(nèi)部的容積增大,緩解了試樣室1內(nèi)壓力的增大,所以可以防止X射線透射片102 因壓力增大而膨脹。如上所述,在使用第一例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,即使在流體試樣S 在試樣室1內(nèi)揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升的情況下,作為透過一次X射線和熒光X射線 的窗口部的X射線透射片102也不會膨脹。由于使熒光X射線透過的X射線透射片102沒 有膨脹,所以流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢測器4的距離不變,用X射線檢測器 4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度也不變。因此,因流體試樣S內(nèi)的元素分布以外的原因造成的熒 光X射線的強(qiáng)度變化消失,所以可以用熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分 析。實(shí)施方式1第二例在實(shí)施方式1第二例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的試 樣杯的形狀不同。圖6A和圖6B是實(shí)施方式1第二例的試樣杯12的示意立體圖。在試樣 杯12的試樣杯端面121上設(shè)置有波紋部122,該波紋部122內(nèi)部是空洞并伸縮自如。圖6A 表示波紋部122處于收縮的狀態(tài),圖6B表示波紋部122伸開的狀態(tài)。如圖6B所示,波紋部 122伸開時(shí)向試樣杯12的外側(cè)伸開。波紋部122內(nèi)部的空洞與試樣杯12形成的試樣室1 內(nèi)的空間相連。因此,在試樣杯12內(nèi)側(cè)的壓力增大的情況下,如圖6B所示,波紋部122向 試樣杯12的外側(cè)伸開,與試樣室1內(nèi)的空間連接的波紋部122內(nèi)的空洞擴(kuò)展開。通過這樣 在試樣杯端面121上設(shè)置波紋部122,在試樣杯12內(nèi)側(cè)的壓力為通常壓力的狀態(tài)下,如圖 6A所示,波紋部122處于收縮的狀態(tài),在試樣杯12內(nèi)側(cè)的壓力增大的狀態(tài)下,如圖6B所示, 波紋部122變形成向試樣杯12的外側(cè)伸開的形狀。利用波紋部122變形成向試樣杯12外 側(cè)伸開的形狀,加上波紋部122內(nèi)部空洞的試樣杯12內(nèi)部的容積增大,即收容有試樣的試 樣室1內(nèi)部的容積增大。波紋部122起到作為本發(fā)明的變形部的功能。試樣杯12以外的 試樣室1的結(jié)構(gòu)與第一例相同。圖7A-圖7D是表示實(shí)施方式1第二例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖7A所示,把試樣杯12從上側(cè)套在試樣室內(nèi)框101上,在試樣杯端面121成為下側(cè) 的狀態(tài)下,從試樣杯12的開口部向試樣杯12內(nèi)注入流體試樣S。然后,如圖7B所示,通過 用X射線透射片102覆蓋試樣杯12的開口部,并使試樣室外框103嵌在外側(cè),進(jìn)行試樣室1 的組裝和裝入流體試樣S。然后,使試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖7C所示,使X射線透射片102成為底面,使試樣杯端面121成為上側(cè),把試樣室1放置在試樣室托架2上,進(jìn)行熒光X射 線分析。在這種狀態(tài)下,波紋部122處于收縮的狀態(tài)。在進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓 力上升的情況下,波紋部122伴隨壓力的上升而伸展。如圖7D所示,波紋部122邊向試樣 室1外側(cè)伸展邊變形,因此試樣室1內(nèi)部的容積增大。因試樣室1內(nèi)部的容積增大,緩解了 試樣室1內(nèi)的壓力的上升,所以可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在使用第二例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,在流體試樣S在試 樣室1內(nèi)揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力增大的情況下,作為透過一次X射線和熒光X射線的窗 口部的X射線透射片102也不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢測 器4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度沒有變化,所以可以用熒 光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。此外,在圖6A、圖6B以及圖7A-圖7D中,表示了波紋部122設(shè)置在試樣杯端面121 的外側(cè)的方式,但波紋部也可以設(shè)置在試樣杯端面121的內(nèi)側(cè)。圖8A和圖8B是表示把波紋 部123設(shè)置在試樣杯端面121內(nèi)側(cè)的方式的示意剖視圖。如圖8A所示,在試樣杯端面121 上設(shè)置有波紋部123,波紋部123向試樣杯12內(nèi)側(cè)伸縮自如。進(jìn)行試樣室1的組裝和裝入 流體試樣S,如圖8A所示,在以X射線透射片102為底面,以試樣杯端面121為上側(cè)的狀態(tài) 下,波紋部123因重力成為向試樣室1內(nèi)側(cè)伸開的狀態(tài)。把在該狀態(tài)下的試樣室1放置在 試樣室托架2上,進(jìn)行熒光X射線分析。流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi) 的壓力增大的情況下,如圖8B所示,波紋部123伴隨壓力的上升而收縮。波紋部123通過 收縮變形,使得試樣室1的容積增大。因試樣室1內(nèi)部的容積增大,緩解了試樣室1內(nèi)的壓 力的上升,所以可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。因此,用這種方式也可以用 熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。實(shí)施方式1第三例在實(shí)施方式1第三例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的結(jié) 構(gòu)不同。圖9A和9B是實(shí)施方式1第三例的試樣室1的示意剖視圖。構(gòu)成試樣室1的試樣 杯的試樣杯端面131為平板形。在本實(shí)施方式中,如圖9A所示,在試樣杯端面131上安裝 有波紋部件132,波紋部件132作為整體形成為在內(nèi)部有空洞的波紋的形狀。波紋部件132 具有刺穿部133,該刺穿部133可以刺穿并貫通試樣杯端面131,波紋部件132利用刺穿部 133安裝在試樣杯端面131上。圖9B表示把波紋部件132安裝在試樣杯端面131上的狀 態(tài),通過使刺穿部133刺透試樣杯端面131從而貫通試樣杯端面131,把波紋部件132安裝 在試樣杯端面131上。波紋部件132用粘接劑等固定在試樣杯端面131上。刺穿部133為 與波紋部件132內(nèi)的空洞相連的開口中空管的形狀。因此,利用刺穿部133貫通試樣杯端 面131,把試樣室1內(nèi)部的空間與波紋部件132內(nèi)的空洞通過刺穿部133連接。利用波紋部 件132變形成向試樣室1外側(cè)伸開的形狀,加上波紋部件132內(nèi)部空洞的試樣室1內(nèi)部的 容積增大。波紋部件132起到作為本發(fā)明的變形部的功能。圖IOA-圖IOD是表示實(shí)施方式1第三例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖IOA所示,把試樣杯從上側(cè)套在試樣室內(nèi)框101上,在試樣杯端面131為下側(cè)的狀 態(tài)下,從試樣杯的開口部向試樣杯內(nèi)注入流體試樣S。然后,如圖IOB所示,通過用X射線 透射片102覆蓋試樣杯的開口部,并把試樣室外框103嵌在外側(cè),裝入流體試樣S。然后把試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖IOC所示,通過以X射線透射片102為底面,以試樣杯端面131為 上側(cè),再把波紋部件132安裝在試樣杯端面131上,組裝試樣室1。把內(nèi)部收容有流體試樣 S的試樣室1放置在試樣室托架2上,進(jìn)行熒光X射線分析。在該狀態(tài)下,波紋部件132為 收縮的狀態(tài)。在進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓 力上升的情況下,通過刺穿部133,波紋部件132內(nèi)部的壓力也上升,波紋部件132伴隨壓力 的上升而伸展。如圖IOD所示,波紋部件132邊向試樣室1外側(cè)伸展邊變形,由此試樣室1 內(nèi)部的容積增大。因試樣室1內(nèi)部的容積增大,緩解了試樣室1內(nèi)的壓力上升,所以可以防 止X射線透射片102因壓力增大而膨脹。如上所述,在使用第三例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,在流體試樣S在試 樣室1內(nèi)揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升的情況下,作為透過一次X射線和熒光X射線的窗 口部的X射線透射片102不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢測器 4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度也不會變化,所以可以通過 熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。實(shí)施方式1第四例在實(shí)施方式1第四例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的試 樣杯的形狀不同。圖IlA和圖IlB是實(shí)施方式1第四例的試樣杯14的示意剖視圖。試樣 杯14的試樣杯端面141用橡膠制成的薄膜等有彈性的片材形成為平板形。由于試樣杯端 面141有彈性,所以在從試樣杯14內(nèi)側(cè)施加力的情況下,試樣杯端面141產(chǎn)生向試樣杯14 外側(cè)的變形。圖IlA表示試樣杯端面141為平面形的狀態(tài),圖IlB表示試樣杯端面141變 形后的狀態(tài)。在試樣杯14內(nèi)側(cè)的壓力增大的情況下,如圖IlB所示試樣杯端面141向試樣 杯14外側(cè)膨脹,試樣杯14內(nèi)側(cè)的容積擴(kuò)大。這樣,通過由有彈性的片材構(gòu)成試樣杯端面 141,在試樣杯14內(nèi)側(cè)的壓力為通常壓力的狀態(tài)下,如圖IlA所示,試樣杯端面141為平面 形。在試樣杯14內(nèi)側(cè)的壓力增大的狀態(tài)下,如圖IlB所示,試樣杯端面141變形成向試樣 杯14外側(cè)膨脹的形狀。通過試樣杯端面141變形成向試樣杯14外側(cè)膨脹的形狀,試樣杯 14內(nèi)部的容積增大,即,試樣室1內(nèi)部的容積增大。試樣杯端面141起到作為本發(fā)明的變形 部的功能。試樣杯14以外的試樣室1的結(jié)構(gòu)與第一例相同。圖12A-圖12D是表示實(shí)施方式1第四例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖12A所示,使試樣杯14從上側(cè)套在試樣室內(nèi)框101上,在試樣杯端面141為下側(cè)的 狀態(tài)下,從試樣杯14的開口部向試樣杯14內(nèi)注入流體試樣S。然后,如圖12B所示,通過 用X射線透射片102覆蓋試樣杯14的開口部,并把試樣室外框103嵌在外側(cè),進(jìn)行試樣室1 的組裝和裝入流體試樣S。然后,把試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖12C所示,以X射線透射片102 為底面,以試樣杯端面141為上側(cè),把試樣室1放置在試樣室托架2上,進(jìn)行熒光X射線分 析。在該狀態(tài)下,試樣杯端面141為平面形。在進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓 力上升的情況下,試樣杯端面141伴隨壓力的上升而膨脹。如圖12D所示,試樣杯端面141 邊向試樣室1外側(cè)膨脹邊變形,因此試樣室1內(nèi)部的容積增大。因試樣室1內(nèi)部的容積增 大,緩解了試樣室1內(nèi)的壓力的上升,所以可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在使用第四例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,在流體試樣S在試樣室1內(nèi)揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升的情況下,作為透過一次X射線和熒光X射線的窗 口部的X射線透射片102不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢測器 4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度沒有變化,所以可以利用熒 光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。實(shí)施方式1第五例在實(shí)施方式1第五例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的試 樣杯的形狀不同。圖13A和圖1 是實(shí)施方式1第五例的試樣杯15的示意剖視圖。試樣 杯15的試樣杯端面151用能夠自如變形的片材形成,通過把比試樣杯15的斷面面積大的 片材預(yù)先變形成向試樣杯15內(nèi)側(cè)凸起,來形成試樣杯端面151。在從試樣杯15內(nèi)側(cè)向試樣 杯端面151施加力的情況下,試樣杯端面151向試樣杯15的外側(cè)變形。圖13A表示試樣杯 端面151變形成向試樣杯15內(nèi)側(cè)凸起的狀態(tài),圖1 表示試樣杯端面151向試樣杯15外 側(cè)變形的狀態(tài)。在來自試樣杯15內(nèi)側(cè)的壓力增大的情況下,試樣杯端面151向試樣杯15 外側(cè)變形。例如,如圖13B所示,試樣杯端面151變形成向試樣杯15外側(cè)凸起。利用試樣 杯端面151向試樣杯15外側(cè)變形,使試樣杯15內(nèi)側(cè)的容積擴(kuò)大。這樣,通過用比試樣杯15的斷面面積大的能夠自如變形的片材構(gòu)成試樣杯端面 151,在試樣杯15內(nèi)側(cè)的壓力為通常壓力的狀態(tài)下,如圖13A所示,試樣杯端面151處于變 形成向試樣杯15內(nèi)側(cè)凸起的狀態(tài)。此外,在試樣杯15內(nèi)側(cè)的壓力增大的狀態(tài)下,如圖1 所示,試樣杯端面151變形,向試樣杯15外側(cè)擴(kuò)展。利用試樣杯端面151向試樣杯15外側(cè) 變形,試樣杯15內(nèi)部的容積增大,即試樣室1內(nèi)部的容積增大。試樣杯端面151起到作為 本發(fā)明的變形部的功能。除了試樣杯15以外的試樣室1的結(jié)構(gòu)與第一例相同。圖14A-圖14D是表示實(shí)施方式1第五例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖14A所示,把試樣杯15從上側(cè)套在試樣室內(nèi)框101上,在試樣杯端面151為下側(cè)的 狀態(tài)下,從試樣杯15的開口部向試樣杯15內(nèi)注入流體試樣S。然后如圖14B所示,用X射 線透射片102覆蓋試樣杯15的開口部,并把試樣室外框103嵌在外側(cè),進(jìn)行試樣室1的組 裝和裝入流體試樣S。然后,把試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖14C所示,以X射線透射片102為 底面,以試樣杯端面151為上側(cè),把試樣室1放置在試樣室托架2上,進(jìn)行熒光X射線分析。 在該狀態(tài)下,試樣杯端面151成為變形成向試樣室1內(nèi)側(cè)凸起的形狀。在進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓 力上升的情況下,試樣杯端面151伴隨壓力的上升而變形。如圖14D所示,試樣杯端面151 邊向試樣室1外側(cè)伸展邊變形,因此試樣室1內(nèi)部的容積增大。因試樣室1內(nèi)部的容積增 大,緩解了試樣室1內(nèi)的壓力的上升,所以可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在使用第五例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,在流體試樣S在試 樣室1內(nèi)揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升的情況下,作為透過一次X射線和熒光X射線的窗 口部的X射線透射片102不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢測器 4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度沒有變化,所以可以用熒光 X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。此外,在以上的第一例 第五例中,表示了把伴隨試樣室1內(nèi)壓力的上升而變形 的各種變形部設(shè)置在試樣杯端面上的方式,但不限于此,本發(fā)明的試樣室1可以是把變形 部設(shè)置在除了 X射線透射片102以外的部分上的方式,例如可以把變形部設(shè)置在側(cè)面等試樣杯端面以外的部分上。實(shí)施方式1第六例在實(shí)施方式1第六例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的試 樣杯的形狀不同。圖15A和圖15B是實(shí)施方式1第六例的試樣杯16的示意剖視圖。試樣 杯16的試樣杯端面161為平板形。此外,如圖15A所示,在試樣杯端面161上形成有兩個(gè) 孔162、163,這兩個(gè)孔162、163與試樣杯16的內(nèi)部空間相通。如圖15B所示,通過在孔162 上安裝塞子164,在孔163上安裝塞子165,把孔162、163密封。除了試樣杯16以外的試樣 室1的結(jié)構(gòu)與第一例相同。圖16A-圖16C是表示實(shí)施方式1第六例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖16A所示,通過把試樣杯16套在試樣室內(nèi)框101上,用X射線透射片102覆蓋試樣 杯16的開口部,并把試樣室外框103嵌在外側(cè),進(jìn)行試樣室1的組裝,使X射線透射片102 為底面。然后,如圖16B所示,從孔162、163中的任意一個(gè)注入流體試樣S,用流體試樣S裝 滿試樣室1內(nèi)的空間。此時(shí),孔162、163中的一個(gè)為流體試樣S的注入口,另一個(gè)為空氣的 排出口。在裝滿流體試樣S時(shí),通過擦掉或吸走等方式來去除從孔162、163溢出到試樣杯 端面161上的流體試樣S。然后,如圖16C所示,通過把塞子164、165裝在孔162、163上,把 孔162、163密封。通過用塞子164、165把孔162、163密封,試樣室1內(nèi)用流體試樣S充滿, 不存在空氣。在安裝塞子164、165時(shí),去除溢出到試樣杯端面161上的流體試樣S。此外, 試樣杯16也可以在試樣杯端面161上設(shè)置包圍孔162、163周圍的邊框,使得從孔162、163 溢出的流體試樣S不從試樣杯端面161流出。此外,在試樣杯端面161上形成的孔的數(shù)量 沒有必要限定為兩個(gè),試樣杯16也可以是在試樣杯端面161上形成一個(gè)孔的方式,獨(dú)自同 時(shí)進(jìn)行流體試樣S的注入和空氣的排出,此外,也可以是在試樣杯端面161上形成三個(gè)以上 的孔的方式。使X射線透射片102為底面,把用流體試樣S充滿后的試樣室1放置在試樣室托 架2上,進(jìn)行熒光X射線分析。在進(jìn)行熒光X射線分析中,即使伴隨時(shí)間的延長流體試樣S 要揮發(fā),由于試樣室1被密封,此外,在試樣室1內(nèi)不存在空氣,所以流體試樣S不能揮發(fā)。 因此,試樣室1內(nèi)的壓力不會上升,可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在使用第六例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,由于在試樣室1內(nèi) 不會因流體試樣S揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升,所以作為透過一次X射線和熒光X射線 的窗口部的X射線透射片102不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線檢 測器4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度沒有變化,所以可以用 熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。實(shí)施方式1第七例在實(shí)施方式1第七例中,熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)與第一例相同,試樣室1的試 樣杯的形狀不同。圖17A和圖17B是實(shí)施方式1第七例的試樣杯17的示意剖視圖。在試 樣杯17的試樣杯端面171上設(shè)置有氣球部172,該氣球部172用橡膠狀薄膜材料制成,可以 膨脹收縮。如圖17A所示,氣球部172可以向試樣杯17的外部膨脹,氣球部172內(nèi)部的空 洞與試樣杯17形成的試樣室1內(nèi)的空間相連。此外,如圖17B所示,用夾子或橡膠帶等夾 緊構(gòu)件173可以夾緊氣球部172的根部,即可以夾緊氣球部172與試樣杯端面171連接的 部分。在把氣球部172的根部用夾緊構(gòu)件173夾緊的狀態(tài)下,氣體和液體不能在氣球部172內(nèi)部的空間與試樣室1內(nèi)的空間之間移動。除了試樣杯17以外的試樣室1的結(jié)構(gòu)與第一 例相同。圖18A-圖18D是表示實(shí)施方式1第七例的試樣室1的利用方式的示意剖視圖。首 先,如圖18A所示,把試樣杯17從上側(cè)套在試樣室內(nèi)框101上,在試樣杯端面171為下側(cè)的 狀態(tài)下,從試樣杯17的開口部向試樣杯17內(nèi)注入流體試樣S。然后如圖18B所示,用X射 線透射片102覆蓋試樣杯17的開口部,并把試樣室外框103嵌在外側(cè),進(jìn)行試樣室1的組 裝和裝入流體試樣S。然后把試樣室1上下翻轉(zhuǎn),如圖18C所示,以X射線透射片102為底 面,使試樣杯端面171為上側(cè)。此時(shí)預(yù)先調(diào)整流體試樣S的量,使流體試樣S進(jìn)入到氣球部 172內(nèi)。然后如圖18D所示,把氣球部172的根部用夾緊構(gòu)件173夾緊。在該狀態(tài)下,用流 體試樣S充滿試樣室1內(nèi),在氣球部172內(nèi)存在流體試樣S和空氣。由于夾緊構(gòu)件173,物 質(zhì)不能在試樣室1內(nèi)部與氣球部172之間移動。以X射線透射片102為底面,把圖18D所示狀態(tài)的試樣室1放置在試樣室托架2 上,進(jìn)行熒光X射線分析。在進(jìn)行熒光X射線分析中,在伴隨時(shí)間的延長流體試樣S要揮發(fā) 的情況下,在氣球部172內(nèi)流體試樣S可以揮發(fā),但在試樣室1內(nèi)因用流體試樣S充滿,不 存在空氣,所以流體試樣S不能揮發(fā)。在氣球部172內(nèi)因流體試樣S揮發(fā)造成內(nèi)部壓力上 升,但由于利用夾緊構(gòu)件可以防止流體試樣S和空氣從氣球部172內(nèi)向試樣室1內(nèi)移動,所 以試樣室1內(nèi)的壓力不會上升。因此,可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在使用第七例的試樣室1的熒光X射線分析裝置中,在試樣室1內(nèi)不會 發(fā)生流體試樣S揮發(fā)使試樣室1內(nèi)的壓力上升的問題,所以作為透過一次X射線和熒光X 射線的窗口部的X射線透射片102不會膨脹。因此,流體試樣S與檢測熒光X射線的X射 線檢測器4的距離不會變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度沒有變化,所以可 以用熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。實(shí)施方式2下面,對實(shí)施方式2進(jìn)行說明,實(shí)施方式2的特征在于放置試樣室的試樣室托架和 組裝試樣室時(shí)使用的試樣室組裝用具。圖19是表示實(shí)施方式2的熒光X射線分析裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。該熒光X射線分 析裝置的結(jié)構(gòu)與上述的實(shí)施方式1的熒光X射線分析裝置的結(jié)構(gòu)相同,與圖1相同的部分 采用相同的附圖標(biāo)記,省略了對它們的說明。在框體5上部平面的中央形成有開口部,以內(nèi)嵌入該開口部內(nèi)的方式安裝試樣室 托架20。把收容有作為分析對象的試樣的試樣室(熒光X射線分析用試樣室)1放置在試 樣室托架20上。用蓋6覆蓋試樣室托架20和放置在試樣室托架20上的試樣室1。在試樣 室托架20上設(shè)置有可以使X射線透過的X射線透射片22。圖20是表示試樣室1和試樣室托架20結(jié)構(gòu)的剖視圖,圖21是表示試樣室1結(jié)構(gòu) 的分解立體圖。試樣室1與實(shí)施方式1相同,包括試樣室內(nèi)框101、試樣杯18、試樣室外框 103以及X射線透射片102。把性質(zhì)柔軟的塑料薄膜等片材彎折形成試樣杯18。試樣杯18包括圓筒形的試樣 收容部182,試樣收容部182的一端為試樣杯端面181,在另一端上有開口部;殼部183,設(shè) 置成與試樣收容部182的開口部連接,與試樣收容部182的外周面隔開規(guī)定的間隔,包圍試 樣收容部182的外周面;以及凸緣部184,在殼部183的端部沿外周面的一周設(shè)置。此外,如后面敘述的那樣,試樣杯端面181可以向試樣室1內(nèi)部變形。此外,試樣室內(nèi)框101、X射線透射片102和試樣室外框103的結(jié)構(gòu)以及這些構(gòu)件 與試樣杯18的關(guān)系與上述的實(shí)施方式1的情況相同,所以相同的部分采用相同的附圖標(biāo) 記,省略了對它們的說明。圖22是表示試樣室托架20結(jié)構(gòu)的分解立體圖。試樣室托架20包括試樣室支承 部件21和X射線透射片22。試樣室支承部件21由銅或鋁等金屬制成,試樣室支承部件21 的形狀為在具有邊壁部212的圓筒的一端設(shè)置有圓板形的底板部213,在底板部213的中 央形成有開口部216,在另一端設(shè)置有凸緣部211。邊壁部212的內(nèi)徑比試樣室1的試樣室 外框103的圓筒部分的外徑大,邊壁部212的高度比試樣室1在軸向上的高度足夠的低。此外,試樣室支承部件21在底板部213的內(nèi)邊緣部分(開口部216的周向邊緣部 分)具有支承部214,支承部214沿開口部216的一周朝向開口部216的內(nèi)側(cè),向斜上方突 出。即,支承部214為直徑在上側(cè)收縮的圓筒形(大體為圓錐臺形),支承部214的突出端 部(上端部)形成圓環(huán)形的水平且平滑的支承平面215。支承平面215的外徑比試樣室1 的試樣杯18的開口部直徑小。此外,圖示的支承部214為直徑在上側(cè)收縮的圓筒形,但不 限定于此,支承部214也可以做成大體垂直的。X射線透射片22為直徑比試樣室支承部件21的外徑大的大體為圓形的片材形,它 是與試樣室1的X射線透射片102相同的透過片。X射線透射片22用后面敘述的方法貼在 試樣室支承部件21的底面上,通過0形圈等環(huán)形彈性構(gòu)件從外側(cè)固定,安裝在試樣室支承 部件21上。安裝在試樣室支承部件21上的X射線透射片22覆蓋并封住封閉開口部216。 通過把X射線透射片22安裝在試樣室支承部件21上,組裝試樣室托架20。把組裝后的試 樣室托架20用螺絲等安裝在框體5的開口部上,把熒光X射線分析裝置的測量室51密封。接著,對用于組裝試樣室1的本發(fā)明的試樣室組裝用具進(jìn)行說明。圖23是表示本 發(fā)明的試樣室組裝用具結(jié)構(gòu)的立體圖。試樣室組裝用具包括試樣杯放置臺71,在組裝試 樣室1時(shí)支承試樣杯18 ;片材放置用具72,支承X射線透射片102 ;以及外框嵌合用具73, 用于把試樣室外框103嵌合在試樣杯18上。試樣杯放置臺71、片材放置用具72和外框嵌 合用具73都用黃銅或鋁等金屬制成。此外,片材放置用具72也可以用樹脂制成。試樣杯放置臺71在形成平板形的平板部711的上面設(shè)置圓柱部(定位部)712, 在圓柱部712的頂面上形成有凸起部(上推部)713。平板部711具有足夠?qū)挼膶挾?,用?放置試樣室1和片材放置用具72。圓柱部712的外徑比試樣室內(nèi)框101的凸緣部IOla的 內(nèi)徑稍小,并且圓柱部712外徑的大小為在使試樣杯18的開口部向上把嵌合有試樣室內(nèi) 框101的試樣杯18放置在試樣杯放置臺71上時(shí),可以使試樣室內(nèi)框101的凸緣部IOla嵌 在圓柱部712外側(cè),對試樣杯18進(jìn)行定位。圓柱部712的高度比試樣室內(nèi)框101的凸緣部 IOla的高度低。凸起部713設(shè)置在圓柱部712頂面的大體中央。凸起部713的高度加上圓 柱部712的高度比試樣室內(nèi)框101的凸緣部IOla的高度稍高,并且凸起部713的高度為 在使試樣杯18的開口部向上把嵌合有試樣室內(nèi)框101的試樣杯18放置在試樣杯放置臺71 上時(shí),可以使試樣杯18的試樣杯端面181被凸起部713按壓而變形。此外,為了對試樣杯 18進(jìn)行定位,試樣杯放置臺71也可以不形成圓柱部712,而是形成與試樣室內(nèi)框101的凸 緣部IOla形狀一致的槽的形狀。片材放置用具72為兩端開口的圓筒形。片材放置用具72的內(nèi)徑比試樣室外框103的凸緣部103a的外徑及試樣杯18的凸緣部184的外徑大,比X射線透射片102的外 徑小。片材放置用具72的外徑為可以把X射線透射片102放置在該片材放置用具72上面 的大小。此外,片材放置用具72的外周也可以是除了圓以外的多邊形等形狀。片材放置用 具72的高度比嵌合有試樣室內(nèi)框101的試樣杯18高。即,把嵌合有試樣室內(nèi)框101的試 樣杯18放置在試樣杯放置臺71上,再放置片材放置用具72時(shí),片材放置用具72包圍試樣 杯18,并且片材放置用具72的高度也更高。此外,片材放置用具72的兩個(gè)端面平行,且與 軸垂直,使得可以把X射線透射片102放置在片材放置用具72上,該片材放置用具72放置 在試樣杯放置臺71上。此外,試樣杯放置臺71還可以進(jìn)一步形成有圓柱部或槽的形狀,用 于在放置片材放置用具72時(shí)對片材放置用具72進(jìn)行定位。外框嵌合用具73為兩端開口的圓筒形。外框嵌合用具73的內(nèi)徑比試樣室外框103 的凸緣部103a的外徑小,比試樣室外框103的其它部分的外徑稍大,外框嵌合用具73的內(nèi) 徑大小為能夠使試樣室外框103從與凸緣部103a相反的一側(cè)插入,使試樣室外框103內(nèi) 嵌入外框嵌合用具73內(nèi)側(cè)。外框嵌合用具73的外徑比片材放置用具72的內(nèi)徑小,外框嵌 合用具73的外徑的大小為可以插入片材放置用具72內(nèi)。此外,外框嵌合用具73的高度 比試樣室外框103高。外框嵌合用具73也可以是具有凸緣部的形狀,使得容易握持,此外, 也可以在外框嵌合用具73的一部分上形成狹縫,使得在把試樣室外框103與試樣杯18嵌 合后,容易取下外框嵌合用具73。接著,對使用本發(fā)明的試樣室組裝用具的試樣室1的組裝方法進(jìn)行說明。圖M 圖觀是通過正面視圖和剖視圖說明試樣室1的組裝方法的說明圖。首先,如圖24A所示, 把試樣杯18從上側(cè)套在使凸緣部IOla為下側(cè)的試樣室內(nèi)框101上。在該狀態(tài)下,試樣杯 端面181為下側(cè),試樣室內(nèi)框101與試樣杯18相嵌合。然后,如圖24B所示,在試樣杯端面 181為下側(cè)的狀態(tài)下,把嵌合有試樣室內(nèi)框101的試樣杯18放置在試樣杯放置臺71的圓柱 部712上。圖25A表示放置在試樣杯放置臺71上的試樣杯18的剖視圖。試樣杯放置臺71 的圓柱部712內(nèi)嵌在試樣室內(nèi)框101的內(nèi)側(cè),對試樣杯18進(jìn)行定位。此外,試樣杯18的試 樣杯端面181被凸起部713按壓,變形成向試樣杯18內(nèi)側(cè)凸起。然后,如圖25A所示,向試 樣杯18內(nèi)側(cè)注入液體試樣S。圖25B表示注入液體試樣S后的試樣杯18的剖視圖。為了 防止液體試樣S從試樣杯18溢出,注入到比試樣杯18上端稍低的位置為止。如圖26A所示,在注入液體試樣S后,以從試樣杯18的上側(cè)套在試樣杯18上的方 式,把片材放置用具72放置在試樣杯放置臺71上。圖26A用虛線表示片材放置用具72的 內(nèi)表面。在把片材放置用具72放置在試樣杯放置臺71上的狀態(tài)下,由片材放置用具72包 圍試樣杯18,如圖26B所示,在正面視圖中,試樣杯18被片材放置用具72遮擋。在圖26B 中,用虛線表示片材放置用具72的內(nèi)表面以及被片材放置用具72遮擋的試樣杯18和試樣 室內(nèi)框101。此外,也可以在把片材放置用具72放置在試樣杯放置臺71上后,把液體試樣 S注入到試樣杯18中。然后,如圖26B所示,把X射線透射片102放置在試樣杯放置臺71 上。在該狀態(tài)下,由于X射線透射片102放置在比試樣杯18高的片材放置用具72上,所以 不會與試樣杯18內(nèi)的液體試樣S接觸。如圖27A所示,把外框嵌合用具73從上側(cè)套在使凸緣部103a為下側(cè)的試樣室外 框103上。在該狀態(tài)下,試樣室外框103內(nèi)嵌在外框嵌合用具73內(nèi)。然后,如圖27B所示,從放置了 X射線透射片102的試樣杯放置臺71的上方,壓入內(nèi)嵌入有試樣室外框103的外 框嵌合用具73。試樣室外框103邊由片材放置用具72的內(nèi)壁引導(dǎo),邊被外框嵌合用具73 壓入。X射線透射片102被試樣室外框103按壓,與試樣杯18的開口部的邊緣接觸。試樣 室外框103邊與試樣杯18把X射線透射片102夾在它們中間邊下降,在凸起部10 與試 樣室內(nèi)框101的槽部IOlb卡合時(shí)停止。圖28A表示在把試樣室外框103壓入狀態(tài)下的剖視圖。試樣室外框103把試樣杯 18和X射線透射片102夾在試樣室外框103與試樣室內(nèi)框101之間,嵌在試樣室內(nèi)框101 外側(cè),試樣杯18和X射線透射片102被夾持在試樣室內(nèi)框101和試樣室外框103之間。此 外,被試樣室外框103按壓并下降的X射線透射片102,覆蓋并封住試樣杯18的開口部。在 把試樣室外框103壓入時(shí),X射線透射片102被向周圍方向牽拉,試樣室外框103由片材放 置用具72的內(nèi)壁和外框嵌合用具73引導(dǎo),大體垂直壓入,所以把X射線透射片102向周圍 方向牽拉的張力均勻。因此,在X射線透射片102上難以產(chǎn)生褶皺,X射線透射片102被張 緊設(shè)置成密封試樣杯18。此外,由于X射線透射片102在被張緊設(shè)置之前,既不與與液體 試樣S,也不與試樣杯18的開口部的邊緣接觸,所以在完成試樣室1的組裝之前,不會因液 體試樣S附著在X射線透射片102上的原因,在把X射線透射片102張緊設(shè)置時(shí)產(chǎn)生褶皺。 此外,在把試樣室外框103壓入時(shí),整個(gè)試樣室1被向下壓入,利用試樣杯放置臺71的凸起 部713可以可靠地使試樣杯端面181變形。由于外框嵌合用具73的高度比試樣室外框103 高,所以在試樣室外框103與試樣杯18嵌合的狀態(tài)下,外框嵌合用具73的上端也比片材放 置用具72的上端突出,通過從上面按壓外框嵌合用具73,可以可靠地把試樣室外框103壓 入。然后,通過把外框嵌合用具73和片材放置用具72取下,并把試樣室1從試樣杯放 置臺71上取下,如圖^B的剖視圖所示,完成試樣室1的組裝。由于外框嵌合用具73的上 端比片材放置用具72上端更突出,所以可以容易地取下外框嵌合用具73。組裝后的試樣室 1把液體試樣S密封在內(nèi)部,試樣杯端面181變形為向內(nèi)側(cè)凸起。接著,對用于組裝試樣室托架20的試樣室托架組裝用具和使用試樣室托架組裝 用具的試樣室托架20的組裝方法進(jìn)行說明。把試樣室支承部件21翻過來后,通過安裝X 射線透射片22來組裝試樣室托架20。圖四是把試樣室支承部件21翻過來的立體圖。試 樣室支承部件21具有環(huán)形的底面217,該底面217相當(dāng)于底板部213的背面,在邊壁部212 的壁面上形成有周邊槽218,該周邊槽218繞開口部216的周圍一周。為了組裝試樣室托 架20,只要通過以封住開口部216的方式調(diào)節(jié)X射線透射片22,并把0形圈等環(huán)形彈性構(gòu) 件嵌入周邊槽218中,來固定X射線透射片22即可??墒?,在用0形圈等環(huán)形彈性構(gòu)件固 定X射線透射片22時(shí),由于X射線透射片22容易產(chǎn)生褶皺,所以需要可以防止產(chǎn)生褶皺并 可以把X射線透射片22安裝在試樣室支承部件21上的試樣室托架組裝用具。圖30是表示用于組裝試樣室托架20的試樣室托架組裝用具的立體圖。試樣室托 架組裝用具8由金屬或樹脂等材料制成,整體做成圓筒形。此外,試樣室托架組裝用具8以 外徑從軸向上的中途向頂面一側(cè)單調(diào)減少的方式形成圓錐臺形,此外,以外徑從軸向上的 中途向底面一側(cè)單調(diào)減少的方式形成圓錐臺形。即,試樣室托架組裝用具8的外徑從頂面 一側(cè)向底面一側(cè)逐漸變大,暫時(shí)成為最大后,從中途逐漸變小。圖31是沿試樣室托架組裝 用具8的軸剖開的剖視圖。在試樣室托架組裝用具8的底面81的圓周邊緣部上形成環(huán)形突出部82,該環(huán)形突出部82向與底面81垂直的方向突出。環(huán)形突出部82的內(nèi)徑的大小 為能夠嵌在試樣室支承部件21的邊壁部212的外側(cè)。此外,環(huán)形突出部82的高度比從試 樣室支承部件21底面217到周邊槽218的距離小。圖32A和圖32B是說明使用試樣室托架組裝用具8的試樣室托架20的組裝方法 的示意剖視圖。如圖32A所示,首先,對于把底面217作為上側(cè)的試樣室支承部件21,把X 射線透射片22放置在底面217上,再從X射線透射片22的上面放置試樣室托架組裝用具 8。在放置了試樣室托架組裝用具8的狀態(tài)下,試樣室托架組裝用具8的底面81隔著X射 線透射片22,抵接在試樣室支承部件21的底面217上。此外,環(huán)形突出部82隔著X射線透 射片22嵌在試樣室支承部件21的邊壁部212的外側(cè)。在把試樣室托架組裝用具8放置到試樣室支承部件21上的狀態(tài)下,把0形圈23從 頂面一側(cè)嵌入試樣室托架組裝用具8。0形圈23的直徑的大小為能嵌合在試樣室支承部 件21的周邊槽218上。然后,如圖32B白色箭頭所示,把0形圈23從頂面一側(cè)逐漸向底面 81的方向挪動。試樣室托架組裝用具8的頂面的外徑最小,由于越挪動0形圈23,試樣室 托架組裝用具8的外徑越變大,所以0形圈23均勻擴(kuò)展。此外,進(jìn)一步使0形圈23移動, 使0形圈23移動到比環(huán)形突出部82更靠向下側(cè)。由于試樣室托架組裝用具8的外徑從中 途逐漸變小,所以0形圈23因彈性而容易移動。此外,由于環(huán)形突出部82嵌在試樣室支承 部件21的邊壁部212的外側(cè),所以0形圈23通過挪動位置可以可靠地從試樣室托架組裝 用具8向試樣室支承部件21移動。通過使0形圈23沿邊壁部212進(jìn)一步向下側(cè)移動,0形 圈23嵌入到試樣室支承部件21的周邊槽218中,把X射線透射片22固定在試樣室支承部 件21上。此后,把試樣室托架組裝用具8取下,完成試樣室托架20的組裝。圖33是表示組裝后的試樣室托架20的剖視圖。放置在試樣室支承部件21的底 面217上的X射線透射片22,由嵌入在周邊槽218中的0形圈23固定。在0形圈23沿邊 壁部212移動時(shí),X射線透射片22被向周圍方向均勻牽拉,被張緊設(shè)置成封住開口部216。把組裝后的試樣室托架20上下翻轉(zhuǎn),使X射線透射片22成為下側(cè),用螺絲等把試 樣室托架20安裝在框體5的開口部上。通過安裝試樣室托架20,把熒光X射線分析裝置的 測量室51密封。此外,把組裝后的試樣室1上下翻轉(zhuǎn),以X射線透射片102為底面,以試樣 杯端面181為上側(cè),把試樣室1放置在試樣室托架20上。圖34是表示放置在試樣室托架 20上的試樣室1的剖視圖。試樣室1以X射線透射片102為底面,并以X射線透射片102 抵接在試樣室支承部件21的支承平面215上的方式放置在試樣室托架20上。在試樣室1 內(nèi)封入了液體試樣S和一些空氣。在把試樣室1放置在試樣室托架20上的狀態(tài)下,從X射 線管3照射一次X射線,進(jìn)行熒光X射線分析。來自X射線管3的一次X射線從圖34所示 的圖的下側(cè)照射,一次X射線透過X射線透射片22和X射線透射片102照射到試樣室1內(nèi) 的流體試樣S,從流體試樣S產(chǎn)生的熒光X射線透過X射線透射片102和X射線透射片22 放射出來。
在進(jìn)行熒光X射線分析中,流體試樣S伴隨時(shí)間的延長而揮發(fā),在試樣室1內(nèi)的壓 力上升的情況下,試樣杯端面181伴隨壓力的上升而變形。圖35是表示試樣杯端面181伴 隨壓力的上升而變形后的試樣室1的剖視圖。預(yù)先變形為向內(nèi)側(cè)凸起的試樣杯端面181,伴 隨試樣室1內(nèi)壓力的上升,邊向試樣室1外側(cè)擴(kuò)展邊變形,由此試樣室1內(nèi)部的容積增大。 因試樣室1內(nèi)部的容積增大,緩解了試樣室1內(nèi)的壓力上升,所以可以防止X射線透射片102因壓力上升而膨脹。如上所述,在采用使用實(shí)施方式2的試樣室組裝用具組裝后的試樣室1的的熒光 X射線分析裝置中,即使在流體試樣S在試樣室1內(nèi)揮發(fā),使試樣室1內(nèi)的壓力上升的情況 下,作為透過一次X射線和熒光X射線的窗口部的X射線透射片102也不會膨脹。由于透 過熒光X射線的X射線透射片102沒有膨脹,所以流體試樣S與檢測熒光X射線的X射線 檢測器4的距離沒有變化,用X射線檢測器4檢測的熒光X射線的強(qiáng)度也沒有變化。因此, 因流體試樣S內(nèi)的元素分布以外的原因造成的熒光X射線的強(qiáng)度變化消失,所以可以用熒 光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。此外,在實(shí)施方式2中,在完成試樣室1的組裝之前,可以防止因液體試樣S附著 在X射線透射片102上,造成在X射線透射片102產(chǎn)上生褶皺,并且可以防止在把試樣室外 框103嵌入時(shí)因牽拉X射線透射片102的張力不均勻,造成在X射線透射片102上產(chǎn)生褶 皺。因此,不會因在X射線透射片102上產(chǎn)生褶皺造成液體試樣S從試樣室1漏出,此外, 也不會因X射線透射片102的褶皺造成液體試樣S與X射線檢測器4的距離改變,所以可 以用熒光X射線分析高精度地進(jìn)行流體試樣S的元素分析。
權(quán)利要求
1.一種熒光X射線分析用試樣室,其特征在于,所述試樣室具有窗口部,該窗口部用于 把來自收容在所述試樣室內(nèi)部的試樣的熒光X射線向外部發(fā)射,所述試樣室收容試樣后, 在密封的狀態(tài)下使用,所述試樣室還具有變形部,在密封狀態(tài)下,在所述試樣室內(nèi)部壓力上升的情況下,所述 變形部能夠變形,使得在所述窗口部變形前使所述試樣室內(nèi)部的容積增大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熒光X射線分析用試樣室,其特征在于,通過被折疊成能向外 側(cè)擴(kuò)展的片材來形成所述窗口部以外的一部分壁,并將該一部分壁用作所述變形部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熒光X射線分析用試樣室,其特征在于,通過隨著壓力的上升 而膨脹的片材來形成所述窗口部以外的一部分壁,并將該一部分壁用作所述變形部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熒光X射線分析用試樣室,其特征在于,在所述窗口部以外的 部分設(shè)置有波紋部,所述波紋部作為所述變形部,所述波紋部能夠向使所述試樣室的內(nèi)部 容積增大的方向變形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熒光X射線分析用試樣室,其特征在于,利用變形自如的片材 形成所述窗口部以外的一部分壁,作為所述變形部使用的所述一部分壁被預(yù)先變形為朝內(nèi) 側(cè)凸出。
6.一種試樣室組裝用具,其特征在于,通過在試樣杯中收容試樣,利用X射線透射片密 封收容有所述試樣的所述試樣杯的開口部,并以把所述X射線透射片夾在所述試樣杯與外 框之間的方式把所述外框嵌合在所述試樣杯上,來組裝熒光X射線分析用的所述試樣室, 在組裝熒光X射線分析用的所述試樣室時(shí)使用所述試樣室組裝用具,所述試樣室組裝用具包括試樣杯放置臺,該試樣杯放置臺用于放置所述試樣杯, 所述試樣杯放置臺包括定位部,在把開口部作為上側(cè)放置所述試樣杯時(shí),對所述試樣杯進(jìn)行定位;以及 上推部,在把所述外框從上側(cè)嵌合在放置的所述試樣杯上時(shí),向上推成為所述試樣杯 下側(cè)的端面,使所述端面朝向試樣杯內(nèi)側(cè)凸出地變形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的試樣室組裝用具,其特征在于,在所述試樣杯的所述端面?zhèn)惹度雸A筒形的內(nèi)框,并且所述內(nèi)框的端部比所述端面更突出,所述定位部為在平面上隆起的圓柱, 所述圓柱的外徑為能夠內(nèi)嵌入所述內(nèi)框內(nèi)的大小, 所述圓柱的高度比從所述內(nèi)框的端部到所述端面的距離小, 所述上推部是在所述圓柱的上表面中央部突出的凸起。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的試樣室組裝用具,其特征在于, 所述試樣室組裝用具還包括片材放置用具,所述片材放置用具與所述試樣杯放置臺是分開的用具, 所述片材放置用具為筒形, 所述片材放置用具的兩個(gè)端面平行且與軸垂直, 所述片材放置用具的內(nèi)徑比所述試樣室的外徑大, 所述片材放置用具放置在所述試樣杯放置臺上時(shí)的高度比所述試樣杯高, 以包圍所述試樣杯的方式把所述片材放置用具放置在所述試樣杯放置臺上,所述片材放置用具用于放置所述X射線透射片。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的試樣室組裝用具,其特征在于, 所述試樣室組裝用具還包括外框嵌合用具,所述外框嵌合用具與所述試樣杯放置臺及所述片材放置用具是分開的用具, 所述外框嵌合用具為筒形,所述外框嵌合用具的內(nèi)徑為能夠把所述外框嵌入所述外框嵌合用具內(nèi)部的大小, 所述外框嵌合用具的外徑比所述片材放置用具的內(nèi)徑小, 所述外框嵌合用具的高度比所述外框高,所述外框嵌合用具用于通過從放置在所述片材放置用具上的所述X射線透射片的上 側(cè),把內(nèi)嵌在所述外框嵌合用具內(nèi)的所述外框向所述試樣杯壓入,使所述外框與所述試樣 杯相嵌合。
全文摘要
本發(fā)明提供一種熒光X射線分析用試樣室和試樣室組裝用具。試樣室收容有液體燃料等試樣,并且用X射線透射片密封,在內(nèi)部壓力上升的情況下,在作為窗口部的X射線透射片膨脹之前,試樣杯端面變形,使得試樣室內(nèi)的容積增大。通過把膜狀材料折疊形成試樣杯端面,在試樣室內(nèi)的壓力上升的情況下,試樣杯端面向試樣室外側(cè)擴(kuò)展,試樣室內(nèi)的容積增大。因容積增大可以緩解壓力的上升,從而可以防止X射線透射片的膨脹。
文檔編號G01N23/223GK102042991SQ20101050216
公開日2011年5月4日 申請日期2010年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月9日
發(fā)明者后藤智, 大澤澄人, 岸田真由子, 有本公彥, 金馬崇, 駒谷慎太郎, 黑住拓司 申請人:株式會社堀場制作所