專利名稱：一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種在生產(chǎn)柔性基材金屬化薄膜過(guò)程中，對(duì)金屬化薄膜的電阻進(jìn)
行在線測(cè)量的裝置。
背景技術(shù)：
在柔性基材金屬化薄膜的各項(xiàng)性能參數(shù)中，薄膜電阻是最重要最直接的參數(shù)之
一。它不僅可以反映薄膜的厚度，而且與薄膜的光學(xué)等其它性能密切相關(guān)。因此，成膜過(guò)程
中，通過(guò)在線連續(xù)測(cè)量薄膜電阻，從而控制金屬化薄膜的成膜條件，使所成薄膜的表面電阻
在設(shè)定水平上均勻一致，由此還可以控制薄膜的其它性能，提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。 現(xiàn)有在線測(cè)量金屬化薄膜電阻的技術(shù)中，有一種方法是將金屬化薄膜夾在2個(gè)金
屬輥之間，測(cè)量金屬輥之間的表面電阻。但是，這種方法僅能測(cè)量長(zhǎng)度方向的表面電阻，對(duì)
幅寬方向的表面電阻卻無(wú)能為力。 此外，還有一種方法是，通過(guò)外加磁場(chǎng)，測(cè)量金屬化薄膜內(nèi)感生的電流渦流，從而 計(jì)算出薄膜的表面電阻。然而，這種方法在測(cè)量表面電阻較大(大于10Q / □)的金屬化 薄膜時(shí)，需要施加極高的磁場(chǎng)強(qiáng)度；此外，在線連續(xù)測(cè)量時(shí)，由于塑料基材的抖動(dòng)，使傳感器 部與金屬化薄膜間的距離發(fā)生變化，造成耦合電感不能穩(wěn)定，測(cè)量誤差較大。 還有，作為對(duì)上述技術(shù)進(jìn)行的改進(jìn)，在測(cè)量金屬化薄膜內(nèi)感生渦流的同時(shí)，測(cè)量金 屬化薄膜的溫度以及金屬化薄膜與傳感器之間的距離，然后計(jì)算出薄膜電阻。但是，進(jìn)行 這種測(cè)量的裝置很復(fù)雜，價(jià)格昂貴；其次，該方法需要對(duì)每一種待測(cè)樣品進(jìn)行距離和溫度校 正，測(cè)量極不方便；再次，由于溫度傳感器與金屬化薄膜非接觸，距離約幾毫米，使測(cè)量溫度 和金屬化薄膜的實(shí)際溫度有一定誤差，從而給計(jì)算結(jié)果帶來(lái)誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提出一種柔性基材金屬化薄膜 電阻的在線測(cè)量裝置，它可在線準(zhǔn)確測(cè)出柔性基材金屬化薄膜的電阻，用以根據(jù)金屬化薄 膜電阻的變化，調(diào)節(jié)鍍膜工藝參數(shù)，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。 本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置包括測(cè) 量輥，所述測(cè)量輥有兩端分別經(jīng)軸承裝在支座上的輥軸，由固定安裝在該輥軸上的絕緣內(nèi) 襯和套裝在該絕緣內(nèi)襯外周的橡膠圈組成輥體，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，所述輥體一端固定安裝有 隨動(dòng)接線圓盤，該隨動(dòng)接線圓盤上沿徑向設(shè)有至少一組電刷且每組電刷由兩個(gè)電刷組成； 所述隨動(dòng)接線圓盤外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座上的固定接線圓盤且該固定接線圓盤內(nèi) 側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅環(huán)組成，一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)分別同對(duì)應(yīng) 一組電刷中的兩個(gè)電刷對(duì)應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有至少一組測(cè)量銅環(huán)且每組測(cè)量銅環(huán)由 兩只測(cè)量銅環(huán)組成，其中每只測(cè)量銅環(huán)分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線同對(duì)應(yīng)一組電刷中的 一只對(duì)應(yīng)電刷連接；而固定接線圓盤上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線及真空陶瓷封 裝凸緣、信號(hào)線同電阻檢測(cè)儀連接；所述測(cè)量銅環(huán)的外徑不小于所述橡膠圈的外徑。[0008] 以下對(duì)本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說(shuō)明。 參見(jiàn)圖1和圖2，本實(shí)用新型所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置包括 測(cè)量輥27，所述測(cè)量輥27有兩端分別經(jīng)軸承17裝在支座16上的輥軸20，由固定安裝在該 輥軸20上的絕緣內(nèi)襯5和套裝在該絕緣內(nèi)襯5外周的橡膠圈4組成輥體，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是， 所述輥體一端固定安裝有隨動(dòng)接線圓盤8，該隨動(dòng)接線圓盤8上沿徑向設(shè)有至少一組電刷 且每組電刷由兩個(gè)電刷9組成；所述隨動(dòng)接線圓盤8外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座16上的 固定接線圓盤15且該固定接線圓盤15內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅10 環(huán)組成，一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)10分別同對(duì)應(yīng)一組電刷中的兩個(gè)電刷9對(duì)應(yīng)相接觸；所述 輥體上裝有至少一組測(cè)量銅環(huán)且每組測(cè)量銅環(huán)由兩只測(cè)量銅環(huán)3組成，其中每只測(cè)量銅環(huán) 3分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線6同對(duì)應(yīng)一組電刷中的一只對(duì)應(yīng)電刷9連接；而固定接線 圓盤15上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)10經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線11及真空陶瓷封裝凸緣12、信號(hào)線13 同電阻檢測(cè)儀14連接；所述測(cè)量銅環(huán)3的外徑不小于所述橡膠圈4的外徑。 為了使所述測(cè)量銅環(huán)3的外周表面有優(yōu)良的接觸導(dǎo)電性，可在所述測(cè)量銅環(huán)3的 外周表面鍍一層金。 實(shí)際應(yīng)用時(shí)，可將測(cè)量機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)為圖1所示的組成，即在測(cè)量輥27的兩側(cè)對(duì)稱地 設(shè)置兩個(gè)導(dǎo)向輥23、25，同時(shí)相應(yīng)配置兩個(gè)可以通過(guò)導(dǎo)向輥精確控制基材張力的張力控制 器24、26 ;待測(cè)的金屬化薄膜帶28在運(yùn)行中同測(cè)量輥27保持一定的接觸面；測(cè)量輥27運(yùn) 轉(zhuǎn)時(shí)，隨動(dòng)接線圓盤8隨該測(cè)量輥同軸轉(zhuǎn)動(dòng)；一組測(cè)量銅環(huán)的兩只測(cè)量銅環(huán)3之間的金屬化 薄膜帶28的電阻則被由該兩只測(cè)量銅環(huán)3及相應(yīng)電刷、電刷銅環(huán)、電阻檢測(cè)儀組成的檢測(cè) 回路測(cè)量出來(lái)。 由以上可知，本實(shí)用新型為一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置，它可 在線準(zhǔn)確測(cè)出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠。


圖i是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的在線》:
圖2是圖1中A-A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。 在圖中 l-柔性基材， 4_橡膠圈， 7-導(dǎo)線通道， 10-銅環(huán)，
12-真空陶瓷封接凸緣， 15-固定接線圓盤， 18-螺釘， 21-鍵，
24、26-張力控制器，
t裝置的結(jié)構(gòu)示意2_金屬化薄膜， 5-絕緣內(nèi)襯， 8-隨動(dòng)接線圓盤， 11-屏蔽饋線， 13-信號(hào)線， 16-支座， 19-螺釘， 22-徑向線槽， 27-測(cè)量輥，
3-測(cè)量銅環(huán)， 6-屏蔽導(dǎo)線， 9-電刷，
14-電阻測(cè)量?jī)x， 17-軸承， 20-輥軸， 23、25-導(dǎo)向輥， 28-金屬化薄膜帶。
具體實(shí)施方式參見(jiàn)圖1，測(cè)量系統(tǒng)包括測(cè)量輥27，該測(cè)量輥27的兩側(cè)對(duì)稱地設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向輥23、25，導(dǎo)向輥23、25由表面光滑的不銹鋼軸構(gòu)成；兩導(dǎo)向輥23、25分別設(shè)置可以精確測(cè)量 和控制基材1張力的已有技術(shù)之張力控制器24、26 ;兩導(dǎo)向輥23、25的直徑均為100mm，長(zhǎng) 1500mm。并且，兩導(dǎo)向輥23、25與測(cè)量輥27之間成倒三角配置，測(cè)量輥位于底部，軸線平行， 兩導(dǎo)向輥軸線分別與測(cè)量輥軸線所成平面之間的夾角為120° ;導(dǎo)向輥軸線與測(cè)量輥軸線 間的距離為200mm。 如圖2所示，所述測(cè)量輥27有兩端分別經(jīng)軸承17裝在支座16上的輥軸20，由固 定安裝在該輥軸20上的絕緣內(nèi)襯5和套裝在該絕緣內(nèi)襯5外周的橡膠圈4組成輥體，所述 輥體一端固定安裝有隨動(dòng)接線圓盤8，該隨動(dòng)接線圓盤8上沿徑向設(shè)有三組電刷且每組電 刷由兩個(gè)電刷9組成；所述隨動(dòng)接線圓盤8外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座16上的固定接線 圓盤15且該固定接線圓盤15內(nèi)側(cè)端面設(shè)有三組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅環(huán)10組成， 一組 銅環(huán)中的兩只銅環(huán)10分別同對(duì)應(yīng)一組電刷中的兩個(gè)電刷9對(duì)應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有三 組測(cè)量銅環(huán)且每組測(cè)量銅環(huán)由兩只測(cè)量銅環(huán)3組成，其中每只測(cè)量銅環(huán)3分別經(jīng)裝在輥體 中的屏蔽導(dǎo)線6同對(duì)應(yīng)一組電刷中的一只對(duì)應(yīng)電刷9連接；而固定接線圓盤15上每組銅環(huán) 的兩只銅環(huán)10經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線11及真空陶瓷封裝凸緣12、信號(hào)線13同電阻檢測(cè)儀14連 接；所述測(cè)量銅環(huán)3的外徑不小于所述橡膠圈4的外徑。 進(jìn)一步地，所述測(cè)量銅環(huán)3的外周表面有鍍金層，并在測(cè)量時(shí)使金屬化薄膜2緊密 接觸測(cè)量輥27 (柔性基材1上沉積金屬化薄膜2就做成了金屬化薄膜帶)；橡膠圈4用乙 腈基橡膠做成，其外徑與測(cè)量銅環(huán)3的外徑相同；絕緣內(nèi)襯5用聚四氟乙烯制作，它由圖2 所示的七段組成。 測(cè)量銅環(huán)3通過(guò)屏蔽導(dǎo)線6，經(jīng)輥體內(nèi)部的導(dǎo)線通道7，與固定在測(cè)量輥輥體端部 并隨測(cè)量輥同軸轉(zhuǎn)動(dòng)的隨動(dòng)接線圓盤8上的電刷9對(duì)應(yīng)連接；與電刷接觸的各銅環(huán)10引出 屏蔽饋線11，通過(guò)真空陶瓷封接凸緣12引出到真空室外側(cè)，然后通過(guò)信號(hào)線13與電阻測(cè)量 儀14相連。 隨動(dòng)接線圓盤8由絕緣的聚四氟乙烯做成，它通過(guò)螺釘19固定在測(cè)量輥上，并隨 測(cè)量輥同軸轉(zhuǎn)動(dòng)。 固定接線圓盤15用聚四氟乙烯做成，它通過(guò)螺釘18固定在支座16上。測(cè)量輥27的外徑為150mm，寬1500mm ;輥軸直徑60mm ;測(cè)量銅環(huán)3外徑150mm，厚
度4mm，寬度為5mm;橡膠圈4厚度為2mm。每組測(cè)量銅環(huán)的兩個(gè)銅環(huán)距離為50mm。相鄰兩
組測(cè)量銅環(huán)之間的距離為525mm。測(cè)量銅環(huán)在輥體上的位置為，距離測(cè)量輥中央部位向左向
右25mm的位置以及距離測(cè)量輥端面200mm和250mm的位置個(gè)各布置一個(gè)測(cè)量銅環(huán)。
權(quán)利要求一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置，包括測(cè)量輥(27)，所述測(cè)量輥(27)有兩端分別經(jīng)軸承(17)裝在支座(16)上的輥軸(20)，由固定安裝在該輥軸(20)上的絕緣內(nèi)襯(5)和套裝在該絕緣內(nèi)襯(5)外周的橡膠圈(4)組成輥體，其特征是，所述輥體一端固定安裝有隨動(dòng)接線圓盤(8)，該隨動(dòng)接線圓盤(8)上沿徑向設(shè)有至少一組電刷且每組電刷由兩個(gè)電刷(9)組成；所述隨動(dòng)接線圓盤(8)外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有固定安裝在支座(16)上的固定接線圓盤(15)且該固定接線圓盤(15)內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)由兩只銅環(huán)(10)組成，一組銅環(huán)中的兩只銅環(huán)(10)分別同對(duì)應(yīng)一組電刷中的兩個(gè)電刷(9)對(duì)應(yīng)相接觸；所述輥體上裝有至少一組測(cè)量銅環(huán)且每組測(cè)量銅環(huán)由兩只測(cè)量銅環(huán)(3)組成，其中每只測(cè)量銅環(huán)(3)分別經(jīng)裝在輥體中的屏蔽導(dǎo)線(6)同對(duì)應(yīng)一組電刷中的一只對(duì)應(yīng)電刷(9)連接；而固定接線圓盤(15)上每組銅環(huán)的兩只銅環(huán)(10)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線(11)及真空陶瓷封裝凸緣(12)、信號(hào)線(13)同電阻檢測(cè)儀(14)連接；所述測(cè)量銅環(huán)(3)的外徑不小于所述橡膠圈(4)的外徑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置，其特征是，所述測(cè) 量銅環(huán)(3)的外周表面有鍍金層。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置，其特征是，所述輥 體上裝有三組測(cè)量銅環(huán)。
專利摘要一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測(cè)量裝置，它的測(cè)量輥有裝在支座上的輥軸和由絕緣內(nèi)襯及套其外周的橡膠圈組成的輥體；輥體一端固定有隨動(dòng)接線圓盤且其上設(shè)有至少一組電刷且每組電刷有兩個(gè)電刷；固定在支座上的固定接線圓盤內(nèi)側(cè)端面設(shè)有至少一組銅環(huán)且每組銅環(huán)有兩只銅環(huán)，各銅環(huán)分別同一只電刷對(duì)應(yīng)相接觸；輥體上裝有至少一組測(cè)量銅環(huán)且每組測(cè)量銅環(huán)有兩只測(cè)量銅環(huán)，各測(cè)量銅環(huán)分別經(jīng)屏蔽導(dǎo)線同對(duì)應(yīng)的一只電刷連接；固定接線圓盤上的銅環(huán)經(jīng)相應(yīng)屏蔽饋線及真空陶瓷封裝凸緣、信號(hào)線同電阻檢測(cè)儀連接。它可在線準(zhǔn)確測(cè)出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠。
文檔編號(hào)G01R27/02GK201464560SQ20092006517
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月29日
發(fā)明者劉偉, 李偉, 李再軻 申請(qǐng)人:湖南瀚麒科技發(fā)展有限公司